專(zhuān)利名稱(chēng)：基板處理裝置和基板處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及處理基板的基板處理裝置，涉及例如使用激光來(lái)加工基板、或 者使用等離子來(lái)加工基板的基板處理裝置。本發(fā)明尤其涉及適合在大型玻璃基 板上生成濾色片時(shí)使用、或者在對(duì)大型玻璃基板上生成的濾色片進(jìn)行修復(fù)時(shí)使 用的基板處理裝置。
另外，本發(fā)明涉及處理基板的基板處理方法，涉及例如使用激光來(lái)加工基 板、或者使用等離子來(lái)加工基板的基板處理方法。本發(fā)明尤其涉及適合在大型 玻璃基板上生成濾色片時(shí)使用、或者在對(duì)大型玻璃基板上生成的濾色片進(jìn)行修 復(fù)時(shí)使用的基板處理方法。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等顯示設(shè)備中，像素被高精細(xì)地配置在大 面積基板上。此處，在這些顯示設(shè)備中，基板尺寸在逐年增大，例如，使用一 邊達(dá)數(shù)米的大面積基板的情況也在增加。
針對(duì)這樣的基板，例如在生成像素圖案后對(duì)部分像素進(jìn)行加工和修復(fù)時(shí)， 需要使處理裝置在基板上移動(dòng)，對(duì)相應(yīng)的像素精確地進(jìn)行加工和修復(fù)，為此， 需要使載放有基板的基板載放臺(tái)準(zhǔn)確地旋轉(zhuǎn)來(lái)對(duì)齊基板，以使處理裝置的移動(dòng) 方向與基板的像素的方向準(zhǔn)確地對(duì)齊。
作為這樣的基板的對(duì)齊方法，有日本專(zhuān)利特開(kāi)平2 — 283097號(hào)公報(bào)中記載 的技術(shù)方案。
在該基板的對(duì)齊方法中，利用單個(gè)照相機(jī)對(duì)設(shè)置在基板上的兩個(gè)基準(zhǔn)依次 進(jìn)行觀(guān)察，測(cè)定位置數(shù)據(jù)，并根據(jù)觀(guān)察得到的位置數(shù)據(jù)、針對(duì)各個(gè)基準(zhǔn)予以存 儲(chǔ)的理論上的位置數(shù)據(jù)來(lái)求出修正量。
根據(jù)上述基板的對(duì)齊方法，只需將觀(guān)察得到的位置數(shù)據(jù)與所存儲(chǔ)的理論上的位置數(shù)據(jù)加以比較就能進(jìn)行基板的對(duì)齊，因此能迅速地進(jìn)行基板的對(duì)齊。 發(fā)明的公開(kāi)
發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題
然而，本發(fā)明者發(fā)現(xiàn)，上述以往的方法雖能迅速地進(jìn)行基板的對(duì)齊，但有 時(shí)會(huì)因以下所示的原因而無(wú)法準(zhǔn)確地進(jìn)行基板的對(duì)齊。
艮P，當(dāng)像素以2維狀態(tài)排列在基板上的X方向和Y方向上，處理裝置的照
相機(jī)能在兩個(gè)移動(dòng)方向(以下設(shè)為X'方向和Y'方向)上移動(dòng)，照相機(jī)根據(jù)X' 方向的移動(dòng)量和Y'方向的移動(dòng)量之和而2維地自由移動(dòng)時(shí)，X方向有時(shí)與X' 方向和Y'方向中的任一個(gè)均不一致。
另外，如圖ll所示，像素的排列方向即X方向和Y方向通常正交，但 如圖12所示，有時(shí)像素的排列方向即X方向和Y方向不正交。進(jìn)一步說(shuō)明 的話(huà)，即在生成高精細(xì)的顯示設(shè)備時(shí)，需要在使照相機(jī)的移動(dòng)方向的一個(gè) 方向與基板的像素的排列方向的一個(gè)方向準(zhǔn)確對(duì)齊的基礎(chǔ)上(例如使上述X 方向、上述X'方向準(zhǔn)確地對(duì)齊的基礎(chǔ)上)考慮上述X方向與上述Y方向的 正交度、上述X'方向與上述Y'方向的正交度，但存在這樣的問(wèn)題例如 在通過(guò)曝光來(lái)形成像素圖案時(shí)，上述X方向與上述Y方向的正交度(像素圖 案偏差)對(duì)每個(gè)所使用的掩膜而言均不同。
因此，在變更掩膜時(shí)，所存儲(chǔ)的理論上的位置數(shù)據(jù)變得不準(zhǔn)確，無(wú)法 準(zhǔn)確地進(jìn)行基板的對(duì)齊。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能準(zhǔn)確且迅速地進(jìn)行基板的對(duì)齊的 基板處理裝置和基板處理方法。
解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案
為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的基板處理裝置的特征在于，包括基板 載放臺(tái)、處理部、相對(duì)位置變動(dòng)裝置、攝像部保持部件、攝像部、存儲(chǔ)部、以 及控制裝置，上述基板載放臺(tái)具有載放基板的載放面，上述處理部對(duì)上述載放 面上的上述基板進(jìn)行處理，上述相對(duì)位置變動(dòng)裝置使上述載放面上的上述基板 相對(duì)于上述處理部的相對(duì)位置變動(dòng)，上述攝像部保持部件相對(duì)于上述載放面以能朝第一方向移動(dòng)的形態(tài)安裝在上述基板載放臺(tái)上，且具有相對(duì)于上述載放面 在上述載放面的法線(xiàn)方向上相對(duì)并沿第二方向延伸的相對(duì)部，上述攝像部安裝 在上述相對(duì)部上，并能對(duì)在載放于上述載放面的上述基板上形成的第一標(biāo)記、 第二標(biāo)記和第三標(biāo)記進(jìn)行攝像，上述存儲(chǔ)部能存儲(chǔ)上述基板上的上述第一標(biāo)記 的位置、上述基板上的上述第三標(biāo)記的位置，上述控制裝置進(jìn)行第一控制、第 二控制、第三控制，在上述第一控制中，上述控制裝置根據(jù)來(lái)自上述攝像部的 信號(hào)，使上述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)上述相對(duì)位置，以使將上述第一標(biāo)記與上 述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與上述第一方向一致，在上述第二控制中，上述控 制裝置根據(jù)來(lái)自上述攝像部的信號(hào)，使在將上述第一標(biāo)記與上述第二標(biāo)記連接 的線(xiàn)的方向與上述第一方向一致后的狀態(tài)下的上述第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記 的位置存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)部中，在上述第三控制中，上述控制裝置根據(jù)來(lái)自對(duì)上 述第一標(biāo)記和上述第三標(biāo)記的位置被上述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的上述基板以外的其它 上述基板進(jìn)行攝像的上述攝像部的信號(hào)，使上述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)上述其 它基板相對(duì)于上述處理部的相對(duì)位置，以使上述其它基板上將上述第一標(biāo)記與 上述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第一標(biāo)記和上 述第三標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將上述第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方 向一致。
根據(jù)本發(fā)明，例如在上述第一標(biāo)記和上述第三標(biāo)記的位置被上述存儲(chǔ)部存 儲(chǔ)的上述基板與上述其它基板為同一批次、也就是使用同一掩膜進(jìn)行制造時(shí)， 針對(duì)上述其它基板，上述攝像部只需對(duì)上述第一標(biāo)記和上述第三標(biāo)記的位置進(jìn) 行拍攝就能準(zhǔn)確地進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。因此，針對(duì)上述其它基板，能特別迅速地 進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外， 一實(shí)施方式中，在上述第三控制中，上述控制裝置使上述相對(duì)位置 變動(dòng)裝置變動(dòng)上述其它基板相對(duì)于上述處理部的相對(duì)位置，以使上述其它基板 上將上述第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)與根據(jù)上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ) 的上述第一標(biāo)記和上述第三標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將上述第一標(biāo)記與上述第 三標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)一致。
根據(jù)上述實(shí)施方式，能使上述其它基板的中心與上述第一標(biāo)記和上述第三標(biāo)記的位置被上述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的上述基板的中心一致，能容易地進(jìn)行上述其它 基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外， 一實(shí)施方式中，上述控制裝置計(jì)算上述其它基板上的上述第一標(biāo)記 與上述第三標(biāo)記間的距離和根據(jù)上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第一標(biāo)記和上述第 三標(biāo)記的位置計(jì)算得到的上述第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記間的距離的比值。
根據(jù)上述實(shí)施方式，相對(duì)于作為對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)的基板，能計(jì)算出期望進(jìn)行對(duì)準(zhǔn) 的基板(上述其它基板)的膨脹度或收縮度。因此，在任何溫度下，都能針對(duì)上 述其它基板精密地進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。
一實(shí)施方式中，上述攝像部具有以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在上述攝像部保 持部件上的第一照相機(jī)和第二照相機(jī)、相對(duì)于上述攝像部保持部件以能朝上述 第二方向移動(dòng)的形態(tài)安裝在上述攝像部保持部件上的移動(dòng)照相機(jī)，上述控制裝 置在上述第三控制中根據(jù)來(lái)自對(duì)上述其它基板的上述第三標(biāo)記進(jìn)行攝像的上 述第一照相機(jī)的信號(hào)、來(lái)自對(duì)上述其它基板的上述第一標(biāo)記攝像的上述第二照 相機(jī)的信號(hào)，來(lái)確定將上述其它基板上的上述第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記連接的 線(xiàn)的方向。
