機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置及方法、機(jī)臺(tái)及機(jī)臺(tái)控制方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置及方法、機(jī)臺(tái)及機(jī)臺(tái)控制方法，通過設(shè)置用于當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物檢測(cè)的檢測(cè)器件；用于基于所述檢測(cè)器件的檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息的信息生成器件，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息。從而可提高顯示裝置的成品率，降低顯示裝置的制作成本。
【專利說明】機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝直及方法、機(jī)臺(tái)及機(jī)臺(tái)fe制方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，具體可以涉及一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置及方法、機(jī)臺(tái)及機(jī)臺(tái)控制方法。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示器結(jié)構(gòu)中，需要利用玻璃基板作為襯底基板，并在襯底基板之上形成其他圖層，因此，在液晶顯示器制作過程中，需要有很多用于承載玻璃基板的機(jī)臺(tái)。
[0003]在作業(yè)過程中，當(dāng)玻璃基板放到機(jī)臺(tái)上后，機(jī)臺(tái)上的吸孔會(huì)對(duì)玻璃基板進(jìn)行吸附固定；如果機(jī)臺(tái)上有微小異物，在玻璃基板被機(jī)臺(tái)吸附時(shí)，這些微小異物會(huì)導(dǎo)致玻璃基板產(chǎn)生小裂紋，從而導(dǎo)致玻璃基板報(bào)廢。
[0004]目前，對(duì)機(jī)臺(tái)上微小異物的檢測(cè)是采用人眼觀察的方式，速度慢且準(zhǔn)確度低，對(duì)于小的異物往往很難通過人眼檢出，等到在后續(xù)工序發(fā)現(xiàn)基板有破碎時(shí)，往往已有大量顯示基板報(bào)廢，這不但提高了液晶顯示器的廢品率，還導(dǎo)致液晶顯示器制作成本大幅升高。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]本發(fā)明提供一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置及方法、機(jī)臺(tái)及機(jī)臺(tái)控制方法，從而可提高顯示裝置的成品率，降低顯示裝置的制作成本。
[0006]本發(fā)明提供方案如下:
[0007]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置，所述機(jī)臺(tái)用于制作顯示基板，所述裝置包括:
[0008]用于當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物檢測(cè)的檢測(cè)器件；
[0009]用于基于所述檢測(cè)器件的檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息的信息生成器件，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息。
[0010]優(yōu)選的，所述檢測(cè)器件設(shè)置于被檢測(cè)玻璃基板朝向機(jī)臺(tái)的一側(cè)。
[0011]優(yōu)選的，所述檢測(cè)器件表面劃分有預(yù)設(shè)區(qū)域，所述檢測(cè)信息中包括異物觸壓的檢測(cè)器件表面區(qū)域信息。
[0012]優(yōu)選的，所述檢測(cè)器件包括至少一個(gè)觸壓傳感器。
[0013]優(yōu)選的，所述檢測(cè)器件為觸摸屏。
[0014]優(yōu)選的，所述裝置還包括:
[0015]用于基于所述檢測(cè)信息，顯示異物在機(jī)臺(tái)中位置信息的顯示器。
[0016]優(yōu)選的，所述顯示器通過有線或無線方式接收所述信息生成器件生成的檢測(cè)信肩、O
[0017]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)方法，應(yīng)用于上述本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置中，所述方法包括:
[0018]當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物檢測(cè)；
[0019]基于檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息。
[0020]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種機(jī)臺(tái)，用于制作顯示基板，該機(jī)臺(tái)包括:
[0021]信息接收器件，用于接收一檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息是當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置生成的，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息；
[0022]控制器件，用于當(dāng)所述檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)撤銷第一吸附力，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物清除操作，當(dāng)所述檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)不存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)采用第二吸附力吸附玻璃基板，所述第二吸附力大于第一吸附力。
[0023]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種機(jī)臺(tái)控制方法，所述機(jī)臺(tái)用于制作顯示基板，所述方法包括:
[0024]接收一檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息是當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置生成的，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息。
[0025]當(dāng)所述檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)撤銷第一吸附力，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物清除操作，當(dāng)所述檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)不存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)采用第二吸附力吸附玻璃基板，所述第二吸附力大于第一吸附力。
