專(zhuān)利名稱(chēng)：探針組合體及檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于檢查液晶面板、集成電路等平板狀的 被檢查體的探針組合體及檢查裝置。
背景技術(shù)：
液晶面板等平板狀的被檢查體通常要用探針單元進(jìn)行檢 查。這種探針單元有一種排列多個(gè)薄板狀的刀片型探針而構(gòu)成 的類(lèi)型的探針單元。這種探針單元的例子有專(zhuān)利文獻(xiàn)l。下面 簡(jiǎn)要說(shuō)明該專(zhuān)利文獻(xiàn)l的發(fā)明。
如圖2及圖3所示，探針組合體l包括塊狀體2、并列地配 置在塊狀體2的下側(cè)的帶狀的多個(gè)探針3、穿過(guò)探針3的一對(duì)細(xì) 長(zhǎng)的導(dǎo)桿4、收容探針3的一部分的一對(duì)槽桿5、使針尖的位置 穩(wěn)定在探針3的后端側(cè)的較長(zhǎng)的引導(dǎo)構(gòu)件6、使導(dǎo)桿4支承在塊 狀體2上的一對(duì)側(cè)罩7。
各探針3具有帶狀的中央?yún)^(qū)域3A、從該中央?yún)^(qū)域的前端和 后端向前方和后方伸出的一對(duì)針尖區(qū)域3B和3C。中央?yún)^(qū)域3A 在各端部具有供導(dǎo)桿4穿過(guò)的引導(dǎo)孔3D。將導(dǎo)桿4穿入到引導(dǎo)孔 3D中，并使各針尖區(qū)域3B及3C與槽桿5相嵌合，從而將各探針 3配置在塊狀體2的下側(cè)。
由此，針尖區(qū)域3B的探針與設(shè)于液晶面板上的電極進(jìn)行接 觸而電連接，從而進(jìn)行控制信號(hào)的發(fā)送等。
專(zhuān)利文獻(xiàn)l:日本特開(kāi)平10-132853號(hào)公報(bào)
但是，上述探針是易耗品，需要進(jìn)行更換。在該更換作業(yè) 中，有時(shí)只更換一部分探針。例如，有時(shí)一片探針折斷則只更 換該一片探針。此時(shí)，探針更換作業(yè)需要慎重。由于一片一片的探針?lè)浅］p而容易散亂，因此，在更換排列在一起的多個(gè)探 針中的一部分探針時(shí)，有時(shí)即使只是稍稍碰一下探針也會(huì)導(dǎo)致 探針散亂、破損。因此，探針更換作業(yè)需要慎重地進(jìn)行，存在 作業(yè)效率差這樣的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而作成的，其目的在于，提供 一種能容易且安全地更換探針的探針單元及檢查裝置。
為了解決上述課題，本發(fā)明的探針組合體支承刀片型探針
使刀片型探針與被檢查體的電極電接觸，其包括塊狀片，其 一體地支承多個(gè)上述刀片型探針；兩個(gè)槽桿，它們分別設(shè)于該 塊狀片的前端側(cè)和基端側(cè)，并分別空開(kāi)恒定間隔地支承多個(gè)上 述刀片型探針的前端側(cè)和基端側(cè)； 一個(gè)以上的導(dǎo)桿，其分別貫 穿多個(gè)上述刀片型探針， 一體地支承各刀片型探針；側(cè)蓋，其 固定于上述塊狀片上，支承上述導(dǎo)桿；更換軸，其被配設(shè)成與 上述槽桿一起夾著多個(gè)上述刀片型探針的前端側(cè)或基端側(cè)，防
行更換上述刀片型探針的作業(yè)時(shí)從該槽桿中脫落；內(nèi)蓋，其安 裝于上述塊狀片上，覆蓋上述刀片型探針及上述槽桿，并支承 上述更換軸；嵌合部，其面向上述刀片型探針側(cè)地設(shè)于前端側(cè) 或基端側(cè)的上述槽桿上；被嵌合部，其面向上述槽桿的嵌合部 側(cè)地設(shè)于上述各刀片型探針上，通過(guò)與該嵌合部相嵌合而將該 刀片型探針定位并臨時(shí)固定于該槽桿上。
