用于絲鋸的傳遞裝置及用于切割半導(dǎo)體錠料的集成系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本文公開(kāi)的實(shí)施例涉及往返于絲鋸傳遞半導(dǎo)體錠料的傳遞裝置，及傳遞裝置和絲鋸的系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)能電池通常被形成在諸如硅的半導(dǎo)體基板上。半導(dǎo)體材料的錠料可在工藝中由絲鋸切割以產(chǎn)生諸如晶片的基板。錠料可被裝載到絲鋸中，該錠料在該絲鋸處被切割，且隨后錠料被移動(dòng)用于進(jìn)一步處理。諸如手推車、臺(tái)車，和升降機(jī)的各種輔助裝置可在工廠周圍人工地移動(dòng)錠料。例如拾取和/或傳送錠料的損失時(shí)間、以及誤處理錠料可導(dǎo)致過(guò)多的工具閑置時(shí)間和產(chǎn)品報(bào)廢。需要降低閑置時(shí)間和減少誤處理錠料的機(jī)會(huì)，和增加可用時(shí)間和產(chǎn)量。因此，需要提高裝載和卸載半導(dǎo)體錠料的效率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]根據(jù)實(shí)施例，適于傳遞半導(dǎo)體錠料的用于絲鋸的傳遞裝置包括:夾持器，用于可翻轉(zhuǎn)地夾持半導(dǎo)體錠料；載體，用于運(yùn)載半導(dǎo)體錠料；載體支撐件，由z致動(dòng)器垂直地可移動(dòng)；X致動(dòng)器，附接于夾持器以便往返于絲鋸水平地移動(dòng)錠料；和控制器，通訊地耦接到致動(dòng)器?？刂破魇怯糜诳刂浦聞?dòng)器的運(yùn)動(dòng)。傳遞裝置適于傳遞大塊半導(dǎo)體錠料，所述錠料的質(zhì)量大于50kg。
[0004]根據(jù)實(shí)施例，適于傳遞半導(dǎo)體錠料的用于絲鋸的傳遞裝置包括:夾持器，用于可翻轉(zhuǎn)地夾持半導(dǎo)體錠料；載體，用于運(yùn)載半導(dǎo)體錠料；和載體支撐件。載體支撐件具有穿過(guò)(pass-through)位置。夾持器經(jīng)由x致動(dòng)器水平地可移動(dòng)，以用于往返于絲鋸傳遞半導(dǎo)體錠料?？刂破鞅煌ㄓ嵉伛罱拥街聞?dòng)器，且控制器被用于控制X致動(dòng)器的運(yùn)動(dòng)。傳遞裝置適于傳遞大塊半導(dǎo)體錠料，所述半導(dǎo)體錠料的質(zhì)量大于50kg。
[0005]根據(jù)實(shí)施例，適于傳遞半導(dǎo)體錠料的用于絲鋸的傳遞裝置包括:夾持器，用于可翻轉(zhuǎn)地夾持半導(dǎo)體錠料；載體，用于運(yùn)載半導(dǎo)體錠料；和第一載體支撐件和第二載體支撐件，所述載體支撐件由各個(gè)z致動(dòng)器垂直地可移動(dòng)。每一載體支撐件包括各個(gè)穿過(guò)位置。傳遞裝置包括X致動(dòng)器，所述X致動(dòng)器附接于夾持器用于往返于絲鋸水平地移動(dòng)半導(dǎo)體錠料。X致動(dòng)器包括伸縮臂，所述伸縮臂被配置以在第一載體支撐件的第一穿過(guò)位置處延伸貫穿第一載體支撐件。伸縮臂被配置以在第二載體支撐件的第二穿過(guò)位置處延伸貫穿第二載體支撐件。傳遞裝置還包括控制器，所述控制器通訊地耦接到致動(dòng)器，所述控制器用于控制致動(dòng)器的運(yùn)動(dòng)。傳遞裝置還包括:夾緊系統(tǒng)，用于將傳遞裝置緊固到絲鋸；定位裝置，用于決定傳遞裝置的位置；和讀出器，用于識(shí)別載體。每一 Z致動(dòng)器和X致動(dòng)器包括用于驅(qū)動(dòng)致動(dòng)器的各個(gè)伺服電動(dòng)機(jī)。傳遞裝置適于傳遞大塊半導(dǎo)體錠料，所述半導(dǎo)體錠料的質(zhì)量大于60kg。
[0006]本案的這些和其他特征、方面和優(yōu)點(diǎn)將參考以下描述、附圖和附加權(quán)利要求更好地理解。并入且構(gòu)成本說(shuō)明書(shū)一部分的附圖圖示本主題的實(shí)施例，且與描述一起用于解釋本案的原理。
【附圖說(shuō)明】
[0007]附圖涉及本文所述的實(shí)施例。
[0008]圖1圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置。
[0009]圖2圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置。
[0010]圖3圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置。
[0011]圖4圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置。
[0012]圖5圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的載體支撐件。
[0013]圖6圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的z致動(dòng)器。
[0014]圖7圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置的一部分。
[0015]圖8圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置的一部分。
[0016]圖9圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的X致動(dòng)器。
[0017]圖10圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置。
[0018]圖11圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置。
[0019]圖12圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置的一部分。
[0020]圖13圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置。
