專利名稱：供氣單元和供氣裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及使多種氣體切換流通的供氣單元。
背景技術(shù)：
以往，用于半導(dǎo)體制造工序等中的供氣單元如專利文獻(xiàn)1中所述。參照附圖11至 14對(duì)專利文獻(xiàn)1所述的供氣單元進(jìn)行說明。圖11是供氣單元的平面圖，圖12是圖11中 12-12線的截面圖，圖13是圖11中13-13線的截面圖。在上述專利文獻(xiàn)1所示的供氣單元311中，在載氣輸入端口 321s和載氣輸出端 口 321e之間形成有1條載氣流路321，各閥塊320A 320D形成有連通處理氣體輸入端口 322s和載氣流路321的處理氣體流路322。各閥塊320A 320D中，通過開閉閥350在塊體335內(nèi)對(duì)處理氣體流路322和載 氣流路321執(zhí)行通斷操作。塊體335的內(nèi)部形成有倒“V”字型的塊狀流路331，與閥室324 連通的處理氣體流路322通過閥孔325與流路331連通。在基塊340中形成有“V”字型的 塊狀流路332并且各塊狀流路332之間設(shè)置有間隔，閥塊320A 320D的各塊狀流路331 與基塊340的塊狀流路332進(jìn)行直列式而構(gòu)成1條載氣流路321。專利文獻(xiàn)1 國際公開第2004/036099號(hào)
發(fā)明內(nèi)容
但是，專利文獻(xiàn)1中，在與設(shè)有開閉閥350的側(cè)面部335a垂直的側(cè)面部335c設(shè) 有處理氣體輸入端口 322s，因此，需要在閥塊320A 320D的側(cè)面確保配設(shè)處理氣體端口 322s所需的空間。在此，可以考慮將處理氣體流路322延伸至與上述側(cè)面部335a平行的側(cè) 面部335b后使其開口，但是，這種情況下會(huì)出現(xiàn)載氣流路321和處理氣體流路322A(用雙 點(diǎn)劃線表示)發(fā)生干擾的問題。因此，很難縮小閥塊320A 320D的寬度(圖13中左右方 向的長度)或者并行排列供氣單元311使其高度集成化。此外，專利文獻(xiàn)1中，各閥塊320A 320D的塊狀流路331與基塊340的塊狀流路 332分別形成“V”字型并連接。但是，以這種“V”字型加工形成較長的細(xì)流路并不容易。本發(fā)明是鑒于以上問題而提出的，主要目的在于提供能夠縮小設(shè)有多個(gè)開閉閥的 塊的寬度且易于制造的供氣單元。為了解決上述問題，采用以下方式。本發(fā)明第1方面提供一種供氣單元，其包括內(nèi)部設(shè)有流路的流路塊，所述流路包 括主流路和多個(gè)分別與所述主流路連通的副流路，對(duì)每一所述副流路設(shè)有開閉閥，所述開 閉閥阻斷和連通所對(duì)應(yīng)的所述副流路和所述主流路，其特征在于，所述流路塊形成為呈長 條狀延伸的長方體形狀，包括閥搭載面和副流路開口面并且所述閥搭載面和所述副流路開 口面是位于相反兩側(cè)的面，所述閥搭載面搭載有所述開閉閥，所述副流路的開口設(shè)置于所 述副流路開口面，所述開閉閥沿所述閥搭載面的長度方向進(jìn)行直列式排列，所述開閉閥的 各閥室設(shè)于所述閥搭載面，所述副流路連通所述閥室的大致中央部分并向背離所述閥搭載面的方向延伸，所述副流路在所述副流路開口面形成開口，所述主流路連接相鄰的所述開 閉閥的所述閥室并包括側(cè)面流路，所述側(cè)面流路設(shè)于所述流路塊中從寬度方向夾持所述閥 搭載面的兩側(cè)面的至少一個(gè)側(cè)面，所述側(cè)面流路由沿著所述閥搭載面的長度方向延伸的槽 部和覆蓋所述槽部的槽開口的蓋部件構(gòu)成。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，副流路在所述流路塊的與所述閥搭載面相反一側(cè)的副流路開口面 形成開口，因此，無需在從寬度方向夾持搭載有開閉閥(閥室)的閥搭載面的兩側(cè)面設(shè)置處 理氣體的輸入端口。因此，能夠縮小設(shè)有多個(gè)開閉閥的流路塊的寬度。此外，在所述流路塊中，主流路包括設(shè)于從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面 中的至少一個(gè)側(cè)面并且沿所述閥搭載面的長度方向延伸的側(cè)面流路，因此，能夠縮短主流 路中除側(cè)面流路以外的部分的長度。這里，側(cè)面流路由沿所述閥搭載面的長度方向延伸的 槽部和覆蓋所述槽部的槽開口的蓋部件構(gòu)成，因此，即使側(cè)面流路為細(xì)長的流路也易于形 成。因此，流路塊中易于形成主流路，進(jìn)而易于制造供氣單元。此外，能將流路塊內(nèi)部至流 路塊側(cè)面(表面)的部分用作側(cè)面流路，因此能在流路塊內(nèi)有效地配置流路。從而能夠縮 小設(shè)有多個(gè)開閉閥的流路塊的寬度。