采用上述結(jié)構(gòu)，在更換多個(gè)刀片型探針中的一部分時(shí)，將 上述各刀片型探針弄散，使各刀片型探針的一端的被嵌合部與
定，并用上述更換軸和上述槽桿夾著探針的另一端，從而抑制了各刀片型探針散亂。在該狀態(tài)下，將要更換的刀片型探針抽 出，更換成新的刀片型探針。
上述槽桿的嵌合部側(cè)而設(shè)的凹狀缺口構(gòu)成。
檢查裝置包括從外部搬入被檢查體并在檢查結(jié)束后將被檢
查體搬往外部的ii置(set)部，和支承/人該;故置部接過(guò)來(lái)的被 檢查體并對(duì)其進(jìn)行測(cè)試的測(cè)定部；上述測(cè)定部的探針單元優(yōu)選 組裝有上述探針組合體。
如上所述，通過(guò)將上述各刀片型探針的一端的被嵌合部與 上述槽桿的嵌合部相嵌合而將該各刀片型探針定位并臨時(shí)固定 在該槽桿上，并將各刀片型探針的另 一端部夾在上述槽桿和更 換軸之間而進(jìn)行支承，更換各刀片型探針，因此，抑制了各刀 片型探針散亂，可以容易且安全地更換探針。


圖l是表示本發(fā)明實(shí)施方式的探針單元的探針組合體的分 解立體圖。
圖2是表示以往的檢查裝置的探針組合體的立體圖。
圖3是表示以往的檢查裝置的探針組合體的側(cè)視剖視圖。
圖4是表示本發(fā)明實(shí)施方式的探針單元的立體圖。
圖5是表示本發(fā)明實(shí)施方式的探針單元的局部剖切側(cè)視
圖。 "~
圖6是表示本發(fā)明實(shí)施方式的探針單元的刀片型探針的側(cè) 視圖。
圖7是表示從本發(fā)明實(shí)施方式的探針單元的探針組件的背 面看該探針組件時(shí)的立體圖。圖8是表示本發(fā)明實(shí)施方式的探針單元的刀片型探針的更 換作業(yè)的側(cè);視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照

本發(fā)明實(shí)施方式的探針組合體及檢查 裝置。本實(shí)施方式的檢查裝置用于檢查被檢查體，其具有從外 部搬入被檢查體并且在檢查結(jié)束后將被檢查體搬往外部的放置
(set)部，和支承從該^C置部接過(guò)來(lái)的纟皮4企查體并對(duì)其進(jìn)行測(cè)試 的測(cè)定部。該;險(xiǎn)查裝置的上述測(cè)定部的探針組合體使用本實(shí)施 方式的探針組合體。另外，由于本實(shí)施方式的檢查裝置與上迷 以往的檢查裝置大致相同，因此，在此主要對(duì)探針組合體進(jìn)行 說(shuō)明。此外，本發(fā)明的檢查裝置能適用于所有可使用本實(shí)施方 式的探針組合體的裝置。
如圖4所示，本實(shí)施方式的探針單元ll用于被檢查體、即 液晶面板12的檢查裝置上。液晶面板12呈長(zhǎng)方形的形狀，在與 長(zhǎng)方形的相鄰兩邊相對(duì)應(yīng)的緣部以規(guī)定的間距形成多個(gè)電極 (未圖示)。
探針單元11主要具有探針基座13和探針組合體14。
探針基座13固定在檢查裝置的主體框架側(cè)。探針基座13在 被固定于主體框架側(cè)的狀態(tài)下支承探針組合體14。
探針組合體14用于支承探針并使探針與液晶面板12的電 極電接觸。如圖5所示，探針組合體14主要具有懸掛基座16、滑 塊17、探針板18、 FPC基座19以及探針組件(probe block)20。
