透明電極、電子器件及有機(jī)電致發(fā)光元件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及透明電極、電子器件及有機(jī)電致發(fā)光元件，特別是設(shè)及兼?zhèn)鋵?dǎo)電性和 透光性的透明電極、進(jìn)而使用了該透明電極的電子器件及有機(jī)電致發(fā)光元件。
【背景技術(shù)】
[000引利用了有機(jī)材料的電致發(fā)光（electroluminescence下記為EL)的有機(jī)電致發(fā) 光元件（所謂有機(jī)化元件），為在數(shù)V~數(shù)十V左右的低電壓下可發(fā)光的薄膜型的完全固 體元件，具有高亮度、高發(fā)光效率、薄型、輕量該樣的許多的優(yōu)異特征。因此，作為各種顯示 器的背光、標(biāo)牌、應(yīng)急燈等的顯示板、照明光源等的面發(fā)光體近年來備受矚目。
[0003] 該樣的有機(jī)電致發(fā)光元件為在2片電極間夾持了使用有機(jī)材料而構(gòu)成了的發(fā)光 層的構(gòu)成，發(fā)光層中產(chǎn)生的發(fā)光透過電極而取出到外部。因此，2片電極中的至少一者W透 明電極的形式構(gòu)成。
[0004] 作為透明電極，一般使用氧化銅錫（Sn〇2-Iri2化;IndiumTin化ide;口0)等的氧化 物半導(dǎo)體系的材料，但也進(jìn)行了層疊IT0和銀來尋求低電阻化的研究（例如參照下述專利 文獻(xiàn)1、2)。但是，由于IT0使用稀有金屬的銅，因此材料成本高，另外為了降低電阻而需要 在成膜后在300°C左右進(jìn)行退火處理。因此，提案有將電導(dǎo)率高的銀等的金屬材料進(jìn)行了薄 膜化的構(gòu)成、通過在銀中混雜侶而W與銀單獨(dú)相比薄的膜厚來確保導(dǎo)電性的構(gòu)成（例如參 照下述專利文獻(xiàn)3)、進(jìn)而通過形成在由銀W外的金屬構(gòu)成的基底層上設(shè)有銀薄膜層的層疊 結(jié)構(gòu)來確保透光性的構(gòu)成（例如參照下述專利文獻(xiàn)4)。
[0005] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) [000引專利文獻(xiàn)
[0007] 專利文獻(xiàn)1 ;日本特開2002-15623號公報(bào)
[0008] 專利文獻(xiàn)2 ;日本特開2006-164961號公報(bào)
[0009] 專利文獻(xiàn)3 ;日本特開2009-151963號公報(bào)
[0010] 專利文獻(xiàn)4 ;日本特開2008-171637號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011] 發(fā)明要解決的課題
[0012] 但是，即使為使用電導(dǎo)率高的銀、侶而構(gòu)成了的透明電極，也難W謀求充分的導(dǎo)電 性和透光性的兩者成立。
[001引因此，本發(fā)明的目的在于：提供兼?zhèn)涑浞值膶?dǎo)電性和透光性的透明電極、及通過使 用該透明電極而謀求了性能的提高的電子器件及有機(jī)電致發(fā)光元件。
[0014] 用于解決課題的手段
[0015] 用于達(dá)到該樣的目的的本發(fā)明的透明電極，為如下的構(gòu)成。具有含氮層，所述含氮 層使用含有氮原子、且將該氮原子所具有的非共有電子對中與芳香族性無關(guān)且未與金屬配 位的非共有電子對數(shù)設(shè)為n、將分子量設(shè)為M的情況下的有效非共有電子對含有率[n/M]為 2.0X1(T3《 [n/M]的化合物而構(gòu)成。另外，具有電極層，所述電極層W銀（Ag)作為主要成 分、且含有侶（A1)、金（Au)、銅（In)、銅（化）、鈕（Pd)、銷（Pt)中的至少1種作為添加元素、 與所述含氮層鄰接而設(shè)置。