根據(jù)上述實(shí)施方式，在對(duì)上述其它基板進(jìn)行攝像時(shí)，對(duì)上述其它基板進(jìn)行 攝像的照相機(jī)(第一照相機(jī)和第二照相機(jī))不朝上述第二方向移動(dòng)。因此，能進(jìn) 行迅速地其它基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外， 一實(shí)施方式中，上述攝像部具有以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在上述攝 像部保持部件上的第一照相機(jī)和第二照相機(jī)、相對(duì)于上述攝像部保持部件以能 朝上述第二方向移動(dòng)的形態(tài)安裝在上述攝像部保持部件上的移動(dòng)照相機(jī)，上述 控制裝置在上述第一控制中根據(jù)上述移動(dòng)照相機(jī)攝像得到的上述第一標(biāo)記和 上述第二標(biāo)記的位置來(lái)確定將上述第一標(biāo)記與上述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向， 在上述第二控制中使上述移動(dòng)照相機(jī)攝像得到的上述第一標(biāo)記和上述第二標(biāo) 記的位置存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)部中。
根據(jù)上述實(shí)施方式，上述第一控制和上述第二控制僅通過(guò)上述移動(dòng)照相機(jī) 的攝像來(lái)進(jìn)行，因此，例如通過(guò)使上述移動(dòng)照相機(jī)的靈敏度成為高靈敏度，能 精密地觀(guān)察成為對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)的基板的位置。
11另外， 一實(shí)施方式中，在上述攝像部保持部件上，將液滴朝基板排出的液 滴排出部相對(duì)于上述攝像部保持部件以能朝上述第二方向移動(dòng)或不能朝上述 第二方向移動(dòng)的形態(tài)安裝。
根據(jù)上述實(shí)施方式，通過(guò)針對(duì)上述其它基板進(jìn)行的對(duì)準(zhǔn)，能對(duì)上述其它基 板的期望位置準(zhǔn)確地排出液滴。
另外，本發(fā)明的基板處理裝置的特征在于，包括基板載放臺(tái)、處理部、 相對(duì)位置變動(dòng)裝置、攝像部保持部件、攝像部、存儲(chǔ)部、以及控制裝置，上述 基板載放臺(tái)具有載放基板的載放面，上述處理部對(duì)上述載放面上的上述基板進(jìn) 行處理，上述相對(duì)位置變動(dòng)裝置使上述載放面上的上述基板相對(duì)于上述處理部 的相對(duì)位置變動(dòng)，上述攝像部保持部件相對(duì)于上述載放面以能朝第一方向移動(dòng) 的形態(tài)安裝在上述基板載放臺(tái)上，且具有相對(duì)于上述載放面在上述載放面的法 線(xiàn)方向上相對(duì)并沿第二方向延伸的相對(duì)部，上述攝像部安裝在上述相對(duì)部上， 并能對(duì)在載放于上述載放面的上述基板上形成的第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、第三標(biāo) 記和第四標(biāo)記進(jìn)行攝像，上述存儲(chǔ)部能存儲(chǔ)上述基板上的上述第三標(biāo)記的位 置、上述基板上的上述第四標(biāo)記的位置，上述控制裝置進(jìn)行第一控制、第二控 制和第三控制，在上述第一控制中，上述控制裝置根據(jù)來(lái)自上述攝像部的信號(hào)， 使上述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)上述相對(duì)位置，以使將上述第一標(biāo)記與上述第二 標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與上述第一方向一致，在上述第二控制中，上述控制裝置 根據(jù)來(lái)自上述攝像部的信號(hào)，使在將上述第一標(biāo)記與上述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的 方向與上述第一方向一致后的狀態(tài)下的上述第三標(biāo)記和上述第四標(biāo)記的位置 存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)部中，在上述第三控制中，上述控制裝置根據(jù)來(lái)自對(duì)上述第三 標(biāo)記和上述第四標(biāo)記的位置被上述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的上述基板以外的其它上述基 板進(jìn)行攝像的上述攝像部的信號(hào)，使上述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)上述其它基板 相對(duì)于上述處理部的相對(duì)位置，以使上述其它基板上將上述第三標(biāo)記與上述第 四標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第三標(biāo)記和上述第四 標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將上述第三標(biāo)記與上述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向一致。
根據(jù)本發(fā)明，在基板上有四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，能迅速且精密地進(jìn)行上述其 它基板的對(duì)準(zhǔn)。另外， 一實(shí)施方式中，在上述第三控制中，上述控制裝置使上述其它基板 相對(duì)于上述處理部的相對(duì)位置變動(dòng)上述相對(duì)位置變動(dòng)裝置，以使上述其它基板 上將上述第三標(biāo)記與上述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)與根據(jù)上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ) 的上述第三標(biāo)記和上述第四標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將上述第三標(biāo)記與上述第 四標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)一致。
根據(jù)上述實(shí)施方式，在基板上有四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，能準(zhǔn)確地使上述其它 基板的中心與作為基準(zhǔn)的基板的中心一致。
另外， 一實(shí)施方式中，上述控制裝置計(jì)算上述其它基板上的上述第三標(biāo)記 與上述第四標(biāo)記間的距離和根據(jù)上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第三標(biāo)記和上述第 四標(biāo)記的位置計(jì)算得到的上述第三標(biāo)記與上述第四標(biāo)記間的距離的比值。
根據(jù)上述實(shí)施方式，在基板上有四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，相對(duì)于作為對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn) 的基板，能計(jì)算出期望進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)的基板(上述其它基板)的膨脹度或收縮度。因 此，在任何溫度下，都能針對(duì)上述其它基板精密地進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外， 一實(shí)施方式中，上述攝像部具有以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在上述攝 像部保持部件上的第一照相機(jī)和第二照相機(jī)、相對(duì)于上述攝像部保持部件以能 朝上述第二方向移動(dòng)的形態(tài)安裝在上述攝像部保持部件上的移動(dòng)照相機(jī)，上述 控制裝置在上述第三控制中根據(jù)來(lái)自對(duì)上述其它基板的上述第三標(biāo)記進(jìn)行攝 像的上述第一照相機(jī)的信號(hào)、來(lái)自對(duì)上述其它基板的上述第一標(biāo)記進(jìn)行攝像的 上述第二照相機(jī)的信號(hào)，來(lái)確定將上述其它基板上的上述第一標(biāo)記與上述第三 標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向。
根據(jù)上述實(shí)施方式，上述在基板上有四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，在對(duì)上述其它基 板進(jìn)行攝像時(shí)，對(duì)上述其它基板進(jìn)行攝像的照相機(jī)(第一照相機(jī)和第二照相機(jī)) 不朝上述第二方向移動(dòng)。因此，能進(jìn)行迅速地其它基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外， 一實(shí)施方式中，上述攝像部具有以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在上述攝 像部保持部件上的第一照相機(jī)和第二照相機(jī)、相對(duì)于上述攝像部保持部件以能 朝上述第二方向移動(dòng)的形態(tài)安裝在上述攝像部保持部件上的移動(dòng)照相機(jī)，上述 控制裝置在上述第一控制中根據(jù)上述移動(dòng)照相機(jī)攝像得到的上述第一標(biāo)記和 上述第二標(biāo)記的位置來(lái)確定將上述第一標(biāo)記與上述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向，
13在上述第二控制中使上述移動(dòng)照相機(jī)攝像得到的上述第三標(biāo)記和上述第四標(biāo) 記的位置存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)部中。
根據(jù)上述實(shí)施方式，上述在基板上有四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，上述第一控制和 上述第二控制僅通過(guò)上述移動(dòng)照相機(jī)的攝像來(lái)進(jìn)行，因此，通過(guò)使上述移動(dòng)照 相機(jī)的靈敏度成為高靈敏度，能精密地觀(guān)察成為對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)的基板的位置。
另外， 一實(shí)施方式中，在上述攝像部保持部件上，將液滴朝基板排出的液 滴排出部相對(duì)于上述攝像部保持部件以能朝上述第二方向移動(dòng)或不能朝上述 第二方向移動(dòng)的形態(tài)安裝。