懸掛基座16用于借助滑塊17等來(lái)支承后述探針組件20的 刀片型探針38。懸掛基座16整體形成為大致立方體狀并被固定 在探針基座13上。在懸掛基座16的前端側(cè)設(shè)有從上側(cè)對(duì)滑塊17 施力的檐部16A。在檐部16A上設(shè)有螺栓孔22,螺栓23旋入到該螺栓孔2 2中。該螺栓2 3的前端側(cè)插入到后述滑塊17的彈簧孔 17B中。在懸掛基座16的前端側(cè)表面的上述檐部16A的下側(cè)， 設(shè)有可引導(dǎo)滑塊17沿上下方向滑動(dòng)的導(dǎo)軌2 4 。
滑塊17用于上下滑動(dòng)地支承探針組件20?；瑝K17形成為大 致立方體形狀。在滑塊17的下部形成有可覆蓋探針板18那樣大 小的檐部17A。探針板18與包括該檐部17A的滑塊17的下側(cè)面 抵接而被支承。在滑塊17的基端面(圖5中的右側(cè)面)上，設(shè) 有與懸掛基座16的導(dǎo)軌24嵌合而支承滑塊17作上下移動(dòng)的引 導(dǎo)件26。在滑塊17的上側(cè)面上，設(shè)有用于插入彈簧28的彈簧孔 17B。彈簧28被螺栓23支承，并插入到彈簧孔17B內(nèi)，從而向 下方對(duì)滑塊17施力。在后述各觸頭56與液晶面板12的各電極接 觸的狀態(tài)下，利用彈簧28產(chǎn)生的作用力向各電極側(cè)對(duì)各觸頭56 施力。
探針板18用于在被支承于滑塊17上的狀態(tài)下支承FPC基 座19和探針組件2 0 。探針板18的上側(cè)面被固定在滑塊17的下側(cè) 面，在這樣的狀態(tài)下，在探針板18的下側(cè)面固定FPC基座19和 探針組件20。
FPC基座19用于支承FPC電纜27而將外部裝置與后述刀 片型探針38電連接。FPC電纜27的基端部與安裝在探針基座13 的下側(cè)面上的中繼基板29相連接，F(xiàn)PC電纜27的前端部安裝在 FPC基座19的下側(cè)面上。在FPC基座19的前端部設(shè)有與后述刀 片型探針38的FPC側(cè)的觸頭57電接觸的端子(未圖示)、保護(hù) 該端子的保護(hù)膜、驅(qū)動(dòng)用集成電路(未圖示)等。
探針組件20為了向液晶面板12的電路(未圖示)發(fā)送檢查 信號(hào)等而與液晶面板12的電極電接觸。如圖1所示，探針組件 20由塊狀(block)片33、槽桿(slot bar)34、導(dǎo)桿35、支承銷(xiāo)36、 側(cè)蓋37以及刀片型探針38構(gòu)成。面上空開(kāi)恒定間隔且一體地支承
多個(gè)刀片型探針38。塊狀片33的下側(cè)面形成凹陷，以與刀片型 探針38的上側(cè)面形狀相吻合。在塊狀片33的左右兩側(cè)(圖l的 左上右下方向的兩側(cè))，設(shè)有多個(gè)用于固定側(cè)蓋37的螺孔(未 圖示)。在塊狀片33的上側(cè)面，設(shè)有多個(gè)用于將探針組件20固 定在探針板18上的螺孔41。
槽桿34用于分別準(zhǔn)確定位并支承所設(shè)的多個(gè)刀片型探針 38中的后述各前端側(cè)臂部51和各FPC側(cè)臂部52。該槽桿34用陶 瓷形成，從而可不受熱影響地準(zhǔn)確支承刀片型4果針38。前端側(cè) 槽桿34A支承刀片型探針38的各前端側(cè)臂部51， FPC側(cè)槽桿 34B支承刀片型探針38的各FPC側(cè)臂部52。各槽桿34A、 34B 設(shè)有多條槽43。各槽43用于空開(kāi)設(shè)定間隔地支承刀片型探針38 的各前端側(cè)臂部51及各F P C側(cè)臂部5 2 。將前端側(cè)槽桿3 4 A的各 槽43的間隔設(shè)定為，使嵌合在各槽43中的前端側(cè)臂部51的后述 觸頭56與液晶面板12的各電極的間隔相匹配。將FPC側(cè)槽桿 34B的槽43的間隔設(shè)定為，使嵌合在各槽43中的FPC側(cè)臂部52 的后述觸頭57與FPC電纜27的端子的間隔相匹配。