本發(fā)明第2方面在于，在本發(fā)明第1方面中，在所述流路塊中，所述側(cè)面流路沿所 述閥搭載面的長度方向交替地設(shè)于從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面 和另一個(gè)側(cè)面上，因此，能夠避免關(guān)于閥搭載面的長度方向相鄰的側(cè)面流路之間的干擾。因 此，能夠延長主流路中易于形成的側(cè)面流路的長度，并能夠進(jìn)一步縮短除側(cè)面流路以外的 部分的長度。本發(fā)明第3方面在于，在本發(fā)明第2方面中，在所述流路塊中，設(shè)于從寬度方向夾 持所述閥搭載面的兩側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面和另一個(gè)側(cè)面并且關(guān)于所述閥搭載面的長度方向 相鄰的所述側(cè)面流路具有在所述閥搭載面的長度方向上在設(shè)有所述閥室的位置處相互重 疊的部分，因此，能夠通過沿閥搭載面的寬度方向延伸的流路并經(jīng)由閥室連接這些重疊部 分。從而能夠縮短連接側(cè)面流路和閥室的流路的長度，即，主流路中除側(cè)面流路以外的部分 的長度。本發(fā)明第4方面在于，在本發(fā)明第1方面中，所述側(cè)面流路只設(shè)于所述流路塊中從 寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面，所以形成側(cè)面流路時(shí)無需將流路塊翻 過來加工。從而能夠提高制造供氣單元的操作性和加工性。本發(fā)明第5方面在于，在本發(fā)明第1至第4任一方面中，所述主流路在夾持所述副 流路和所述閥室的連通部的位置處分別與同一個(gè)所述閥室連接，因此，閥室內(nèi)流通的載氣 (吹掃氣體)易于通過副流路和閥室的連通部。即，從上游側(cè)的主流路流入閥室的載氣易于 通過副流路和閥室的連通部向下游側(cè)的主流路進(jìn)行直線式流通。因此，易于通過載氣運(yùn)送 從副流路向閥室流通的處理氣體，并且，當(dāng)處理氣體被阻斷時(shí)，能夠通過吹掃氣體快速排出 閥室內(nèi)的處理氣體。如上所述，根據(jù)本發(fā)明的供氣單元，無需在從寬度方向夾持設(shè)有開閉閥(閥室)的 閥搭載面的兩側(cè)面設(shè)置處理氣體的輸入端口，所以，如本發(fā)明第6方面那樣，具備多個(gè)由本 發(fā)明第1至第5任一方面所述的供氣單元，所述供氣單元并行排列使得從寬度方向夾持所 述閥搭載面的兩側(cè)面相互抵接，由此，能夠縮小各供氣單元的寬度，并能省略供氣單元之間 的間隙。其結(jié)果，能使供氣裝置實(shí)現(xiàn)高度集成化。
本發(fā)明第7方面在于，在本發(fā)明第1至第5任一方面中，在所述流路塊中，從寬度 方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面中設(shè)有所述側(cè)面流路的部分設(shè)置有加熱器，因此，能使側(cè) 面流路和加熱器靠近。因此，能夠有效地對(duì)流通于側(cè)面流路的氣體進(jìn)行加熱。本發(fā)明第8方面在于，具備多個(gè)由本發(fā)明第1至第5任一方面所述的供氣單元，所 述供氣單元并行排列使得從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面相互抵接，且加熱器被夾 持在所述相鄰的供氣單元的所述側(cè)面之間，因此，能夠通過1個(gè)加熱器對(duì)相鄰的兩個(gè)供氣 單元進(jìn)行加熱。此外，即使如本發(fā)明第2方面那樣，所述側(cè)面流路沿著所述閥搭載面的長度 方向交替地設(shè)于所述流路塊中從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面和另 一個(gè)側(cè)面上的情況下，由于對(duì)2個(gè)側(cè)面均設(shè)置加熱器，因此，也能夠有效地對(duì)流通于側(cè)面流 路的氣體加熱。
圖1是本發(fā)明第1實(shí)施方式的供氣單元的平面圖。圖2是圖1中2-2線的截面圖。圖3是圖1中3-3線的截面圖，僅圖示了流路塊。圖4是圖3中4-4線的截面圖，僅代表性圖示了其中一部分。圖5是本發(fā)明第2實(shí)施方式的供氣單元的平面圖。圖6是圖5中6-6線的截面圖。圖7是圖6中7-7線的截面圖，僅代表性地圖示了 1個(gè)流路塊。圖8是表示供氣單元的變形例的截面圖。圖9是表示流路塊的變形例的截面圖。圖10是表示流路塊的另一變形例的截面圖。圖11是現(xiàn)有的供氣單元的平面圖。圖12是圖11中12-12線的截面圖。圖13是圖11中13-13線的截面圖。附圖標(biāo)記說明11供氣單元20流路塊20a作為閥搭載面的頂面20c 側(cè)面21作為主流路的載氣流路22作為副流路的處理氣體流路24 閥室25側(cè)面流路50開閉閥
具體實(shí)施例方式(第一實(shí)施方式)以下，參照附圖對(duì)具體體現(xiàn)本發(fā)明的第1實(shí)施方式進(jìn)行說明。
