固化處理方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種固化處理方法,包括:將待處理物放置于氣壓箱之中;通過設(shè)置于所述氣壓箱內(nèi)的熱水管將所述氣壓箱內(nèi)的溫度控制至第一預(yù)定溫度;以及向所述氣壓箱施加預(yù)定氣壓,從而控制氣壓箱內(nèi)的溫度至第二預(yù)定溫度。本發(fā)明的固化處理方法溫度易控、安全可靠,而且成本低,適于推廣使用。
【專利說明】固化處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于處理半導(dǎo)體產(chǎn)品的固化處理方法,尤其涉及一種用于固化干燥磁盤驅(qū)動(dòng)器的磁頭或磁頭折片組合的固化處理方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)過程中,往往涉及零部件之間的粘接,而應(yīng)用于粘接的粘接劑種類繁多,而UV膠由于其安全、經(jīng)濟(jì)、相容性好而成為目前使用最為廣泛之一的粘接劑。UV膠即紫外光固化膠,其由基礎(chǔ)樹脂、活性單體、光引發(fā)劑等主成分配以穩(wěn)定劑交聯(lián)劑、偶連劑等助劑組成。其在適當(dāng)波長(zhǎng)的紫外光照射下,光引發(fā)劑迅速生自由劑或離子,進(jìn)而引發(fā)基礎(chǔ)樹脂和活性單體聚合交聯(lián)成網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),從而達(dá)到粘接材料的粘接。
[0003]例如,在磁盤驅(qū)動(dòng)器領(lǐng)域中,磁頭的微致動(dòng)器的連接或磁頭與懸臂件之間的連接,往往使用到環(huán)氧樹脂之類的樹脂粘接劑,該粘接劑需在紫外光的照射下實(shí)現(xiàn)固化。其中,該紫外光的強(qiáng)度和時(shí)間的控制顯得極其重要。若強(qiáng)度和時(shí)間不夠,環(huán)氧樹脂則不能完全固化;若強(qiáng)度過大時(shí)間過長(zhǎng),則會(huì)使零部件受損。在此情況下,操作人員往往選擇一種折中的方法將粘接劑固化,首先將需固化的產(chǎn)品在強(qiáng)度較小的紫外光下照射一段時(shí)間,繼而將產(chǎn)品進(jìn)行進(jìn)一步的熱加工處理,從而實(shí)現(xiàn)固化和干燥的效果。
[0004]一般地,現(xiàn)有的在紫外光照射后的熱加工處理往往采用電熱絲進(jìn)行加熱。然而,此種熱加工處理的溫度仍然很難控制,一旦溫度過高,如超過粘接劑的耐熱溫度100°c,則會(huì)使粘接劑失效,若溫度到達(dá)120°c以上,則會(huì)使磁頭發(fā)生損壞。
[0005]因此,亟待一種改進(jìn)的固化處理方法以克服上述缺陷。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安全可靠的固化處理方法。
[0007]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種固化處理方法,包括:將待處理物放置于氣壓箱之中;通過設(shè)置于所述氣壓箱內(nèi)的熱水管將所述氣壓箱內(nèi)的溫度控制至第一預(yù)定溫度;以及向所述氣壓箱施加預(yù)定氣壓,從而控制氣壓箱內(nèi)的溫度至第二預(yù)定溫度。
[0008]較佳地,所述第一預(yù)定溫度的范圍為20°C?100°C。
[0009]較佳地,施加的所述氣壓的范圍為(T30KPa。
[0010]較佳地,所述第二預(yù)定溫度為100°C。
