專利名稱：薄膜圖案層的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種薄膜圖案層的制造方法。
背景技術：
目前，噴墨法在制造薄膜圖案層中越來越廣泛。在噴墨法中，使用噴墨 裝置在已形成擋墻的玻璃基板上噴墨，干燥墨水形成薄膜圖案層。
請參閱圖14及圖15,為一個基板120的示意圖。基板120上具有多個 擋墻122，所述多個擋墻122與所述基板120限定多個收容空間124。每一 行收容空間124沿著X軸排布，每一列收容空間124沿著Y軸排布，每相 鄰兩4亍收容空間124之間的間隔為d。
請參閱圖16，噴墨頭900中相鄰噴嘴902與904的間距為d。在現(xiàn)有技 術中，在噴嘴902沿著第一路線312噴墨后，噴墨頭900沿著Y軸負方向移 動距離d,從而噴嘴904沿著第一路線312的反方向噴墨。
然而，噴嘴902及904對同一個收容空間124噴墨時，前后兩次噴墨路 線基本上重疊。故墨水在收容空間124內難以均勻擴散，墨水干燥后形成的 薄膜圖案層往往厚度不均勻。

發(fā)明內容
有鑒于此，有必要提供一種能提高均勻度的薄膜圖案層的制造方法。 一種薄膜圖案層的制造方法，其包括以下步驟提供一個基板，所述基 板具有多個擋墻，所述多個擋墻與所述基板限定多個收容空間，每一個收容
空間具有相互平行的第一側邊及第二側邊，第一側邊與第二側邊的距離為b; 提供第一噴嘴，該第一噴嘴沿著第一路線移動，該第一路線位于一個待處理 的收容空間的第一側邊與第二側邊之間，與該第一側邊平行，且距離為a; 該第一噴嘴對該收容空間噴入墨水；提供第二噴嘴，該第二噴嘴沿著第二路線移動，該第二路線與該第一路線平行，該第二路線與該第一路線的距離C
符合以下兩個關系式之一0<c<b-a,及0<c<a;該第二噴嘴對該收容空間噴 入墨水；干燥固化收容空間的墨水而形成薄膜圖案層。
相較于現(xiàn)有技術，上述薄膜圖案層的制造方法中不同噴嘴將墨水噴到同 一個收容空間的不同位置，從而促使墨水在同 一個收容空間中更加均勻地分 布，進而提高薄膜圖案層的均勻度。


圖l至圖IO為本發(fā)明第一實施例之薄膜圖案層制造方法示意圖，其中 圖1為基板俯視圖2為圖1所示基板沿著直線II-II的剖視圖3至圖6為噴墨步驟之示意圖7至圖8為另一噴墨步驟之示意圖9為形成顏色層之基板剖視圖10為形成有導電層之基板剖視圖11為本發(fā)明第二實施例之噴墨步驟示意圖12為本發(fā)明第三實施例之噴墨步驟示意圖13為本發(fā)明第四實施例之噴墨步驟示意圖14為現(xiàn)有技術中一個基板的俯視圖15為圖14所示基板沿著直線XV-XV的剖視圖16現(xiàn)有技術中噴墨步驟之示意圖。
具體實施例方式
下面將結合附圖對本發(fā)明實施例作進一步之詳細說明。 請一起參閱圖1到圖10，系本發(fā)明第一實施例提供之一種薄膜圖案層的 制造方法示意圖，該方法之步驟如下
步驟一提供一基板100,如圖1及圖2所示?；?00上具有多個擋 墻102，所述多個擋墻102與所述基板100限定多個收容空間104。每一行 收容空間104沿著X軸排布，每一列收容空間104沿著Y軸排布，每相鄰 兩行收容空間104之間的間隔為d，每一個收容空間104具有相互平行的第
6一側邊110及第二側邊112,兩側邊之間間隔為b,即收容空間104在Y軸 上的寬度為b。本實施例中，基板IOO之材料選用玻璃。當然，基板材料也 可選用石英玻璃、硅晶圓、金屬或塑料等。
步驟二如圖3所示，提供一個噴墨頭300,噴墨頭300至少包含有第 一噴嘴302及第二噴嘴304，噴嘴302及304沿著Y軸排列，噴嘴302及304 在Y軸(即與列印方向垂直的方向)的投影間隔亦為d。下面以收容空間104 為例，對噴墨頭300對收容空間104噴墨過程進行描述。噴墨頭300沿著第 一路線306移動，第一路線306是沿著X軸正方向，第一路線306與第一側 邊110的距離為a。當?shù)谝粐娮?02移動到收容空間104的位置時，第一噴 嘴302對收容空間104噴墨。噴墨頭300可選用熱泡式或壓電式。
