技術(shù)編號：6947703
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及使多種氣體切換流通的供氣單元。 背景技術(shù)以往，用于半導(dǎo)體制造工序等中的供氣單元如專利文獻1中所述。參照附圖11至 14對專利文獻1所述的供氣單元進行說明。圖11是供氣單元的平面圖，圖12是圖11中 12-12線的截面圖，圖13是圖11中13-13線的截面圖。在上述專利文獻1所示的供氣單元311中，在載氣輸入端口 321s和載氣輸出端 口 321e之間形成有1條載氣流路321，各閥塊320A 320D形成有連通處理氣體輸入端口 322s和載氣流路3...
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