工藝流程建立的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種工藝流程建立的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體芯片的制造是按照工藝流程的設(shè)定一步一步的執(zhí)行，在執(zhí)行完某一工藝步驟之后，才能執(zhí)行下一步驟。一條完整的工藝流程的工藝步驟通常會(huì)大于800個(gè)。新的產(chǎn)品下貨之前，必須將整條工藝流程一步一步的建立完成，之后才能用于生產(chǎn)。采用這樣的方法建立新工藝流程就比較復(fù)雜，需要更多的時(shí)間，較易出現(xiàn)錯(cuò)誤。
[0003]由于一條工藝流程中往往具有相同的工藝步驟，例如相同的薄膜沉積步驟，相同的刻蝕步驟，相同的研磨步驟等等。在對(duì)工藝流程中的某一工藝步驟進(jìn)行修改時(shí)，例如對(duì)薄膜沉積步驟進(jìn)行工藝參數(shù)的修改，就需要對(duì)一條工藝流程中所有相同的薄膜沉積步驟一一修改，一方面較為繁瑣、耗時(shí)耗力，另外一方面容易出錯(cuò)，可操作性不強(qiáng)。
[0004]若對(duì)新的技術(shù)進(jìn)行工藝流程的建立，新技術(shù)中工藝流程的一些工藝步驟很多也與現(xiàn)有的工藝流程中的一些工藝步驟相同，然而現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)新工藝的工藝流程建立時(shí)，也是需要將所有的工藝步驟一一建立起，比較耗時(shí)耗力，易出錯(cuò)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種工藝流程建立的方法，能夠快速簡(jiǎn)單的建立起工藝流程，避免工藝流程建立出現(xiàn)差錯(cuò)。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提出了一種工藝流程建立的方法，包括步驟:
[0007]建立流程模塊，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中；
[0008]對(duì)流程模塊進(jìn)行調(diào)用，建立工藝流程。
[0009]進(jìn)一步的，所述方法還包括對(duì)流程模塊進(jìn)行分類，將流程模塊分為成熟模塊和非成熟模塊。
[0010]進(jìn)一步的，所述成熟模塊能直接調(diào)用，所述非成熟模塊需按照工藝步驟分步處理。
[0011]進(jìn)一步的，所述非成熟模塊經(jīng)實(shí)驗(yàn)論證后可轉(zhuǎn)化為成熟模塊。
[0012]進(jìn)一步的，所述流程模塊采用預(yù)定的命名規(guī)則。
[0013]進(jìn)一步的，所述命名規(guī)則為特征尺寸+技術(shù)名稱+工藝步驟+器件功能。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果主要體現(xiàn)在:將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中，在對(duì)工藝流程建立時(shí)，相同的工藝步驟便可通過(guò)調(diào)用某一流程模塊即可，無(wú)需按照工藝步驟一一形成，若對(duì)某一工藝步驟進(jìn)行修改時(shí)，只需對(duì)相應(yīng)的工藝模塊進(jìn)行修改即可完成對(duì)所有相同的工藝步驟的修改，從而能夠快速簡(jiǎn)單的建立起工藝流程，避免工藝流程建立出現(xiàn)差錯(cuò)。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1為本發(fā)明一實(shí)施例中工藝流程建立的方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面將結(jié)合示意圖對(duì)本發(fā)明的工藝流程建立的方法進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明，而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0017]為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本發(fā)明由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開(kāi)發(fā)中，必須做出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開(kāi)發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開(kāi)發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)僅僅是常規(guī)工作。
[0018]在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本發(fā)明。根據(jù)下面說(shuō)明和權(quán)利要求書，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說(shuō)明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0019]請(qǐng)參考圖1，在本實(shí)施例中，提出了、一種工藝流程建立的方法，包括步驟:
[0020]SlOO:建立流程模塊，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中；
