一種光刻膠涂布機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件制造技術(shù)，尤其涉及一種光刻膠涂布機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，市場(chǎng)上半導(dǎo)體器件通常是一種多層結(jié)構(gòu)，每一層結(jié)構(gòu)面上都具有特定的圖案。這些特定的圖案往往是通過在基材上涂布光刻膠、曝光、顯影和刻蝕等方式在每一層結(jié)構(gòu)面上形成的。
[0003]在半導(dǎo)體器件制作過程中，通常需要用到光刻膠涂布機(jī)去涂布光刻膠。圖la為現(xiàn)有技術(shù)中的一種光刻膠涂布機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖lb為沿圖la中A1-A2方向的局部剖視圖。該光刻膠涂布機(jī)包括加熱平臺(tái)11和起模頂桿12，在加熱平臺(tái)11上呈一定規(guī)律分布設(shè)置的貫穿加熱平臺(tái)11的通孔111，通孔111的形狀為圓柱體。起模頂桿12的形狀為圓柱體，并且其直徑小于通孔111的直徑，用于穿過通孔111，并在通孔111內(nèi)進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)。上述光刻膠涂布機(jī)具體工作過程為:起模頂桿12穿出通孔111，并且該起模頂桿12的基材接觸端121高于加熱平臺(tái)11所在平面，將基材13放置于起模頂桿12的基材接觸端121上表面(如圖2a)后，起模頂桿12降落，使得基材13與加熱平臺(tái)11相接觸，并且起模頂桿12會(huì)繼續(xù)向下運(yùn)動(dòng)，直至起模頂桿12的基材接觸端121與基材13相分離(如圖2b);在對(duì)該基材13加熱完畢后，起模頂桿12向上運(yùn)動(dòng)，待起模頂桿12的基材接觸端121與該基材13相接觸后，繼續(xù)向上運(yùn)動(dòng)并將該基材13頂起，使得該基材13與加熱平臺(tái)11相分離(如圖2a)。
[0004]利用現(xiàn)有光刻膠涂布機(jī)對(duì)基材13進(jìn)行加熱的過程中，基材13與加熱平臺(tái)11上各通孔111對(duì)應(yīng)的位置，不能夠直接吸收來自加熱平臺(tái)11的熱量，導(dǎo)致基材13涂布光刻膠層不同區(qū)域受熱不均勻，甚至?xí)沟盟幚淼幕?3上出現(xiàn)壞點(diǎn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供一種光刻膠涂布機(jī)，以實(shí)現(xiàn)確保放置于加熱平臺(tái)上的基材涂布光刻膠層受熱均勻，避免在基材中上留下壞點(diǎn)，提高半導(dǎo)體器件產(chǎn)品良率的目的。
[0006]本實(shí)用新型提供一種光刻膠涂布機(jī)，包括加熱平臺(tái)和起模頂桿，所述加熱平臺(tái)上設(shè)置有至少一個(gè)貫穿所述加熱平臺(tái)的通孔，所述起模頂桿可以在所述通孔內(nèi)沿所述通孔延伸的方向進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，所述起模頂桿的基材接觸端與所述通孔靠近所述加熱平臺(tái)工作側(cè)的孔壁抵觸。
[0007]進(jìn)一步地，所述通孔的形狀為柱體，所述起模頂桿的基材接觸端的形狀以及尺寸與所述通孔形狀以及尺寸相匹配。
[0008]進(jìn)一步地，所述通孔的橫截面形狀為圓形或多邊形。
[0009]進(jìn)一步地，所述通孔的形狀為臺(tái)體，并且所述通孔靠近所述加熱平臺(tái)工作側(cè)的孔徑大于遠(yuǎn)離所述加熱平臺(tái)工作側(cè)的孔徑;所述起模頂桿的基材接觸端的形狀以及尺寸與所述通孔靠近所述加熱平臺(tái)工作側(cè)的形狀以及尺寸相匹配。
[0010]進(jìn)一步地，所述通孔包括首尾相接的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔鄰近所述加熱平臺(tái)的工作側(cè)，所述第一通孔和所述第二通孔的形狀均為柱體，且所述第一通孔的孔徑大于所述第二通孔的孔徑;所述起模頂桿的基材接觸端的形狀和尺寸與所述第一通孔的形狀和尺寸相匹配，所述起模頂桿的基材非接觸端的尺寸小于或者等于所述第二通孔的尺寸。
[0011]進(jìn)一步地，所述第一通孔與所述第二通孔橫截面形狀為圓形或多邊形。
[0012]進(jìn)一步地，所述通孔包括首尾相接的第三通孔與第四通孔，所述第三通孔鄰近所述加熱平臺(tái)工作側(cè)，所述第三通孔的形狀為臺(tái)體，所述第四通孔的形狀為柱體，并且所述第三通孔鄰近所述加熱平臺(tái)工作側(cè)的孔徑大于遠(yuǎn)離所述加熱平臺(tái)工作側(cè)的孔徑;所述起模頂桿的基材接觸端的形狀和尺寸與所述第三通孔的形狀和尺寸相匹配，且所述起模頂桿的基材非接觸端的尺寸小于或者等于所述第四通孔的尺寸。
[0013]進(jìn)一步地，所述臺(tái)體為圓臺(tái)，所述圓臺(tái)母線與所述工作平臺(tái)的夾角范圍為20°-80。。
[0014]進(jìn)一步地，所述臺(tái)體為棱臺(tái)，其橫截面為多邊形，并且所述棱臺(tái)側(cè)棱與所述工作平臺(tái)的夾角范圍為20°-80°。
[0015]本實(shí)用新型通過將起模頂桿的基材接觸端與通孔靠近加熱平臺(tái)工作側(cè)的孔壁抵觸，解決了使用現(xiàn)有的光刻膠涂布機(jī)對(duì)基材涂布光刻膠時(shí)，由于基材在加熱平臺(tái)上受熱不均勻，使得放置于加熱平臺(tái)上的基材涂布光刻膠層受熱不均勻，在基材上留下壞點(diǎn)的問題，提高半導(dǎo)體器件產(chǎn)品的良率的目的。