步驟三如圖4及圖5所示，噴墨頭300繼續(xù)沿著該第一路線306移動， 當噴墨頭300移動到收容空間104的一側后，噴墨頭300沿著第二路線308 移動距離c,第二路線308沿著Y軸的反方向，距離c符合以下關系式之一 d<c<d+b-a及d-a<c<d。
當然，若噴嘴302及304在Y軸上的間隔為k'd (k為任意自然數(shù))，相 應地，噴墨頭300應該沿著第二路線移動距離c,該距離c應符合以下關系 式之一kd<c<kd+b-a及kd-a<c<kd (k為任意自然數(shù))。
步驟四如圖5及圖6所示，噴墨頭300沿著第三路線310移動，該第 三路線310沿著X軸的反方向，當?shù)诙娮?04移動到收容空間104的位置 時，第二噴嘴304對收容空間104噴墨。噴墨后，噴墨頭300繼續(xù)沿著第三 路線310移動。
當噴墨頭300移動距離c為d<c<d+b-a3t，第一路線及第三路線的距離 c為0<c<b-a;當噴墨頭300移動距離c為d-a<c<d時，第一路線及第三路線 的3巨離c為0<c<a。
墨水之中至少包含一溶劑。優(yōu)選地，該溶劑為有機溶劑，且該溶劑應該 有較高的沸點，比如說沸點應該高于170攝氏度rC)，沸點高于185。C更佳。 不同的有機溶劑有不同的沸點，例如，對于沸點400 。C的溶劑也可以用于本 發(fā)明，且取得預期的效果。這樣,在第二噴嘴304將墨水噴入一個收容空間 104之前，第一噴嘴302噴入同一個收容空間104的墨水不會固化。噴嘴302 及304先后噴入同一個收容空間104的墨水可以互相混合，而且可以同時被固化。
作為噴墨步驟可替代的實施例，在對收容空間104前后兩次噴墨可以采 用同一個噴墨頭。也就是說，請再次參閱圖4，當噴墨頭300沿著第二路線 308移動到圖7的位置時，即當?shù)谝粐娮?02的中心位于第三路線310上時， 噴墨頭3 00沿著第三路線310移動。第 一 噴嘴3 02再次對收容空間10 4噴墨。 噴墨后，噴墨頭300繼續(xù)沿著第三路線310移動，如圖8所示。
步驟五干燥固化多個收容空間104中墨水而形成顏色層106，如圖9 所示。此步驟主要藉由一抽真空裝置、 一加熱裝置或一曝光裝置，將多個收 容空間104之墨水進行干燥固化，或者采用上述三者方式之任兩種或三種進 行干燥固化，而曝光裝置包括紫外光曝光照射裝置。
步驟六于該基板IOO上形成覆蓋擋墻102及顏色層106的透明導電層 108,如圖IO所示。此步驟為可選擇之步驟。例如，使用真空賊鍍裝置，形 成一層氧化銦錫薄膜(Indium Tin Oxide Film, ITO Film)。
應當指出的是，在上述實施例噴嘴302及304在Y軸上的間隔為kd (k 為任意自然數(shù))。當然，間隔可以任意，只要使得第一路線及第三路線的距 離c符合以下關系式之一即可0<c<b-a，及0<c<a，從而不同噴嘴將墨水 噴到同 一個收容空間的不同位置。
在上述實施例中，同一個收容空間采用兩個噴嘴進行噴墨?？梢岳斫?， 同一個收容空間也可以采用三個或三個以上的噴嘴進行噴墨，每個噴嘴移動 的路線不同，從而將墨水噴到同 一 個收容空間的不同位置。
上述薄膜圖案層的制造方法中不同噴嘴將墨水噴到同 一個收容空間的 不同位置，從而促使墨水在同一個收容空間中更加均勻地分布，進而提高薄 膜圖案層的均勻度。
請參閱圖11，為本發(fā)明第二實施例之噴墨步驟示意圖。該噴墨步驟與前 述第一實施例之噴墨步驟類似，區(qū)別在于第一噴嘴402及第二噴嘴502分 別位于第一噴墨頭400及第二噴墨頭500。第一噴墨頭400及第二噴墨頭500 可以是同一型號的噴墨頭，也可以是不同型號的噴墨頭。第一噴墨頭400及 第二噴墨頭500可以是設置在同一機臺，也可以是設置在不同的機臺。在噴 墨過程中，噴墨頭400、 500作為一個整體移動。噴墨頭400、 500的運動軌 跡與噴墨頭300的運動軌跡相似，在此不再——贅述。請參閱圖12,為本發(fā)明第三實施例之噴墨步驟示意圖。該噴墨步驟與前