在前端側(cè)槽桿3 4 A中的面向刀片型探針3 8側(cè)的位置上設(shè)有 嵌合部45。該嵌合部45由面向刀片型探針38側(cè)而設(shè)的凸條構(gòu) 成。該嵌合部45設(shè)于槽桿34全長(zhǎng)范圍上，從而與所有刀片型探 針38的后述被嵌合部46相嵌合。通過(guò)使刀片型探針38的被嵌合 部46與該嵌合部45相嵌合，而在進(jìn)行更換作業(yè)時(shí)在上下前后 (圖6中的上下左右)定位并臨時(shí)固定刀片型探針38。
導(dǎo)桿35用于支承刀片型探針38。導(dǎo)桿35形成為大直徑的圓 柱形。大直徑圓柱形的導(dǎo)桿35的直徑被設(shè)定為與刀片型探針38 的后述導(dǎo)桿孔53的內(nèi)徑相匹配的尺寸。這是為了借助導(dǎo)桿35對(duì) 刀片型探針38進(jìn)行定位。即，若在導(dǎo)桿35嵌合于刀片型探針38的導(dǎo)桿孔53中的狀態(tài)下定位該導(dǎo)桿35,則準(zhǔn)確確定了刀片型4笨 針38的與該導(dǎo)桿35的中心軸線垂直的方向上的位置。因此，通 過(guò)將導(dǎo)桿35的直徑設(shè)定為與刀片型探針38的導(dǎo)桿孔53的內(nèi)徑 相匹配的尺寸來(lái)定位導(dǎo)桿35, ^更可在與該導(dǎo)桿35的中心軸線垂 直的方向上準(zhǔn)確定位刀片型探針38。
支承銷(xiāo)36用于與導(dǎo)桿35 —起支承刀片型探針38。支承銷(xiāo)36 形成為圓形棒狀。該支承銷(xiāo)36的直徑被設(shè)定為與刀片型探針38 的后述支承銷(xiāo)孔54的內(nèi)徑相匹配的尺寸。這是為了借助導(dǎo)桿35 和支承銷(xiāo)36—同對(duì)刀片型探針38進(jìn)行定位。
側(cè)蓋3 7是用于支承導(dǎo)桿3 5和支承銷(xiāo)3 6的支承板材。兩片側(cè) 蓋37分別安裝在塊狀片33的兩側(cè)。在側(cè)蓋37上設(shè)有蓋固定用螺 孔、導(dǎo)桿固定用螺孔和支承銷(xiāo)固定用螺孔(均未圖示)等。各 螺孔是經(jīng)準(zhǔn)確定位而設(shè)置的，可準(zhǔn)確地相對(duì)于塊狀片33定位導(dǎo) 桿35和支承銷(xiāo)36，并對(duì)它們進(jìn)行支承。
刀片型探針38用于與液晶面板12的電路的電極直接接觸 來(lái)發(fā)送檢查信號(hào)等。如圖l、圖6所示，刀片型探針38由主體板 部50、前端側(cè)臂部51和FPC側(cè)臂部52構(gòu)成。
主體板部5 0設(shè)有供導(dǎo)桿3 5和支承銷(xiāo)3 6穿過(guò)的導(dǎo)桿孔5 3和 支承銷(xiāo)孔54。將導(dǎo)桿孔53的內(nèi)徑設(shè)定為與導(dǎo)桿35的外徑尺寸相 匹配的尺寸。支承銷(xiāo)孔5 4的內(nèi)徑被設(shè)定為與支承銷(xiāo)3 6的外徑尺 寸相匹配的尺寸。由此，可準(zhǔn)確地定位并支承主體才反部50。
前端側(cè)臂部51用于以其前端部支承朝向下側(cè)的觸頭56。在 前端側(cè)臂部51上的與液晶面板12的電極對(duì)準(zhǔn)的前端位置上設(shè) 有觸頭56。
FPC側(cè)臂部52用于以其基端部(圖6中的右側(cè)端部)支承 朝向上側(cè)的觸頭57。在FPC側(cè)臂部52的與FPC電纜27的端子對(duì) 準(zhǔn)的位置上設(shè)有觸頭57。此外，在刀片型探針38中的面向上述槽桿34的嵌合部45 側(cè)的位置上設(shè)有被嵌合部46。被嵌合部46是通過(guò)與嵌合部45 相嵌合而將刀片型探針38定位并臨時(shí)固定在槽桿34上的部分。 被嵌合部46由設(shè)于各刀片型探針38中的面向槽桿34的嵌合部 45的位置上的凹狀缺口構(gòu)成。通過(guò)使纟皮嵌合部46與嵌合部45 相嵌合而將刀片型探針38定位并臨時(shí)固定在槽桿34上。