根據(jù)上述實(shí)施方式，在基板上有四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，通過(guò)針對(duì)上述其它基 板進(jìn)行的對(duì)準(zhǔn)，能對(duì)上述其它基板的期望位置準(zhǔn)確地排出液滴。
另外，本發(fā)明的基板處理方法的特征在于，在基板載放臺(tái)的載放面上載放 第一基板后，根據(jù)上述第一基板上的第一標(biāo)記和第二標(biāo)記的位置，使將上述第 一標(biāo)記與上述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與相對(duì)于上述載放面以能朝第一方向 移動(dòng)的形態(tài)安裝在上述基板載放臺(tái)上并沿第二方向延伸的攝像部保持部件的 上述第一方向一致，使在將上述第一標(biāo)記與上述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與上 述第一方向一致的狀態(tài)下的上述第一基板上的上述第一標(biāo)記的位置和上述第 三標(biāo)記的位置存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部中，在上述基板載放臺(tái)的載放面上載放第二基板 后，使將上述第二基板上的第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)上 述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第一基板上的上述第一標(biāo)記的位置和上述第三標(biāo)記的 位置計(jì)算得到的將上述第一基板上的上述第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記連接的線(xiàn) 的方向一致。
根據(jù)本發(fā)明，能迅速且精密地進(jìn)行第二基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外，一實(shí)施方式中，在上述基板載放臺(tái)的載放面上載放上述第二基板后， 使將上述第二基板上的第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)與根據(jù)上述 存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第一基板上的上述第一標(biāo)記的位置和上述第三標(biāo)記的位 置計(jì)算得到的將上述第一基板上的上述第一標(biāo)記與上述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的
中點(diǎn)一致。
根據(jù)上述實(shí)施方式，能使第二基板的中心與成為對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)的第一基板的中
14心對(duì)應(yīng)。
另外， 一實(shí)施方式中，計(jì)算上述第二基板上的上述第一標(biāo)記與上述第三標(biāo) 記間的距離和根據(jù)上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第一基板上的上述第一標(biāo)記的位 置和上述第三標(biāo)記的位置計(jì)算得到的上述第一基板上的上述第一標(biāo)記與上述 第三標(biāo)記間的距離的比值。
根據(jù)上述實(shí)施方式，能在對(duì)準(zhǔn)中反映基板的膨脹或收縮的效果。 另外，本發(fā)明的基板處理方法的特征在于，在基板載放臺(tái)的載放面上載放 第一基板后，根據(jù)上述第一基板上的第一標(biāo)記和第二標(biāo)記的位置，使將上述第 一標(biāo)記與上述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與相對(duì)于上述載放面以能朝第一方向 移動(dòng)的形態(tài)安裝在上述基板載放臺(tái)上并沿第二方向延伸的攝像部保持部件的 上述第一方向一致，使在將上述第一標(biāo)記與上述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與上 述第一方向一致的狀態(tài)下的上述第一基板上的第三標(biāo)記的位置和上述第四標(biāo) 記的位置存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部中，在上述基板載放臺(tái)的載放面上載放第二基板后，使 將上述第二基板上的第三標(biāo)記與上述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)上述存
儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第一基板上的上述第三標(biāo)記的位置和上述第四標(biāo)記的位置 計(jì)算得到的將上述第一基板上的上述第三標(biāo)記與上述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的方 向一致。
根據(jù)本發(fā)明，在基板上存在四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，能精密且迅速地進(jìn)行基板 的對(duì)準(zhǔn)。
另外，一實(shí)施方式中，在上述基板載放臺(tái)的載放面上載放上述第二基板后， 使將上述第二基板上的第三標(biāo)記與上述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)與根據(jù)上述 存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第一基板上的上述第三標(biāo)記的位置和上述第四標(biāo)記的位 置計(jì)算得到的將上述第一基板上的上述第三標(biāo)記與上述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的 中點(diǎn)一致。
根據(jù)上述實(shí)施方式，在基板上存在四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，能使第二基板的中 心與作為基準(zhǔn)的第一基板的中心一致。
另外， 一實(shí)施方式中，計(jì)算上述第二基板上的上述第三標(biāo)記與上述第四標(biāo) 記間的距離和根據(jù)上述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的上述第一基板上的上述第三標(biāo)記的位置和上述第四標(biāo)記的位置計(jì)算得到的上述第一基板上的上述第三標(biāo)記與上述 第四標(biāo)記間的距離的比值。
根據(jù)上述實(shí)施方式，在基板上存在四個(gè)以上的標(biāo)記時(shí)，能在第二基板的對(duì) 準(zhǔn)中準(zhǔn)確地反映第二基板相對(duì)于作為基準(zhǔn)的第一基板的膨脹、收縮的程度。
發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明的基板處理方法和基板處理裝置，能準(zhǔn)確且迅速地進(jìn)行基板的 對(duì)準(zhǔn)。


圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板處理裝置的立體圖。 圖2是表示基板的與基板載放臺(tái)側(cè)相反的一側(cè)的上表面的圖。 圖3是表示基板剛被載放在基板載放臺(tái)上后、基板與基板載放臺(tái)的位置關(guān) 系的一例的圖。
圖4是表示觀(guān)察第一標(biāo)記的狀態(tài)的第二照相機(jī)的圖。
圖5是表示找到第二標(biāo)記并進(jìn)行觀(guān)察的第二照相機(jī)的圖。
圖6是表示將第一標(biāo)記與第二標(biāo)記連接的直線(xiàn)與GanY方向一致的狀態(tài)的圖。
圖7是用虛線(xiàn)來(lái)表示找到第四標(biāo)記并進(jìn)行觀(guān)察的移動(dòng)照相機(jī)的圖。 圖8是表示校準(zhǔn)動(dòng)作中存儲(chǔ)的基板的位置的圖。
圖9是表示用第一照相機(jī)觀(guān)察第四標(biāo)記并用第二照相機(jī)觀(guān)察第三標(biāo)記的 狀態(tài)的圖。
圖10是表示與通過(guò)校準(zhǔn)而記住的位置關(guān)系對(duì)應(yīng)地在X、 Y、 e方向上移動(dòng) 后的基板載放臺(tái)的圖。
圖11是表示一個(gè)排列方向即X方向與另一個(gè)排列方向即Y方向正交的多
個(gè)像素的圖。
圖12是表示一個(gè)排列方向即X方向未與另一個(gè)排列方向即Y方向正交的 多個(gè)像素的圖。圖13A是表示墨水排出動(dòng)作過(guò)程中的、基板上的圖案與噴嘴的關(guān)系的示意圖。
圖13B是表示墨水排出動(dòng)作過(guò)程中的、基板上的圖案與噴嘴的關(guān)系的示意圖。
圖13C是表示墨水排出動(dòng)作過(guò)程中的、基板上的圖案與噴嘴的關(guān)系的示意圖。
圖13D是表示墨水排出動(dòng)作過(guò)程中的、基板上的圖案與噴嘴的關(guān)系的示意圖。
圖14是進(jìn)行基板的校準(zhǔn)動(dòng)作過(guò)程中的第二實(shí)施方式的基板處理裝置的示 意圖。
圖15是表示進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作過(guò)程中的第二實(shí)施方式的基板處理裝置 的示意圖。
具體實(shí)施例方式
以下，根據(jù)圖示的形態(tài)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。 (第一實(shí)施方式)
圖1是本發(fā)明的第一實(shí)施方式的基板處理裝置的立體圖。 該基板處理裝置包括基板載放臺(tái)1、作為攝像部保持部件的臺(tái)架2、臺(tái) 架移動(dòng)機(jī)構(gòu)3、提升移動(dòng)機(jī)構(gòu)5、第一照相機(jī)6、第二照相機(jī)7、移動(dòng)照相機(jī)8、 以及作為控制裝置的微型計(jì)算機(jī)(下面稱(chēng)為微機(jī)M。上述第一照相機(jī)6、第二照 相機(jī)7和移動(dòng)照相機(jī)8構(gòu)成了攝像部。另外，微型計(jì)算機(jī)4具有存儲(chǔ)信息的存 儲(chǔ)部(未圖示)。
上述基板載放臺(tái)1具有載放基板10的載放面。上述載放面由平坦性較好 的石平臺(tái)(由花崗巖形成的石平臺(tái))形成?；?0以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在上 述載放面上，且從載放面松開(kāi)。詳細(xì)而言，在基板載放臺(tái)1的上述載放面上形 成有多個(gè)未圖示的微小的孔，這些孔全部都與未圖示的吸引+送風(fēng)機(jī)構(gòu)連接。 通過(guò)利用上述控制裝置進(jìn)行吸引+送風(fēng)控制，在基板載放臺(tái)1上吸附固定基板 10，或者將吸附固定在基板載放臺(tái)1上的基板10松開(kāi)。
17在上述基板載放臺(tái)中內(nèi)置有未圖示的e旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。上述e旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)使基板