述第一實施例之噴墨步驟類似，區(qū)別在于噴墨頭600相對于第一路線306 傾斜設置，噴嘴602與604的中心連線與第一路線306互成角度6(其中，
o。<e<9o。，或者％°<e<i8o。)。在本實施例中，e=45。。噴嘴602與604在Y
軸上的投影間距為d。
請參閱圖13，為本發(fā)明第四實施例之噴墨步驟示意圖。該噴墨步驟與前 述第二實施例之噴墨步驟類似，區(qū)別在于噴墨頭700及800均相對于第一 路線306傾斜設置，噴嘴702、 802與804的中心連線與第一路線306互成
角度e(其中，o。<e<9o°,或者90°<e<i80。)。在本實施例中，e=45。。 . 需要指出的是，本發(fā)明之薄膜圖案層結構及其制造方法可適用于彩色濾 光片及有機發(fā)光裝置之制造等。于彩色濾光片之制程中，可用此制程完成紅 綠藍三色顏色層之制造，相應地，上述擋墻可以是單層擋墻(僅使用黑矩陣 作為擋墻)，也可以是多層擋墻(包括黑矩陣及黑矩陣之上的一層或多層材 料)。而于有機發(fā)光裝置之制造中，可用此制程完成有機發(fā)光裝置之導線層， 發(fā)光層及電子電洞傳輸層等之制造。然而，所形成之薄膜圖案及所需之墨水 會有所不同。
另外，本領域技術人員還可在本發(fā)明精神內做其它變化，當然，這些依 據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應包含在本發(fā)明所要求保護的范圍之內。
權利要求
1. 一種薄膜圖案層的制造方法，其包括以下步驟 提供一個基板，所述基板具有多個擋墻，所述多個擋墻與所述基板限定有多個收容空間，每一個收容空間具有相互平行的第一側邊及第二側邊，第 一側邊與第二側邊的距離為b;提供第一噴嘴，該第一噴嘴沿著第一路線移動，該第一路線位于一個待 處理的收容空間的第一側邊與第二側邊之間，與該第一側邊平行，且距離為該第 一噴嘴對該收容空間噴入墨水；提供第二噴嘴，該第二噴嘴沿著第二路線移動，該第二路線與該第一路 線平行，該第二路線與該第一路線的距離c符合以下兩個關系式之一 0<c<b-a，及0<c<a;該第二噴嘴對該收容空間噴入墨水；干燥固化收容空間的墨水而形成薄膜圖案層。
2. 如權利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該墨水至 少包括一種溶劑，該溶劑的沸點高于170°C。
3. 如權利要求2所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該溶劑的 沸點高于185°C。
4. 如權利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述基板 材料選自玻璃、石英玻璃、硅晶圓、金屬或塑料。
5. 如權利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該干燥固 化步驟采用以下裝置中的至少一種 一種抽真空裝置、 一種加熱裝置及一種 曝光裝置。
6. 如權利要求5所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該曝光裝 置包括紫外光曝光照射裝置。
7. 如權利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第一 噴嘴及第二噴嘴均位于同 一噴墨頭。
8. 如權利要求7所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該噴墨頭 系熱泡式或壓電式。