另外，更換軸61和內(nèi)蓋62只在進(jìn)行更換刀片型探針的作業(yè) 時(shí)設(shè)于上述探針組件2 0上。
更換軸61用于在進(jìn)行更換上述刀片型探針38的作業(yè)時(shí)，防
側(cè)臂部52從該槽43中脫落。如圖l、圖7所示，更換軸61設(shè)于面 向槽桿34的位置上，以便和上述槽桿34 —起夾著多個(gè)上述刀片 型探針38的FPC側(cè)臂部52。更換軸61可以與槽桿34相接觸地夾 著插入到槽43內(nèi)的刀片型探針38的FPC側(cè)臂部52,也可以與槽 桿34之間稍稍留出空間地夾著插入到槽43內(nèi)的刀片型探針38 的FPC側(cè)臂部52,來(lái)防止該FPC側(cè)臂部52從槽43中脫落。
內(nèi)蓋62是板狀構(gòu)件，其安裝于上述塊狀片33上，用于覆蓋 上述刀片型探針38及上述槽桿34,并支承上述更換軸61。內(nèi)蓋 62和側(cè)蓋37—樣，用螺絲固定在塊狀片33的兩側(cè)，從而覆蓋槽 桿34和刀片型探針38。在內(nèi)蓋62上設(shè)有導(dǎo)桿孔63、支承銷(xiāo)孔64 和更換軸孔65。
導(dǎo)桿孔63用于供導(dǎo)桿35通過(guò)，其直徑大于導(dǎo)桿35的直徑。 在進(jìn)行刀片型探針38的更換作業(yè)時(shí)，當(dāng)將內(nèi)蓋62安裝于塊狀片 33上之后，可從導(dǎo)桿孔63中抽出導(dǎo)桿35。
支承銷(xiāo)孔64用于供支承銷(xiāo)36穿過(guò)，其直徑大于支承銷(xiāo)36 的直徑。在進(jìn)行更換刀片型探針38的作業(yè)時(shí)，當(dāng)將內(nèi)蓋62安裝 于塊狀片33上之后，可從支承銷(xiāo)孔64中抽出支承銷(xiāo)36。更換軸孔65用于供更換軸61穿過(guò)。更換軸孔65的直徑與更 換軸61的直徑大致相同，在穿入了更換軸61狀態(tài)下，更換軸孔 65穩(wěn)定地支承更換軸61。更換軸61在穿入到更換軸孔65中的狀 態(tài)下，與槽桿34相對(duì)峙地配置。此時(shí)，更換軸61如上述那樣有 時(shí)與槽桿34相接觸，有時(shí)不與槽桿34接觸。由此，用更換軸61 和槽桿34以空開(kāi)間隔地夾著插入到該槽桿34的槽43中的刀片 型探針38的FPC側(cè)臂部52的方式支承該FPC側(cè)臂部52 。由此， 抑制了各刀片型探針38散亂，從而可以一片 一片地抽出或放入 任意的刀片型探針38。
如上述那樣構(gòu)成的探針單元ll如下這樣發(fā)揮作用。另外， 由于檢查裝置整體的作用與以往的檢查裝置相同，因此，在此 只對(duì)更換刀片型探針38的作業(yè)進(jìn)行說(shuō)明。
使導(dǎo)桿35和支承銷(xiāo)36穿過(guò)刀片型探針38，將導(dǎo)桿35和支承 銷(xiāo)36固定在兩片側(cè)蓋37上，然后，將各側(cè)蓋37固定在塊狀片33 上而構(gòu)成探針組合體14。接著，將探針組合體14固定到探針基
的各電極相接觸，發(fā)送檢查信號(hào)等。在該液晶面板12的檢查中， 當(dāng)發(fā)生部分刀片型探針38的觸頭56折斷等問(wèn)題時(shí)，對(duì)該刀片型 探針38進(jìn)行更換。