如圖1所示，供氣裝置10包括多個(gè)相同結(jié)構(gòu)的供氣單元11。這些供氣單元11相 互固定，作為一個(gè)整體被一體化。供氣單元11包括形成為呈長條狀延伸的長方體形狀的流路塊20、及多個(gè)開閉閥 50(50A)。流路塊20的頂面20a(閥搭載面)搭載有開閉閥50。開閉閥50沿頂面20a的長 度方向進(jìn)行直列式排列。開閉閥50大致呈圓柱狀。流路塊20的頂面20a的寬度與開閉閥 50的呈圓形的頂面的直徑基本相等。此外，開閉閥50處于流路塊20的頂面20a的寬度范 圍之內(nèi)即可，并不限于大致圓柱狀的形狀，還可采用四方柱狀等任意的形狀。在流路塊20的頂面20a的寬度方向上(與長度方向垂直相交的方向)，多個(gè)供氣 單元11的側(cè)面20c相互抵接。即，多個(gè)供氣單元11并行排列使得在流路塊20中從寬度方 向夾持頂面20a的兩側(cè)面20c相互抵接。因此，在疊加供氣單元11的方向上，即，在流路塊 20的頂面20a的寬度方向上，各流路塊20之間沒有形成間隙。流路塊20的頂面20a的長度方向的一端部設(shè)有載氣(吹掃氣體)的輸出端口 29。 設(shè)于與該輸出端口 29相反一側(cè)的端部的開閉閥50A用于改變載氣的流通狀態(tài)，其他的開閉 閥50改變各處理氣體的流通狀態(tài)。下面，同時(shí)參照圖2、圖3，以1個(gè)供氣單元11的結(jié)構(gòu)為代表對(duì)其進(jìn)行說明。圖2 是圖1中2-2線的截面圖，圖3是圖1中3-3線的截面圖，圖中省略了閉閥50。流路塊20的內(nèi)部設(shè)有整體上沿流路塊20的長度方向(頂面20a的長度方向)延 伸的載氣流路21 (主流路)。載氣流路21的下游側(cè)的端部連接有載氣的輸出端口 29。在 流路塊20中，載氣流路21包括分別設(shè)于從寬度方向夾持頂面20a的兩側(cè)面20c的側(cè)面流 路25。側(cè)面流路25沿頂面20a的長度方向交替地設(shè)于該兩側(cè)面20中的一個(gè)側(cè)面20c和另 一側(cè)面20c上。S卩，在流路塊20中，側(cè)面流路25沿頂面20a的長度方向設(shè)置成鋸齒形。流路塊20的內(nèi)部設(shè)有多個(gè)分別與載氣流路21連通的處理氣體流路22(副流路)。 處理氣體流路22(22A)在流路塊20的底面20b (副流路開口面)形成開口。處理氣體流路 22在底面20b的寬度方向(圖3的左右方向)的中央形成開口。即，處理氣體流路22的開 口部在流路塊20的寬度方向上均等地設(shè)置。處理氣體流路22相對(duì)于頂面20a及底面20b 垂直地設(shè)置。在流路塊20的底面20b，對(duì)每一處理氣體流路22設(shè)有呈長條狀延伸的大致長方體 狀的連接部件40。連接部件40通過螺栓44固定于流路塊20。連接部件40的長度方向及 寬度方向分別與流路塊20的長度方向和寬度方向一致。連接部件40的寬度被設(shè)定為與流 路塊20的寬度相等。連接部件40設(shè)有從其底面貫通頂面的直線形的導(dǎo)入流路42 (42A)。導(dǎo)入流路42 設(shè)于連接部件40的長度方向的中央，并設(shè)于連接部件40的寬度方向的中央。并且，各導(dǎo)入 流路42與流路塊20的各處理氣體流路22連接。即，各導(dǎo)入流路42設(shè)于各處理氣體流路 22的延長線上。該導(dǎo)入流路42及處理氣體流路22的連接部通過密封墊密封。導(dǎo)入流路 42上游側(cè)的端部(連接部件40的底面)設(shè)有輸入端口 42s作為連接部件40的突出部。導(dǎo) 入流路42的輸入端口 42s與供應(yīng)處理氣體的配管連接。此外，與開閉閥50連接的導(dǎo)入流 路42A(實(shí)際為載氣流路)的輸入端口 42s連接有供應(yīng)載氣(吹掃氣體)的配管。在流路塊20中，上述側(cè)面流路25設(shè)于遠(yuǎn)離底面20b的位置處以避免與固定連接 部件40的螺栓44發(fā)生干擾。換言之，在流路塊20中側(cè)面流路25設(shè)于閥室24的附近。在
6流路塊20中所有的側(cè)面流路25設(shè)置在距底面20b (頂面20a)相等距離的位置上。在流路塊20的頂面20a，沿流路塊20的長度方向(頂面20a的長度方向)以預(yù)定 間隔設(shè)有上述開閉閥50的閥室24。并且，上述各處理氣體流路22與各閥室24連通。艮口， 對(duì)每一處理氣體流路22設(shè)置有開閉閥50。此外，相鄰的開閉閥50的閥室24通過上述載氣 流路21連接。因此，各處理氣體流路22通過各閥室24與載氣流路21連接。閥室24設(shè)于流路塊20的寬度方向(流路塊20的頂面20a的寬度方向)的中央。 閥室24形成為大致圓形的凹部。并且，與流路塊20的寬度方向的總長度大致一致地設(shè)置 閥室24，以縮小流路塊20的寬度。換言之，流路塊20的寬度被設(shè)為與閥室24的直徑大致 相等或稍大。閥室24的中央設(shè)有閥座24a，該閥座24a與開閉閥50的閥體51抵接或脫離。 閥座24a形成為大致圓環(huán)狀的突部。如上所述，側(cè)面流路25沿頂面20a的長度方向交替地設(shè)于流路塊20的兩側(cè)面20c 中的一個(gè)側(cè)面20c和另一側(cè)面20c上。