載放臺(tái)1的載放面繞該載放面的中心自由旋轉(zhuǎn)。由此，能使載放在上述載放面
上的基板10繞上述載放面的中心自由旋轉(zhuǎn)。雖不進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但基板處理
裝置在與基板載放臺(tái)1的載放面?zhèn)认喾吹囊粋?cè)具有未圖示的消振機(jī)構(gòu)，能抑制振動(dòng)。
上述臺(tái)架2呈門(mén)型形狀。載放面呈大致矩形形狀。臺(tái)架2以橫跨基板載放 臺(tái)1的載放面的一個(gè)方向的形態(tài)設(shè)置。臺(tái)架2的與基板載放臺(tái)1側(cè)相反的一側(cè) 的面呈大致矩形形狀(以下，在臺(tái)架2的與基板載放臺(tái)1側(cè)相反的一側(cè)的面上， 將臺(tái)架2的橫跨基板載放臺(tái)1的方向(相當(dāng)于第二方向)稱(chēng)為GanX方向)。提升 移動(dòng)機(jī)構(gòu)5有兩個(gè)，設(shè)置在門(mén)型的臺(tái)架2上。提升移動(dòng)機(jī)構(gòu)5相對(duì)于臺(tái)架移動(dòng) 機(jī)構(gòu)3始終不接觸，能朝第一方向(下面稱(chēng)為GanY方向)移動(dòng)。上述臺(tái)架2通 過(guò)提升移動(dòng)機(jī)構(gòu)5朝GanY方向的移動(dòng)而相對(duì)于載放面朝GanY方向移動(dòng)。詳細(xì) 而言，臺(tái)架2通過(guò)臺(tái)架移動(dòng)機(jī)構(gòu)3上的磁性直線(xiàn)尺(未圖示)與提升移動(dòng)機(jī)構(gòu)5 之間的線(xiàn)性電動(dòng)機(jī)控制，能朝GanY方向自由移動(dòng)。
在臺(tái)架2上設(shè)置有作為處理部的噴墨頭(未圖示)、第一照相機(jī)6、第二照 相機(jī)7和移動(dòng)照相機(jī)8。上述噴墨能朝基板10排出墨水。上述噴墨頭根據(jù)來(lái)自 控制裝置的信號(hào)使臺(tái)架2的下側(cè)面適當(dāng)?shù)爻疓anX方向移動(dòng)，在適當(dāng)時(shí)刻朝基 板10上排出墨水。安裝有上述噴墨頭的臺(tái)架2能朝GanY方向移動(dòng)，因此噴墨 能自由地在2維平面上移動(dòng)。
另外，第一實(shí)施方式中，噴墨頭能在臺(tái)架上朝GanX軸方向移動(dòng)，但在本 發(fā)明中，噴墨頭只要能在基板的被排出區(qū)域的GanX軸方向上的任意位置排出， 則可采用任何結(jié)構(gòu)。例如，既可將固定設(shè)置的多個(gè)噴墨頭排列設(shè)置并適當(dāng)選擇 進(jìn)行排出的噴墨頭，也可使用以覆蓋被排出區(qū)域的形態(tài)固定設(shè)置的較長(zhǎng)的噴墨 頭。
處理部相對(duì)于被吸附在載放面上的基板10的相對(duì)位置能自由地在3維空 間內(nèi)移動(dòng)。即，本實(shí)施方式中，如上所述，基板載放臺(tái)1能以基板載放臺(tái)1的 中心為中心在e方向上旋轉(zhuǎn)，作為處理部的噴墨頭能自由地在2維平面內(nèi)移動(dòng)。 此處，噴墨頭進(jìn)行移動(dòng)的2維平面與基板載放臺(tái)1所進(jìn)行移動(dòng)的2維平面彼此平行。由此，處理部相對(duì)于被吸附固定在基板載放臺(tái)1上的基板10的相對(duì)位 置能自由地在3維空間內(nèi)移動(dòng)。上述e旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和臺(tái)架2構(gòu)成了相對(duì)位置變動(dòng) 裝置。
本實(shí)施方式中采用的是這樣的結(jié)構(gòu)基板載放臺(tái)i在e方向上旋轉(zhuǎn)，且作
為處理部的噴墨頭自由地在XY平面內(nèi)移動(dòng)，但在本發(fā)明中也可采用這樣的結(jié)
構(gòu)基板載放臺(tái)能在e方向上旋轉(zhuǎn)并能自由地在XY平面內(nèi)移動(dòng)，且處理部(例
如噴墨頭)能自由地在XY平面移動(dòng)。在本發(fā)明中也可采用這樣的結(jié)構(gòu)在保持 基板載放臺(tái)不移動(dòng)的情況下僅使處理部在2維空間中移動(dòng)，從而使處理部相對(duì)
于吸附固定在基板載放臺(tái)上的基板的相對(duì)位置自由地變動(dòng)。另外，在本發(fā)明中
也可采用這樣的結(jié)構(gòu)在保持處理部不移動(dòng)的情況下僅使基板載放臺(tái)在2維空 間中移動(dòng)，從而使處理部相對(duì)于吸附固定在基板載放臺(tái)上的基板的相對(duì)位置自 由地變動(dòng)。
上述第一照相機(jī)6、第二照相機(jī)7和移動(dòng)照相機(jī)8對(duì)基板進(jìn)行觀(guān)察。第一 照相機(jī)6和第二照相機(jī)7固定設(shè)置在臺(tái)架2上，對(duì)基板10 JS行觀(guān)察拍攝。由 第一照相機(jī)6和第二照相機(jī)7觀(guān)察拍攝得到的基板10的圖像被送往微機(jī)4。另 一方面，上述移動(dòng)照相機(jī)8設(shè)置成能朝GanX方向在臺(tái)架2上移動(dòng)，對(duì)基板10 進(jìn)行觀(guān)察拍攝。安裝有移動(dòng)照相機(jī)8的臺(tái)架2能朝GanY方向移動(dòng)，因此移動(dòng) 照相機(jī)8能自由地在2維平面上移動(dòng)。由移動(dòng)照相機(jī)8觀(guān)察拍攝得到的基板10 的圖像被送往微機(jī)4。
上述微機(jī)4進(jìn)行臺(tái)架2的移動(dòng)控制、臺(tái)架2上的移動(dòng)照相機(jī)8的移動(dòng)控制、 臺(tái)架2上的噴墨頭的排出控制、基板載放臺(tái)1的旋轉(zhuǎn)控制以及來(lái)自照相機(jī)6、7、 8的圖像的分析。
第一照相機(jī)6和第二照相機(jī)7的觀(guān)察位置和噴墨頭的液滴排出位置在噴墨 頭安裝后預(yù)先進(jìn)行計(jì)測(cè)調(diào)整。
在上述噴墨的與基板載放臺(tái)1的載放面的平行面上粘接有噴嘴板。噴嘴板 具有多個(gè)噴嘴孔。噴嘴孔的直徑設(shè)定為10 20pm。作為噴墨，使用的是在壓 電體基板上形成有多個(gè)作為墨水室的槽的噴墨。噴墨在其間壁側(cè)面的一部分上 形成電極，在間壁的兩側(cè)面之間施加電場(chǎng)，使間壁自身剪切變形來(lái)產(chǎn)生排出能在基板載放臺(tái)1上裝設(shè)有基板10狀態(tài)下，噴墨頭的噴嘴板的底面即液滴
排出面與基板10的上表面之間被預(yù)先調(diào)整為0.5 lrara。該裝置在臺(tái)架2朝GanY 方向移動(dòng)的同時(shí)排出墨水。在噴墨頭朝著基板載放臺(tái)1上的基板10排出液滴 的過(guò)程中，基板10被基板載放臺(tái)1準(zhǔn)確地固定。臺(tái)架2有時(shí)會(huì)因兩個(gè)提升移 動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)速度的微小偏差而相對(duì)于原來(lái)狀態(tài)偏斜(臺(tái)架偏差)。該偏差幾乎 不會(huì)變動(dòng)，但在變動(dòng)時(shí)，如后面所述，需要對(duì)排出位置進(jìn)行修正。
上述基板10為大型的玻璃基板。g卩，第一實(shí)施方式的基板處理裝置處理 大型的玻璃基板。當(dāng)然，本發(fā)明能處理的基板不局限于大型玻璃基板，當(dāng)然， 本發(fā)明所處理的基板的材質(zhì)、大小或厚度等不受限定。
在上述基板10上，如圖11所示，容納液滴的多個(gè)區(qū)域11規(guī)則地排列。 即，形成有規(guī)則的基板圖案。具有上述規(guī)則性的區(qū)域11用樹(shù)脂形成。不過(guò)， 基板上表面的具有規(guī)則性的區(qū)域也可用金屬或玻璃材料形成。上述區(qū)域11相 對(duì)于涂布液具有拒液性。
如上面使用圖12說(shuō)明的那樣，基板圖案有時(shí)因圖案形成時(shí)的誤差(掩膜設(shè) 置、基板設(shè)置、光學(xué)系統(tǒng)等產(chǎn)生的誤差)、掩膜本身的誤差而偏離理想的配置。 即，與圖11不同，如圖12所示，基板圖案的排列的一個(gè)方向與另一個(gè)方向有 時(shí)不正交。
圖2是表示基板10的與基板載放臺(tái)1側(cè)相反的一側(cè)的上表面的圖。 如圖2所示，在基板10的上表面形成有四個(gè)標(biāo)記、即第一至第四標(biāo)記31、 32、 33、 34。第一至第四標(biāo)記31、 32、 33、 34為基板的對(duì)準(zhǔn)基準(zhǔn)，其通過(guò)與 基板圖案(區(qū)域11的排列)相同的生成方法，在基板圖案形成時(shí)與基板圖案同 時(shí)且一體地形成在基板IO上。由于第一至第四標(biāo)記31、 32、 33、 34與基板圖 案一體形成，因此標(biāo)記31、 32、 33、 34相對(duì)于基板圖案的相對(duì)位置在相同溫 度下在多個(gè)基板上始終一定。當(dāng)然，標(biāo)記31、 32、 33、 34相對(duì)于基板圖案的 相對(duì)位置會(huì)受到溫度變化時(shí)基板10的收縮和基板10的膨脹的影響。
將第一標(biāo)記31與第二標(biāo)記32連接的方向定義為基板10的一個(gè)方向，以 下，該方向與基板圖案的一個(gè)方向(將其作為Y方向)平行。另一方面，將第三
20標(biāo)記33與第四標(biāo)記34連接的方向定義為基板10的另一個(gè)方向，該方向與基 板圖案的另一個(gè)方向(將其作為X方向)平行。
將第一標(biāo)記31與第二標(biāo)記32連接的直線(xiàn)和將第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34 連接的直線(xiàn)所成的角度因標(biāo)記形成時(shí)的誤差而不限于90度(不一定正交)。產(chǎn) 生誤差的原因與上面說(shuō)明的基板圖案產(chǎn)生誤差的原因相同。
將第一標(biāo)記31與第二標(biāo)記32連接的直線(xiàn)與將第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34 連接的直線(xiàn)所成的角度不一定與裝置坐標(biāo)系統(tǒng)所成的角度、即GanX和GanY所 成的角度一致。換言之，將第一標(biāo)記31與第二標(biāo)記32連接的直線(xiàn)和將第三標(biāo) 記33與第四標(biāo)記34連接的直線(xiàn)所成的角度與臺(tái)架移動(dòng)方向和臺(tái)架的延伸方向 所成的角度不一致。
當(dāng)然，各標(biāo)記31、 32、 33、 34的配置位置不限定于基板10的端部(參照 圖2)。將標(biāo)記配置在基板的端部時(shí)較為理想，但只要滿(mǎn)足將第一標(biāo)記與第二標(biāo) 記連接的方向平行于基板圖案的Y方向、且將第三標(biāo)記與第四標(biāo)記連接的方向 平行于基板圖案的X方向的條件，則可將第一至第四標(biāo)記配置在基板的任何部 位。此外，標(biāo)記不必是四個(gè)，也可用一個(gè)標(biāo)記來(lái)實(shí)現(xiàn)多個(gè)標(biāo)記的作用。例如， 標(biāo)記1和標(biāo)記3也可以是同一個(gè)標(biāo)記。