[0011]較佳地,當(dāng)所述氣壓箱內(nèi)的氣壓達(dá)到預(yù)定值,控制所述氣壓箱上的旋鈕自動(dòng)旋開,從而釋放氣壓。
[0012]較佳地,所述熱水管與一供水設(shè)備連接以提供所述第一預(yù)定溫度所需的熱量。
[0013]較佳地,所述氣壓箱內(nèi)設(shè)有支撐板用以支撐所述待處理物,更佳地,所述支撐板上設(shè)有多個(gè)孔。
[0014]較佳地,所述待處理物為微致動(dòng)器或磁頭折片組合。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供的固化處理方法通過設(shè)置于氣壓箱內(nèi)的熱水管將氣壓箱內(nèi)的溫度控制至第一預(yù)定溫度,繼而向氣壓箱施加預(yù)定氣壓,使得氣壓箱內(nèi)的溫度被壓縮,從而升到理想的第二預(yù)定溫度,進(jìn)而使氣壓箱內(nèi)的待處理物達(dá)到固化和干燥的目的。本發(fā)明用熱水管取代傳統(tǒng)的電熱絲,溫度易控、安全可靠,而且成本低,適于推廣使用。
[0016]通過以下的描述并結(jié)合附圖,本發(fā)明將變得更加清晰,這些附圖用于解釋本發(fā)明的實(shí)施例。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明的固化處理方法的一個(gè)實(shí)施例的流程圖。
[0018]圖2為本發(fā)明的固化處理裝置的一個(gè)示意圖。
[0019]圖3為圖2所示的固化處理裝置的支撐板的示意圖。
[0020]圖4為圖2所示的固化處理裝置在工作狀態(tài)下的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面將參考附圖闡述本發(fā)明幾個(gè)不同的最佳實(shí)施例,其中不同圖中相同的標(biāo)號(hào)代表相同的部件。如上所述,本發(fā)明的實(shí)質(zhì)在于一種固化處理方法,其通過設(shè)置于氣壓箱內(nèi)的熱水管將氣壓箱內(nèi)的溫度控制至第一預(yù)定溫度,繼而向氣壓箱施加預(yù)定氣壓,使得氣壓箱內(nèi)的溫度被壓縮,從而升到理想的第二預(yù)定溫度,進(jìn)而使氣壓箱內(nèi)的待處理物達(dá)到固化和干燥的目的。
[0022]參照?qǐng)D1,本發(fā)明的固化處理方法包括以下步驟:
[0023]步驟(601 ),將待處理物放置于氣壓箱之中。
[0024]步驟(602),通過設(shè)置于所述氣壓箱內(nèi)的熱水管將所述氣壓箱內(nèi)的溫度控制至第
一預(yù)定溫度。
[0025]步驟(603),向所述氣壓箱施加預(yù)定氣壓,從而控制氣壓箱內(nèi)的溫度至第二預(yù)定溫度。
[0026]具體地,該第一預(yù)定溫度的范圍為20°C ?100°C,通過向氣壓箱時(shí)間的預(yù)定氣壓為(T30KPa,通過氣體壓縮將氣壓箱內(nèi)的溫度控制至第二預(yù)定溫度,該第二預(yù)定溫度為100°C為最佳。
[0027]較佳地,當(dāng)氣壓箱內(nèi)的氣壓達(dá)到一定值時(shí),控制氣壓箱上的旋鈕自動(dòng)旋開,從而釋放氣壓,使得氣壓箱內(nèi)的氣壓保持恒定。
[0028]相應(yīng)地,執(zhí)行本發(fā)明的固化處理方法的固化處理裝置I如圖2-4所示,該固化處理裝置I包括氣壓箱10、分別與氣壓箱10相連的氣壓施加裝置20和熱量產(chǎn)生裝置30。具體地,待處理物放置于該氣壓箱10內(nèi),而氣壓施加裝置20向氣壓箱10施加氣壓,熱量產(chǎn)生裝置30使氣壓箱10處于預(yù)定的高溫狀態(tài)。待處理物在此氣壓箱10的高溫高壓下實(shí)現(xiàn)固化干燥。
