透明電極的制造方法、透明電極及具備該透明電極的有機(jī)場致發(fā)光元件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及透明電極的制造方法、透明電極及具備該透明電極的有機(jī)場致發(fā)光元件，特別是涉及使用了涂布或印刷法的透明電極的制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，作為繼液晶顯示元件(IXD)之后的下一代顯示設(shè)備，研究開發(fā)了具備二維排列了有機(jī)場致發(fā)光元件(以下略記為“有機(jī)EL元件”)等自發(fā)光元件的發(fā)光元件型顯示面板的發(fā)光裝置。
[0003]有機(jī)EL元件具備陽極、陰極和形成在這一對電極之間的例如具有有機(jī)發(fā)光層、空穴注入層等的有機(jī)EL層(發(fā)光功能層)。有機(jī)EL元件中，在有機(jī)發(fā)光層中通過空穴與電子進(jìn)行再結(jié)合而產(chǎn)生的能量來發(fā)光。
[0004]這種有機(jī)EL元件的將光取出一側(cè)的透明電極一般來說使用錫摻雜氧化銦(IndiumTin Oxide ;ΙΤ0)或鋅摻雜氧化銦(Indium Zinc Oxide; ΙΖ0)等形成。但是，使用這些材料形成透明電極時(shí)，為了獲得低電阻，必須形成厚且均勻的膜，有時(shí)透明電極的透光率會減少或具備這種透明電極的制品變得昂貴。另外，在透明電極的形成工藝中有時(shí)需要進(jìn)行高溫處理。因此，特別是對于膜上的透明電極的低電阻化是有限的(例如參照專利文獻(xiàn)1)。
[0005]就上述透明電極而言，近年來開發(fā)了未使用ΙΤ0等的透明電極的技術(shù)。作為形成未使用IT 0等的透明電極的方法，例如提出了以下的方法(例如參照專利文獻(xiàn)2、3)。首先，制作配置了一樣的網(wǎng)格狀、梳子型或柵格型等金屬及/或合金的細(xì)線構(gòu)造部的導(dǎo)電性面。接著，在該導(dǎo)電性面上例如使用涂布法或印刷法涂飾將導(dǎo)電性高分子材料溶解或分散在適當(dāng)溶劑中而成的油墨，形成透明導(dǎo)電層。如此，形成未使用ΙΤ0等的透明電極。
[0006]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0007]專利文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)1:日本特開平10-162961號公報(bào)
[0009]專利文獻(xiàn)2:日本特開2005-302508號公報(bào)
[0010]專利文獻(xiàn)3:日本特開2006-93123號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]發(fā)明要解決的技術(shù)問題
[0012]上述透明導(dǎo)電層的形成方法中，例如使用涂布法或印刷法將含有導(dǎo)電性高分子材料的油墨噴吐或轉(zhuǎn)印至基材上之后，油墨中含有的溶劑蒸發(fā)，從而干燥固化，形成涂膜。此時(shí)，由于配置在涂膜下部的由金屬及/或合金的細(xì)線構(gòu)造部所構(gòu)成的導(dǎo)電性面的形狀的影響，在油墨的干燥過程中，有時(shí)導(dǎo)電性高分子材料的流動變得不均勻、從而所形成的透明導(dǎo)電層的高度變得不均勻。因此，上述透明導(dǎo)電層的形成方法具有透明電極的表面平滑性降低的問題。
[0013]透明電極的表面形狀變得不均勻時(shí)，例如作為有機(jī)EL元件的透明電極進(jìn)行使用時(shí)，施加于有機(jī)EL層的電場強(qiáng)度有時(shí)變得不均勻。因此，現(xiàn)有技術(shù)的透明電極具有發(fā)光工作時(shí)的發(fā)光開始電壓或自有機(jī)EL層放射的光的波長(即發(fā)光時(shí)的色度)偏離設(shè)計(jì)值、無法獲得所希望的發(fā)光色的問題，同時(shí)具有在電場集中的區(qū)域、有機(jī)EL層(有機(jī)EL元件)劣化變得明顯、發(fā)光的可靠性或壽命降低的問題。