此時(shí)，首先拆下探針組件20。然后，如圖l、圖7、圖8所 示，拆下側(cè)蓋37之后安裝內(nèi)蓋62，將更換軸61穿入到該內(nèi)蓋62 的更換軸孔65中。接著，從內(nèi)蓋62的導(dǎo)桿孔63及支承銷(xiāo)孔64 中抽出導(dǎo)桿35及支承銷(xiāo)36，從而將各刀片型探針38弄散。在該 狀態(tài)下，各刀片型探針38的被嵌合部46與槽桿34的嵌合部45 相嵌合，該刀片型探針38借助槽桿34而被定位并臨時(shí)固定在探 針組件20上。刀片型探針38的FPC側(cè)臂部52側(cè)由更換軸61和槽 桿34夾著而被支承(圖8 ( a)的狀態(tài))。在該狀態(tài)下，使要更換的刀片型探針38的被嵌合部46從槽 桿34的嵌合部45中脫離(圖8(b)的狀態(tài))，將FPC側(cè)臂部52 從槽桿34和更換軸61之間抽出(圖8(c)的狀態(tài))。接著，將 新的刀片型探針38的FPC側(cè)臂部52插入到槽桿34和更換軸61 之間，然后使刀片型探針38的被嵌合部46與槽桿34的嵌合部45 相嵌合，從而定位并臨時(shí)固定刀片型探針38。
使支承銷(xiāo)36從支承銷(xiāo)孔54中穿過(guò)而一體地支承各刀片型探針 38,卸下內(nèi)蓋62之后安裝側(cè)蓋37。然后，將導(dǎo)桿35和支承銷(xiāo)36 安裝到該側(cè)蓋37上，將探針組件20安裝到探針組合體14上，再 將探針組合體14安裝到探針基座13上。
45相嵌合而將各刀片型探針38定位并臨時(shí)固定在槽桿34上，將 刀片型探針38的FPC側(cè)臂部52側(cè)夾在槽桿34和更換軸61之間 而對(duì)其進(jìn)行支承，從而對(duì)刀片型探針38進(jìn)行更換，因此，能抑 制除了要更換的刀片型探針38以外的各刀片型探針38散亂，從 而能容易且安全地更換刀片型探針38。
此外，在進(jìn)行更換作業(yè)時(shí)，由于安裝塊狀片33的內(nèi)蓋62而 覆蓋槽桿34和刀片型探針38,因此能防止槽桿34、刀片型探針 38與物體纟妻觸而》皮損。
變型例
在上述實(shí)施方式中，將槽桿34的嵌合部45形成為凸?fàn)?，?刀片型探針38的一皮嵌合部46形成為凹狀，但也可以與此相反， 使嵌合部45為凹狀，使被嵌合部46為凸?fàn)?。另外，將嵌合?5 設(shè)在了前端側(cè)槽桿34A側(cè)，將更換軸61設(shè)在了 FPC側(cè)槽桿34B 上，但也可以與此相反，將更換軸61設(shè)在前端側(cè)槽桿34A側(cè)， 將嵌合部45設(shè)在FPC側(cè)槽桿34B上。此時(shí)，也能發(fā)揮與上述相同的作用、效果。
在上述實(shí)施方式中，將更換軸61制成圓棒狀，但也可以是 四方棒狀、平板棒狀等其他形狀。此時(shí)，也能發(fā)揮與上述相同 的作用、效果。
在上述實(shí)施方式中，同時(shí)設(shè)有導(dǎo)桿35和支承銷(xiāo)36,但有時(shí) 也可以不設(shè)支承銷(xiāo)3 6 。在需要提高精度的情況下設(shè)置支承銷(xiāo) 36。
權(quán)利要求
1.一種探針組合體，其支承刀片型探針使刀片型探針與被檢查體的電極電接觸，其特征在于，該探針組合體包括塊狀片，其一體地支承多個(gè)上述刀片型探針；兩個(gè)槽桿，它們分別設(shè)于該塊狀片的前端側(cè)和基端側(cè)，并分別空開(kāi)恒定間隔地支承多個(gè)上述刀片型探針的前端側(cè)和基端側(cè)；一個(gè)以上的導(dǎo)桿，其分別貫穿多個(gè)上述刀片型探針，一體地支承各刀片型探針；側(cè)蓋，其固定于上述塊狀片上，支承上述導(dǎo)桿；更換軸，其被配設(shè)成與上述槽桿一起夾著多個(gè)上述刀片型探針的前端側(cè)或基端側(cè)，防止嵌合于上述槽桿中的上述刀片型探針的前端側(cè)或基端側(cè)在進(jìn)行更換上述刀片型探針的作業(yè)時(shí)從該槽桿中脫落；內(nèi)蓋，其安裝于上述塊狀片上，覆蓋上述刀片型探針及上述槽桿，并支承上述更換軸；嵌合部，其面向上述刀片型探針側(cè)地設(shè)于前端側(cè)或基端側(cè)的上述槽桿上；被嵌合部，其面向上述槽桿的嵌合部側(cè)地設(shè)于上述各刀片型探針上，通過(guò)與該嵌合部相嵌合而將該刀片型探針定位并臨時(shí)固定于該槽桿上。