[0026]從以上所述可以看出，本發(fā)明提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置及方法、機(jī)臺(tái)及機(jī)臺(tái)控制方法，通過設(shè)置用于當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物檢測(cè)的檢測(cè)器件；用于基于所述檢測(cè)器件的檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息的信息生成器件，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息。從而可提高顯示裝置的成品率，降低顯示裝置的制作成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0027]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測(cè)器件設(shè)置位置示意圖；
[0029]圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測(cè)器件表面示意圖；
[0030]圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供的顯示器示意圖；
[0031]圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)方法流程示意圖；
[0032]圖6為本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖7為本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)臺(tái)控制方法流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0034]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；谒枋龅谋景l(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0035]除非另作定義，此處使用的技術(shù)術(shù)語或者科學(xué)術(shù)語應(yīng)當(dāng)為本發(fā)明所屬領(lǐng)域內(nèi)具有一般技能的人士所理解的通常意義。本發(fā)明專利申請(qǐng)說明書以及權(quán)利要求書中使用的“第一”、“第二”以及類似的詞語并不表示任何順序、數(shù)量或者重要性，而只是用來區(qū)分不同的組成部分。同樣，“一個(gè)”或者“一”等類似詞語也不表示數(shù)量限制，而是表示存在至少一個(gè)?！斑B接”或者“相連”等類似的詞語并非限定于物理的或者機(jī)械的連接，而是可以包括電性的連接，不管是直接的還是間接的?！吧稀薄ⅰ跋隆?、“左”、“右”等僅用于表示相對(duì)位置關(guān)系，當(dāng)被描述對(duì)象的絕對(duì)位置改變后，則該相對(duì)位置關(guān)系也相應(yīng)地改變。
[0036]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置，該機(jī)臺(tái)100具體可用于制作顯示基板，如圖1所示，該裝置具體可以包括:
[0037]用于當(dāng)機(jī)臺(tái)100采用第一吸附力吸附玻璃基板200時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)100進(jìn)行異物檢測(cè)的檢測(cè)器件11;
[0038]用于基于檢測(cè)器件11的檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息的信息生成器件12，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)100是否存在異物以及所述異物的位置信息。
[0039]本發(fā)明實(shí)施例所提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置，可在機(jī)臺(tái)100對(duì)玻璃基板200進(jìn)行下一步操作之前，對(duì)機(jī)臺(tái)100表面是否存在異物進(jìn)行檢測(cè)，從而可確保玻璃基板200在機(jī)臺(tái)100處不會(huì)發(fā)生破損情況，因此可提高設(shè)置有玻璃基板的顯示面板以及顯示裝置的成品率，降低顯示裝置的制作成本。
[0040]本發(fā)明實(shí)施例中，機(jī)臺(tái)100所采用的第一吸附力，只需可以確保本發(fā)明實(shí)施例所提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置可以通過觸壓方式實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)100異物檢測(cè)即可，從而可避免在進(jìn)行機(jī)臺(tái)100異物檢測(cè)時(shí),對(duì)玻璃基板200造成破損。
[0041]而當(dāng)在發(fā)明實(shí)施例所提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置確定機(jī)臺(tái)100表面無異物時(shí)，通過與機(jī)臺(tái)100進(jìn)行信息交互(具體可由信息生成器件12與機(jī)臺(tái)100進(jìn)行信息交互)，從而可觸發(fā)機(jī)臺(tái)100采用大于第一吸附力的第二吸附力對(duì)機(jī)臺(tái)100處的玻璃基板200進(jìn)行搬運(yùn)、翻轉(zhuǎn)等操作，使玻璃基板200進(jìn)入下一步處理工序。
[0042]即本發(fā)明實(shí)施例中，若檢測(cè)消息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)100不存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)100采用第二吸附力吸附玻璃基板200，所述第二吸附力大于第一吸附力。
[0043]本發(fā)明實(shí)施例中，如圖2所示，檢測(cè)器件11具體可設(shè)置于玻璃基板200朝向機(jī)臺(tái)100的一側(cè)，這樣，當(dāng)機(jī)臺(tái)100采用第一吸附力對(duì)玻璃基板200進(jìn)行吸附時(shí)，若機(jī)臺(tái)100與玻璃基板200接觸處存在異物，該異物可點(diǎn)擊即觸壓與之接觸的檢測(cè)器件11，從而實(shí)現(xiàn)檢測(cè)器件11通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)100是否存在異物進(jìn)行檢測(cè)。