[0014]本發(fā)明鑒于上述事實(shí)而作出，其目的在于提供能夠抑制因透明導(dǎo)電層的高度不均所導(dǎo)致的透明電極的表面平滑性降低的透明電極的制造方法、透明電極、及具備該透明電極的有機(jī)EL元件。
[0015]用于解決技術(shù)問題的方法
[0016]為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的一個(gè)方式為一種透明電極，其特征在于，其為具有透明基材、將所述透明基材的表面的一部分覆蓋并由導(dǎo)電材料形成的細(xì)線構(gòu)造部、和按照將所述細(xì)線構(gòu)造部覆蓋的方式形成在所述透明基材上的透明導(dǎo)電層的透明電極，其中，用2層以上的層形成所述透明導(dǎo)電層。
[0017]另外，上述透明電極中，可以在除去作為所述細(xì)線構(gòu)造部的形成區(qū)域的細(xì)線構(gòu)造部形成區(qū)域之外的區(qū)域中，使將所述透明導(dǎo)電層的各層分離的界面的至少一部分比所述細(xì)線構(gòu)造部的最上部還低。
[0018]另外，上述透明電極中，從平行于所述透明基材的方向上看，可以使將所述透明導(dǎo)電層的各層分離的界面的形狀在作為所述細(xì)線構(gòu)造部的形成區(qū)域的細(xì)線構(gòu)造部形成區(qū)域中為凸形狀、在除去所述細(xì)線構(gòu)造部形成區(qū)域的區(qū)域中為凹形狀。
[0019]另外，上述透明電極中，可以使所述透明導(dǎo)電層含有聚噻吩、聚噻吩的衍生物、或者聚噻吩與聚噻吩的衍生物的混合物。
[0020]另外，上述透明電極中，可以使所述透明導(dǎo)電層含有聚苯胺、聚苯胺的衍生物、或者聚苯胺與聚苯胺的衍生物的混合物。
[0021]另外，由多層構(gòu)成的透明導(dǎo)電層從提高生產(chǎn)率的方面出發(fā)優(yōu)選全部使用相同的材料形成，但也可以各層使用不同的材料。
[0022]另外，通過在形成各層時(shí)調(diào)整油墨的粘度或粘性值，也可以提高平坦性。
[0023]另外，本發(fā)明的另一方式為一種透明電極的制造方法，其特征在于，其為具有透明基材、將所述透明基材的表面的一部分覆蓋并由導(dǎo)電材料形成的細(xì)線構(gòu)造部、和按照將所述細(xì)線構(gòu)造部覆蓋的方式形成在所述透明基材上的透明導(dǎo)電層的透明電極的制造方法，該制造方法包含下述透明導(dǎo)電層形成工序:在形成有所述細(xì)線構(gòu)造部的所述透明基材上的所述透明電極的形成區(qū)域上涂布含有所述透明導(dǎo)電層的材料的溶液之后，在涂布了所述溶液的所述透明電極的形成區(qū)域上再涂布至少一次所述溶液，從而形成所述透明導(dǎo)電層。
[0024]另外，上述透明電極的制造方法中，所述透明導(dǎo)電層形成工序可以在最后一次的所述溶液的涂布之前實(shí)施使涂布在所述透明電極的形成區(qū)域上的所述溶液干燥、形成成為所述透明導(dǎo)電層一部分的薄膜的薄膜形成工序，從而形成所述透明導(dǎo)電層。
[0025]另外，上述透明電極的制造方法中，所述透明導(dǎo)電層形成工序可以包含在所述透明電極的形成區(qū)域整個(gè)面上涂布所述溶液的整面涂布工序、和僅在所述透明電極的形成區(qū)域中除去形成有所述細(xì)線構(gòu)造部的細(xì)線構(gòu)造部形成區(qū)域之外的區(qū)域上涂布所述溶液的部分涂布工序。
[0026]另外，上述透明電極的制造方法中，所述透明導(dǎo)電層形成工序可以在最初實(shí)施所述部分涂布工序。
[0027]另外，上述透明電極的制造方法中，所述透明導(dǎo)電層形成工序可以在最后實(shí)施所述部分涂布工序。
[0028]另外，上述透明電極的制造方法中，在所述整面涂布工序和所述部分涂布工序中、涂布方法可以分別不同。