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的探針組合體，其特征在于， 上述嵌合部由上述槽桿的面向上述刀片型探針側(cè)而設(shè)的凸條構(gòu)成；合部側(cè)而i殳的凹狀缺口構(gòu)成。
3. —種用于檢查被檢查體的檢查裝置，其特征在于， 該檢查裝置包括從外部搬入被檢查體并在纟全查結(jié)束后將被檢查體拍U主外部的》t置(set)部，和支承從該》文置部接過(guò)來(lái)的 被#r查體并對(duì)其進(jìn)4于測(cè)試的測(cè)定部；上述測(cè)定部的探針單元上組裝有探針組合體，該探針組合 體包括塊狀片，其一體地支承多個(gè)上述刀片型探針； 兩個(gè)槽桿，它們分別設(shè)于該塊狀片的前端側(cè)和基端側(cè)，并 分別空開(kāi)恒定間隔地支承多個(gè)上述刀片型探針的前端側(cè)和基端一個(gè)以上的導(dǎo)桿，其分別貫穿多個(gè)上述刀片型探針， 一體地支承各刀片型探針；側(cè)蓋，其固定于上述塊狀片上，支承上述導(dǎo)桿；更換軸，其被配設(shè)成與上述槽桿一起夾著多個(gè)上述刀片型探針的前端側(cè)或基端側(cè)，防止嵌合于上述槽桿中的上述刀片型探針的前端側(cè)或基端側(cè)在進(jìn)行更換上述刀片型探針的作業(yè)時(shí)從該槽桿中脫落；內(nèi)蓋，其安裝于上述塊狀片上，覆蓋上述刀片型探針及上 述槽桿，并支承上述更換軸；嵌合部，其面向上述刀片型探針側(cè)地設(shè)于前端側(cè)或基端側(cè) 的上述槽桿上；被嵌合部，其面向上述槽桿的嵌合部側(cè)地設(shè)于上述各刀片 型探針上，通過(guò)與該嵌合部相嵌合而將該刀片型探針定位并臨時(shí)固定于該槽桿上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢查裝置，其特征在于， 上述嵌合部由上述槽桿的面向上述刀片型探針側(cè)而設(shè)的凸條構(gòu)成；合部側(cè)而"i殳的凹狀在夾口構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種探針組合體及檢查裝置，該探針組合體用于支承刀片型探針，能容易且安全地更換刀片型探針。上述探針組合體包括塊狀片、空開(kāi)恒定間隔地支承上述刀片型探針的兩個(gè)槽桿、一體地支承各刀片型探針的導(dǎo)桿、支承該導(dǎo)桿的側(cè)蓋、防止上述刀片型探針在進(jìn)行更換上述刀片型探針的作業(yè)時(shí)從該槽桿中脫落的更換軸、覆蓋上述刀片型探針及上述槽桿并支承上述更換軸的內(nèi)蓋、上述槽桿的面向上述刀片型探針側(cè)而設(shè)的嵌合部，設(shè)于上述各刀片型探針上的通過(guò)與該嵌合部相嵌合來(lái)定位并臨時(shí)固定該刀片型探針的被嵌合部。
文檔編號(hào)G01R1/073GK101308164SQ20081008188
公開(kāi)日2008年11月19日 申請(qǐng)日期2008年5月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月16日
發(fā)明者久我智昭 申請(qǐng)人:日本麥可羅尼克斯股份有限公司