【附圖說明】
[0016]圖la為現(xiàn)有技術(shù)中的一種光刻膠涂布機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖lb為沿圖la中A1-A2方向的局部剖視圖；
[0018]圖2a和圖2b為圖la中所提供的光刻膠涂布機(jī)的工作示意圖；
[0019]圖3a為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種光刻膠涂布機(jī)中加熱平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3b為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種光刻膠涂布機(jī)中起模頂桿的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3c和圖3d為由圖3a中提供的加熱平臺(tái)和圖3b中提供的起模頂桿構(gòu)成的光刻膠涂布機(jī)的工作示意圖；
[0022]圖4a為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的另一種光刻膠涂布機(jī)中加熱平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4b為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的另一種光刻膠涂布機(jī)中起模頂桿的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖4c和圖4d為由圖4a中提供的加熱平臺(tái)和圖4b中提供的起模頂桿構(gòu)成的光刻膠涂布機(jī)的工作示意圖；
[0025]圖5a為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的一種光刻膠涂布機(jī)中加熱平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖5b為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的一種光刻膠涂布機(jī)中起模頂桿的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖5c和圖5d為由圖5a中提供的加熱平臺(tái)和圖5b中提供的起模頂桿構(gòu)成的光刻膠涂布機(jī)的工作示意圖；
[0028]圖6a為本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的一種光刻膠涂布機(jī)中加熱平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖6b為本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的一種光刻膠涂布機(jī)中起模頂桿的結(jié)構(gòu)示意圖；[0030 ]圖6 c和圖6d為由圖6a中提供的加熱平臺(tái)和圖6b中提供的起模頂桿構(gòu)成的光刻膠涂布機(jī)的工作示意圖；
[0031]圖7a為本實(shí)用新型實(shí)施例四提供的一種光刻膠涂布機(jī)中加熱平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖7b為本實(shí)用新型實(shí)施例四提供的一種光刻膠涂布機(jī)中起模頂桿的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖7c和圖7d為由圖7a中提供的加熱平臺(tái)和圖7b中提供的起模頂桿構(gòu)成的光刻膠涂布機(jī)的工作示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034]為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型提出的光刻膠涂布機(jī)的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。
[0035]實(shí)施例一
[0036]圖3a為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種光刻膠涂布機(jī)中加熱平臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3b為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的一種光刻膠涂布機(jī)中起模頂桿的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3c和圖3d為由圖3a中提供的加熱平臺(tái)和圖3b中提供的起模頂桿構(gòu)成的光刻膠涂布機(jī)的工作示意圖。該光刻膠涂布機(jī)包括加熱平臺(tái)21 (如圖3a所示)和起模頂桿22(如圖3b所示)，加熱平臺(tái)21上設(shè)置有至少一個(gè)貫穿加熱平臺(tái)21的通孔211 (圖3a-圖3d示意性的僅畫出一個(gè))，起模頂桿22可以在通孔211內(nèi)沿通孔211延伸的方向進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)，起模頂桿22的基材接觸端221與通孔211靠近加熱平臺(tái)21工作側(cè)(即圖3a中加熱平臺(tái)21上表面)的孔壁抵觸(如圖3c和圖3(1所示)。
[0037]起模頂桿22的基材接觸端221與通孔211靠近加熱平臺(tái)21工作側(cè)的孔壁抵觸是指起模頂桿22的基材接觸端221與通孔211靠近加熱平