專利名稱：花籃式氣浮硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種花籃式氣浮硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)，特別涉及一種花籃內(nèi)層疊硅片單個(gè)分離機(jī)構(gòu)，配套用于硅片絲印機(jī)及硅片測試分選機(jī)的硅片分離系統(tǒng)中。
背景技術(shù)：
在硅片自動(dòng)化生產(chǎn)過程中，將花籃內(nèi)成組疊放在一起的硅片逐片取出并傳送是一個(gè)重要工序，如何將層疊靜電吸附在一起的硅片快速無損分離是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化高效作業(yè)的基礎(chǔ)。目前，硅片的分離過程主要是由手工完成，供料速度低，同時(shí)由于手夾持硅片用力的大小不同，導(dǎo)致碎片率過高，從而直接影響生產(chǎn)效率及產(chǎn)能。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供了一種花籃式氣浮硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)，解決了硅片的分離過程主要是由手工完成，硅片分離速度低，同時(shí)由于手夾持硅片用力的大小不同，導(dǎo)致碎片率過高的問題。本發(fā)明是通過以下方案解決以上問題的花籃式氣浮硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)，包括PLC和花籃導(dǎo)軌，在花籃導(dǎo)軌上活動(dòng)設(shè)置有花籃，花籃包括花籃底座、四組柔性導(dǎo)向同步帶部件、活動(dòng)底板及降料配重板，花籃下方設(shè)置有硅片升降機(jī)構(gòu)，在花籃上方設(shè)置有負(fù)壓吸取硅片機(jī)構(gòu)，在花籃的兩側(cè)分別設(shè)置有氣浮硅片自動(dòng)分離部件，氣浮硅片自動(dòng)分離部件包括立柱架體、倒T字形連接架、T字形連接架和門字形平躺架，倒T字形連接架沿上下方向垂直設(shè)置在立柱架體的頂端，在T字形連接架的立柱上設(shè)置有豎向長條孔，第一固定螺釘通過豎向長條孔將T字形連接架沿上下方向垂直固定在倒T字形連接架的上面，通過調(diào)節(jié)第一固定螺釘在豎向長條孔的位置實(shí)現(xiàn)T字形連接架的升起和降下，在T字形連接架的橫梁上沿水平前后方向分別設(shè)置有門字形平躺架體的兩個(gè)水平豎梁導(dǎo)軌，在豎梁導(dǎo)軌上設(shè)置有水平方向的橫向長條孔，通過調(diào)節(jié)第二固定螺釘在橫向長條孔中的位置，實(shí)現(xiàn)門字形平躺架在水平方向上的前后移動(dòng)，在門字形平躺架的橫梁通氣軸上活動(dòng)設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的氣浮塊，在橫梁通氣軸的端部設(shè)置有進(jìn)氣孔。在所述的倒T字形連接架上設(shè)置有光纖傳感器安裝座。本發(fā)明有效解決了現(xiàn)有手動(dòng)分離硅片供料的速度慢、高碎片率的問題，實(shí)現(xiàn)高效自動(dòng)化作業(yè)，又能降低生產(chǎn)成本，同時(shí)保證運(yùn)行持續(xù)、穩(wěn)定、可靠。

圖1是本發(fā)明的總體結(jié)構(gòu)示意圖圖2是本發(fā)明的氣浮硅片自動(dòng)分離部件4的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
花籃式氣浮硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)，包括PLC和花籃導(dǎo)軌1，在花籃導(dǎo)軌1上活動(dòng)設(shè)置有花籃2，花籃2下方設(shè)置有硅片升降機(jī)構(gòu)3，在花籃2上方設(shè)置有負(fù)壓吸取硅片機(jī)構(gòu)5，在花籃2的兩側(cè)分別設(shè)置有氣浮硅片自動(dòng)分離部件4，氣浮硅片自動(dòng)分離部件4包括立柱架體6、倒T字形連接架7、T字形連接架8和門字形平躺架9，倒T字形連接架7沿上下方向垂直設(shè)置在立柱架體6的頂端，在T字形連接架8的立柱上設(shè)置有豎向長條孔10，第一固定螺釘11通過豎向長條孔10將T字形連接架8沿上下方向垂直固定在倒T字形連接架7 的上面，通過調(diào)節(jié)第一固定螺釘11在豎向長條孔10的位置實(shí)現(xiàn)T字形連接架8的升起和降下，在T字形連接架8的橫梁上沿水平前后方向分別設(shè)置有門字形平躺架體9的兩個(gè)水平豎梁導(dǎo)軌13，在豎梁導(dǎo)軌13上設(shè)置有水平方向的橫向長條孔，通過調(diào)節(jié)第二固定螺釘14 在橫向長條孔中的位置，實(shí)現(xiàn)門字形平躺架9在水平方向上的前后移動(dòng)，在門字形平躺架9 的橫梁通氣軸15上活動(dòng)設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的氣浮塊16，在橫梁通氣軸15的端部設(shè)置有進(jìn)氣孔 17。在所述的倒T字形連接架7上設(shè)置有光纖傳感器安裝座12。