[0029]另外，本發(fā)明的又一方式是一種透明電極，其是通過所述透明電極的制造方法制造的。
[0030]另外，本發(fā)明的再一方式是一種有機(jī)場致發(fā)光元件，其具備所述透明電極。
[0031]發(fā)明效果
[0032]本發(fā)明的一個(gè)方式由于用2層以上的層形成透明導(dǎo)電層，因此可以緩和透明導(dǎo)電層的形成時(shí)細(xì)線構(gòu)造部的形狀的影響。因此，可以使透明導(dǎo)電層的高度均勻化、獲得表面平滑性高的透明電極。因而，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式，可獲得發(fā)光品位及生產(chǎn)率高的有機(jī)場致發(fā)光元件。
【附圖說明】
[0033]圖1是表示第1、第2及第3實(shí)施方式的形成有細(xì)線構(gòu)造部的透明基材的構(gòu)造的概略俯視圖。
[0034]圖2是表示第1實(shí)施方式的透明電極制造方法的要部具體例的工序截面圖。
[0035]圖3是表示第2實(shí)施方式的透明電極制造方法的要部具體例的工序截面圖。
[0036]圖4是表示第3實(shí)施方式的透明電極制造方法的要部具體例的工序截面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0037]以下對本發(fā)明實(shí)施方式的透明電極的制造方法、透明電極及具備該透明電極的有機(jī)EL元件進(jìn)行說明。其中，在以下的詳細(xì)說明中，為了提供本發(fā)明實(shí)施方式的完整理解，對多個(gè)特定的細(xì)微部分進(jìn)行了記載。但是，當(dāng)然應(yīng)該清楚的是即便沒有該特定的細(xì)微部分，也可實(shí)施1個(gè)以上的實(shí)施方式。另外，為了使附圖變得簡潔，周知的構(gòu)造及裝置用略圖進(jìn)行表不ο
[0038][第1實(shí)施方式]
[0039 ]對第1實(shí)施方式的透明電極的構(gòu)成、透明電極的制造方法及有機(jī)EL元件的構(gòu)成進(jìn)行說明。
[0040]<透明電極的構(gòu)成>
[0041]本實(shí)施方式的透明電極具有透明基材、金屬及/或合金的細(xì)線構(gòu)造部、和使用涂布法或印刷法形成的透明導(dǎo)電層。透明電極通常設(shè)置在透明基材上，自基材側(cè)依次制作細(xì)線構(gòu)造部、透明導(dǎo)電層，從而構(gòu)成。
[0042]本實(shí)施方式的透明電極在用于有機(jī)EL元件中時(shí)，從提高亮度的觀點(diǎn)出發(fā)，透明電極的導(dǎo)電性面的表面電阻率優(yōu)選為0.01 Ω /□以上且100 Ω /□以下、更優(yōu)選為0.1 Ω /□以上且10Ω/□以下。
[0043]本實(shí)施方式的透明電極例如可以用于LCD、場致發(fā)光元件、等離子體顯示器、電致彩色顯示器、太陽能電池、觸摸面板等的透明電極、電子紙以及電磁波屏蔽材料等中，由于導(dǎo)電性、透明性優(yōu)異，而且平滑性也高，因此優(yōu)選用于有機(jī)EL元件中。
[0044](透明基材)
[0045]本實(shí)施方式中，作為透明基材，例如可以使用塑料膜、塑料板、玻璃等。
[0046]作為塑料膜及塑料板的原料，例如可以使用聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯類，聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚苯乙烯、EVA等聚烯烴類，聚氯乙烯、聚偏氯乙烯等乙烯基系樹脂，聚醚醚酮(PEEK)、聚砜(PSF)、聚醚砜(PES)、聚碳酸酯(PC)、聚酰胺、聚酰亞胺、丙烯酸樹脂、三醋酸纖維素(TAC)等。
[0047]透明基材優(yōu)選表面平滑性優(yōu)異的基材。透明基材的表面平滑性優(yōu)選算術(shù)平均粗糙度(Ra)為5nm以下且最