本發(fā)明涉及一種涂敷裝置、涂敷頭及涂敷方法，更具體地，涉及在基板周向邊緣部涂敷液體的涂敷裝置、涂敷頭及涂敷方法。

背景技術(shù)：

一般將使用了玻璃環(huán)氧樹脂部件的印刷基板作為電子部件的安裝用基板使用。玻璃環(huán)氧樹脂部件是在重疊的玻璃纖維布上含浸環(huán)氧樹脂形成的。因此在切斷玻璃環(huán)氧樹脂部件時(shí)，產(chǎn)生由環(huán)氧樹脂或者玻璃纖維組成的細(xì)微塵埃。這些細(xì)微塵?？赡芤鸹寤芈方佑|不良或者質(zhì)量下降等問(wèn)題。因此有必要在制造印刷基板時(shí)就除去切斷基板時(shí)所產(chǎn)生的塵埃。

但是即使從印刷基板的端面除去了塵埃，由于印刷基板的端面部分非常脆，所以還會(huì)有端面部分損壞進(jìn)一步又產(chǎn)生塵埃的問(wèn)題。

于是本發(fā)明人已經(jīng)在先提出了通過(guò)在印刷基板的端面上涂敷膜形成液形成膜，從而防止端面部分損壞的涂敷裝置(專利文獻(xiàn)1)。

圖23是顯示了本發(fā)明人在先提出的涂敷裝置的主要部分的側(cè)視剖面圖，圖24圖是為了顯示涂敷裝置內(nèi)部機(jī)構(gòu)而省略了框體顯示的概略前視圖。

橫貫框體101的輸入口101a以及輸出口101b，配設(shè)有沿前后方向延伸的傳送裝置102。傳送裝置102由支承部件(未圖示)支承在框體101上。在框體101上設(shè)置有具有復(fù)數(shù)個(gè)操作開關(guān)103a的操作部103。通過(guò)操縱操作開關(guān)103a，傳送裝置102被驅(qū)動(dòng)和停止。

在框體101內(nèi)的傳送裝置102的左右分別設(shè)置涂敷機(jī)構(gòu)110、110。涂敷機(jī)構(gòu)110固定在與框體101的后面相向配設(shè)的固定板104上，固定板104下部與滾珠螺桿機(jī)構(gòu)120連接。滾珠螺桿機(jī)構(gòu)120被支承部件(未圖示)支承在框體101上。

涂敷機(jī)構(gòu)110具備涂敷圓盤111、馬達(dá)112、涂敷液供給圓盤113以及馬達(dá)114。用來(lái)旋轉(zhuǎn)涂敷圓盤的馬達(dá)112、112被固定在水平安裝于固定板104的支承部件105上，其旋轉(zhuǎn)軸112a垂直向下配設(shè)。涂敷圓盤111、111沿水平方向配設(shè)，具備朝上方延伸的軸111a。在馬達(dá)112的旋轉(zhuǎn)軸112a上連接涂敷圓盤111的軸111a，藉由馬達(dá)112的驅(qū)動(dòng)使涂敷圓盤111旋轉(zhuǎn)。

用來(lái)旋轉(zhuǎn)涂敷液供給圓盤的馬達(dá)114、114通過(guò)沿前后方向延伸的樞軸115固定于固定板104上，其旋轉(zhuǎn)軸114a沿水平方向配設(shè)。涂敷液供給圓盤113、113夾著涂敷圓盤111、111，在傳送裝置102的相反一側(cè)呈垂直方向配設(shè)，具有沿水平方向延伸的軸113a。涂敷液供給圓盤113的軸113a與馬達(dá)114的旋轉(zhuǎn)軸114a連接，藉由馬達(dá)114的驅(qū)動(dòng)，涂敷液供給圓盤113旋轉(zhuǎn)。涂敷液供給圓盤113的軸113a位于比涂敷圓盤111的下面還下方的位置，涂敷液供給圓盤113的涂敷圓盤111一側(cè)的上部側(cè)面與涂敷圓盤111的周面接觸。