即使產(chǎn)生圖案偏差和臺(tái)架偏差中的至少一方時(shí)，也必須將墨水準(zhǔn)確地涂布 在目標(biāo)位置上。因此，必須進(jìn)行基板10的對(duì)準(zhǔn)、即基板10的對(duì)齊。詳細(xì)而言， 必須根據(jù)以下的六個(gè)條件((1) (6))來(lái)進(jìn)行基板10的對(duì)齊。
(1)臺(tái)架2與基板載放臺(tái)1的正交性不清楚。(2)臺(tái)架2具有直線(xiàn)性(GanX 方向和GanY方向分別朝向一個(gè)方向)。(3)基板載放臺(tái)1具有直線(xiàn)性(X方向和 Y方向分別朝向一個(gè)方向)。(4)基板圖案(單元(區(qū)域11)的排列)的正交性不清 楚。(5)上述基板圖案(單元的排列)的正交性至少在同一批(同一掩膜)中不變 化。(6)基板圖案(單元的排列)具有直線(xiàn)性。
在上述條件下，與現(xiàn)有例中說(shuō)明的裝置相比，如以下所示，第一實(shí)施方式 的基板處理裝置能準(zhǔn)確且迅速地進(jìn)行基板10的對(duì)齊(對(duì)準(zhǔn))。第一實(shí)施方式中， 通過(guò)兩階段的動(dòng)作、即基板10的校準(zhǔn)動(dòng)作和基板10的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作來(lái)實(shí)現(xiàn)上述功 能。
21以下，對(duì)第一實(shí)施方式的基板10的對(duì)齊(對(duì)準(zhǔn))進(jìn)行說(shuō)明。 未圖示的搬運(yùn)機(jī)器人將基板IO載放在基板載放臺(tái)1上。這一動(dòng)作是通過(guò) 圖1中預(yù)先使臺(tái)架2位于圖中左側(cè)的左端后從圖中右側(cè)將基板10朝基板載放 臺(tái)1上載放來(lái)進(jìn)行的。將所載放的基板10立即抽氣吸附在基板載放臺(tái)1上， 將其固定在基板載放臺(tái)1上。詳細(xì)而言，在基板載放臺(tái)1形成有多個(gè)貫穿孔， 在貫穿孔的與載放面?zhèn)认喾吹囊粋?cè)的開(kāi)口上連接有吸引空氣或吹出空氣的裝
置。將基板IO載放在基板載放臺(tái)1的載放面上之后，通過(guò)吸引上述貫穿孔內(nèi) 的空氣，將基板10吸附在載放面上。將基板10載放在基板載放臺(tái)1上進(jìn)行吸 附時(shí)，不進(jìn)行任何對(duì)準(zhǔn)作業(yè)。即，在基板10的載放時(shí)刻，在基板載放臺(tái)1上 將基板10相對(duì)于基板10的期望的配置位置以機(jī)械精度進(jìn)行定位。
圖3是表示基板10剛被載放在基板載放臺(tái)1上后、基板10與基板載放臺(tái) l的位置關(guān)系的一例的圖。另外，從圖3到以下的圖10中，標(biāo)記31、 32、 33、 34有時(shí)會(huì)因臺(tái)架2、照相機(jī)6、 7、 8而處于看不到的位置，但為了方便說(shuō)明， 因此始終示出標(biāo)記31、 32、 33、 34的位置。如圖3所示，將基板10載放到基 板載放臺(tái)1上時(shí)，基板10以相對(duì)于期望的配置位置在XY方向和e方向上錯(cuò)開(kāi) 的狀態(tài)載放。
接著，進(jìn)行校準(zhǔn)動(dòng)作。在校準(zhǔn)動(dòng)作中，針對(duì)同一批次、即用同一掩膜生成 的多個(gè)基板10中的一個(gè)基板，如下所示地在上述控制裝置中存儲(chǔ)第一至第四 標(biāo)記31、 32、 33、 34的位置。
首先，如圖4所示，使用第二照相機(jī)7對(duì)第一標(biāo)記31進(jìn)行觀(guān)察，將觀(guān)察 得到的圖像發(fā)送給控制裝置，記住位置。接著一邊使臺(tái)架2移動(dòng)一邊用第二照 相機(jī)7對(duì)基板10進(jìn)行觀(guān)察，用第二照相機(jī)7來(lái)尋找第二標(biāo)記32，如圖5所示， 用第二照相機(jī)7找到并對(duì)第二標(biāo)記32進(jìn)行觀(guān)察，將觀(guān)察得到的圖像發(fā)送給控 制裝置，記住位置。
之后，控制裝置運(yùn)算第一標(biāo)記31和第二標(biāo)記32的位置，求出基板10在 6方向上的偏差量(將第一標(biāo)記31與第二標(biāo)記32連接的直線(xiàn)的方向與GanY方
向的e偏差量)。
使基板io旋轉(zhuǎn)由控制裝置求出的上述e方向上的偏差量，如圖6所示，使得將第一標(biāo)記31與第二標(biāo)記32連接的直線(xiàn)與GanY方向一致。根據(jù)第一標(biāo) 記31和第二標(biāo)記32的位置來(lái)估計(jì)(根據(jù)第一標(biāo)記31、第二標(biāo)記32、第三標(biāo)記 33的設(shè)計(jì)上的位置關(guān)系來(lái)估計(jì))第三標(biāo)記33的位置，適當(dāng)移動(dòng)臺(tái)架2和移動(dòng)照 相機(jī)8，使移動(dòng)照相機(jī)8移動(dòng)到上述估計(jì)得到的位置。然后，用移動(dòng)照相機(jī)8 對(duì)第三標(biāo)記33觀(guān)察，進(jìn)行觀(guān)察拍攝，并將拍攝得到的圖像發(fā)送給控制裝置， 記住第三標(biāo)記33的位置。
接著， 一邊使移動(dòng)照相機(jī)8朝GanX方向移動(dòng)一邊用移動(dòng)照相機(jī)8對(duì)基板 10進(jìn)行觀(guān)察，用移動(dòng)照相機(jī)8來(lái)尋找第四標(biāo)記34。然后，在圖7中虛線(xiàn)所示 的移動(dòng)照相機(jī)8的位置上，用移動(dòng)照相機(jī)8找到第四標(biāo)記34并進(jìn)行觀(guān)察，將 觀(guān)察得到的圖像發(fā)送給控制裝置，記住第四標(biāo)記34的位置。
根據(jù)第三標(biāo)記33的位置和第四標(biāo)記34的位置，求出將第三標(biāo)記33與第 四標(biāo)記43連接的直線(xiàn)的方向(基板圖案的X方向)相對(duì)于GanX方向的傾斜度， 進(jìn)行臺(tái)架2傾斜度的修正。例如，若第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34之間的距離在 GanX方向上為+ 1000mm、在GanY方向上為+ lmm，則進(jìn)行GanX方向+1000、 GanY方向+ l的修正。另夕卜，為了進(jìn)行以下說(shuō)明的基板的膨脹的修正，求出第 三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34的中點(diǎn)的位置以及第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34之間的 距離(該距離設(shè)為L(zhǎng)O)，將其存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)部?jī)?nèi)。
像第一實(shí)施方式那樣使用移動(dòng)照相機(jī)8來(lái)拍攝第三標(biāo)記33和第四標(biāo)記34 時(shí)，與用兩個(gè)不同的固定照相機(jī)來(lái)拍攝第三標(biāo)記和第四標(biāo)記時(shí)相比，能高精度 地測(cè)定第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34間的距離。
使臺(tái)架2移動(dòng)，用第二照相機(jī)7來(lái)觀(guān)察第三標(biāo)記33，并利用第一照相機(jī) 來(lái)觀(guān)察第四標(biāo)記34，將第三標(biāo)記33和第四標(biāo)記34的位置存儲(chǔ)在微機(jī)4的存儲(chǔ) 部?jī)?nèi)。將該存儲(chǔ)的位置作為之后的對(duì)準(zhǔn)的基準(zhǔn)位置。
另外，第一實(shí)施方式中使用了移動(dòng)照相機(jī)8，但既可省略移動(dòng)照相機(jī)而用
兩個(gè)固定照相機(jī)來(lái)觀(guān)察第三和第四標(biāo)記，也可根據(jù)第一照相機(jī)和第二照相機(jī)的 坐標(biāo)來(lái)求出第三標(biāo)記和第四標(biāo)記4的位置關(guān)系。這種情況下不需要移動(dòng)照相機(jī)，
因此能削減基板處理裝置的制造成本。
也可用三個(gè)不同的固定照相機(jī)來(lái)觀(guān)察第一標(biāo)記和第二標(biāo)記、第三標(biāo)記、第四標(biāo)記。這種情況下，用第一照相機(jī)來(lái)拍攝第一標(biāo)記和第二標(biāo)記，用第二照相 機(jī)來(lái)拍攝第三標(biāo)記，并用第三照相機(jī)來(lái)觀(guān)察第四標(biāo)記。這種情況下，與用兩個(gè) 固定照相機(jī)來(lái)拍攝四個(gè)的第一至第四標(biāo)記時(shí)相比，當(dāng)然能提高第一至第四標(biāo)記 的配置位置的自由度。
接著，對(duì)基板的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
首先，利用上述搬運(yùn)機(jī)器人，將與校準(zhǔn)中使用的基板相同批的其它基板 IO載放在基板載放臺(tái)1的載放面上。此時(shí)，如上所述，基板10的位置相對(duì)于
正確的位置在xy方向和e方向上存在偏差。
接著，使用第一照相機(jī)6和第二照相機(jī)7，對(duì)第三標(biāo)記33和第四標(biāo)記34 進(jìn)行觀(guān)察。如果需要，可使臺(tái)架2移動(dòng)，以成為如圖9所示的狀態(tài)，能同時(shí)觀(guān) 察第三標(biāo)記33和第四標(biāo)記34。由于僅是移動(dòng)成能同時(shí)觀(guān)察的狀態(tài)，因此臺(tái)架 的移動(dòng)距離較短。
將上述校準(zhǔn)動(dòng)作中記住的第三標(biāo)記33至第四標(biāo)記34的距離與此次得到的 距離的差異視為基板膨脹。另外，如圖10所示，使基板載放臺(tái)i在e方向上 移動(dòng)并使臺(tái)架2沿XY方向移動(dòng)，以使第三標(biāo)記33和第四標(biāo)記34與通過(guò)校準(zhǔn) 而記住的位置關(guān)系對(duì)應(yīng)。
例如，在使基板載放臺(tái)1在e方向上旋轉(zhuǎn)，以使將第三標(biāo)記33與第四標(biāo) 記34連接的直線(xiàn)所成的角度成為圖8中記住的角度、即通過(guò)上述校準(zhǔn)動(dòng)作而 記住的角度后，使臺(tái)架2沿XY方向移動(dòng)，以使第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34的 中點(diǎn)的位置成為圖8中記住的第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34的中點(diǎn)的位置。由此， 即使存在基板膨脹時(shí)，也能使標(biāo)記1和標(biāo)記2與臺(tái)架移動(dòng)方向一致。
