電極被配置于同一平面的絕緣層疊體 內(nèi)的情況等。
[0050] 第1絕緣層15、16優(yōu)選存在于一對放電電極兩者的表面。
[0051] 第1絕緣層15、16的自放電電極12、13表面起的厚度優(yōu)選為0.01 μ m以上10 μ m 以下。這一情況下，第1絕緣性基板19和放電電極12、13各自的界面的最短距離用直線連 結(jié)，與該直線平行地測定第1絕緣層15、16的厚度，其平均值作為第1絕緣層的厚度Δ0。 由此，重復(fù)使用時的耐久性就會有所提高。
[0052] 第2絕緣層17、18的自放電電極12、13表面起的厚度（第2絕緣層的厚度）ΔΖ 優(yōu)選為3 μπι以上35 μπι以下。這一情況下，第2絕緣層17、18和放電電極12、13各自的界 面的最短距離用直線連結(jié)，與該直線垂直的方向的第2絕緣層17、18的厚度作為第2絕緣 層厚度A Ζ。由此，重復(fù)使用時的耐久性就會有所提高。
[0053] 第1絕緣層15、16以及第2絕緣層17、18的形成方法沒有特別的限定，能夠適用 公知的薄膜形成方法。從再現(xiàn)性良好地簡便獲得高性能的放電觸發(fā)部14的觀點出發(fā)，優(yōu)選 在將含有成為上述絕緣層的絕緣性無機材料的混合物涂布于放電電極表面之后進行燒成 的方法。以下是就優(yōu)選的第1絕緣層15、16以及第2絕緣層17、18的形成方法進行說明。
[0054] 關(guān)于該方法，調(diào)制至少含有上述絕緣性無機材料的混合物，該混合物以覆蓋放電 電極12、13表面的形式由涂布和印刷等方法被形成于放電電極12、13以及其間隙之間。之 后，以絕緣層成為所希望的厚度的形式用激光照射來除去被形成于間隙部的絕緣層形成用 混合物。由此，獲得覆蓋電極部的絕緣層，并獲得用于形成放電觸發(fā)部的空間。再者，例如 還可以使用離子銑削、蝕刻以及激光加工、切片（dicing)等公知手法來得到用于形成放電 觸發(fā)部的空間。在調(diào)制混合物的時候或者在涂布或印刷混合物的時候，可以調(diào)配溶劑和膠 粘劑等各種添加劑。另外，在燒成時的處理條件沒有特別的限定，但是如果考慮了生產(chǎn)性以 及經(jīng)濟性，則優(yōu)選在大氣氣氛下以500~1200°C加熱10分鐘~5小時。
[0055] 在本實施方式中，放電觸發(fā)部14是由絕緣性無機材料和導電性無機材料已分散 了的混合物所構(gòu)成。再有，放電觸發(fā)部具有微小空間不連續(xù)地散布的構(gòu)造，而且具備擁有至 少一個以上的中空部31a，31b的中空構(gòu)造。圖2是概略性地表示將本實施方式的靜電放電 保護元件100以形成于第1絕緣性基板上的放電電極12、13和第2絕緣層17、18的界面切 斷的示意截面圖。在此，放電電極12、13是以其前端部露出于這些中空部31a，31b內(nèi)的形 式被配置的。放電觸發(fā)部14為微小空間、所述絕緣性無機材料和導電性無機材料已分散了 的混合物，在放電觸發(fā)部內(nèi)具有中空構(gòu)造，并且具有微小空間不連續(xù)地散布的構(gòu)造。
[0056] 微小空間將多孔性賦予放電觸發(fā)部14,由此，吸收由放電而產(chǎn)生的熱或應(yīng)力并緩 和由于電極12、13以及其周邊的熔融和變形等而造成的破壞。在此，在本說明書中微小空 間是指其大小為〇. 1~5 μπι的空間。另外，在本說明書中所謂微小空間的大小是指，從任 意截面觀察放電觸發(fā)部14時，縱橫比為1~5的球狀的空間的中值粒徑（D50)，至于其他形 狀是指長軸以及短軸的算術(shù)平均值，并且設(shè)為任意選擇的50個點的平均值。微小空間的大 小或相對于放電觸發(fā)部14的微小空間的體積比例能夠?qū)?yīng)于所希望的靜電吸收特性和相 對于重復(fù)放電的耐久性以及電極12、13之間的短路防止特性來進行適當設(shè)定，雖然沒有特 別的限定但是微小空間的大小優(yōu)選為0. 1~2 μπι，另外，相對于放電觸發(fā)部14的微小空間 的含有比率（體積比例）優(yōu)選為1~40vol %，更加優(yōu)選為5~20vol %。
[0057] 放電觸發(fā)部14的中空部的個數(shù)沒有特別的限定。在本實施方式中是采用了具有 兩個中空部31a，31b的中空構(gòu)造，但是對于中空部的個數(shù)來說沒有具體限制，即使是只有 一個或者是多個都沒有關(guān)系。因為隨著中空部的個數(shù)增加而相對于一個中空部的放電發(fā)生 頻率降低，所以重復(fù)使用的耐久性會更進一步被提高。還有，在設(shè)置多個中空部的情況下， 各個中空部的形狀?大小既可以是相同也可以是不相同。