因此，在上游側(cè)的載氣流路21和下游側(cè)的載氣流路 21連接同一閥室24的部分，能夠避免相鄰的側(cè)面流路25彼此發(fā)生干擾。換言之，在上游側(cè) 的側(cè)面流路25和下游側(cè)的側(cè)面流路25僅設(shè)于一個(gè)側(cè)面20c的情況下，為使這些側(cè)面流路 25彼此不產(chǎn)生干擾，需要縮短側(cè)面流路25的長度或使頂面20a到各側(cè)面流路25的距離不 同。閥室24的中央即由閥座24a包圍的部分連通有上述處理氣體流路22。處理氣體 流路22向背離流路塊20的頂面20a的方向延伸。處理氣體流路22形成為直線狀，且具有 圓形的截面。在各處理氣體流路22中，與各閥室24連接的連接部的附近比其他部分細(xì)，即， 與各閥室24連接的連接部的附近的流路截面積比其他部分的流路截面積小。因此，可通過 減小閥座24a的直徑來縮小流路塊20的寬度。開閉閥50是電磁驅(qū)動(dòng)式閥，通過對(duì)線圈52進(jìn)行通電控制來往復(fù)驅(qū)動(dòng)閥體51。并 且，通過使閥體51抵接和脫離設(shè)于閥室24的閥座24a，可以阻斷和連通上述處理氣體流路 22和閥室24。此外，開閉閥50不限于電磁驅(qū)動(dòng)式閥，還可采用氣動(dòng)式閥或壓電元件驅(qū)動(dòng)式 閥等任意形式的閥。下面，參照圖3、圖4對(duì)載氣流路21的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。圖4是圖3中4-4線的 截面圖，僅代表性地對(duì)其中一部分進(jìn)行了圖示。載氣流路21由上述側(cè)面流路25和連接流路27構(gòu)成。與側(cè)面流路25相比，連接 流路27非常短。如上所述，在流路塊20中，側(cè)面流路25分別設(shè)于從寬度方向夾持頂面20a的兩側(cè) 面20c、即垂直于頂面20a的側(cè)面20c。側(cè)面流路25由沿著流路塊20的長度方向延伸的槽 部25a和覆蓋槽部25a的槽開口的蓋部件25構(gòu)成。槽部25a是通過切削側(cè)面20c的表面 而形成的，其具有預(yù)定的寬度及深度。蓋部件25b沿槽部25a延伸，通過焊接等方式固定于 流路塊20以使側(cè)面流路25中流通的氣體不會(huì)發(fā)生泄漏。蓋部件25b的表面與流路塊20 的側(cè)面20c的表面一致。因此，兩側(cè)面20c整體上形成為平面。因此，在并行排列多個(gè)流路 塊20使得側(cè)面20c相互抵接的情況下，能夠防止這些流路塊20之間形成間隙。對(duì)槽部25a進(jìn)行設(shè)置使其不干擾處理氣體流路22，并且，閥室24與槽部25a關(guān)于 流路塊20的寬度方向形成有重疊部分。并且，對(duì)槽部25a進(jìn)行設(shè)置使得閥室24和槽部25a 關(guān)于流路塊20的長度方向(頂面20a的長度方向)形成有重疊部分。并且，設(shè)于流路塊20
7的兩側(cè)面20c中的一個(gè)側(cè)面20c和另一側(cè)面20c并且關(guān)于流路塊20的長度方向相鄰的側(cè)面 流路25在流路塊20的長度方向上在設(shè)有閥室24的位置處具有彼此重疊的重疊部分25d。 因此，能夠通過沿流路塊20的寬度方向(頂面20a的寬度方向)延伸的連接流路27并經(jīng) 由閥室24將2個(gè)重疊部分25d連接。具體地，槽部25a和閥室24通過垂直于頂面20a的 連接流路27相互連接。連接流路27具有大致圓形的截面，且被形成為具有一定的直徑。與同一閥室24連接的2個(gè)連接流路27、即上游側(cè)的載氣流路21及下游側(cè)的載氣 流路21分別在夾持處理氣體流路22和閥室24的連通部的位置處與閥室24連接。換言之， 上游側(cè)的連接流路27和閥室24的連通部、處理氣體流路22和閥室24的連通部、及下游側(cè) 的連接流路27和閥室24的連通部排列在直線上。因此，從處理氣體流路22向閥室24流 通的處理氣體易于通過載氣進(jìn)行輸送，該載氣從上游側(cè)的連接流路27流到閥室24并從閥 室24向下游側(cè)的連接流路27流出。此外，在處理氣體被開閉閥50隔斷的情況下，從上游 側(cè)的連接流路27向閥室24流通的載氣在閥座24a的周圍流通并從閥室24向下游側(cè)的連 接流路27流出。因此，能夠防止處理殘留于氣體閥室24內(nèi)。在上述結(jié)構(gòu)的供氣單元11中，多個(gè)處理氣體流路22中的處理氣體流路22A被用 作載氣(吹掃氣體)的流路，該處理氣體流路22A設(shè)于供氣單元11的長度方向上與載氣的 輸出端口 29相反一側(cè)的端部。并且，通過該處理氣體流路22A所對(duì)應(yīng)的開閉閥50A使載氣 阻斷和流通。對(duì)其他處理氣體流路22供給各處理氣體，并通過各自對(duì)應(yīng)的開閉閥50使各 處理氣體阻斷和連通。此外，通過并行排列的供氣單元11構(gòu)成供氣裝置10，對(duì)載氣及處理 氣體的流通狀態(tài)進(jìn)行整體控制。