專利名稱：一種異物檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及異物檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種異物檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-1XD)用異物檢測(cè)裝置，如圖1所示，主要包括:異物掃描區(qū)101和異物確認(rèn)區(qū)102。此外，圖1中的107表示基板；103表示掃描區(qū)2D鏡頭，用于掃描檢測(cè)異物面積；104表示滾輪，用于為基板107的傳動(dòng)提供動(dòng)力；105表示固定夾子，用于固定基板107 ；106表示確認(rèn)區(qū)2D鏡頭，用于確認(rèn)基板107上的缺陷面積(即異物面積)的大小。然而，現(xiàn)有技術(shù)中的異物檢測(cè)裝置通常采用對(duì)基板表面異物進(jìn)行拍照、像素比對(duì)，計(jì)算出異物的面積，并未對(duì)異物進(jìn)行高度測(cè)量，這樣通常會(huì)忽視一些面積小、高度高的異物；而正是這樣的異物豎直嵌入基板表面，經(jīng)過多道加熱固化后，在修補(bǔ)階段又未得到處理，從而會(huì)造成后續(xù)對(duì)盒工藝中的數(shù)據(jù)線斷開(DO，Data Open)和數(shù)據(jù)線柵線短路(DGS，Date Gate Short)現(xiàn)象高發(fā)。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種異物檢測(cè)裝置，以實(shí)現(xiàn)對(duì)異物的面積和高度測(cè)量，避免對(duì)盒工藝中的DO和DGS現(xiàn)象高發(fā)。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種異物檢測(cè)裝置，包括異物掃描區(qū)和異物確認(rèn)區(qū)，在所述異物掃描區(qū)和所述異物確認(rèn)區(qū)之間設(shè)有異物高度檢測(cè)區(qū)，所述異物掃描區(qū)，用于通過掃描檢測(cè)基板上的異物的坐標(biāo)和面積；所述異物高度檢測(cè)區(qū)，用于檢測(cè)所述異物掃描區(qū)檢測(cè)出來的異物的高度是否超過預(yù)設(shè)規(guī)格；所述異物確認(rèn)區(qū)，用于對(duì)所述檢測(cè)出來的異物的面積和高度進(jìn)行確認(rèn)，并存儲(chǔ)相應(yīng)異物的面積和高度的信息。進(jìn)一步地，所述異物高度檢測(cè)區(qū)內(nèi)設(shè)有檢測(cè)儀基臺(tái)，在所述檢測(cè)儀基臺(tái)的一側(cè)設(shè)有固定檢出系統(tǒng)，所述固定檢出系統(tǒng)包括激光發(fā)射器和激光接收器，在所述檢測(cè)儀基臺(tái)的另一側(cè)設(shè)有反射平面鏡。進(jìn)一步地，所述固定檢出系統(tǒng)和反射平面鏡根據(jù)所述預(yù)設(shè)規(guī)格的不同，同時(shí)進(jìn)行升降并固定，以確定異物高度是否超過預(yù)設(shè)規(guī)格。進(jìn)一步地，所述異物確認(rèn)區(qū)中設(shè)有3D鏡頭，所述3D鏡頭用于對(duì)所述檢測(cè)出來的異物的高度進(jìn)行確認(rèn)。進(jìn)一步地，所述異物確認(rèn)區(qū)中還設(shè)有2D鏡頭，所述2D鏡頭用于對(duì)所述檢測(cè)出來的異物的面積進(jìn)行確認(rèn)。進(jìn)一步地，所述異物確認(rèn)區(qū)中還設(shè)有控制系統(tǒng)，用于控制所述2D鏡頭和3D鏡頭進(jìn)行切換測(cè)量。本實(shí)用新型所提供的一種異物檢測(cè)裝置，通過水平面和垂直面的兩次檢測(cè)，對(duì)異物進(jìn)行面積檢測(cè)和高度判定，從而提高了異物檢出率，減少了在對(duì)盒工藝中的DO和DGS現(xiàn)象，提聞了生廣效率和良品率。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中TFT-1XD用異物檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種異物檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖一；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例的一種異物檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的固定檢出系統(tǒng)進(jìn)行異物高度檢測(cè)的示意圖一；圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例的固定檢出系統(tǒng)進(jìn)行異物高度檢測(cè)的示意圖二 ；圖6是本實(shí)用新型實(shí)施例的基于白光干涉原理的異物高度確認(rèn)操作示意圖；圖7是本實(shí)用新型實(shí)施例的單色光干涉原理示意圖；圖8是本實(shí)用新型實(shí)施例的白光干涉原理示意圖。