在涂敷液供給圓盤113下方設(shè)置有用來(lái)容納含樹脂成分的膜形成液116的箱型液體供給容器117，涂敷液供給圓盤113的下端部從液體供給容器117上方插入，并浸于膜形成液116中。隨著涂敷液供給圓盤113的旋轉(zhuǎn)，膜形成液116從涂敷液供給圓盤113下端部向涂敷液供給圓盤113上部移動(dòng)，被提供給涂敷圓盤111的外周面。

在固定板104的下端部連接滾珠螺桿機(jī)構(gòu)120。滾珠螺桿機(jī)構(gòu)120、120具備配置在傳送裝置102下方的馬達(dá)121、121。馬達(dá)121具有自傳送裝置102隔離的向左右水平方向延伸的旋轉(zhuǎn)軸(未圖示)，該旋轉(zhuǎn)軸上連接向左右水平方向延伸的公螺紋122。另外，公螺紋122上咬合著筒狀的母螺紋體123，固定板104下端中央部與母螺紋體123連接。藉由馬達(dá)121、121的驅(qū)動(dòng)，公螺紋122旋轉(zhuǎn)，隨著公螺紋122的旋轉(zhuǎn)，與母螺紋體123連接的固定板104、104能夠左右移動(dòng)。

以下說(shuō)明通過(guò)上述涂敷裝置給印刷基板130的端面130a涂敷膜形成液116的涂敷方法。首先，操縱操作部103的操作開關(guān)103a，使馬達(dá)121正反旋轉(zhuǎn)，調(diào)整涂敷機(jī)構(gòu)110、110的左右位置，使之與印刷基板130的左右寬度相吻合。然后將印刷基板130載置至搬入口101a一側(cè)的傳送裝置102上，操縱操作開關(guān)103a，驅(qū)動(dòng)傳送裝置102、馬達(dá)112、112及馬達(dá)114、114。

通過(guò)傳送裝置102將印刷基板130運(yùn)送至涂敷機(jī)構(gòu)110，使其左右端面130a、130a與涂敷圓盤111、111的周面111b、111b相碰接。此時(shí)附著在涂敷圓盤111、111周面111b、111b的膜形成液116被涂敷到印刷基板130的左右端面130a、130a上。接著隨時(shí)印刷基板130的運(yùn)送，印刷基板130左右端面130a、130a全體被膜形成液116涂敷，涂敷后，印刷基板130被從搬出口101b運(yùn)出，使膜形成液116中所含的樹脂成分固化。

根據(jù)上述涂敷裝置，通過(guò)涂敷圓盤111、111，印刷基板130的兩側(cè)端面130a、130a上被涂敷膜形成液116，從而能夠在印刷基板130的兩端面130a、130a上形成涂膜。

發(fā)明要解決的問(wèn)題

但在上述涂敷裝置中，由于是膜形成液116通過(guò)供給圓盤113、113供給到涂敷圓盤111、111的外周面111b、111b，然后附著在涂敷圓盤111、111的外周面111b、111b的膜形成液116被涂敷到印刷基板130的端面130a、130a的構(gòu)成，所以對(duì)于這些涂敷圓盤111的外周面111b的膜形成液116的供給狀態(tài)容易產(chǎn)生偏差。

為了使相對(duì)于涂敷圓盤111的外周面111b的膜形成液116的供給狀態(tài)穩(wěn)定，需要將膜形成液116的粘度調(diào)整到比較高(不垂落的程度)，從而就存在難以以薄的膜厚進(jìn)行均勻地涂敷的問(wèn)題。

另一方面，為了應(yīng)對(duì)各種電子器械的薄型化和小型化，近年來(lái)，對(duì)于厚度為數(shù)十μm至數(shù)百μm程度的薄型覆銅層壓板(亦稱封裝基板)的需要高漲。對(duì)于這種薄型基板，僅在基板端面涂敷膜形成液是不容易的，需要能夠在基板的包括端面的周向邊緣部，例如涂敷成邊框狀之類的形態(tài)。