[0044]在一具體實(shí)施例中，如圖3所示，檢測(cè)器件11的表面可劃分有預(yù)設(shè)區(qū)域111，這樣，當(dāng)機(jī)臺(tái)100所存在的異物觸壓檢測(cè)器件11表面一區(qū)域111時(shí)，檢測(cè)器件11可確定機(jī)臺(tái)100表面異物所在位置對(duì)應(yīng)的檢測(cè)器件11表面區(qū)域111信息，從而可精確確定機(jī)臺(tái)100所存在異物的位置信息。
[0045]并且，本發(fā)明實(shí)施例中還可將異物觸壓的檢測(cè)器件11表面區(qū)域111信息添加至信息生成器件12所生成的檢測(cè)信息中，以便于其他器件獲知異物所在機(jī)臺(tái)100表面的位置信息，給后續(xù)進(jìn)行的異物清除工序帶來便利，確保實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)100異物的精確定位和清除。
[0046]本發(fā)明實(shí)施例中，信息生成器件12可單獨(dú)設(shè)置并與檢測(cè)器件11電連接，或者，信息生成器件12也可設(shè)置于檢測(cè)器件11中，與檢測(cè)器件11集成設(shè)置。
[0047]本發(fā)明實(shí)施例所涉及的檢測(cè)器件11的形狀和表面面積，可與玻璃基板200或者機(jī)臺(tái)100表面的形狀和表面面積相同，從而可實(shí)現(xiàn)玻機(jī)臺(tái)100與璃基板200接觸位置處機(jī)臺(tái)100異物的檢測(cè)和精確定位。
[0048]在本發(fā)明一具體實(shí)施例中，檢測(cè)器件11中具體包括至少一個(gè)觸壓傳感器(圖中未示出)。這樣，當(dāng)機(jī)臺(tái)100采用第一吸附力吸附玻璃基板200時(shí)，機(jī)臺(tái)100表面的異物會(huì)觸壓點(diǎn)擊觸壓傳感器，以使觸壓傳感器產(chǎn)生一觸壓點(diǎn)擊訊號(hào)，觸壓傳感器將該觸壓點(diǎn)擊訊號(hào)傳輸至信息生成器件12，以便信息生成器件12生成檢測(cè)信息。
[0049]在一實(shí)施例中，檢測(cè)器件11中每一個(gè)預(yù)設(shè)區(qū)域111內(nèi)均可以包括至少一個(gè)觸壓傳感器，以實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)異物的檢查和精確定位。
[0050]在本發(fā)明一具體實(shí)施例中，檢測(cè)器件11具體還可為一觸摸屏，這樣，當(dāng)機(jī)臺(tái)100采用第一吸附力吸附玻璃基板200時(shí)，機(jī)臺(tái)100異物會(huì)觸壓點(diǎn)擊觸摸屏與之接觸的位置區(qū)域，從而使觸摸屏產(chǎn)生相應(yīng)的觸壓點(diǎn)擊訊號(hào)，觸摸屏將該觸壓點(diǎn)擊訊號(hào)傳輸至信息生成器件12，以便信息生成器件12生成檢測(cè)信息。
[0051]在一實(shí)施例中，觸摸屏表面也可形成有如圖3所示的多個(gè)預(yù)設(shè)區(qū)域111，從而實(shí)現(xiàn)機(jī)臺(tái)異物的精確檢測(cè)和精確定位。
[0052]在本發(fā)明一具體實(shí)施例中，如圖4所示，本發(fā)明實(shí)施例所提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置還可以包括:
[0053]用于基于信息生成器件12生成的檢測(cè)信息，顯示異物在機(jī)臺(tái)中位置信息的顯示器13。
[0054]本發(fā)明實(shí)施例中，顯示器13可與檢測(cè)器件11以及信息生成器件12分離設(shè)置，并且，通過有線或無線方式接收信息生成器件12生成的檢測(cè)信息。
[0055]那么，當(dāng)顯示器13采用有線方式接收檢測(cè)信息時(shí)，顯示器13中具體可設(shè)置有接口電路(圖中未示出)，以便顯示器13通過信號(hào)傳輸線與信息生成器件12 (當(dāng)信息生成器件12與檢測(cè)器件11集成設(shè)置時(shí)，也可為檢測(cè)器件11)電連接，并接收檢測(cè)信息。
[0056]當(dāng)顯示器13采用無線方式接收檢測(cè)信息時(shí)，顯示器13中具體可設(shè)置有無線信號(hào)傳輸模塊(未示出)，以便顯示器13通過無線方式與信息生成器件12 (或檢測(cè)器件12)信號(hào)連接，接收檢測(cè)信息。
[0057]本發(fā)明實(shí)施例中，如圖4所示，顯示器13可設(shè)置有第一顯示屏幕131，以用于與顯示異物觸壓點(diǎn)擊檢測(cè)器件11預(yù)設(shè)區(qū)域的具體信息，即異物在機(jī)臺(tái)的具體位置信息。
[0058]另外，顯示器13中還可設(shè)置有第二顯示屏幕132，以用于顯示異物在機(jī)臺(tái)，或者異物觸壓點(diǎn)擊檢測(cè)器件11的坐標(biāo)信息。
[0059]本發(fā)明實(shí)施例中，第一顯示屏幕131以及第二顯示屏幕132具體可選用IXD屏幕。
[0060]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)方法，該方法具體可應(yīng)用于上述本發(fā)明實(shí)施例提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置中，如圖5所示，該方法具體可以包括:
[0061]當(dāng)機(jī)臺(tái)100采用第一吸附力吸附玻璃基板200時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)100進(jìn)行異物檢測(cè)；
[0062]基于檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)100是否存在異物以及所述異物的位置信息。
[0063]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種機(jī)臺(tái)100，該機(jī)臺(tái)100具體可用于制作顯示基板，如圖6所示,該機(jī)臺(tái)100具體可以包括:
[0064]信息接收器件101，用于接收一檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息是當(dāng)機(jī)臺(tái)100采用第一吸附力吸附玻璃基板200時(shí)，機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置生成的，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)100是否存在異物以及所述異物的位置信息；
[0065]控制器件102，用于當(dāng)檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)100撤銷第一吸附力，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)100進(jìn)行異物清除操作，當(dāng)檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)100不存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)100采用第二吸附力吸附玻璃基板200，所述第二吸附力大于第一吸附力。