工作時(shí)，花籃組件運(yùn)至氣浮硅片分離工位，花籃底座被固定，層疊的硅片位于花籃組件內(nèi)部的降料配重板之上，且由四條柔性導(dǎo)向同步帶部件為硅片組做升降運(yùn)動(dòng)時(shí)導(dǎo)向， 齒輪齒條升降機(jī)構(gòu)中的升降頂塊在伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)的齒輪齒條傳動(dòng)下，推動(dòng)花籃組件的活動(dòng)底座上升也即推動(dòng)層疊硅片組上升到單一硅片分離高度位置，與此同時(shí)負(fù)壓吸料機(jī)構(gòu)中的負(fù)壓升降汽缸將負(fù)壓吸嘴降至靠近硅片組頂層硅片的吸硅片位置，氣浮動(dòng)硅片開始，負(fù)壓吸料機(jī)構(gòu)中的負(fù)壓發(fā)生器打開，四個(gè)吸嘴等待氣流將硅片托起，以便吸取，同時(shí)氣浮硅片自動(dòng)分離部件4的氣刀閥啟動(dòng)，兩組對稱吹氣塊開始以固定頻率對處于頂部的硅片進(jìn)行強(qiáng)氣流沖擊浮起分離，與此同時(shí)，升降硅片機(jī)構(gòu)中的升降頂塊下降，帶動(dòng)分離下來的硅片組脫離硅片分離區(qū)，負(fù)壓吸取硅片機(jī)構(gòu)的氣嘴將經(jīng)氣流托起的硅片吸住后，在其上直線電機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，將硅片送入過渡傳送機(jī)構(gòu)上。一個(gè)工作周期結(jié)束。升降硅片機(jī)構(gòu)中的升降頂塊繼續(xù)上升，開始進(jìn)行下一個(gè)工作周期。
權(quán)利要求1.一種花籃式氣浮硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)，包括PLC和花籃導(dǎo)軌(1)，在花籃導(dǎo)軌(1)上活動(dòng)設(shè)置有花籃(2)，花籃(2)包括花籃底座、四組柔性導(dǎo)向同步帶部件、活動(dòng)底板及降料配重板，花籃(2)下方設(shè)置有硅片升降機(jī)構(gòu)(3)，在花籃(2)上方設(shè)置有負(fù)壓吸取硅片機(jī)構(gòu) (5)，其特征在于，在花籃(2)的兩側(cè)分別設(shè)置有氣浮硅片自動(dòng)分離部件(4)，氣浮硅片自動(dòng)分離部件(4)包括立柱架體(6)、倒T字形連接架(7)、T字形連接架(8)和門字形平躺架 (9)，倒T字形連接架(7)沿上下方向垂直設(shè)置在立柱架體(6)的頂端，在T字形連接架(8) 的立柱上設(shè)置有豎向長條孔(10 )，第一固定螺釘(11)通過豎向長條孔(10 )將T字形連接架 (8)沿上下方向垂直固定在倒T字形連接架(7)的上面，通過調(diào)節(jié)第一固定螺釘(11)在豎向長條孔(10)的位置實(shí)現(xiàn)T字形連接架(8)的升起和降下，在T字形連接架(8)的橫梁上沿水平前后方向分別設(shè)置有門字形平躺架體(9)的兩個(gè)水平豎梁導(dǎo)軌(13)，在豎梁導(dǎo)軌(13) 上設(shè)置有水平方向的橫向長條孔，通過調(diào)節(jié)第二固定螺釘(14)在橫向長條孔中的位置，實(shí)現(xiàn)門字形平躺架(9)在水平方向上的前后移動(dòng)，在門字形平躺架(9)的橫梁通氣軸(15)上活動(dòng)設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的氣浮塊(16)，在橫梁通氣軸(15)的端部設(shè)置有進(jìn)氣孔(17)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種花籃式氣浮硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)，其特征在于，在所述的倒T字形連接架(7)上設(shè)置有光纖傳感器安裝座(12)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種花籃式氣浮硅片自動(dòng)分離機(jī)構(gòu)，解決了硅片分離速度低和傳送硅片時(shí)碎片率高的問題。包括PLC、花籃導(dǎo)軌(1)和花籃(2)，在花籃(2)的兩側(cè)分別設(shè)置有氣浮硅片自動(dòng)分離部件(4)，它包括立柱架體(6)、倒T字形連接架(7)、T字形連接架(8)和門字形平躺架(9)，T字形連接架(8)可升降；在T字形連接架(8)的橫梁上沿水平前后方向分別設(shè)置有門字形平躺架體(9)的兩個(gè)水平豎梁導(dǎo)軌(13)，在豎梁導(dǎo)軌(13)上設(shè)置有水平方向的橫向長條孔實(shí)現(xiàn)門字形平躺架(9)在水平方向上的前后移動(dòng)，在門字形平躺架(9)的橫梁通氣軸(15)上活動(dòng)設(shè)置有可轉(zhuǎn)動(dòng)的氣浮塊(16)，實(shí)現(xiàn)硅片傳送的高效自動(dòng)化作業(yè)。
文檔編號H01L21/00GK202167466SQ201120273879
公開日2012年3月14日 申請日期2011年7月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月30日
發(fā)明者任劍, 張素枝, 朱躍紅, 李向東, 李強(qiáng), 趙建軍, 鄭海紅, 魏海濱 申請人:太原風(fēng)華信息裝備股份有限公司