但是上述涂敷裝置是僅在印刷基板130的端面130a涂敷膜形成液116的構(gòu)成，有不能在基板的包括端面的周向邊緣部薄且均勻地將膜形成液涂敷成邊框狀的問(wèn)題。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：國(guó)際公開第2010/137418號(hào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，目的在于提供一種能夠在基板的包括端面的周向邊緣部以薄且均勻的膜厚涂敷膜形成液，能夠穩(wěn)定地形成膜厚變動(dòng)小的涂膜的涂敷裝置、涂敷頭及涂敷方法。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明涉及的涂敷裝置(1)，是在基板的包括端面的周向邊緣部涂敷液體的涂敷裝置，其特征在于，具有：支承所述基板的支承手段；包括具有能夠插入所述基板端部的空隙的、相向配置的一對(duì)涂敷頭的涂敷手段；移動(dòng)該涂敷手段的移動(dòng)手段；為所述一對(duì)涂敷頭提供膜形成液的液體供給手段；在被所述支承手段支承的所述基板的端部插入所述一對(duì)涂敷頭的所述空隙內(nèi)的狀態(tài)下，控制所述移動(dòng)手段使所述一對(duì)涂敷頭沿著所述基板的周向邊緣部移動(dòng)的控制手段；所述一對(duì)涂敷頭具備在該一對(duì)涂敷頭的相對(duì)面上積存所述膜形成液的液體積存部和將通過(guò)了該液體積存部的所述基板端部上附著的所述膜形成液涂敷加工成薄膜狀的涂工部。

根據(jù)上述涂敷裝置(1),能夠在所述一對(duì)涂敷頭的所述空隙內(nèi)插入被所述支承手段支承的所述基板的端部的狀態(tài)下，一邊為所述一對(duì)涂敷頭的所述液體積存部提供所述膜形成液的同時(shí)，一邊使所述一對(duì)涂敷頭沿著所述基板的周向邊緣部移動(dòng)。即，將所述基板端部通過(guò)所述液體積存部所積存的所述膜形成液后，能夠一邊在所述涂工部將附著在所述基板端部的所述膜形成液涂敷加工成薄膜狀，一邊使所述一對(duì)涂敷頭沿著所述基板的周向邊緣部移動(dòng)。

另外，由于是使所述基板的端部通過(guò)所述液體積存部所積存的所述膜形成液的構(gòu)成，所以能夠使所述膜形成液充分附著在該基板的端部，能夠在所述基板的端部，毫無(wú)不均勻地附著所述膜形成液的狀態(tài)后，在所述涂工部涂敷成薄膜狀。

因此能夠在所述基板的周向邊緣部的上下面以及所述基板的端面(側(cè)面)薄且均勻地涂敷所述膜形成液。另外，能夠持續(xù)進(jìn)行膜厚變動(dòng)等涂膜質(zhì)量偏差小的涂敷，能夠精度良好地在所述基板的周向邊緣部形成邊框狀的均質(zhì)的涂膜。從而，能夠防止由于所述基板端面部分的損壞引起的塵埃的發(fā)生，同時(shí)還能夠通過(guò)所述涂膜強(qiáng)化所述基板的周向邊緣部，提高所述基板的操作性，降低所述基板的不良產(chǎn)品的產(chǎn)生率。

另外，本發(fā)明涉及的涂敷裝置(2)，其特征在于，在所述涂敷裝置(1)中，所述涂工部具備用來(lái)抹平附著在所述基板端部的所述膜形成液的抹子部和用來(lái)刮取通過(guò)了該抹子部的附著在所述基板端部的多余的所述膜形成液的刮取部。

根據(jù)上述涂敷裝置(2)，由于具備所述抹子部和所述刮取部，所以在將通過(guò)了所述液體積存部的所述基板端部上所附著的所述膜形成液涂成均一膜厚后，能夠確實(shí)地刮掉附著在所述基板的多余的所述膜形成液，能夠薄且均勻地涂敷所述膜形成液。