[0016] 另外，本發(fā)明的電子器件的特征在于，具有上述構(gòu)成的透明電極。電子器件例如為 有機(jī)電致發(fā)光元件。
[0017] 如上構(gòu)成了的透明電極，為相對于使用含有氮原子的化合物而構(gòu)成了的含氮層、 鄰接而設(shè)有W銀作為主要成分的電極層的構(gòu)成。由此W銀作為主要成分的電極層，通過與 構(gòu)成含氮層的氮原子的相互作用，在鄰接界面中的銀的擴(kuò)散距離減少而凝聚受到抑制。因 此，一般而言，通過核生長型（V〇lumer-Weber;VW型）的膜生長而容易孤立為島狀的銀薄 膜，通過單層生長型（化ank-vanderMerwe;FM型）的膜生長而成膜。因此，得到雖然為薄 的膜厚但均勻的膜厚的電極層。
[0018] 另外，作為構(gòu)成電極層的銀對于含氮層的鍵合穩(wěn)定性的指標(biāo)，應(yīng)用上述了的有效 非共有電子對含有率[n/M]，使用該值為2.0X1(T3《 [n/M]的化合物來構(gòu)成含氮層。由此， 可與電極層鄰接地設(shè)置可靠地得到如上所述的"抑制銀的凝聚"效果的含氮層。該如后面 的實(shí)施例中詳細(xì)地說明那樣，由在該樣的含氮層上形成雖然為6皿該樣的極薄膜但可測定 薄層電阻的電極層而得到確認(rèn)。
[0019] 而且，特別是W銀（Ag)作為主要成分的電極層中，含有作為對于銀的固溶元素的 侶（A1)、金（Au)、銅（In)、銅（化）、鈕（Pd)、銷（Pt)中的至少1種。由此，電極層由銀（Ag) 和該些添加元素的固溶體構(gòu)成，銀（Ag)的遷移受到抑制。
[0020] 因此，在該透明電極中，可靠地得到通過為薄的膜厚而確保透光性、同時(shí)通過為均 勻的膜厚而確保了導(dǎo)電性的電極層，且通過遷移的發(fā)生得到抑制，可維持該樣的透光性及 導(dǎo)電性。由此，可謀求使用了銀的透明電極中的導(dǎo)電性的提高和透光性的提高的兩者成立、 同時(shí)可靠性的提高。
[0021] 發(fā)明的效果
[0022] 如W上說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明，可謀求透明電極中的導(dǎo)電性的提高和透光性的 提高的兩者成立、同時(shí)可靠性的提高，另外，可謀求使用了該透明電極的電子器件及有機(jī)電 致發(fā)光元件的性能的提高。
【附圖說明】
[0023] 圖1為表示本發(fā)明的透明電極的構(gòu)成的剖面示意圖。
[0024] 圖2為表示用于說明氮原子的鍵合樣式的TBAC和Ir(ppy)3的結(jié)構(gòu)式的圖。
[00巧]圖3為表示化晚環(huán)的結(jié)構(gòu)式和分子軌道的圖。
[0026] 圖4為表示化咯環(huán)的結(jié)構(gòu)式和分子軌道的圖。
[0027] 圖5為表示咪挫環(huán)的結(jié)構(gòu)式和分子軌道的圖。
[0028] 圖6為表示5 -巧咐環(huán)的結(jié)構(gòu)式和分子軌道的圖。
[0029] 圖7為表示使用了本發(fā)明的透明電極的有機(jī)電致發(fā)光元件的第1例的剖面構(gòu)成 圖。
[0030] 圖8為表示使用了本發(fā)明的透明電極的有機(jī)電致發(fā)光元件的第2例的剖面構(gòu)成 圖。
[0031] 圖9為表示使用了本發(fā)明的透明電極的有機(jī)電致發(fā)光元件的第3例的剖面構(gòu)成 圖。
[0032] 圖10為表示使用了本發(fā)明的透明電極的有機(jī)電致發(fā)光元件的第4例的剖面構(gòu)成 圖。