[0021]圖14圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置的一部分。
[0022]圖15圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的傳遞裝置和絲鋸。
[0023]圖16圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的包括傳遞裝置和絲鋸的工廠布局。
[0024]圖17圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的錠料清洗模塊。
【具體實(shí)施方式】
[0025]在本文中，“錠料”可以是諸如硅，具體而言結(jié)晶硅的半導(dǎo)體錠料，和/或用作太陽(yáng)能電池的材料。錠料可以例如是經(jīng)切割半導(dǎo)體錠料或未經(jīng)切割半導(dǎo)體錠料。例如，錠料可以是正方形單晶硅錠料、多晶硅磚，或圓柱形半導(dǎo)體錠料。
[0026]在本文中，“夾持器”可以例如是“終端受動(dòng)器”，且?jiàn)A持器可包括用于夾持錠料的機(jī)構(gòu)和/或附接于錠料的板材。在本文中，“載體”可以例如是諸如箱體的部分外殼。在本文中，“載體支撐件”可以例如是能夠支撐至少一個(gè)錠料和載體的重量的結(jié)構(gòu)。
[0027]在本文中，“致動(dòng)器”可以是一裝置，所述裝置移動(dòng)且可適合于移動(dòng)諸如載體支撐件、載體等等的元件；致動(dòng)器可在大體線性方向上移動(dòng)；例如，“X致動(dòng)器”可在大概水平方向上操作，且“Z致動(dòng)器”可在大概垂直方向上操作。在本文中，“絲鋸”可以是如用于切割半導(dǎo)體材料，具體而言光生伏打半導(dǎo)體材料的絲鋸；絲鋸可將錠料切割成為磚、晶片等等。
[0028]在本文中，“控制器”可以是諸如可編程/程序控制計(jì)算機(jī)的計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)可與硬件元件接口連接，所述硬件元件諸如是計(jì)算機(jī)外部的硬件元件，諸如致動(dòng)器；例如，控制器可指示至少一個(gè)致動(dòng)器在至少一個(gè)方向上移動(dòng)。
[0029]在本文中，“穿過(guò)位置”可代表元件和/或元件的結(jié)構(gòu)特征的位置；例如，載體支撐件的穿過(guò)位置可以是窗口，諸如允許另一元件通過(guò)的窗口。在本文中，“小角輪”可以是車輪。在本文中，“夾緊系統(tǒng)”可包括扣緊件、緊固裝置，和/或可翻轉(zhuǎn)夾緊元件；例如，傳遞裝置的夾緊系統(tǒng)包括緊固件，所述緊固件與絲鋸的緊固件互補(bǔ)。
[0030]在本文中，“定位裝置”可包括例如，光學(xué)非接觸式傳感器、跟蹤器、激光器、條型碼、無(wú)線射頻識(shí)別裝置(rad1 frequency identificat1n devices ；RFID)芯片、RFID 讀出器、全球定位系統(tǒng)(global posit1ning system ；GPS)裝置，和上述各項(xiàng)的組合；例如，定位裝置是跟蹤和追蹤系統(tǒng)的一部分。在本文中，“讀出器”可包括例如條形碼讀出器、RFID
讀出器等等。
[0031]在本文中，“伸縮臂(telescopic arm)”和“伸縮臂(telescoping arm)”被可交換地使用。在本文中，“小角輪(caster)”和“小腳輪(castor) ”被可交換地使用。在本文中，“進(jìn)入門”可代表絲鋸的進(jìn)入門。在本文中，“中間位置”可對(duì)應(yīng)于“通過(guò)位置”。在本文中，“z提升器”可代表至少一個(gè)z致動(dòng)器。
[0032]在本文中，“ 10° ”傾斜試驗(yàn)可以例如是一試驗(yàn)，在所述試驗(yàn)中，裝置被從通常配置傾斜達(dá)10°且釋放。例如，為了通過(guò)試驗(yàn)，裝置返回到通常配置。
[0033]現(xiàn)將對(duì)各種實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)參考，所述實(shí)施例的一或多個(gè)實(shí)例圖示于附圖中。在附圖的以下描述中，相同元件符號(hào)代表相同元件。通常，僅描述對(duì)于個(gè)別實(shí)施例的差異。每一實(shí)例是作為說(shuō)明而提供且并不必意指作為限制。例如，圖示或描述為一個(gè)實(shí)施例的一部分的特征可用于其他實(shí)施例或結(jié)合其他實(shí)施例一起使用，以產(chǎn)生更進(jìn)一步實(shí)施例。本案意圖包括所述修改和變化。
[0034]圖1圖示根據(jù)本文所述的實(shí)施例的用于絲鋸150的傳遞裝置100。如圖1中所示，但不限于此實(shí)施例，傳遞裝置100可包括框架50，框架50可被提供在小角輪51上。小角輪可為傳遞裝置100提供移動(dòng)性，傳遞裝置100可用于一個(gè)以上絲鋸150。替代地或另外地，傳遞裝置100可專用于單個(gè)絲鋸150。小角輪51可以是有利的，在于所述小角輪可允許傳遞裝置100被輕易地移動(dòng)，諸如用于對(duì)傳遞裝置100和/或絲鋸150的內(nèi)部元件的進(jìn)入，諸如用于保養(yǎng)。小角輪51可以是高度可調(diào)整的。調(diào)整小角輪51的高度的能力可以是有利的，例如以提供傳遞裝置100的X致動(dòng)器60的路徑65相對(duì)于絲鋸150的對(duì)準(zhǔn)，x致動(dòng)器60可裝載/卸載半導(dǎo)體錠料10。
[0035]傳遞裝置100可以是材料傳送系統(tǒng)的一部分，以便往返于絲鋸傳遞和去除半導(dǎo)體錠料10。如本文所述，傳遞裝置100可減少切割之間的絲鋸閑置時(shí)間。例如，在絲鋸之內(nèi)的經(jīng)切割錠料與未經(jīng)切割錠料的交換可花費(fèi)大約10至15分鐘。
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