在上述校準(zhǔn)動(dòng)作中使用的基板10、在基板的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作中使用的基板10是 用同一掩膜(同一批次)生成的，因此，此時(shí)對(duì)于基板10而言，GanY方向與基 板圖案的Y方向成為同一個(gè)方向。
另外，像下面那樣對(duì)基板10的膨脹進(jìn)行修正。在對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作中，求出第三 標(biāo)記33與第四標(biāo)記34之間的距離(該距離設(shè)為L(zhǎng)l)。將距離Ll與校準(zhǔn)動(dòng)作中 求出的第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34之間的距離LO之比、即L1/L0(= a )作為對(duì) 基板膨脹的修正值。例如，若目標(biāo)排出位置離開(kāi)基準(zhǔn)的設(shè)計(jì)距離為(XA， YA)，
24則將相對(duì)于基準(zhǔn)(a，XA， a ，YA)的位置作為基板膨脹修正后的目標(biāo)排出位置。
根據(jù)第一實(shí)施方式，在基板10的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作中，能在幾乎不驅(qū)動(dòng)臺(tái)架且不 使用移動(dòng)照相機(jī)8的情況下使GanY方向與基板圖案的Y方向?qū)R成同一個(gè)方 向，與每次觀(guān)測(cè)四個(gè)標(biāo)記的位置的情況相比，能特別迅速且容易地進(jìn)行基板的 對(duì)準(zhǔn)。另外，能容易地對(duì)基板的膨脹進(jìn)行修正，能精密地進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。
第一實(shí)施方式的發(fā)明是在進(jìn)行上述基板的對(duì)準(zhǔn)后對(duì)基板10上的期望位置 準(zhǔn)確地排出墨水。接著對(duì)該動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。
圖13A 圖13D是表示液滴排出部的墨水排出動(dòng)作過(guò)程中的、基板上的圖 案81、 82、 83與噴墨頭的噴嘴84、 85、 86的關(guān)系的示意圖。
在圖13A 圖13D中，為了簡(jiǎn)略，以圖案81、 82、 83、噴嘴84、 85、 86 均為三個(gè)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明，當(dāng)然，也可用四個(gè)以上的噴嘴對(duì)許多圖案排出墨水。 當(dāng)然也可使一個(gè)或兩個(gè)噴嘴朝GanX方向適當(dāng)移動(dòng)來(lái)對(duì)許多圖案排出墨水。雖 然未圖示，但噴嘴84、 85、 86的排出面與基板載放臺(tái)的基板的載放面平行。 與臺(tái)架的位置無(wú)關(guān)，基板載放臺(tái)的上述載放面與上述排出面的間隔始終一定。 在本例中，臺(tái)架的移動(dòng)方向即GanY方向與圖案81、 82、 83的Y方向一致，相 對(duì)于臺(tái)架的延伸方向即GanX方向，圖案81、 82、 83的X方向傾斜。另夕卜，噴 嘴84、 85、 86位于沿GanX方向延伸的同一直線(xiàn)上。
通過(guò)上述基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作，臺(tái)架的移動(dòng)方向即GanY方向與基板的圖案的Y 方向處于一致的狀態(tài)。
使臺(tái)架2朝圖13A中箭頭a所示的GanY方向移動(dòng)，噴嘴84、 85、 86也朝 GanY方向移動(dòng)。
當(dāng)?shù)谝粋€(gè)噴嘴84到達(dá)第一個(gè)圖案81上方時(shí)，控制裝置將信號(hào)發(fā)送給噴墨 頭，以從第一個(gè)噴嘴84排出墨水。由此，如圖13B所示，第一個(gè)噴嘴84將墨 水朝第一個(gè)圖案81排出。
接著，臺(tái)架繼續(xù)朝GanY方向移動(dòng)，當(dāng)?shù)诙€(gè)噴嘴85到達(dá)第二個(gè)圖案82 的上方時(shí)，控制裝置將信號(hào)發(fā)送給噴墨頭，以從第二個(gè)噴嘴85排出墨水。由 此，如圖13C所示，第二個(gè)噴嘴85將墨水朝第二個(gè)圖案82排出。
接著，臺(tái)架繼續(xù)朝GanY方向移動(dòng)，當(dāng)?shù)谌齻€(gè)噴嘴86到達(dá)第三個(gè)圖案83的上方時(shí)，控制裝置將信號(hào)發(fā)送給噴墨頭，以從第三個(gè)噴嘴86排出墨水。由
此，如圖13D所示，第三個(gè)噴嘴86將墨水朝第三個(gè)圖案83排出。
這樣，只要圖案的Y軸方向與臺(tái)架的移動(dòng)方向(GanY方向)一致，并知道 圖案的X軸方向與臺(tái)架的延伸方向(GanX方向)的偏差角度，則只需修正排出時(shí) 刻就能對(duì)準(zhǔn)確的位置排出液滴。
根據(jù)上述第一實(shí)施方式的基板處理裝置，在基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作中，只需使第四 標(biāo)記34相對(duì)于第三標(biāo)記33的的方向與基板校準(zhǔn)動(dòng)作時(shí)存儲(chǔ)在控制裝置內(nèi)的第 四標(biāo)記34相對(duì)于第三標(biāo)記33的的方向一致，并使第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34 的中點(diǎn)與基板校準(zhǔn)動(dòng)作時(shí)存儲(chǔ)在控制裝置內(nèi)的第三標(biāo)記33和第四標(biāo)記34的位 置的中點(diǎn)一致，就能精密地確定基板10相對(duì)于基板載放臺(tái)的位置，針對(duì)同一 批中第二塊以后的基板IO，不用査看確定Y方向的第一和第二標(biāo)記31、 32就 能準(zhǔn)確地進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。因此，與以往的對(duì)所有基板都要進(jìn)行X方向和Y方 向的觀(guān)察的裝置相比，能特別快速地進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外，根據(jù)上述第一實(shí)施方式的基板處理裝置，在基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作中，只需 計(jì)算出第三標(biāo)記33與第四標(biāo)記34的距離就能準(zhǔn)確地計(jì)算出基板10的膨脹或 收縮的程度，因此能精密地進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外，上述第一實(shí)施方式的基板處理裝置在基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作中，通過(guò)使第三 標(biāo)記33和第四標(biāo)記34的方向及中間點(diǎn)與在基板校準(zhǔn)動(dòng)作中存儲(chǔ)的第三標(biāo)記33 和第四標(biāo)記34的方向及中間點(diǎn)一致來(lái)進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)。不過(guò)，在本發(fā)明中， 在基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作中也可通過(guò)使第一標(biāo)記31和第二標(biāo)記32的方向及中間點(diǎn)與在 基板校準(zhǔn)動(dòng)作中存儲(chǔ)的第一標(biāo)記31和第二標(biāo)記32的方向及中間點(diǎn)一致來(lái)進(jìn)行 基板的對(duì)準(zhǔn)。
另外，上述第一實(shí)施方式的基板處理裝置是在進(jìn)行基板的對(duì)準(zhǔn)后根據(jù)基板 的對(duì)準(zhǔn)對(duì)基板排出墨水。不過(guò)，本發(fā)明的基板處理裝置也可以是在進(jìn)行基板的 對(duì)準(zhǔn)后，根據(jù)該基板的對(duì)準(zhǔn)對(duì)基板使用激光或等離子來(lái)刮削基板上的期望部位 或者除去基板上的異物的裝置。
(第二實(shí)施方式)
圖14是進(jìn)行基板41的校準(zhǔn)動(dòng)作過(guò)程中的第二實(shí)施方式的基板處理裝置的示意圖。圖15是表示進(jìn)行基板41的對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作過(guò)程中的第二實(shí)施方式的基板處
理裝置的示意圖。在圖14中省略了第一照相機(jī)76和第二照相機(jī)77的圖示。
第二實(shí)施方式的基板處理裝置與第一實(shí)施方式的基板處理裝置的不同之 處在于不是使用四個(gè)標(biāo)記，而是使用基板41的三個(gè)標(biāo)記、即第一標(biāo)記51、 第二標(biāo)記52和第三標(biāo)記53來(lái)進(jìn)行基板41的對(duì)準(zhǔn)，以及在基板41的校準(zhǔn)中使 用的照相機(jī)僅是移動(dòng)照相機(jī)78等。
對(duì)第二實(shí)施方式的基板處理裝置中與第一實(shí)施方式的基板處理裝置的構(gòu) 成部相同的構(gòu)成部標(biāo)注相同的符號(hào)標(biāo)記并省略說(shuō)明。另外，省略第二實(shí)施方式 的基板處理裝置的與第一實(shí)施方式的基板處理裝置共有的作用效果和變形例 的說(shuō)明，僅對(duì)與第一實(shí)施方式的基板處理裝置不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
以下，依次說(shuō)明第二實(shí)施方式的基板處理裝置的基板校準(zhǔn)動(dòng)作、基板對(duì)準(zhǔn) 動(dòng)作。
首先，像下面那樣進(jìn)行基板校準(zhǔn)動(dòng)作。首先，用移動(dòng)照相機(jī)78來(lái)觀(guān)察第 一標(biāo)記51，并將觀(guān)察得到的圖像輸出給控制裝置(未圖示)，在控制裝置中存儲(chǔ) 第一標(biāo)記51的位置。接著，使臺(tái)架42朝GanY方向移動(dòng)，用移動(dòng)照相機(jī)78來(lái) 觀(guān)察第二標(biāo)記52，并將觀(guān)察得到的圖像輸出給控制裝置，在控制裝置中存儲(chǔ)第 二標(biāo)記52的位置。
之后，使基板載放臺(tái)旋轉(zhuǎn)，以使將第一標(biāo)記51與第二標(biāo)記52連接的直線(xiàn) 的方向與臺(tái)架42的移動(dòng)方向即GanY方向一致。
接著，用移動(dòng)照相機(jī)78來(lái)觀(guān)察第三標(biāo)記53，并將觀(guān)察得到的圖像輸出給 作為控制裝置的微機(jī)，在控制裝置的存儲(chǔ)部?jī)?nèi)存儲(chǔ)第三標(biāo)記53的位置。之后， 根據(jù)第一標(biāo)記51的位置與第三標(biāo)記53的位置的相對(duì)距離的差值，計(jì)算出包含 基板41的正交度偏差和基板載放臺(tái)的正交度偏差兩者的偏差量。另外，還測(cè) 定第一標(biāo)記51的位置與第三標(biāo)記53的中點(diǎn)的位置、第一標(biāo)記51的位置與第 三標(biāo)記53間的距離，將其存儲(chǔ)在上述存儲(chǔ)部?jī)?nèi)。
