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樹(shù)脂組合物、樹(shù)脂薄膜、樹(shù)脂薄膜的制造方法、半導(dǎo)體裝置的制造方法及半導(dǎo)體裝置與流程

文檔序號(hào):11767030閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明所要解決的問(wèn)題在于,提供一種樹(shù)脂組合物和樹(shù)脂薄膜,并提供一種該樹(shù)脂薄膜的制造方法、被該樹(shù)脂薄膜塑封的半導(dǎo)體裝置及該半導(dǎo)體裝置的制造方法,所述樹(shù)脂組合物能夠?qū)⒕偫ǖ厮芊?,尤其?duì)于大直徑、薄膜晶片具有良好的塑封性,同時(shí)在塑封后給予低翹曲性以及良好的晶片保護(hù)性能、良好的密合性、良好的可靠性及良好的耐熱性,且能夠良好地進(jìn)行塑封工序,并且能夠適合用于晶片級(jí)封裝。本發(fā)明的解決問(wèn)題的技術(shù)方案是一種樹(shù)脂組合物,其特征在于,含有:(A)硅酮樹(shù)脂,其具有由下述組成式(1)表示的構(gòu)成單元且重量平均分子量為3000~500000;(B)環(huán)氧樹(shù)脂固化劑;以及,(C)填料,

技術(shù)研發(fā)人員:近藤和紀(jì);市岡揚(yáng)一郎;菅生道博
受保護(hù)的技術(shù)使用者:信越化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.31
技術(shù)公布日:2017.10.20
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