技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種拆卸靜電卡盤的裝置，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，用于提高拆卸靜電卡盤的效率。該裝置包括多組杠桿結(jié)構(gòu)、施力構(gòu)件和基架，每組杠桿結(jié)構(gòu)包括杠桿和提升件；其中，所述杠桿的施力端與所述施力構(gòu)件鉸接，所述杠桿的輸力端與所述提升件連接，且所述提升件在拆卸靜電卡盤時(shí)安裝在所述靜電卡盤上；所述施力構(gòu)件用于向各杠桿的輸力端施加作用力；所述基架在拆卸靜電卡盤時(shí)安裝于靜電卡盤基座上，所述杠桿與所述基架可轉(zhuǎn)動(dòng)連接，且二者的連接點(diǎn)到所述施力端的距離大于該連接點(diǎn)到所述輸力端的距離。前述裝置用于拆卸靜電卡盤，以便于維護(hù)或更換靜電卡盤。

技術(shù)研發(fā)人員：趙隆超
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.12
技術(shù)公布日：2017.07.18