的形式適當(dāng)調(diào)整樹(shù)脂膏 體的固體成分濃度和粘度等。還有，在調(diào)制樹(shù)脂膏體的時(shí)候或者在涂布或者印刷樹(shù)脂膏體 的時(shí)候，可以調(diào)配溶劑、表面活性劑、增稠劑等各種添加物。另外，取代消失材料或者與消失 材料一起，使用由具有對(duì)應(yīng)于所希望形狀·尺寸的中空部31a，31b的形狀并在燒成時(shí)能夠 進(jìn)行熱分解?揮發(fā)?消失的樹(shù)脂或者纖維等構(gòu)成的構(gòu)造體等，也能夠制作中空部31a，31b。
[0064] 此外，作為用于制造中空部31a，31b的其他方法，也可以預(yù)先施加高電壓，由放電 而在放電觸發(fā)部?jī)?nèi)形成中空部31a，31b。采用這樣的方法形成中空部31a，31b的情況下，如 圖2所示的那樣放電電極12, 13的前端部可以具有凹陷的構(gòu)造。
[0065] 在由導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料和絕緣性無(wú)機(jī)材料構(gòu)成的放電觸發(fā)部中，為了形成所述微小 空間，作為所述絕緣性無(wú)機(jī)材料是使用在燒成絕緣性層疊體的溫度下不會(huì)發(fā)生燒結(jié)的絕緣 性無(wú)機(jī)材料。所述絕緣性無(wú)機(jī)材料在燒成絕緣性層疊體的溫度下因?yàn)椴粫?huì)發(fā)生燒結(jié)，所以 在絕緣性無(wú)機(jī)材料的顆粒之間形成所述微小空間。另外，所述放電觸發(fā)部的絕緣性無(wú)機(jī)材 料因?yàn)椴粫?huì)發(fā)生燒成收縮，所以抑制了在燒成導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料的時(shí)候的凝集并且也能夠防 止短路不良。
[0066] 在由導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料和絕緣性無(wú)機(jī)材料構(gòu)成的放電觸發(fā)部中，導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料的 含有率優(yōu)選為20vol %以上90vol %以下。通過(guò)以含有玻璃質(zhì)的絕緣層覆蓋放電電極從而 就能夠增高包含于放電觸發(fā)部的導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料的含有率，其結(jié)果也就是提高了放電特 性。在具有上述結(jié)構(gòu)的靜電放電保護(hù)元件中，通過(guò)以高致密性的絕緣層覆蓋放電電極從而 就能夠抑制在元件制作時(shí)的燒成過(guò)程中的放電電極與放電觸發(fā)部的導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料彼此 的連接。這些結(jié)果說(shuō)明能夠增高放電觸發(fā)部中的導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料的含有率并且能夠使放電 特性提尚。
[0067] 作為構(gòu)成所述放電觸發(fā)部的導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料的具體例子例如可以列舉金屬、合 金、金屬碳化物、金屬硼化物等，但并不特別限定于這些。如果考慮導(dǎo)電性，則優(yōu)選C、Ni、Al、 Fe、Cu、Ti、Cr、Au、Ag、Pd以及Pt或者這些金屬的合金。