[0066]本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種機(jī)臺(tái)100控制方法，該機(jī)臺(tái)100具體可用于制作顯示基板，如圖7所示，該方法具體可以包括:
[0067]接收一檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息是當(dāng)機(jī)臺(tái)100采用第一吸附力吸附玻璃基板200時(shí)，機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置生成的，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)100是否存在異物以及所述異物的位置信息。
[0068]當(dāng)檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)100存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)100撤銷第一吸附力，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)100進(jìn)行異物清除操作，當(dāng)檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)100不存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)100采用第二吸附力吸附玻璃基板200，所述第二吸附力大于第一吸附力。
[0069]從以上所述可以看出，本發(fā)明提供的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置及方法、機(jī)臺(tái)及機(jī)臺(tái)控制方法，通過設(shè)置用于當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物檢測(cè)的檢測(cè)器件；用于基于所述檢測(cè)器件的檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息的信息生成器件，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息。從而可提高顯示裝置的成品率，降低顯示裝置的制作成本。
[0070]以上所述僅是本發(fā)明的實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置，所述機(jī)臺(tái)用于制作顯示基板，其特征在于，所述裝置包括: 用于當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物檢測(cè)的檢測(cè)器件； 用于基于所述檢測(cè)器件的檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息的信息生成器件，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)器件設(shè)置于被檢測(cè)玻璃基板朝向機(jī)臺(tái)的一側(cè)。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)器件表面劃分有預(yù)設(shè)區(qū)域，所述檢測(cè)信息中包括異物觸壓的檢測(cè)器件表面區(qū)域信息。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)器件包括至少一個(gè)觸壓傳感器。
5.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)器件為觸摸屏。
6.如權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，用于基于所述檢測(cè)信息，顯示異物在機(jī)臺(tái)中位置信息的顯示器。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其特征在于，所述顯示器通過有線或無線方式接收所述信息生成器件生成的檢測(cè)信息。
8.一種機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)方法，應(yīng)用于如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置中，其特征在于，包括: 當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，通過觸壓方式對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物檢測(cè)； 基于檢查結(jié)果，生成檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息。
9.一種機(jī)臺(tái)，用于制作顯示基板，其特征在于，包括: 信息接收器件，用于接收一檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息是當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置生成的，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信息； 控制器件，用于當(dāng)所述檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)撤銷第一吸附力，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物清除操作，當(dāng)所述檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)不存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)采用第二吸附力吸附玻璃基板，所述第二吸附力大于第一吸附力。
10.一種機(jī)臺(tái)控制方法，所述機(jī)臺(tái)用于制作顯示基板，其特征在于，所述方法包括: 接收一檢測(cè)信息，所述檢測(cè)信息是當(dāng)機(jī)臺(tái)采用第一吸附力吸附玻璃基板時(shí)，機(jī)臺(tái)異物檢測(cè)裝置生成的，所述檢測(cè)信息用于標(biāo)識(shí)所述機(jī)臺(tái)是否存在異物以及所述異物的位置信肩、O 當(dāng)所述檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)撤銷第一吸附力，以便實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行異物清除操作，當(dāng)所述檢測(cè)信息標(biāo)識(shí)機(jī)臺(tái)不存在異物時(shí)，控制機(jī)臺(tái)采用第二吸附力吸附玻璃基板，所述第二吸附力大于第一吸附力。
【文檔編號(hào)】G01V9/00GK104330837SQ201410658770
【公開日】2015年2月4日 申請(qǐng)日期:2014年11月18日 優(yōu)先權(quán)日:2014年11月18日
【發(fā)明者】艾雨, 劉利萍, 湯展峰 申請(qǐng)人:合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司