[0058] 另外，關(guān)于中空部31a，31b的形狀也沒有特別的限定。例如可以采用球狀、橢圓球 狀以及不定形狀等任意形狀。特別是中空部31a，31b優(yōu)選為沿著連結(jié)電極12、13之間的方 向進行延伸的形狀。通過這樣形成中空部31a，31b，從而在電極12、13之間所產(chǎn)生的放電在 中空部沿面進行放電，所以放電觸發(fā)部的劣化現(xiàn)象變少，并且耐久性提高，并且抑制了峰值 電壓或放電開始電壓的偏差。
[0059] 另外，關(guān)于中空部31a，31b的大小也沒有特別的限定，但是從抑制由于放電而引 起的破壞并提高耐久性的觀點出發(fā)，優(yōu)選地，圖2所示的連結(jié)電極12、13之間的方向上的中 空部31a，31b長度ΔΜ，至少為表示電極12、13之間的間隙距離AG的0.5倍~小于表示放 電觸發(fā)部14的長度的Δ L(相當于圖1的Δ L)。還有，所謂連結(jié)電極12、13之間的方向上的 中空部31a，31b的長度是指連結(jié)電極12、13之間的方向上的中空部31a，31b的最大長度。 具體而言，從第2絕緣性基板的外側(cè)以使中空部31a，31b露出的方式慢慢研磨，在電子顯微 鏡等下，測量中空部31a，31b的最大長度。所謂放電觸發(fā)部14的長度是指連結(jié)電極12、13 之間的方向上的放電觸發(fā)部14的最大長度。例如，在制作間隙距離AG為10~20μπι左 右的靜電放電保護元件100的情況下，連結(jié)電極12、13之間的方向上的中空部31a，31b的 長度為5~10 μ m左右并且小于放電觸發(fā)部14的長度。圖3是概略性地表示本實施方式 的靜電放電保護元件100的內(nèi)部構(gòu)造的立體示意圖。正如圖2以及圖3所示，通過連結(jié)電 極12、13之間的方向上的中空部31a，31b的長度設(shè)定為電極12、13之間的間隙距離AG的 1.0倍以上，而做成電極12、13的前端部露出于中空部31a，31b內(nèi)的配置，從而就能夠抑制 由于在電極12、13之間所產(chǎn)生的放電而引起的對放電觸發(fā)部的破壞。另外，放電觸發(fā)部的 劣化現(xiàn)象變少且耐久性提高，并進一步抑制了峰值電壓或放電開始電壓的偏差。
[0060] 以下，對優(yōu)選的放電觸發(fā)部14的形成方法進行說明。首先，調(diào)制含有絕緣性無機 材料和導電性無機材料的混合物，由涂布或者印刷等方法將該混合物形成于電極12、13的 間隙之間。然后，以所希望的形狀進一步實行涂布或者印刷等來將用于制作中空部31a，31b 的中空部形成用的膏體狀混合物形成于被賦予電極12、13的間隙之間的混合物上的規(guī)定 位置。之后，對應(yīng)于必要也可以用涂布或者印刷等方法來進一步將所述混合物形成于放電 觸發(fā)部形成用膏體層上的規(guī)定位置。之后，通過實施燒成處理從而使消失材料熱分解?揮 發(fā)等直至使之消失。通過就這樣在燒成時除去消失材料，從而獲得在所希望的位置上具有 所希望形狀的中空部31a，31b的放電觸發(fā)部14。在此，在燒成時的處理條件并沒有特別的 限定。如果考慮了生產(chǎn)性以及經(jīng)濟性，則優(yōu)選在大氣氣氛下以500~1200°C加熱10分鐘~ 5小時。
[0061] 還有，作為在上述方法中所使用的消失材料，只要是在燒成時能夠進行熱分解?揮 發(fā)等并會消失得材料，就沒有特別的限定，能夠適當選擇使用公知的材料。作為像這樣的消 失材料的具體例子例如可以列舉樹脂顆?；蛉軇┡c樹脂的混合物即樹脂膏體，但并不特別 限于這些。作為代表性的樹脂顆粒例如可以列舉丙烯酸類樹脂等在熱分解性方面表現(xiàn)優(yōu)異 的樹脂粒子。還有，樹脂顆粒的形狀沒有特別的限定，可以為例如錘狀、柱狀、縱橫比為1~ 5的球狀、縱橫比超過5的橢圓球狀、不定形狀等任意一種。另外，作為代表性的樹脂膏體例 如可以列舉在燒成時能夠進行熱分解?揮發(fā)?消失的樹脂，例如可以列舉將丙烯酸樹脂、乙 基纖維素、聚丙烯等混合于公知的溶劑中的混合物。
[0062] 還有，在本說明書中，所謂樹脂顆粒的粒徑，在球狀物是指中值粒徑（D50)，至于其 他形狀是指長軸以及短軸的算術(shù)平均值。
[0063] 在調(diào)制混合物的時候可以調(diào)配溶劑、膠粘劑等各種添加物。另外，在涂布或者印 刷混合物的時候也可以調(diào)配溶劑、膠粘劑等各種添加物。在使用樹脂膏體來制作中空部 31a，31b的情況下，能夠以獲得所希望形狀·尺寸的中空部31a，31b