[0068] 作為構(gòu)成所述放電觸發(fā)部的絕緣性無(wú)機(jī)材料的具體例子，例如可以列舉金屬氧化 物和A1N等金屬氮化物等。但并不特別限定于這些。如果考慮絕緣性或成本方面，則優(yōu)選 為 A1203、SrO、CaO、BaO、Ti02、Si02、ZnO、ln 203、NiO、C〇0、Sn02、Bi203、Mg 2Si04、V205、CuO、MgO、 Zr02、Mg2Si04、A1N、BN以及SiC。這些化合物既可以單獨(dú)使用一種也可以合并使用兩種以 上。絕緣性無(wú)機(jī)材料既可以作為均一的膜來(lái)進(jìn)行形成也可以作為顆粒的聚集體來(lái)進(jìn)行形 成，其性狀沒(méi)有特別的限定。在這當(dāng)中尤其是從賦予高度絕緣性的觀(guān)點(diǎn)出發(fā)，更加優(yōu)選使用 A1203、Si02、Mg2Si04等。
[0069] 放電觸發(fā)部14的厚度并沒(méi)有特別的限定并且能夠做適當(dāng)設(shè)定。具體優(yōu)選為 10nm~60 μ m，更加優(yōu)選為100nm~50 μ m。這一情況下，放電觸發(fā)部14和第2絕緣層17, 18 各自的界面的最短距離用直線(xiàn)連接，與該直線(xiàn)垂直的方向的放電觸發(fā)部14的厚度作為放 電觸發(fā)部厚度。
[0070] 優(yōu)選地，放電觸發(fā)部14具有向第1絕緣性基板19以及第2絕緣性基板20突出的 形狀，并且以以下形狀進(jìn)行突出，即向所述絕緣性基板突出的各個(gè)最長(zhǎng)突出長(zhǎng)度在圖1的 截面圖中具有相對(duì)配置的一對(duì)放電電極的厚度的1/8以上的長(zhǎng)度。所謂向所述絕緣基板突 出的最長(zhǎng)突出長(zhǎng)度是在圖1的放電電極12-13之間的間隙距離AG的1/2的地方，將被相 對(duì)配置的各個(gè)放電電極與兩者的絕緣性基板的界面作為基點(diǎn)并以在垂直方向上進(jìn)行相交 的長(zhǎng)度，優(yōu)選設(shè)置包含以該長(zhǎng)度為相對(duì)配置的放電電極厚度的1/8以上的長(zhǎng)度進(jìn)行形成的 區(qū)域的形狀。通過(guò)具有1/8突出的形狀從而就能夠減少電極角部的電場(chǎng)強(qiáng)度偏差，其結(jié)果 進(jìn)一步改善了放電特性偏差。另外，作為突出部的形狀并沒(méi)有特別的限定，但是兩側(cè)突出部 的任一邊單側(cè)優(yōu)選以覆蓋電極角部的形式朝著絕緣性基板側(cè)保持楔形、半圓形、四邊形等 形狀。其結(jié)果改善了放電特性偏差。
[0071] 只要不脫離本發(fā)明的宗旨，各種各樣的變形都是可能的，本發(fā)明不限定于上述實(shí) 施方式。
[0072] 實(shí)施例
[0073] 以下是參照實(shí)施例以及比較例的概略圖即圖1~圖4來(lái)說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0074] 首先，確認(rèn)相對(duì)于絕緣層的有無(wú)以及由于包含于絕緣層的絕緣性無(wú)機(jī)材料種類(lèi)的 不同所引起的相對(duì)于放電的重復(fù)耐久性的影響。
[0075] (實(shí)施例1)
[0076] 首先，作為絕緣性層疊體而準(zhǔn)備對(duì)由主成分A1203和玻璃成分構(gòu)成的材料實(shí)施了 薄片化的坯料薄片，以厚度成為13 μπι的形式由絲網(wǎng)印刷將Ag膏體印刷于坯料薄片的一個(gè) 表面，從而形成帶狀的電極圖形。印刷后的電極寬度為〇.4_。于是，通過(guò)由YAG激光對(duì)帶 狀電極的中央部實(shí)施切削加工從而形成一對(duì)放電電極12、13。在這里的加工條件是以從被 相對(duì)配置的一方的放電電極12、13的下面到燒成后的第1絕緣性基板19的加工深度確保 最低距離為10 μπι的形式進(jìn)行形成的，放電電極12、13之間的間隙距離AG為20 μπι。