此外，還可以構(gòu)成為在載氣流路21中不流通載氣，而將其 作為處理氣體及吹掃氣體的流路。以上詳述的本實(shí)施方式具有以下優(yōu)點(diǎn)。在流路塊20中，處理氣體流路22在與頂面20a相反一側(cè)的底面20b形成開口，其 中，頂面20a搭載有開閉閥50 (閥室24)。因此，無需在垂直于頂面20a的側(cè)面20c設(shè)置處 理氣體的輸入端口。因此，能夠縮小設(shè)有多個(gè)開閉閥50的流路塊20的寬度。此外，在流路塊20中，載氣流路21包括側(cè)面流路25，側(cè)面流路25設(shè)于從寬度方向 夾持頂面20a的兩側(cè)面20c的至少一個(gè)側(cè)面并且沿流路塊20的長度方向(頂面20a的長 度方向)延伸。因此，能夠縮短載氣流路21中除側(cè)面流路25以外的部分即連接流路27的 長度。這里，側(cè)面流路25由沿流路塊20的長度方向延伸的槽部25a和覆蓋槽部25a的開 口的蓋部件25b構(gòu)成，因此，即使側(cè)面流路25a是細(xì)長的流路也易于形成。因此，易于在流 路塊20中形成載氣流路21，進(jìn)而能夠易于制造供氣單元11。并且，能將流路塊20的內(nèi)部 至流路塊的側(cè)面20c (表面)的部分用作側(cè)面流路25，所以能夠在流路塊20內(nèi)有效地設(shè)置 流路。其結(jié)果，能夠縮小流路塊20的寬度。在流路塊20中，側(cè)面流路25沿流路塊20的長度方向交替地設(shè)于從寬度方向夾持 頂面20a的兩側(cè)面20c中的一個(gè)側(cè)面20c和另一側(cè)面20c上，因此能夠防止關(guān)于流路塊20 的長度方向相鄰的側(cè)面流路25之間相互干擾。從而，能夠?qū)⑤d氣流路21中容易形成的部 分即側(cè)面流路25設(shè)定為較長的的長度，并將側(cè)面流路25以外的部分即連接流路27設(shè)定為 較短的長度。關(guān)于流路塊20的長度方向相鄰的側(cè)面流路25具有在流路塊20的長度方向上設(shè) 有閥室24的位置處彼此疊合的重疊部分25d，因此能夠通過沿流路塊20的寬度方向(頂面20a的寬度方向)延伸的流路并經(jīng)由閥室24連接這些重疊部分25d。因此，能夠縮短連接 側(cè)面流路25和閥室24的連接流路27的長度，即，載氣流路21中除側(cè)面流路25以外部分 的長度。上游側(cè)及下游側(cè)的載氣流路21在夾持處理氣體流路22和閥室24的連通部的位 置處分別與同一閥室24相連接，因此，閥室24內(nèi)流通的載氣容易經(jīng)過處理氣體流路22和 閥室24的連通部。即，從上游側(cè)的載氣流路21流入閥室24的載氣易于經(jīng)由處理氣體流路 22和閥室24的連通部向下游側(cè)的載氣流路21進(jìn)行直線式流通。因此，易于通過載氣輸送 從處理氣體流路22流入閥室24的處理氣體，并且，在處理氣體被阻隔時(shí)，能夠迅速排出閥 室24內(nèi)的處理氣體。本實(shí)施方式的供氣單元11中，無需在與搭載有開閉閥50(閥室24)的頂面20a垂 直的側(cè)面20c設(shè)置處理氣體的輸入端口。此外，供氣裝置10包括多個(gè)供氣單元11，且供氣 單元U并行排列使得從寬度方向夾持頂面20a的兩側(cè)面20c相互抵接。因此，能夠縮小各 供氣單元11的寬度，并能夠省略供氣單元U之間的間隙。其結(jié)果，能夠使供氣裝置10實(shí) 現(xiàn)高度集成化。(第二實(shí)施方式)以下，參照附圖對(duì)具體體現(xiàn)本發(fā)明的第2實(shí)施方式進(jìn)行說明，其中主要說明其與 第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)。第2實(shí)施方式中，如圖5所示，只在流路塊120的兩側(cè)面120c中 的一個(gè)側(cè)面120c設(shè)有側(cè)面流路125，這一點(diǎn)與第1實(shí)施方式不同。此外，對(duì)與第1實(shí)施方式 相同的部件使用相同的符號(hào)標(biāo)記，并省略其說明。供氣單元111包括形成為呈長條狀延伸的長方體形狀的流路塊120、多個(gè)輔助流 路塊60、及多個(gè)開閉閥50(50A)。各開閉閥50通過各輔助流路塊60搭載于流路塊120的 頂面。輔助流路塊60及開閉閥50沿流路塊120的頂面的長度方向(流路塊120的長度方 向)進(jìn)行直列式排列。輔助流路塊60形成為呈長條狀延伸的大致長方體形狀。輔助流路塊60固定于流 路塊120的頂面。輔助流路塊60的長度方向及寬度方向分別與流路塊120的長度方向及 寬度方向一致。輔助流路塊60的寬度被設(shè)定為與流路塊120的寬度相等。上述開閉閥50 分別搭載于各輔助流路塊60的頂面120a (閥搭載面)。在流路塊120及輔助流路塊60被 看做流路塊整體時(shí)，各輔助流路塊60的各頂面120a可被看做流路塊整體的頂面(閥搭載 面)。流路塊整體的長度方向及寬度方向分別與流路塊120的長度方向和寬度方向一致。