[0033] 圖11為表示含氮層的有效非共有電子對含有率[n/M]和層疊于含氮層的電極層 的薄層電阻的關(guān)系的圖表。
[0034] 圖12為對實(shí)施例2中制作了的底部發(fā)光型的有機(jī)電致發(fā)光元件進(jìn)行說明的剖面 構(gòu)成圖。
【具體實(shí)施方式】
[0035] W下，基于附圖按照W下所示的順序?qū)Ρ景l(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。
[0036] 1.透明電極
[0037] 2.透明電極的用途
[003引3.有機(jī)電致發(fā)光元件的第1例（頂部發(fā)光型）
[0039] 4.有機(jī)電致發(fā)光元件的第2例（底部發(fā)光型）
[0040] 5.有機(jī)電致發(fā)光元件的第3例（兩面發(fā)光型）
[0041] 6.有機(jī)電致發(fā)光元件的第4例（倒置構(gòu)成）
[0042] 7.有機(jī)電致發(fā)光元件的用途 [004引 8.照明裝置I
[0044] 9.照明裝置II
[004引《1.透明電極》
[0046] 圖1為表示本發(fā)明的實(shí)施方式的透明電極的構(gòu)成的剖面示意圖。如該圖所示那 樣，透明電極1為層疊了含氮層la、和與其鄰接而設(shè)置的電極層化的2層結(jié)構(gòu)，例如在基 材11的上部依次設(shè)有含氮層la、電極層化。其中，構(gòu)成透明電極1中的電極部分的電極層 化為W銀（Ag)作為主要成分而構(gòu)成的層。另外，含氮層la的特征在于，使用含有氮原子 (腳的化合物而構(gòu)成，特別是將與構(gòu)成電極層lb的主材料即銀穩(wěn)定地鍵合的氮原子的非共 有電子對設(shè)為[有效非共有電子對]，使用該[有效非共有電子對]的含有率在規(guī)定范圍的 化合物。進(jìn)而，電極層化的特征在于，W銀（Ag)作為主要成分，且含有侶（A1)、金（Au)、銅 (In)、銅（化）、鈕（Pd)、銷（Pt)中的至少1種作為添加元素。
[0047] 在W下，W設(shè)有該樣的層疊結(jié)構(gòu)的透明電極1的基材11、構(gòu)成透明電極1的含氮層 la及電極層lb的順序說明詳細(xì)的構(gòu)成。予W說明，所謂本發(fā)明的透明電極1的透明，是指 在波長550皿下的透光率為50 %W上。
[0048] < 基材 11 >
[0049] 形成本發(fā)明的透明電極1的基材11，可W舉出例如玻璃、塑料等，但并不限定于該 些。另外，基材11可W為透明也可W為不透明。本發(fā)明的透明電極1在從基材11側(cè)取出 光的電子器件中使用的情況下，基材11優(yōu)選為透明的。作為可優(yōu)選使用的透明的基材11， 可W舉出玻璃、石英、透明樹脂膜。特別優(yōu)選的基材11為可對透明電極1及使用其而構(gòu)成 的有機(jī)電致發(fā)光元件等的電子器件賦予提性的樹脂膜。
[0050] 作為玻璃，例如可W舉出石英玻璃、鋼巧石英玻璃、鉛玻璃、棚娃酸鹽玻璃、無堿玻 璃等。從與含氮層la的密合性、耐久性、平滑性的觀點(diǎn)考慮，可W根據(jù)需要對該些玻璃材料 的表面實(shí)施研磨等的物理處理、或形成由無機(jī)物或有機(jī)物構(gòu)成的被膜、組合了該些被膜的 混合被膜。
[0051] 作為樹脂膜，例如可W舉出聚對苯二甲酸己二醇醋（PET)、聚蒙二甲酸己二醇醋 (陽腳等的聚醋、聚己締、聚丙締、賽踰汾、纖維素二己酸醋、纖維素S己酸醋（TAC)、纖維素 己酸醋了酸醋、纖維素己酸醋丙酸醋（CAP)、纖維素己酸醋鄰苯二甲酸醋、纖維素硝酸醋等 的纖維素醋類或它們的衍生物、聚偏氯己締、聚己締醇、聚己締己締醇、間規(guī)聚苯己締、聚碳 酸醋、降冰片締樹脂、聚甲基戊締、聚離酬、聚酷亞胺、聚離諷（PES)、聚苯硫離、聚諷類、聚離