另外本發(fā)明涉及的涂敷裝置(3)，其特征在于，在上述涂敷裝置(1)或者(2)中，所述涂敷手段具備用來(lái)使所述一對(duì)涂敷頭環(huán)轉(zhuǎn)的環(huán)轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部。

根據(jù)上述涂敷裝置(3)，由于藉由所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部，能夠使所述一對(duì)涂敷頭旋轉(zhuǎn)，所以比如在給矩形基板的周向邊緣部涂敷膜形成液時(shí)，能夠?qū)⑺鲆粚?duì)涂敷頭在所述基板的各個(gè)邊時(shí)，相對(duì)于該基板端面的朝向都設(shè)定為同樣朝向，從而能夠使所述基板的各邊都在相同狀態(tài)下進(jìn)行穩(wěn)定的涂敷。

另外本發(fā)明涉及的涂敷裝置(4)，其特征在于，在上述涂敷裝置(3)中，在所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部上裝備有使所述一對(duì)涂敷頭沿水平方向滑動(dòng)的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)部。

根據(jù)上述涂敷裝置(4)，由于能夠使所述一對(duì)涂敷頭相對(duì)于所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部在水平方向上滑動(dòng)移動(dòng)。所以能夠更加高精度地進(jìn)行所述一對(duì)涂敷頭相對(duì)于所述基板端面的位置控制，比如在所述一對(duì)涂敷頭的所述空隙內(nèi)插入所述基板端部的寬度微調(diào)整等所述一對(duì)涂敷頭的位置的微調(diào)整。

另外本發(fā)明涉及的涂敷裝置(5)，其特征在于，在上述涂敷裝置(1)或者(2)中，在所述支承手段的周圍配設(shè)復(fù)數(shù)個(gè)所述涂敷手段，所述移動(dòng)手段是使所述復(fù)數(shù)個(gè)涂敷手段沿著由所述支承手段所支承的基板的邊移動(dòng)的手段，所述控制手段是控制所述移動(dòng)手段以使所述復(fù)數(shù)個(gè)涂敷手段沿著所述基板的邊移動(dòng)的手段。

根據(jù)上述涂敷裝置(5)，能夠利用所述復(fù)數(shù)個(gè)涂敷手段對(duì)所述基板的周向邊緣部進(jìn)行涂敷，能夠大幅地縮短涂敷所述基板的全部周邊的時(shí)間，能夠提高涂敷工序的效率。

另外本發(fā)明涉及的涂敷裝置(6)，其特征在于，在上述涂敷裝置(5)中，所述移動(dòng)手段具備復(fù)數(shù)個(gè)能夠在所述基板的邊方向和與該邊方向交叉的方向的2個(gè)方向上移動(dòng)的2軸直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)。

根據(jù)上述涂敷裝置(6)，通過(guò)所述2軸直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)使所述各涂敷手段在2軸方向移動(dòng)，從而能夠以穩(wěn)定的操作，反復(fù)涂敷所述基板各個(gè)邊。

另外本發(fā)明的涂敷裝置(7)，其特征在于，在上述任一涂敷裝置(1)～(6)中，具備容納所述膜形成液的液體容納部、配設(shè)于所述一對(duì)涂敷頭下方的液體接受部以及將該液體接受部所接受的所述膜形成液移送至所述液體容納部的移送手段。

根據(jù)上述涂敷裝置(7)，自所述一對(duì)涂敷頭漏下的所述膜形成液能夠在所述液體接受部被接住，被所述移送手段移送至所述液體容納部，所以能夠循環(huán)反復(fù)使用所述膜形成液，能夠毫無(wú)浪費(fèi)地使用所述膜形成液。