下面，同時(shí)參照圖6，以1個(gè)供氣單元111的結(jié)構(gòu)為代表對(duì)其進(jìn)行說明。此外，圖6 是圖5中6-6線的截面圖。流路塊120的內(nèi)部設(shè)有整體上在流路塊120的長度方向上延伸的載氣流路 121(主流路)。載氣流路121下游側(cè)的端部連接有載氣的輸出端口 29。在流路塊120中， 載氣流路121包括側(cè)面流路125，僅在從寬度方向夾持頂面的兩側(cè)面120c、S卩、與流路塊120 的頂面(輔助流路塊60的頂面120a)垂直的兩側(cè)面120c中的一個(gè)側(cè)面120c設(shè)有上述側(cè) 面流路125。側(cè)面流路125沿流路塊120的長度方向延伸。流路塊120及輔助流路塊60的內(nèi)部分別設(shè)有與載氣流路121連通的處理氣體流 路22及輔助處理氣體流路62 (副流路)。處理氣體流路22及輔助處理氣體流路62進(jìn)行直 列式連接，其連接部通過密封墊密封。處理氣體流路22的基本結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施方式的處理氣體流路22相同，因此這里省略說明。輔助處理氣體流路62從輔助流路塊60的底面朝向 頂面呈直線狀延伸。輔助處理氣體流路62設(shè)于輔助流路塊60的長度方向的中央位置，且 設(shè)于輔助流路塊60的寬度方向的中央位置。各輔助處理氣體流路62設(shè)于各處理氣體流路 22的延長線上。輔助流路塊60的頂面120a設(shè)有上述開閉閥的閥室124。閥室124的基本結(jié)構(gòu)與 第1實(shí)施方式的閥室24相同，因此這里省略其說明。并且，上述各輔助處理氣體流路62連 通各閥室124。即，對(duì)每一輔助處理氣體流路62 (處理氣體流路22)設(shè)有開閉閥50。處理氣 體流路22通過輔助處理氣體流路62連接閥室124。此外，相鄰的開閉閥50的閥室124通 過上述載氣流路121相互連接。因此，各處理氣體流路22及輔助處理氣體流路62通過各 閥室124連接載氣流路121。開閉閥50通過閥體51隔斷和連通輔助處理氣體流路62 (處 理氣體流路22)和閥室124。如上所述，載氣流路121包括只設(shè)于流路塊120的兩側(cè)面120c中的一個(gè)側(cè)面120c 的側(cè)面流路125。側(cè)面流路125沿流路塊120的長度方向延伸。這里，在上游側(cè)的側(cè)面流路 125和下游側(cè)的側(cè)面流路125與同一閥室124連接的部分中，將上述側(cè)面流路125彼此隔開 設(shè)置以避免這些側(cè)面流路125相互干擾。并且，這些側(cè)面流路125通過設(shè)于流路塊120內(nèi) 部的連接流路127a、127b以及設(shè)于輔助流路塊60內(nèi)部的輔助連接流路67連接開閉閥50 的閥室124。輔助連接流路67沿著流路塊120的長度方向并相對(duì)于輔助流路塊60的底面 斜向進(jìn)行直線式延伸。即使在此情況下，由于載氣流路121包括沿流路塊120的長度方向 延伸的側(cè)面流路125，因此也能夠防止輔助連接流路67的長度增加。連接流路127b和輔助 連接流路67的連接部通過密封墊密封。連接同一閥室124的2個(gè)輔助連接流路67、即上游側(cè)的載氣流路121及下游側(cè)的 載氣流路121分別在夾持輔助處理氣體流路62和閥室124的連通部的位置與閥室124連 接。因此，從輔助處理氣體流路62向閥室124流通的處理氣體易于通過載氣進(jìn)行輸送，其 中，該載氣從上游側(cè)的輔助連接流路67流入閥室124并從閥室124向下游側(cè)的輔助連接流 路67流出。此外，在處理氣體被開閉閥50隔斷時(shí)，能夠防止處理氣體殘留于閥室124內(nèi)。下面，同時(shí)參照圖7對(duì)側(cè)面流路125及連接流路127a、127b的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。 圖7是圖6中7-7線的截面圖，以1個(gè)流路塊120為代表進(jìn)行說明。上述載氣流路121由側(cè)面流路125、連接流路127a、127b、及輔助連接流路67構(gòu) 成。連接流路127a、127b及輔助連接流路67的長度小于側(cè)面流路125的長度。除了下述兩點(diǎn)之外，側(cè)面流路125的結(jié)構(gòu)與第1實(shí)施方式的側(cè)面流路25基本相 同，即側(cè)面流路125只設(shè)于流路塊120的兩側(cè)面120c中的一個(gè)側(cè)面120c ；側(cè)面流路125 比第1實(shí)施方式的側(cè)面流路25短。側(cè)面流路125由沿流路塊120的長度方向延伸的槽部 125a、和覆蓋槽部125a的槽開口的板狀蓋部件125b構(gòu)成。在流路塊120的長度方向上，在側(cè)面流路125的端部連通有向流路塊120的寬度 方向延伸的連接流路127a。連接流路127a從其與側(cè)面流路125 (槽部125a)之間的連通部 直線式地延伸到流路塊120的寬度方向的中央。