一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸餾裝置、半成品罐一、半成品罐二、純水罐、過濾系統(tǒng)、成品罐。本實用新型通過超純水罐將超純水注入預(yù)處理罐，液氨經(jīng)過超純水進(jìn)行水洗，可以有效去除金屬離子雜質(zhì)和非金屬離子雜質(zhì)，避免發(fā)生二次污染現(xiàn)象，過濾系統(tǒng)采用多級膜循環(huán)過濾系統(tǒng)，可以大量去除直徑大于0.5μm顆粒物，使其純度達(dá)到PPT級，滿足極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝，使其國產(chǎn)化、本土化。
【專利說明】一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及超聞純試劑提純技術(shù)，具體涉及一種超聞純氣水生廣系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]超高純試劑是電子領(lǐng)域微細(xì)加工制作中不可缺少的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工原料之一，主要用于芯片的清洗和蝕刻。
[0003]電子化學(xué)品一般是指為電子工業(yè)配套的專用化學(xué)品，而超高純濕電子化學(xué)品主要包括集成電路和分立器件用化學(xué)品、晶體硅太陽能用化學(xué)品和平板顯示用化學(xué)品等，其具有質(zhì)量要求高、功能性強、對生產(chǎn)及使用環(huán)境潔凈度要求高和產(chǎn)品更精純。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實用新型針主要針對國內(nèi)微電子、光電子行業(yè)的迅猛，而電子化學(xué)品的發(fā)展滯后，為滿足其生產(chǎn)工藝所需，公司通過引進(jìn)、消化和吸收國外先進(jìn)技術(shù)使其國產(chǎn)化本土化，減低行業(yè)的生產(chǎn)成本，提供一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)。
[0005]本實用新型解決現(xiàn)有技術(shù)問題的方案是:一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸餾裝置、半成品罐一、半成品罐二、純水罐、過濾系統(tǒng)、成品罐，所述液氨罐連接在預(yù)處理罐中部，超純水罐連接在預(yù)處理罐上方，預(yù)處理罐連接減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置 連接半成品罐一，半成品罐一連接半成品罐二，半成品罐二上方連接純水罐，半成品罐 二下部連接過濾裝置，過濾系統(tǒng)連接成品罐。
[0006]作 為上述方案的優(yōu)選，所述過濾系統(tǒng)為多級膜循環(huán)過濾系統(tǒng)。
[0007]本實用新型的有益效果是:本實用新型通過超純水罐將超純水注入預(yù)處理罐，液氨經(jīng)過超純水進(jìn)行水洗，可以有效去除金屬離子雜質(zhì)和非金屬離子雜質(zhì)，避免發(fā)生二次污染現(xiàn)象，過濾系統(tǒng)采用多級膜循環(huán)過濾系統(tǒng)，可以大量去除直徑大于0.5 μ m顆粒物，使其純度達(dá)到PPT級，滿足極大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝，使其國產(chǎn)化、本土化。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型的系統(tǒng)框圖；
【具體實施方式】
[0009]如圖1所示，一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸懼裝直、半成品te—、半成品te~、純水te、過濾系統(tǒng)、成品te，所述液氣te連接在預(yù)處理te中部，超純水罐連接在預(yù)處理罐上方，預(yù)處理罐連接減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置連接半成品--ρ—，半成品--ρ—連接半成品~，半成品te~上方連接純水te，半成品te~下部連接過濾裝直，過濾系統(tǒng)連接成品te，過濾系統(tǒng)為多級I吳循環(huán)過濾系統(tǒng)。
[0010]以上所述僅為體現(xiàn)本實用新型原理的較佳實施例，并不因此而限定本實用新型的保護(hù)范圍，凡是依本實用新型所作的均等變化與修飾皆在本實用新型涵蓋的專利范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:包括液氨罐、預(yù)處理罐、超純水罐、減壓蒸懼裝直、半成品te—、半成品罐二、純水te、過濾系統(tǒng)、成品te，所述液氣te連接在預(yù)處理te中部，超純水罐連接在預(yù)處理罐上方，預(yù)處理罐連接減壓蒸餾裝置，減壓蒸餾裝置連接半成品--ρ—，半成品--ρ—連接半成品罐二，半成品罐二上方連接純水te，半成品罐二下部連接過濾裝置，過濾系統(tǒng)連接成品罐。
2.如權(quán)利要求1所述的超高純氨水生產(chǎn)系統(tǒng)，其特征在于:所述過濾系統(tǒng)為多級膜循環(huán)過濾系統(tǒng)。
【文檔編號】C01C1/02GK203392870SQ201320303281
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年5月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月30日
【發(fā)明者】殷福華, 朱龍, 邵勇 申請人:江陰江化微電子材料股份有限公司