[0029]如圖2-圖4所示,該氣壓箱10中設(shè)有支撐板101,該支撐板101與氣壓箱10的相對(duì)兩側(cè)臂102、103相連。該支撐板101上設(shè)有多個(gè)孔104,以使氣壓箱10內(nèi)的氣流可在氣壓箱10內(nèi)循環(huán)。待處理物40則由支撐板101支撐。在本實(shí)施例中,該待處理物40可為任何需固化的產(chǎn)品,如帶環(huán)氧膠樹脂的磁頭、磁頭折片組合等產(chǎn)品。較佳地,支撐板101位于熱量產(chǎn)生裝置30的上方。[0030]如圖2所示,該氣壓箱10的頂部設(shè)有蓋體105以實(shí)現(xiàn)密封,而蓋體105上則設(shè)有旋鈕106,該旋鈕106由一控制裝置(圖未示)控制,當(dāng)氣壓箱10內(nèi)部的壓力到達(dá)一預(yù)定氣壓時(shí)自動(dòng)旋開從而釋放壓力,保持氣壓箱10內(nèi)的氣壓保持恒定。較佳地,該氣壓箱10由不銹鋼材料或陶瓷材料制成,厚度為lcmlcm,其能承受的壓力至少為40Kg/cm2。
[0031]具體地,該熱量產(chǎn)生裝置30包括設(shè)置于氣壓箱10中的熱水管301以及與該熱水管301相連的供水設(shè)備(圖未示),如熱水泵或鍋爐,該熱水管301使氣壓箱10的溫度控制在20°C ^lOO0C (第一預(yù)定溫度)。
[0032]該氣壓施加裝置20包括氣泵201以及分別與該氣泵201和氣壓箱10連接的通道202。具體地,該氣泵向所述氣壓箱10提供的氣壓范圍為(T30KPa。
[0033]本發(fā)明通過向氣壓箱10加壓而使氣壓箱10內(nèi)的溫度升高,從而使氣壓箱10內(nèi)的待處理物40到達(dá)固化和干燥的目的。為本領(lǐng)域的技術(shù)人員所熟知,密封容器在壓縮前后的
溫度和壓強(qiáng)的關(guān)系呈正比
【權(quán)利要求】
1.一種固化處理方法,其特征在于,包括: 將待處理物放置于氣壓箱之中; 通過設(shè)置于所述氣壓箱內(nèi)的熱水管將所述氣壓箱內(nèi)的溫度控制至第一預(yù)定溫度;以及 向所述氣壓箱施加預(yù)定氣壓,從而控制氣壓箱內(nèi)的溫度至第二預(yù)定溫度。
2.如權(quán)利要求1所述的固化處理方法,其特征在于:所述第一預(yù)定溫度的范圍為20 0C ~100。。。
3.如權(quán)利要求1所述的固化處理方法,其特征在于:施加的所述氣壓的范圍為0~30KPa。
4.如權(quán)利要求1所述的固化處理方法,其特征在于:所述第二預(yù)定溫度為100°C。
5.如權(quán)利要求1所述的固化處理方法,其特征在于,還包括:當(dāng)所述氣壓箱內(nèi)的氣壓達(dá)到預(yù)定值,控制所述氣壓箱上的旋鈕自動(dòng)旋開,從而釋放氣壓。
6.如權(quán)利要求1所述的固化處理方法,其特征在于:所述熱水管與一供水設(shè)備連接以提供所述第一預(yù)定溫度所需的熱量。
7.如權(quán)利要求1所述的固化處理方法,其特征在于:所述氣壓箱內(nèi)設(shè)有支撐板用以支撐所述待處理物。
8.如權(quán)利要求1所述的固化處理方法,其特征在于:所述支撐板上設(shè)有多個(gè)孔。
9.如權(quán)利要求1所述的固化處理方法,其特征在于:所述待處理物為微致動(dòng)器或磁頭折片組合。
【文檔編號(hào)】G11B5/127GK104021800SQ201310064363
【公開日】2014年9月3日 申請(qǐng)日期:2013年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年2月28日
【發(fā)明者】李寧 申請(qǐng)人:新科實(shí)業(yè)有限公司