[0021]S200:對(duì)流程模塊進(jìn)行調(diào)用，建立工藝流程。
[0022]在本實(shí)施例中，可以按照不同的技術(shù)名稱(TECH)把相同的制程和功能的工藝步驟劃分為同一流程模塊中，以多晶硅(Poly)工藝步驟為例，根據(jù)生產(chǎn)線上形成Poly的種類不同，可以得到Poly模塊l、Poly模塊2、Poly模塊3等等，在后續(xù)工藝需要形成Poly時(shí)，針對(duì)不同的技術(shù)名稱和特征尺寸調(diào)用不同的Poly模塊即可，其余工藝步驟的調(diào)用和Poly模塊的用法一致。
[0023]在本實(shí)施例中，所述方法還包括對(duì)流程模塊進(jìn)行分類，將流程模塊分為成熟模塊和非成熟模塊。其中，所述成熟模塊是在眾多工藝流程中已經(jīng)被廣泛應(yīng)用且得到驗(yàn)證的模塊，而非成熟模塊是可以用來(lái)調(diào)試實(shí)驗(yàn)、處于調(diào)試階段或者全新工藝流程的模塊。即，所述成熟模塊能直接調(diào)用，所述非成熟模塊需按照工藝步驟分步處理，對(duì)工藝步驟進(jìn)行調(diào)試等處理，所述非成熟模塊經(jīng)實(shí)驗(yàn)論證后可轉(zhuǎn)化為成熟模塊。
[0024]在本實(shí)施例中，所述流程模塊采用預(yù)定的命名規(guī)則，所述命名規(guī)則為特征尺寸+技術(shù)名稱+工藝步驟+器件功能(Size+Tech+Layer+Funct1n)。這樣便于系統(tǒng)針對(duì)不同的特征尺寸、技術(shù)名稱、工藝步驟以及器件功能來(lái)自動(dòng)的調(diào)用相應(yīng)的流程模塊。
[0025]例如，在新建一個(gè)工藝流程時(shí)，根據(jù)不同的工藝步驟調(diào)用不同的流程模塊，相同的工藝步驟則調(diào)用同一個(gè)流程模塊，無(wú)需一步一步按照工藝步驟來(lái)建立工藝流程；在對(duì)某一工藝流程中的某一工藝步驟進(jìn)行修改時(shí)，現(xiàn)有技術(shù)中通常需要修改所有相同的工藝步驟，而本發(fā)明中只需修改該工藝步驟所屬的流程模塊即可完成對(duì)所有相同的工藝步驟的修改。
[0026]綜上，在本發(fā)明實(shí)施例提供的工藝流程建立的方法中，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中，在對(duì)工藝流程建立時(shí)，相同的工藝步驟便可通過(guò)調(diào)用某一流程模塊即可，無(wú)需按照工藝步驟一一形成，若對(duì)某一工藝步驟進(jìn)行修改時(shí)，只需對(duì)相應(yīng)的工藝模塊進(jìn)行修改即可完成對(duì)所有相同的工藝步驟的修改，從而能夠快速簡(jiǎn)單的建立起工藝流程，避免工藝流程建立出現(xiàn)差錯(cuò)。
[0027]上述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本發(fā)明起到任何限制作用。任何所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本發(fā)明揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種工藝流程建立的方法，包括步驟: 建立流程模塊，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中； 對(duì)流程模塊進(jìn)行調(diào)用，建立工藝流程。
2.如權(quán)利要求1所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述方法還包括對(duì)流程模塊進(jìn)行分類，將流程模塊分為成熟模塊和非成熟模塊。
3.如權(quán)利要求2所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述成熟模塊能直接調(diào)用，所述非成熟模塊需按照工藝步驟分步處理。
4.如權(quán)利要求3所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述非成熟模塊經(jīng)實(shí)驗(yàn)論證后可轉(zhuǎn)化為成熟模塊。
5.如權(quán)利要求1所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述流程模塊采用預(yù)定的命名規(guī)則。
6.如權(quán)利要求5所述的工藝流程建立的方法，其特征在于，所述命名規(guī)則為特征尺寸+技術(shù)名稱+工藝步驟+器件功能。
【專利摘要】本發(fā)明提出了一種工藝流程建立的方法，將具有相同制程和功能的工藝步驟劃分至同一流程模塊中，在對(duì)工藝流程建立時(shí)，相同的工藝步驟便可通過(guò)調(diào)用某一流程模塊即可，無(wú)需按照工藝步驟一一形成，若對(duì)某一工藝步驟進(jìn)行修改時(shí)，只需對(duì)相應(yīng)的工藝模塊進(jìn)行修改即可完成對(duì)所有相同的工藝步驟的修改，從而能夠快速簡(jiǎn)單的建立起工藝流程，避免工藝流程建立出現(xiàn)差錯(cuò)。
【IPC分類】H01L21-00
【公開(kāi)號(hào)】CN104752150
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310739300
【發(fā)明人】卞邦芬, 許亮
【申請(qǐng)人】中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
【公開(kāi)日】2015年7月1日
【申請(qǐng)日】2013年12月27日