附圖標(biāo)記說明:101異物掃描區(qū)；102異物確認(rèn)區(qū)；103掃描區(qū)2D鏡頭；104滾輪；105固定夾子；106確認(rèn)區(qū)2D鏡頭；107基板；108異物高度檢測(cè)區(qū)；109異物高度檢測(cè)的3D鏡頭；110平面反射鏡；111激光發(fā)射器；112激光接收器；113面積大、高度低的異物；114面積小、高度高的異物；115 3D參考平面；116 3D待測(cè)平面；117 CCD鏡頭；118白光光源；119被測(cè)異物。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)一步詳細(xì)闡述。為實(shí)現(xiàn)對(duì)異物的面積和高度測(cè)量，本實(shí)用新型提供一種異物檢測(cè)裝置，如圖2所示，該裝置主要包括:異物掃描區(qū)101、異物確認(rèn)區(qū)102和異物高度檢測(cè)區(qū)108。其中，異物高度檢測(cè)區(qū)108設(shè)于異物掃描區(qū)101和異物確認(rèn)區(qū)102之間。異物掃描區(qū)101，用于通過掃描檢測(cè)基板107上的異物的坐標(biāo)和面積；異物掃描區(qū)101中設(shè)有掃描區(qū)2D鏡頭103，掃描區(qū)2D鏡頭103用于掃描異物掃描區(qū)101內(nèi)的基板107，以測(cè)量基板107上的異物的坐標(biāo)和面積；異物掃描區(qū)101中還設(shè)有滾輪104，所述滾輪104為異物掃描區(qū)內(nèi)的基板107的傳動(dòng)提供動(dòng)力；所述異物掃描區(qū)101中還設(shè)有固定夾子105，所述固定夾子105用于固定異物掃描區(qū)101內(nèi)的基板107，防止基板107在傳動(dòng)過程中側(cè)滑。異物高度檢測(cè)區(qū)108，用于檢測(cè)異物掃描區(qū)101檢測(cè)出來的異物的高度是否超過預(yù)設(shè)規(guī)格。異物高度檢測(cè)區(qū)108內(nèi)也設(shè)有固定夾子105，用于防止基板107在傳動(dòng)過程中側(cè)滑。異物確認(rèn)區(qū)102，用于對(duì)所述檢測(cè)出來的異物的面積和高度進(jìn)行確認(rèn)，并存儲(chǔ)相應(yīng)異物的面積和高度的信息。具體的，在所述異物確認(rèn)區(qū)102內(nèi)設(shè)有確認(rèn)區(qū)2D鏡頭106，所述確認(rèn)區(qū)2D鏡頭106用于通過掃描再次確認(rèn)基板107上已檢測(cè)出的異物的面積大小。[0032]優(yōu)選的，在所述異物確認(rèn)區(qū)102內(nèi)還設(shè)有異物高度檢測(cè)的3D鏡頭109，所述異物高度檢測(cè)的3D鏡頭109用于通過掃描再次確認(rèn)基板107上已檢測(cè)出的異物的高度。確認(rèn)后的異物的面積和高度的信息，可以通過專用的存儲(chǔ)設(shè)備進(jìn)行存儲(chǔ)。較佳的，異物確認(rèn)區(qū)102中還可設(shè)置控制系統(tǒng)，用于控制確認(rèn)區(qū)2D鏡頭106和異物高度檢測(cè)的3D鏡頭109進(jìn)行切換測(cè)量，例如:在控制確認(rèn)區(qū)2D鏡頭106進(jìn)行異物面積的確認(rèn)后，切換到異物高度檢測(cè)的3D鏡頭109進(jìn)行異物高度的確認(rèn)。較佳的，如圖3所示，所述異物高度檢測(cè)區(qū)108內(nèi)設(shè)有檢測(cè)儀基臺(tái)，在所述檢測(cè)儀基臺(tái)的一側(cè)設(shè)有固定檢出系統(tǒng)，所述固定檢出系統(tǒng)包括激光發(fā)射器111和激光接收器112，在所述檢測(cè)儀基臺(tái)的另一側(cè)設(shè)有平面反射鏡110。固定檢出系統(tǒng)檢測(cè)異物高度的原理如圖4和圖5所示，固定檢出系統(tǒng)和平面反射鏡110可以根據(jù)所述預(yù)設(shè)規(guī)格的不同，同時(shí)進(jìn)行各種程度的升降并固定，以確定異物高度是否超過預(yù)設(shè)規(guī)格。圖4中的113表示面積大、高度低的異物，固定檢出系統(tǒng)和平面反射鏡110位于一定高度時(shí)，激光發(fā)射器111發(fā)出的光沒有被該異物113阻擋，而通過平面反射鏡110反射到激光接收器112，此時(shí)檢測(cè)不到該異物113的存在；當(dāng)固定檢出系統(tǒng)和平面反射鏡110同時(shí)進(jìn)行一定程度的下降后，激光發(fā)射器111發(fā)出的光會(huì)被該異物113阻擋，光不會(huì)被激光接收器112接收到，此時(shí)檢測(cè)到該異物113超出預(yù)設(shè)規(guī)格。圖5中的114表示面積小、高度高的異物，固定檢出系統(tǒng)和平面反射鏡110位于一定高度時(shí)，激光發(fā)射器111發(fā)出的光被該異物114阻擋，光不會(huì)被激光接收器112接收到，此時(shí)檢測(cè)到該異物114超出預(yù)設(shè)規(guī)格。需要說明的是，如果檢測(cè)異物的高度超過預(yù)設(shè)規(guī)格，則在后續(xù)修補(bǔ)階段對(duì)相應(yīng)異物進(jìn)行處理；如果檢測(cè)異物的高度沒有超過預(yù)設(shè)規(guī)格，則在后續(xù)修補(bǔ)階段按照異物的面積大小進(jìn)行修補(bǔ)。