技術(shù)編號(hào)：11767030
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種樹(shù)脂組合物、樹(shù)脂薄膜與其制造方法及半導(dǎo)體裝置與其制造方法。背景技術(shù)近年來(lái)用于制造半導(dǎo)體裝置的晶片(wafer)的尺寸持續(xù)大直徑化、薄膜化，要求以晶片級(jí)對(duì)這些晶片進(jìn)行密封的技術(shù)。因此，除過(guò)去的固體型環(huán)氧樹(shù)脂的傳遞成型方法以外，還提案了一種使用液狀型環(huán)氧樹(shù)脂的壓縮成型方法(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。但是，在傳遞成型中，由于使樹(shù)脂流動(dòng)到狹窄部分，因此擔(dān)心引起電線(xiàn)變形，存在也容易發(fā)生伴隨密封面積增加而引起的填充不良這樣的問(wèn)題。此外，在壓縮成型法中存在以下問(wèn)題：難以細(xì)微控制在晶片的端面部分的成型范圍，并...
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