9. 如權利要求1所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第一 噴嘴及第二噴嘴分別位于第一噴墨頭及第二噴墨頭。
10. 如權利要求9所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第一、第二噴墨頭為同一型號之噴墨頭。
11. 如權利要求9所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第一、第二噴墨頭為不同型號之噴墨頭。
12. 如權利要求9所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第 一、第二噴墨頭均設置于同一機臺上。
13. 如權利要求9所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述第 一、第二噴墨頭分別設置于不同之機臺上。
14. 一種薄膜圖案層的制造方法，其包括以下步驟 提供一個基板，所述基板具有多個擋墻，所述多個擋墻與所述基板限定有多個收容空間，每一個收容空間具有相互平行的第一側邊及第二側邊，第 一側邊與第二側邊的距離為b;提供一個噴嘴，該噴嘴沿著第一路線移動，該第一路線位于一個待處理 的收容空間的第一側邊與第二側邊之間，與該第一側邊平行，且距離為a;該噴嘴對該收容空間噴入墨水；該噴嘴沿著第二路線移動，該第二路線與該第一路線平行，該第二路線 與該第一路線的距離c符合以下兩個關系式之一0<c<b-a，及0<c<a; 該噴嘴對該收容空間噴入墨水； 干燥固化收容空間的墨水而形成薄膜圖案層。
15. 如權利要求14所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該墨水 至少包括一種溶劑，該溶劑的沸點高于17CTC。
16. 如權利要求15所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該溶劑 的沸點高于185。C。
17. 如權利要求14所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，所述基 板材料選自玻璃、石英玻璃、硅晶圓、金屬或塑料。
18. 如權利要求14所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該干燥 固化步驟采用以下裝置中的至少一種 一種抽真空裝置、 一種加熱裝置及一 種曝光裝置。
19. 如權利要求18所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該曝光 裝置包括紫外光曝光照射裝置。
20. 如權利要求15所述的薄膜圖案層的制造方法，其特征在于，該溶劑 為有機溶劑。
全文摘要
一種薄膜圖案層的制造方法，其包括以下步驟提供一個基板，所述基板具有多個擋墻，所述多個擋墻與所述基板限定有多個收容空間，每一個收容空間具有相互平行的第一側邊及第二側邊，第一側邊與第二側邊的距離為b；提供第一噴嘴，該第一噴嘴沿著第一路線移動，該第一路線位于一個待處理的收容空間的第一側邊與第二側邊之間，與該第一側邊平行，且距離為a；該第一噴嘴對該收容空間噴入墨水；提供第二噴嘴，該第二噴嘴沿著第二路線移動，該第二路線與該第一路線平行，該第二路線與該第一路線的距離c符合以下兩個關系式之一0＜c＜b-a，及0＜c＜a；該第二噴嘴對該收容空間噴入墨水；干燥固化收容空間的墨水而形成薄膜圖案層。
文檔編號H01L51/00GK101312115SQ200710107989
公開日2008年11月26日 申請日期2007年5月22日 優(yōu)先權日2007年5月22日
發(fā)明者周景瑜, 廖義銘, 王宇寧, 黃繼震 申請人:Icf科技有限公司