[0077] 接著，在上述第1絕緣性基板19上以及在放電電極12、13上以以下所述順序形成 第1絕緣層15、16以及第2絕緣層17、18。首先，將以A1203、Si02、SrO為主成分的鋁硅酸 鹽玻璃用于絕緣性無(wú)機(jī)材料?；鞜捵鳛槟z粘劑的乙基纖維素類(lèi)樹(shù)脂和作為溶劑的松油醇， 從而調(diào)制出固體成分濃度為8wt %的涂漆。接著，在將涂漆添加到上述玻璃之后通過(guò)混煉從 而調(diào)制絕緣性無(wú)機(jī)材料膏體。接著，以覆蓋第1絕緣性基板19的絕緣性表面上以及放電電 極12、13的表面的一部分的形式另外以第2絕緣層17、18的燒成后的厚度成為15 μπι的形 式由絲網(wǎng)印刷來(lái)涂布所獲得的膏體狀的混合物。于是，通過(guò)以第1絕緣層的厚度從放電電 極表面起成為2 μπι的形式由YAG激光對(duì)電極間隙中央部實(shí)施切削加工，從而形成絕緣層。
[0078] 接著，將丙烯酸樹(shù)脂混合于丁基卡必醇，以成為圖2所表示的位置的形式制作中 空部31a，31b制作用的固體成分濃度為40質(zhì)量％的中空部形成用的膏體狀混合物。接著， 以以下順序?qū)⒎烹娪|發(fā)部14形成于上述第1絕緣性基板19上以及第2絕緣層17、18上。 首先，作為絕緣性無(wú)機(jī)材料以成為80vol %的形式秤取平均粒徑為1 μ m的A1203 (住友化學(xué) 株式會(huì)社制，商品號(hào)：AM-27)，作為導(dǎo)電性無(wú)機(jī)材料而以成為20vol %的形式秤取平均粒徑 為1 μ m的Ag顆粒（三井金屬礦業(yè)株式會(huì)社制，商品號(hào)：SPQ05S)，混合它們從而獲得混合 物。與此分別地，混煉作為膠粘劑的乙基纖維素類(lèi)樹(shù)脂和作為溶劑的松油醇從而調(diào)制出固 體成分濃度為8質(zhì)量％的涂漆。接著，在將涂漆添加到上述那樣制得的混合物中之后，通過(guò) 混煉從而調(diào)制出放電觸發(fā)部膏體。
[0079] 接著，以埋入到第1絕緣層15、16的間隙之間的形式由絲網(wǎng)印刷來(lái)涂布所獲得的 膏體狀混合物，從而形成混合物層（放電觸發(fā)部14的前驅(qū)體）。再有，在將坯料薄片層疊于 混合物層上之后通過(guò)實(shí)行熱壓從而制作出層疊體。之后，將所獲得的層疊體切斷成規(guī)定大 小，并實(shí)行單片化。此后，在200°C下對(duì)被單片化的層疊體實(shí)施一個(gè)小時(shí)的熱處理（脫膠粘 劑處理），之后，以每分鐘l〇°C進(jìn)行升溫，在大氣中以950°C保持30分鐘，從而獲得燒成體， 還有，燒成后的一對(duì)放電電極12、13之間的間隙距離Δ G成為20 μ m，厚度成為10 μ m，絕緣 層15、16的厚度從放電電極表面起成為1 μ m，絕緣層17、18的厚度從放電電極表面起成為 15 μ m〇
[0080] 之后，通過(guò)以連接于放電電極12、13的外周端部的形式形成以Ag為主成分的端子 電極，從而獲得實(shí)施例1的靜電放電保護(hù)元件100。
[0081] (實(shí)施例2)
[0082] 除了以燒成后的第2絕緣層17、18的厚度成為5 μπι的形式由絲網(wǎng)印刷條件來(lái)調(diào) 整之外，其余均以與實(shí)施例1相同地進(jìn)行操作來(lái)獲得實(shí)施例2的靜電放電保護(hù)元件。
[0083] (實(shí)施例3)
[0084] 除了以燒成后的第2絕緣層17、18的厚度成為34 μ m的形式由絲網(wǎng)印刷條件來(lái)調(diào) 整