另外本發(fā)明涉及的涂敷裝置(8)，其特征在于，在上述任一涂敷裝置(1)～(7)中，還具備涂敷頭用保護(hù)具，所述涂敷頭用保護(hù)具具備與所述一對(duì)涂敷頭的所述空隙相碰接的墊部、配設(shè)于該墊部下方的液體接受部以及支承所述墊部和所述液體接受部的支承部，所述涂敷頭用保護(hù)具設(shè)置在所述一對(duì)涂敷頭的退避位置。

根據(jù)上述涂敷裝置(8)，在所述一對(duì)涂敷頭退避至指定的退避位置時(shí)，所述一對(duì)涂敷頭的所述空隙部分能夠與所述涂敷頭用保護(hù)具的所述墊部相碰接。因此，能夠防止在所述空隙部分上產(chǎn)生所述膜形成液的干燥或者由于該干燥引起的液體堵塞的發(fā)生，能夠在不發(fā)生所述膜形成液的干燥或者液體堵塞的良好狀態(tài)下持續(xù)進(jìn)行對(duì)所述基板的涂敷。

另外本發(fā)明涉及的涂敷裝置(9)，其特征在于，在上述任一涂敷裝置(1)～(8)中，具備用來(lái)干燥涂敷于所述基板的周向邊緣部的所述膜形成液的干燥手段。

根據(jù)上述涂敷裝置(9),通過(guò)所述干燥手段，能夠在涂敷所述膜形成液后立即使所述膜形成液干燥，能夠提高隨后的作業(yè)性，另外能夠提高防止所述膜形成液剝離等涂敷不良的效果。

另外本發(fā)明涉及的涂敷裝置(10)，其特征在于，在上述任一涂敷裝置(1)～(9)中，具備將被所述支承手段支承前的基板進(jìn)行位置配置到指定位置的位置確定手段，以及將被該位置確定手段所確定位置的基板移載到所述支承手段，然后將被所述膜形成液涂敷了的基板從所述支承手段移送的基板移載手段。

根據(jù)上述涂敷裝置(10)，由于是在所述位置確定手段進(jìn)行所述基板的位置確定后，利用所述基板移載手段將該基板移載至所述支承手段的，所以被移載至所述支承手段的基板的位置精度高，能夠進(jìn)行所述膜形成液的涂敷寬度無(wú)偏差的精度高的涂敷。

另外本發(fā)明的涂敷裝置(11)，其特征在于，在上述涂敷裝置(10)中，所述基板移載手段具備第1基板保持部和第2基板保持部，通過(guò)所述第1基板保持部與所述第2基板保持部，能夠并行進(jìn)行將所述基板朝所述支承手段移載的動(dòng)作和將所述基板從所述支承手段移送的動(dòng)作。

根據(jù)上述涂敷裝置(11)，由于能夠同時(shí)進(jìn)行將涂敷前的基板向所述支承手段移載的動(dòng)作和將涂敷后的基板從所述支承手段移送的動(dòng)作，所以能夠提高基板的運(yùn)送效率。

另外本發(fā)明涉及的涂敷頭(1)，是用來(lái)給基板的包含端面的周向邊緣部涂敷液體的涂敷頭，其特征在于，具備：具有能夠插入所述基板端部的空隙的、相向配置的上側(cè)頭與下側(cè)頭；所述上側(cè)頭具備在與所述下側(cè)頭的相對(duì)面形成的上側(cè)液體積存部、用來(lái)為該上側(cè)液體積存部提供膜形成液的液體供給路以及與該上側(cè)液體積存部并列設(shè)置的上側(cè)抹子部和與該上側(cè)抹子部并列設(shè)置的上側(cè)刮取部；所述下側(cè)頭具備與所述上側(cè)液體積存部相對(duì)的地方形成的下側(cè)液體積存部和與該下側(cè)液體積存部并列設(shè)置的下側(cè)抹子部以及與該下側(cè)抹子部并列設(shè)置的下側(cè)刮取部。