因此，可在形成側(cè)面流路125的槽部125a 之后從側(cè)面120c的方向通過鉆孔器等形成連接流路127a。在流路塊120的寬度方向的中央，連接流路127a的端部與上述連接流路127b的 端部連通。該連接流路127b從其與在流路塊120的寬度方向上延伸的連接流路127a之間的連通部向輔助流路塊60的方向進(jìn)行直線式延伸并于流路塊120的頂面形成開口。因此， 可從流路塊120的上面的方向通過鉆孔器等形成連接流路127b。連接流路127b設(shè)置為垂 直于輔助流路塊60的頂面120a (流路塊120的底面120b)。并且，連接流路127b與設(shè)于輔 助流路塊60的上述輔助連接流路67連接。即使在上述結(jié)構(gòu)的供氣單元111中，也能像第1實(shí)施方式的供氣單元11同樣地對(duì) 載氣及處理氣體的流通狀態(tài)進(jìn)行控制。以上詳述的本實(shí)施方式具有以下優(yōu)點(diǎn)。下面，只對(duì)其不同于第1實(shí)施方式的優(yōu)點(diǎn) 進(jìn)行說明。側(cè)面流路125只設(shè)于流路塊120的兩側(cè)面120c中的一個(gè)側(cè)面120c，因此，在形成 側(cè)面流路125時(shí)無需將流路塊120翻過來加工。因此，能夠提高制造供氣單元111的操作 性和加工性。本發(fā)明不限于上述實(shí)施方式，例如還可如下實(shí)施。載氣流路121的上游側(cè)及下游側(cè)的端部也可以在流路塊120的長度方向的端面形 成開口。這種情況下，使處理氣體從處理氣體流路22A流入，開閉閥50A隔斷或連通處理氣 體。此外，在供氣單元11(111)之外另行設(shè)置用于改變載氣的流通狀態(tài)的開閉閥即可。第1實(shí)施方式的供氣單元11中，沿流路塊20的長度方向交替地設(shè)于與搭載有開 閉閥50的頂面20a垂直的2個(gè)側(cè)面20c上的側(cè)面流路25，也可以不包括在流路塊20的長 度方向上在設(shè)有閥室24的位置處相互疊合的重疊部分25d。如圖8所示，即使是這種結(jié)構(gòu)， 通過在流路塊20的寬度方向上適當(dāng)?shù)匮娱L連接流路227，也能夠連接側(cè)面流路25和閥室 24。也可以如圖9所示，在側(cè)面流路25只設(shè)于流路塊20的兩側(cè)面20c中的一個(gè)側(cè)面 20c的結(jié)構(gòu)中，通過連接流路227連接側(cè)面流路25和閥室24而無需通過輔助流路塊60。通過閥室24 (124)連接的載氣流路21 (121)在夾持處理氣體流路22 (輔助處理氣 體流路62)和閥室24(124)的連接部的位置處與閥室24(124)連接，但本發(fā)明并不限于這 種配置。也可采用載氣流路21 (121)只在1個(gè)位置與各閥室24(124)連通的結(jié)構(gòu)。如圖10所示，也可以采用在與流路塊20的頂面20a垂直的側(cè)面20c中設(shè)有側(cè)面流 路25的部分設(shè)置加熱器70的結(jié)構(gòu)。這里，加熱器70設(shè)于2個(gè)側(cè)面20c的幾乎整個(gè)面上。 根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，側(cè)面流路25和加熱器70靠近，因此能夠有效地加熱流通于側(cè)面流路25的 氣體。此外，也可以對(duì)應(yīng)于側(cè)面流路25，在2個(gè)側(cè)面20c上沿著流路塊20的長度方向交替 地設(shè)置加熱器70，其中，側(cè)面流路25沿著流路塊20的長度方向交替地設(shè)于流路塊20的2 個(gè)側(cè)面20c上。在第2實(shí)施方式的流路塊120中，由于側(cè)面流路125只設(shè)于一個(gè)側(cè)面120c， 所以，也可以將加熱器只設(shè)于該設(shè)有側(cè)面流路125的一個(gè)側(cè)面120c。此外，如圖10所示，可 以通過將加熱器70形成為沿流路塊20的長度方向延伸的薄片狀或薄膜狀，防止供氣單元 11的寬度增大。還可以并行設(shè)置多個(gè)供氣單元11 (111)使得流路塊20(120)的兩側(cè)面20c (120c) 相互抵接，且設(shè)置加熱器使其被夾持在相鄰的供氣單元11(111)的側(cè)面20c(120c)之間。 根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，可以通過1個(gè)加熱器來加熱相鄰的兩個(gè)供氣單元11 (111)。并且，即使如第 1實(shí)施方式的供氣單元11那樣，側(cè)面流路25沿流路塊20的長度方向交替地設(shè)于2個(gè)側(cè)面 20c上，由于對(duì)2個(gè)側(cè)面20c設(shè)置加熱器，因而也能夠有效地加熱流通于側(cè)面流路25的氣
11體。即，即使是側(cè)面流路25設(shè)于流路塊20的兩側(cè)面20c的結(jié)構(gòu)，也能通過與側(cè)面流路25 只設(shè)于一個(gè)側(cè)面20c的結(jié)構(gòu)相同數(shù)量的加熱器來加熱流通于側(cè)面流路25的氣體。
