專利名稱：一種ae電源冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及AE電源設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種用于AR鍍膜線上AE電源的干燥風(fēng)冷卻裝置。
背景技術(shù)：
美國AE電源因其高效率，高精密，大功率和高工藝制程的可控性，被廣泛運(yùn)用于現(xiàn)代工業(yè)鍍膜行業(yè)中，在AR鍍膜生產(chǎn)線中，常用到美國AE中頻電源，常用靶位有鈦祀，硅靶。在膜系設(shè)計(jì)中，二氧化鈦15nm，二氧化硅120nm常作為基本膜系。因?yàn)槎趸栊枰?20個(gè)納米左右要占用大量的靶位，在靶位不多的情況下，增大電源使用功率可以加大濺射效率，增大產(chǎn)能。但是在大功率狀態(tài)下工作電源需大量散熱，一旦電源溫度過高會造成跳靶，致使鍍膜箱體內(nèi)玻璃大批量報(bào)廢，工作狀態(tài)極不穩(wěn)定。一般IOKW的AE電源開7. 5KW可 以保證較長時(shí)間穩(wěn)定工作，但是在8KW以上的常會由于溫度過高造成跳靶，也是就靶電源利用率才75%。充分利用靶電源，加大電源使用功率，就能增大產(chǎn)量，降低生產(chǎn)成本。為了保證電源能長時(shí)間大功率工作，常用的方法是降低冷卻水溫度，但是冷卻水溫度過低的話電源內(nèi)部電路板上容易生產(chǎn)水珠，這樣電源在工作時(shí)容易損壞。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型是為了克服以上現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點(diǎn)而提出的，其所解決的技術(shù)問題是提供一種能夠輔助降低AE電源散熱的干燥風(fēng)冷冷卻裝置。為此，本實(shí)用新型提供了一種AE電源冷卻裝置，包括電源柜及電柜背門，其特征在于所述的電柜背門上設(shè)有輸氣孔，輸氣孔向外連接通氣管道，通氣管道連接干燥冷凝器，電柜背門上設(shè)有排風(fēng)機(jī)。干燥冷凝器能將空氣制冷后壓縮通過通氣管道和輸氣孔進(jìn)入電柜，對AE電源進(jìn)行低溫冷卻，排風(fēng)機(jī)再將電柜空氣抽排出，使電柜內(nèi)形成循環(huán)氣體，確保了氣體的干燥。作為對本實(shí)用新型AE電源冷卻裝置的進(jìn)一步改進(jìn)，所述電柜背門兩側(cè)各設(shè)有三個(gè)等距排列的輸氣孔。所述排風(fēng)機(jī)有三個(gè)，豎直設(shè)于電柜背門中間并間距相等。本實(shí)用新型的有益效果是通過在AE電源電柜背門上設(shè)有排風(fēng)機(jī)和干燥冷凝器，能夠帶走電源柜內(nèi)冷卻造成的水汽，在冷卻水溫較低的情況下也不易產(chǎn)生水珠，使AE電源散熱良好，保證了 AE電源在大功率工作狀態(tài)下穩(wěn)定工作。

圖I為本實(shí)用新型AE電源冷卻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-電源柜、2-電柜背門、3-輸氣孔、4-通氣管道、5-干燥冷凝器、6-排風(fēng)機(jī)。
具體實(shí)施方式
[0011]
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)ー步詳細(xì)的說明。如圖I所示，圖中只標(biāo)示出與本實(shí)用新型相關(guān)的主要部位，ー種AE電源冷卻裝置，包括電源柜I及電柜背門2，電柜背門2上設(shè)有輸氣孔3，輸氣孔3向外連接通氣管道4，通氣管道4連接干燥冷凝器5，電柜背門2上設(shè)有排風(fēng)機(jī)6。電柜背門2兩側(cè)各設(shè)有三個(gè)等距排列的輸氣孔3，排風(fēng)機(jī)6有三個(gè)，豎直設(shè)于電柜背門2中間并間距相等。本實(shí)用新型所述的AE電源冷卻裝置工作如下開啟排風(fēng)機(jī)6和干燥冷凝器5，在生產(chǎn)過程中AE電源在大功率工作下電路產(chǎn)生大量熱量溫度升高，干燥冷凝器5產(chǎn)生冷卻氣體并壓縮通過通氣管道4進(jìn)入電源柜1，冷卻氣體能將電源柜I內(nèi)空氣制冷，同時(shí)排風(fēng)機(jī)6將抽排電源柜I內(nèi)空氣，帶走冷卻造成的水汽， 降低了 AE電源的熱量而且使電源柜I內(nèi)空氣保持干燥，保證了 AE電源在大功率工作狀態(tài)下穩(wěn)定工作。通過改造后IOKW的美國AE電源我們可以開9. 5KW，并且能長時(shí)間穩(wěn)定工作，電源利用率為95%以上。這樣每個(gè)電源都能提高20%的利用率，這樣就能加快SI02膜的沉積，提高20%產(chǎn)量，從而大大降低了成本。
權(quán)利要求1.ー種AE電源冷卻裝置，包括電源柜及電柜背門，其特征在于所述的電柜背門上設(shè)有輸氣孔，輸氣孔向外連接通氣管道，通氣管道連接干燥冷凝器，電柜背門上設(shè)有排風(fēng)機(jī)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的AE電源冷卻裝置，其特征在于所述的電柜背門兩側(cè)各設(shè)有三個(gè)等距排列的輸氣孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的AE電源冷卻裝置，其特征在于所述的排風(fēng)機(jī)有三個(gè)，豎直設(shè)于電柜背門中間并間距相等。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種AE電源冷卻裝置，包括電源柜及電柜背門，其特征在于所述電柜背門上設(shè)有輸氣孔，輸氣孔向外連接通氣管道，通氣管道連接干燥冷凝器，電柜背門上設(shè)有排風(fēng)機(jī)。本實(shí)用新型通過在AE電源電柜背門上設(shè)有排風(fēng)機(jī)和干燥冷凝器，能夠帶走電源柜內(nèi)冷卻造成的水汽，在冷卻水溫較低的情況下也不易產(chǎn)生水珠，使AE電源散熱，保證了AE電源在大功率工作狀態(tài)下穩(wěn)定工作。
文檔編號H02B1/56GK202523987SQ20122008595
公開日2012年11月7日 申請日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月9日
發(fā)明者鄒定嵩, 陳旭明 申請人:東莞市潤華光電有限公司