根據(jù)上述涂敷頭(1)，從所述液體供給路為所述上側(cè)液體積存部提供所述膜形成液，從而能夠形成在所述上側(cè)液體積存部與所述下側(cè)液體積存部積存所述膜形成液的狀態(tài)。然后在所述上側(cè)頭與所述下側(cè)頭的所述空隙中插入所述基板端部，通過(guò)使所述基板的端部通過(guò)所述上側(cè)液體積存部與所述下側(cè)液體積存部中所積存的所述膜形成液，能夠毫無(wú)不均勻地充分地在所述基板的端部附著所述膜形成液。

然后在所述上側(cè)抹子部與所述下側(cè)抹子部，抹平附著在所述基板端部的所述膜形成液，涂成均一膜厚，然后在所述上側(cè)刮取部與所述下側(cè)刮取部，能夠?qū)⒏街谒龌宓亩嘤嗟乃瞿ば纬梢汗蔚?，能夠形成膜厚變?dòng)等少的薄膜狀的涂膜。

因此能夠在所述基板的周向邊緣部的上下面以及所述基板的端面(側(cè)面)薄且均勻地涂敷所述膜形成液，能夠在所述基板的周向邊緣部精度良好地形成邊框狀的均質(zhì)的涂膜。

另外本發(fā)明涉及的涂敷頭(2),其特征在于，在上述涂敷頭(1)中，在所述上側(cè)抹子部以及所述下側(cè)抹子部的抹子面上形成復(fù)數(shù)個(gè)微小的溝。

根據(jù)上述涂敷頭(2)，由于在所述上側(cè)抹子部以及/或者所述下側(cè)抹子部的抹子面上形成有復(fù)數(shù)個(gè)微小溝，所以由于所述膜形成液的表面張力，所述膜形成液能夠容易地在所述抹子面上展開，從而能夠容易地穩(wěn)定地形成薄且均勻的膜厚。

另外本發(fā)明涉及的涂敷頭(3)，其特征在于，在上述涂敷頭(1)或者(2)中，所述上側(cè)抹子部以可以裝卸于所述上側(cè)頭的方式構(gòu)成，所述下側(cè)抹子部以可以裝卸于所述下側(cè)頭的方式構(gòu)成。

根據(jù)上述涂敷頭(3)，可以根據(jù)需要在所述上側(cè)頭以及所述下側(cè)頭上分別裝卸所述上側(cè)抹子部以及所述下側(cè)抹子部。另外，能夠安裝與涂膜的膜厚等相適應(yīng)的所述上側(cè)抹子部以及所述下側(cè)抹子部，能夠精度良好地進(jìn)行膜厚調(diào)整，另外，能夠容易地進(jìn)行維護(hù)。

另外本發(fā)明涉及的涂敷頭(4)，其特征在于，在上述任一涂敷頭(1)～(3)中，所述上側(cè)頭具備固定于所述下側(cè)頭的固定部件和相對(duì)于該固定部件以在上下方向上可以位置調(diào)整的方式安裝的移動(dòng)部件，所述上側(cè)液體積存部形成在所述移動(dòng)部件上，所述上側(cè)抹子部與所述上側(cè)刮取部設(shè)置在所述移動(dòng)部件上。

根據(jù)上述涂敷頭(4)，因?yàn)槭窍鄬?duì)于所述固定部件能夠在上下方向移動(dòng)所述移動(dòng)部件，進(jìn)行位置調(diào)整的方式安裝的，所以可以根據(jù)所涂敷的基板的厚度與形成的涂膜的膜厚，任意調(diào)整所述移動(dòng)部件的高度位置，能夠針對(duì)各種各樣厚度的基板，進(jìn)行各種各樣膜厚的涂敷。