此處，所謂基板41的正交度偏差，是指基板圖案的X方向與Y方向偏離 正交的偏差量，即是指在基板41的2維平面內(nèi)多個(gè)墨水排出區(qū)域的排列的一 個(gè)方向與多個(gè)墨水排出區(qū)域的排列的另一個(gè)方向偏離正交的偏差量。另外，臺(tái)架42相對(duì)于基板載放臺(tái)以橫跨基板載放臺(tái)的一個(gè)方向的形態(tài)配
置，但臺(tái)架42的延伸方向不一定與該基板載放臺(tái)的一個(gè)方向一致。所謂基板 載放臺(tái)的正交度偏差，是指基板載放臺(tái)的另一個(gè)方向與臺(tái)架42的延伸方向偏 離正交的偏差量。
當(dāng)然，基板41的正交度偏差對(duì)于用同一掩膜生成的基板、即同一批生成 的基板而言不變化。當(dāng)然，基板載放臺(tái)的正交度偏差也不變化。 接著，像下面那樣進(jìn)行基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作。
通過(guò)移動(dòng)臺(tái)架42，用固定在臺(tái)架42的規(guī)定位置上的第一照相機(jī)76對(duì)第 三標(biāo)記53進(jìn)行觀(guān)察，將觀(guān)察得到的圖像輸出給控制裝置，在控制裝置中存儲(chǔ) 第三標(biāo)記53的位置。與此同時(shí)，用固定在臺(tái)架42的規(guī)定位置上的第二照相機(jī) 77對(duì)第一標(biāo)記51進(jìn)行觀(guān)察，將觀(guān)察得到的圖像輸出給控制裝置，在控制裝置 中存儲(chǔ)第一標(biāo)記51的位置。
之后，旋轉(zhuǎn)和平行移動(dòng)基板載放臺(tái)，以使第一標(biāo)記51和第三標(biāo)記53的方 向及中間點(diǎn)與在基板校準(zhǔn)動(dòng)作中存儲(chǔ)的第一標(biāo)記51和第三標(biāo)記53的方向及中 間點(diǎn)一致。這樣進(jìn)行基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作。另外，通過(guò)測(cè)定第一標(biāo)記51與第三標(biāo)記 53間的距離，與第一實(shí)施方式同樣地進(jìn)行基板41的膨脹的修正。第二實(shí)施方 式也與第一實(shí)施方式一樣，與以往相比，能大幅度減少基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作中基板載 放臺(tái)的移動(dòng)量，高速地進(jìn)行基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作。另外，能準(zhǔn)確地檢測(cè)基板41的膨 脹，能準(zhǔn)確地進(jìn)行每塊基板41的基板對(duì)準(zhǔn)動(dòng)作。
28
權(quán)利要求
1.一種基板處理裝置，其特征在于，包括基板載放臺(tái)，該基板載放臺(tái)具有載放基板的載放面；處理部，該處理部對(duì)所述載放面上的所述基板進(jìn)行處理；相對(duì)位置變動(dòng)裝置，該相對(duì)位置變動(dòng)裝置使所述載放面上的所述基板相對(duì)于所述處理部的相對(duì)位置變動(dòng)；攝像部保持部件，該攝像部保持部件以能相對(duì)于所述載放面沿第一方向移動(dòng)的形態(tài)安裝在所述基板載放臺(tái)上，且具有相對(duì)于所述載放面在所述載放面的法線(xiàn)方向上相對(duì)并沿第二方向延伸的相對(duì)部；攝像部，該攝像部安裝在所述相對(duì)部上，并能對(duì)在載放于所述載放面的所述基板上形成的第一標(biāo)記、第二標(biāo)記和第三標(biāo)記進(jìn)行攝像；存儲(chǔ)部，該存儲(chǔ)部能存儲(chǔ)所述基板上的所述第一標(biāo)記的位置、所述基板上的所述第三標(biāo)記的位置；控制裝置，該控制裝置進(jìn)行第一控制、第二控制和第三控制，在所述第一控制中，所述控制裝置根據(jù)來(lái)自所述攝像部的信號(hào)，使所述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)所述相對(duì)位置，以使將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與所述第一方向一致，在所述第二控制中，所述控制裝置根據(jù)來(lái)自所述攝像部的信號(hào)，使在將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與所述第一方向一致后的狀態(tài)下的所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記的位置存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部中，在所述第三控制中，所述控制裝置根據(jù)來(lái)自對(duì)所述第一標(biāo)記和所述第三標(biāo)記的位置被所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的所述基板以外的其它所述基板進(jìn)行攝像的所述攝像部的信號(hào)，使所述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)所述其它基板相對(duì)于所述處理部的相對(duì)位置，以使所述其它基板上將所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向一致。
2. 如權(quán)利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于，在所述第三控制中，所述控制裝置使所述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)所述其它基板相對(duì)于所述 處理部的相對(duì)位置，以使所述其它基板上將所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記 連接的線(xiàn)的中點(diǎn)與根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述第一標(biāo)記和所述第三標(biāo)記 的位置計(jì)算得到的將所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)一致。
3. 如權(quán)利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于，所述控制裝置計(jì) 算所述其它基板上的所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記間的距離和根據(jù)所述存 儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述第一標(biāo)記和所述第三標(biāo)記的位置計(jì)算得到的所述第一標(biāo) 記與所述第三標(biāo)記間的距離的比值。
4. 如權(quán)利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于，所述攝像部具有以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在所述攝像部保持部件上的 第一照相機(jī)和第二照相機(jī)、以能相對(duì)于所述攝像部保持部件沿所述第二方 向移動(dòng)的形態(tài)安裝在所述攝像部保持部件上的移動(dòng)照相機(jī)，在所述第三控制中，所述控制裝置根據(jù)來(lái)自對(duì)所述其它基板的所述第 三標(biāo)記進(jìn)行攝像的所述第一照相機(jī)的信號(hào)、來(lái)自對(duì)所述其它基板的所述第 一標(biāo)記進(jìn)行攝像的所述第二照相機(jī)的信號(hào)，來(lái)確定將所述其它基板上的所 述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向。
5. 如權(quán)利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述攝像部具有以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在所述攝像部保持部件上的第一照相機(jī)和第二照相機(jī)、以能相對(duì)于所述攝像部保持部件沿所述第二方 向移動(dòng)的形態(tài)安裝在所述攝像部保持部件上的移動(dòng)照相機(jī)，在所述第一控制中，所述控制裝置根據(jù)所述移動(dòng)照相機(jī)攝像得到的所 述第一標(biāo)記和所述第二標(biāo)記的位置來(lái)確定將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記 連接的線(xiàn)的方向，在所述第二控制中，所述控制裝置使所述移動(dòng)照相機(jī)攝 像得到的所述第一標(biāo)記和所述第二標(biāo)記的位置存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部中。
6. 如權(quán)利要求l所述的基板處理裝置，其特征在于，在所述攝像部保 持部件上，將液滴朝基板排出的液滴排出部以相對(duì)于所述攝像部保持部件 能沿所述第二方向移動(dòng)或不能沿所述第二方向移動(dòng)的形態(tài)安裝。
7. —種基板處理裝置，其特征在于，包括基板載放臺(tái)，該基板載放臺(tái)具有載放基板的載放面；處理部，該處理部對(duì)所述載放面上的所述基板進(jìn)行處理；相對(duì)位置變動(dòng)裝置，該相對(duì)位置變動(dòng)裝置使所述載放面上的所述基板 相對(duì)于所述處理部的相對(duì)位置變動(dòng)；攝像部保持部件，該攝像部保持部件以能相對(duì)于所述載放面沿第一方 向移動(dòng)的形態(tài)安裝在所述基板載放臺(tái)上，且具有相對(duì)于所述載放面在所述 載放面的法線(xiàn)方向上相對(duì)并沿第二方向延伸的相對(duì)部；攝像部，該攝像部安裝在所述相對(duì)部上，并能對(duì)在載放于所述載放面 的所述基板上形成的第一標(biāo)記、第二標(biāo)記、第三標(biāo)記和第四標(biāo)記進(jìn)行攝像；存儲(chǔ)部，該存儲(chǔ)部能存儲(chǔ)所述基板上的所述第三標(biāo)記的位置、所述基 板上的所述第四標(biāo)記的位置；控制裝置，該控制裝置進(jìn)行第一控制、第二控制和第三控制，在所述 第一控制中，所述控制裝置根據(jù)來(lái)自所述攝像部的信號(hào)，使所述相對(duì)位置 變動(dòng)裝置變動(dòng)所述相對(duì)位置，以使將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記連接的 線(xiàn)的方向與所述第一方向一致，在所述第二控制中，所述控制裝置根據(jù)來(lái) 自所述攝像部的信號(hào)，使在將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方 向與所述第一方向一致后的狀態(tài)下的所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記的位置 存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部中，在所述第三控制中，所述控制裝置根據(jù)來(lái)自對(duì)所述 第三標(biāo)記和所述第四標(biāo)記的位置被所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的所述基板以外的其它 所述基板進(jìn)行攝像的所述攝像部的信號(hào)，使所述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)所 述其它基板相對(duì)于所述處理部的相對(duì)位置，以使所述其它基板上將所述第 三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述第 三標(biāo)記和所述第四標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記 連接的線(xiàn)的方向一致。