圖1、圖5中，還可以通過連接多個(gè)供氣單元11 (111)的輸出端口 29來組合多個(gè)供 氣單元11(111)從而對(duì)氣體的種類和流量進(jìn)行控制。
權(quán)利要求
供氣單元，包括內(nèi)部設(shè)有流路的流路塊，所述流路包括主流路和多個(gè)分別與所述主流路連通的副流路，對(duì)每一所述副流路設(shè)有開閉閥，所述開閉閥阻斷和連通所對(duì)應(yīng)的所述副流路和所述主流路，其特征在于所述流路塊形成為呈長條狀延伸的長方體狀，包括閥搭載面和副流路開口面并且所述閥搭載面和所述副流路開口面是位于相反兩側(cè)的面，其中，所述閥搭載面搭載有所述開閉閥，所述副流路的開口設(shè)置于所述副流路開口面；所述開閉閥沿所述閥搭載面的長度方向進(jìn)行直列式配置，所述開閉閥的各閥室設(shè)于所述閥搭載面；所述副流路連通所述閥室的大致中央部分并且向背離所述閥搭載面的方向延伸，所述副流路的開口形成于所述副流路開口面；所述主流路連接相鄰的所述開閉閥的所述閥室，并包括側(cè)面流路，所述側(cè)面流路設(shè)于所述流路塊中從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面中的至少一個(gè)側(cè)面上，所述側(cè)面流路由沿著所述閥搭載面的長度方向延伸的槽部和覆蓋所述槽部的槽開口的蓋部件構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供氣單元，其特征在于，所述側(cè)面流路沿所述閥搭載面的長 度方向交替地設(shè)于所述流路塊中從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面的一個(gè)側(cè)面和另 一側(cè)面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的供氣單元，其特征在于，設(shè)于所述流路塊中從寬度方向夾持 所述閥搭載面的兩側(cè)面的一個(gè)側(cè)面和另一側(cè)面且關(guān)于所述閥搭載面的長度方向相鄰的所 述側(cè)面流路包括在所述閥搭載面的長度方向上在設(shè)有所述閥室的位置處相互重疊的部分。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的供氣單元，其特征在于，在所述流路塊中，所述側(cè)面流路只設(shè) 于從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4的任一項(xiàng)所述的供氣單元，其特征在于，所述主流路分別在夾持 所述副流路和所述閥室的連通部的位置與同一個(gè)所述閥室連接。
6.供氣裝置，其特征在于，包括多個(gè)由權(quán)利要求1至5的任一項(xiàng)所述的供氣單元，且所 述供氣單元并行設(shè)置使得從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面相互抵接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至5的任一項(xiàng)所述的供氣單元，其特征在于，所述流路塊中從寬度方 向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面中設(shè)置有所述側(cè)面流路的部分設(shè)有加熱器。
8.供氣裝置，其特征在于，包括多個(gè)由權(quán)利要求1至5的任一項(xiàng)所述的供氣單元，并且，該多個(gè)供氣單元并行設(shè)置 使得從寬度方向夾持所述閥搭載面的兩側(cè)面相互抵接；加熱器被夾持在所述相鄰的供氣單元的所述側(cè)面之間。
全文摘要
提供能夠縮小設(shè)有多個(gè)開閉閥的塊的寬度且易于制造的供氣單元。供氣單元(11)的流路塊(20)形成為呈長條狀延伸的長方體形狀，頂面(20a)搭載有多個(gè)呈直列式配置的開閉閥(50)。各開閉閥的各閥室(24)設(shè)于流路塊的頂面。處理氣體流路(22)與閥室(24)的大致中央連通并向背離流路塊的頂面的方向延伸且于底面開口。載氣流路(21)連接相鄰的開閉閥的閥室，且包括側(cè)面流路(25)，該側(cè)面流路(25)沿流路塊的長度方向交替地設(shè)于流路塊的兩側(cè)面(20c)的一個(gè)側(cè)面(20c)與另一個(gè)側(cè)面(20c)上。側(cè)面流路(25)由沿流路塊的長度方向延伸的槽部和覆蓋槽部的槽開口的蓋部件構(gòu)成。
文檔編號(hào)H01L21/02GK101936409SQ20101021624
公開日2011年1月5日 申請日期2010年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月30日
發(fā)明者三輪敏一, 井上貴史, 加藤啟介, 西田成伸 申請人:Ckd株式會(huì)社