本實(shí)用新型實(shí)施例中，采用異物確認(rèn)區(qū)102內(nèi)設(shè)置的異物高度檢測(cè)的3D鏡頭109、并通過白光干涉原理對(duì)已檢測(cè)出來的異物的高度進(jìn)行確認(rèn)。其中，基于白光干涉原理的異物高度確認(rèn)操作如圖6所示，圖中115表示3D參考平面，116表示3D待測(cè)平面，117表示CCD鏡頭，118表示白光光源，119表示3D待測(cè)平面上的被測(cè)異物；從白光光源118照射進(jìn)入的光，分成兩條經(jīng)過不同平面的不同路線的光束，一條光束經(jīng)反射鏡反射，另一條光束經(jīng)待測(cè)物反射；被測(cè)異物119表面的反射光與3D參考平面115的反射光產(chǎn)生干涉。如圖7和圖8所示，通過單色光干涉(圖7)與白光干涉(圖8)相比，白光由多種波長(zhǎng)的單色光疊加，相干性較低，產(chǎn)生干涉范圍只有幾微米，且只有相位0°時(shí)有最大干涉強(qiáng)度，因此可以依此準(zhǔn)確的測(cè)量出異物表面高度。綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例通過水平面和垂直面的兩次檢測(cè)，對(duì)異物進(jìn)行面積檢測(cè)和高度判定，從而提高了異物檢出率，減少了在對(duì)盒工藝中的DO和DGS現(xiàn)象，提高了生產(chǎn)效率和良品率。還需要說明的是，本實(shí)用新型不僅適用于基板表面上的異物面積和高度檢測(cè)，也適用于一般應(yīng)用場(chǎng)景下的異物面積和高度檢測(cè)。以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種異物檢測(cè)裝置，包括異物掃描區(qū)和異物確認(rèn)區(qū)，其特征在于，在所述異物掃描區(qū)和所述異物確認(rèn)區(qū)之間設(shè)有異物高度檢測(cè)區(qū)， 所述異物掃描區(qū)，用于通過掃描檢測(cè)基板上的異物的坐標(biāo)和面積； 所述異物高度檢測(cè)區(qū)，用于檢測(cè)所述異物掃描區(qū)檢測(cè)出來的異物的高度是否超過預(yù)設(shè)規(guī)格； 所述異物確認(rèn)區(qū)，用于對(duì)所述檢測(cè)出來的異物的面積和高度進(jìn)行確認(rèn)，并存儲(chǔ)相應(yīng)異物的面積和高度的信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物高度檢測(cè)區(qū)內(nèi)設(shè)有檢測(cè)儀基臺(tái)，在所述檢測(cè)儀基臺(tái)的一側(cè)設(shè)有固定檢出系統(tǒng)，所述固定檢出系統(tǒng)包括激光發(fā)射器和激光接收器，在所述檢測(cè)儀基臺(tái)的另一側(cè)設(shè)有反射平面鏡。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述固定檢出系統(tǒng)和反射平面鏡根據(jù)所述預(yù)設(shè)規(guī)格的不同，同時(shí)進(jìn)行升降并固定，以確定異物高度是否超過預(yù)設(shè)規(guī)格。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物確認(rèn)區(qū)中設(shè)有3D鏡頭，所述3D鏡頭用于對(duì)所述檢測(cè)出來的異物的高度進(jìn)行確認(rèn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物確認(rèn)區(qū)中還設(shè)有2D鏡頭，所述2D鏡頭用于對(duì)所述檢測(cè)出來的異物的面積進(jìn)行確認(rèn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物確認(rèn)區(qū)中還設(shè)有控制系統(tǒng)，用于控制所述2D鏡 頭和3D鏡頭進(jìn)行切換測(cè)量。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種異物檢測(cè)裝置，裝置包括異物掃描區(qū)和異物確認(rèn)區(qū)，在異物掃描區(qū)和異物確認(rèn)區(qū)之間設(shè)有異物高度檢測(cè)區(qū)；所述異物掃描區(qū)，用于通過掃描檢測(cè)基板上的異物的坐標(biāo)和面積；所述異物高度檢測(cè)區(qū)，用于檢測(cè)所述異物掃描區(qū)檢測(cè)出來的異物的高度是否超過預(yù)設(shè)規(guī)格；所述異物確認(rèn)區(qū)，用于對(duì)所述檢測(cè)出來的異物的面積和高度進(jìn)行確認(rèn)，并存儲(chǔ)相應(yīng)異物的面積和高度的信息。通過本實(shí)用新型，實(shí)現(xiàn)對(duì)異物的面積和高度測(cè)量，避免對(duì)盒工藝中的數(shù)據(jù)線斷開(DO)和數(shù)據(jù)線柵線短路(DGS)現(xiàn)象高發(fā)。
文檔編號(hào)G01B11/28GK203083536SQ20122074072
公開日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
發(fā)明者張繼凱, 萬冀豫, 黎敏, 姜晶晶 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司