8.如權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，在所述第三控制 中，所述控制裝置使所述相對(duì)位置變動(dòng)裝置變動(dòng)所述其它基板相對(duì)于所述 處理部的相對(duì)位置，以使所述其它基板上將所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記 連接的線(xiàn)的中點(diǎn)與根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述第三標(biāo)記和所述第四標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)一致。
9. 如權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，所述控制裝置計(jì) 算所述其它基板上的所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記間的距離和根據(jù)所述存 儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述第三標(biāo)記和所述第四標(biāo)記的位置計(jì)算得到的所述第三標(biāo) 記與所述第四標(biāo)記間的距離的比值。
10. 如權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，所述攝像部具有以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在所述攝像部保持部件上的 第一照相機(jī)和第二照相機(jī)、以能相對(duì)于所述攝像部保持部件沿所述第二方 向移動(dòng)的形態(tài)安裝在所述攝像部保持部件上的移動(dòng)照相機(jī)，在所述第三控制中，所述控制裝置根據(jù)來(lái)自對(duì)所述其它基板的所述第 四標(biāo)記進(jìn)行攝像的所述第一照相機(jī)的信號(hào)、來(lái)自對(duì)所述其它基板的所述第 三標(biāo)記進(jìn)行攝像的所述第二照相機(jī)的信號(hào)，來(lái)確定將所述其它基板上的所 述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向。
11. 如權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于， 所述攝像部具有以不能移動(dòng)的形態(tài)固定在所述攝像部保持部件上的第一照相機(jī)和第二照相機(jī)、以能相對(duì)于所述攝像部保持部件沿所述第二方 向移動(dòng)的形態(tài)安裝在所述攝像部保持部件上的移動(dòng)照相機(jī)，在所述第一控制中，所述控制裝置根據(jù)所述移動(dòng)照相機(jī)攝像得到的所 述第一標(biāo)記和所述第二標(biāo)記的位置來(lái)確定將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記 連接的線(xiàn)的方向，在所述第二控制中，所述控制裝置使所述移動(dòng)照相機(jī)攝 像得到的所述第三標(biāo)記和所述第四標(biāo)記的位置存儲(chǔ)在所述存儲(chǔ)部中。
12. 如權(quán)利要求7所述的基板處理裝置，其特征在于，在所述攝像部保持部件上，將液滴朝基板排出的液滴排出部以相對(duì)于所述攝像部保持部 件能沿所述第二方向移動(dòng)或不能沿所述第二方向移動(dòng)的形態(tài)安裝。
13. —種基板處理方法，其特征在于，在基板載放臺(tái)的載放面上載放第一基板后，根據(jù)所述第一基板上的第 一標(biāo)記和第二標(biāo)記的位置，使將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的 方向與以能相對(duì)于所述載放面沿第一方向移動(dòng)的形態(tài)安裝在所述基板載放臺(tái)上并沿第二方向延伸的攝像部保持部件的所述第一方向一致，使在將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與所述第一方向 一致的狀態(tài)下的所述第一基板上的所述第一標(biāo)記的位置和所述第三標(biāo)記的 位置存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部中，在所述基板載放臺(tái)的載放面上載放第二基板后，使將所述第二基板上 的第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所 述第一基板上的所述第一標(biāo)記的位置和所述第三標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將 所述第一基板上的所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向一致。
14. 如權(quán)利要求13所述的基板處理方法，其特征在于，在所述基板載 放臺(tái)的載放面上載放所述第二基板后，使將所述第二基板上的第一標(biāo)記與 所述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)與根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述第一基板上 的所述第一標(biāo)記的位置和所述第三標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將所述第一基板 上的所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)一致。
15. 如權(quán)利要求13所述的基板處理方法，其特征在于，計(jì)算所述第二基板上的所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記間的距離和根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ) 的所述第一基板上的所述第一標(biāo)記的位置和所述第三標(biāo)記的位置計(jì)算得到 的所述第一基板上的所述第一標(biāo)記與所述第三標(biāo)記間的距離的比值。
16. —種基板處理方法，其特征在于，在基板載放臺(tái)的載放面上載放第一基板后，根據(jù)所述第一基板上的第 一標(biāo)記和第二標(biāo)記的位置，使將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的 方向與以能相對(duì)于所述載放面沿第一方向移動(dòng)的形態(tài)安裝在所述基板載放 臺(tái)上并沿第二方向延伸的攝像部保持部件的所述第一方向一致，使在將所述第一標(biāo)記與所述第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與所述第一方向 一致的狀態(tài)下的所述第一基板上的第三標(biāo)記的位置和所述第四標(biāo)記的位置 存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部中，在所述基板載放臺(tái)的載放面上載放第二基板后，使將所述第二基板上 的第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所 述第一基板上的所述第三標(biāo)記的位置和所述第四標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將所述第一基板上的所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向一致。
17. 如權(quán)利要求16所述的基板處理方法，其特征在于，在所述基板載 放臺(tái)的載放面上載放所述第二基板后，使將所述第二基板上的第三標(biāo)記與 所述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)與根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的所述第一基板上 的所述第三標(biāo)記的位置和所述第四標(biāo)記的位置計(jì)算得到的將所述第一基板 上的所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記連接的線(xiàn)的中點(diǎn)一致。
18. 如權(quán)利要求16所述的基板處理方法，其特征在于，計(jì)算所述第二基板上的所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記間的距離和根據(jù)所述存儲(chǔ)部中存儲(chǔ) 的所述第一基板上的所述第三標(biāo)記的位置和所述第四標(biāo)記的位置計(jì)算得到 的所述第一基板上的所述第三標(biāo)記與所述第四標(biāo)記間的距離的比值。
全文摘要
本基板處理裝置根據(jù)載放在基板載放臺(tái)(1)的載放面上的第一基板的第一標(biāo)記和第二標(biāo)記的位置，使將第一標(biāo)記與第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與臺(tái)架(2)的能移動(dòng)的方向一致，使在將第一標(biāo)記與第二標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與上述移動(dòng)方向一致的狀態(tài)下的第一標(biāo)記的位置和第三標(biāo)記的位置存儲(chǔ)在存儲(chǔ)部中，在基板載放臺(tái)(1)的載放面上載放第二基板后，針對(duì)第二基板，使將第二基板上的第一標(biāo)記與第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向與根據(jù)存儲(chǔ)部中存儲(chǔ)的信息計(jì)算得到的將第一基板上的第一標(biāo)記與第二基板上的第三標(biāo)記連接的線(xiàn)的方向一致。
文檔編號(hào)H01L21/68GK101584035SQ20078004960
公開(kāi)日2009年11月18日 申請(qǐng)日期2007年12月4日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月5日
發(fā)明者森井浩二郎 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社