另外本發(fā)明涉及的涂敷頭(5)，其特征在于，在上述任一涂敷頭(1)～(3)中，所述上側(cè)頭具備固定于所述下側(cè)頭的固定部件和相對(duì)于該固定部件以在上下方向可以進(jìn)行位置調(diào)整的方式安裝的2個(gè)移動(dòng)部件，所述上側(cè)液體積存部形成于所述固定部件上，在與所述上側(cè)液體積存部并列設(shè)置的一個(gè)移動(dòng)部件上設(shè)置有所述上側(cè)抹子部，在與所述一個(gè)移動(dòng)部件并列設(shè)置的另一個(gè)移動(dòng)部件上設(shè)置有所述上側(cè)刮取部。

根據(jù)上述涂敷頭(5)，由于能夠相對(duì)于所述固定部件，以在上下方向上移動(dòng)進(jìn)行位置調(diào)整的方式分別安裝所述一個(gè)移動(dòng)部件與所述另一個(gè)移動(dòng)部件，所以可以根據(jù)所涂敷的基板的厚度或者形成的涂膜的厚度，分別調(diào)整裝備有所述上側(cè)抹子部的所述一個(gè)移動(dòng)部件與裝有所述上側(cè)刮取部的所述另一個(gè)移動(dòng)部件的高度位置，能夠相對(duì)于各種各樣厚度的基板，進(jìn)行各種各樣膜厚的涂敷。

另外本發(fā)明涉及的涂敷頭(6)，其特征在于，在上述任一涂敷頭(1)～(3)中，所述上側(cè)頭具備固定于所述下側(cè)頭的固定部件和相對(duì)于該固定部件以在上下方向可以位置調(diào)整的方式安裝的移動(dòng)部件，該移動(dòng)部件在被施加勢(shì)力手段施以向下方勢(shì)力的狀態(tài)下安裝于所述固定部件上，所述上側(cè)液體積存部、所述上側(cè)抹子部與所述上側(cè)刮取部，設(shè)置在所述移動(dòng)部件上。

根據(jù)上述涂敷頭(6)，由于能夠相對(duì)于所述固定部件，以在上下方向上可以調(diào)整位置的方式安裝所述移動(dòng)部件，所以能夠根據(jù)所涂敷的基板的厚度或者形成的涂膜的厚度，任意調(diào)整所述移動(dòng)部件的高度位置，從而能夠相對(duì)于各種厚度的基板，進(jìn)行各種膜厚的涂敷。進(jìn)而由于所述移動(dòng)部件被所述施加勢(shì)力手段以向下方被施加勢(shì)力的狀態(tài)下安裝于所述固定部件上的，所以能夠使所述上側(cè)頭與所述下側(cè)頭的空隙尺寸保持為一定寬度，只要是在該空隙尺寸范圍內(nèi)，即使基板的厚度不同，也能夠進(jìn)行適當(dāng)?shù)耐糠蟆?/p>

另外本發(fā)明的涉及的涂敷頭(7)，其特征在于，在上述涂敷頭(6)中，所述移動(dòng)部件具有第1的部件與第的2部件，所述第1的部件是相對(duì)于所述固定部件以在上下方向上能夠調(diào)整位置的方式安裝的，所述第2的部件由所述施加勢(shì)力手段在朝下方被施加勢(shì)力的狀態(tài)下安裝在所述第1的部件上，所述上側(cè)液體積存部、所述上側(cè)抹子部以及所述上側(cè)刮取部設(shè)置在所述第2的部件上。

根據(jù)上述涂敷頭(7)，通過(guò)所述第1的部件能夠容易地進(jìn)行相對(duì)于所述固定部件的上下方向的安裝位置的調(diào)整，另外，由于能夠在僅使所述基板端部所插入的所述第2的部件被施加朝下的勢(shì)力的狀態(tài)下安裝的，所以通過(guò)設(shè)置于所述第2的部件上的所述上側(cè)抹子部與所述上側(cè)刮取部，能夠?qū)穸炔煌幕逡脖∏揖鶆虻赝糠笏瞿ば纬梢骸?/p>

另外本發(fā)明涉及的涂敷頭(8)，其特征在于，在上述任一涂敷頭(1)～(7)中，所述上側(cè)頭具備排出所述膜形成液的液體排出路。

根據(jù)上述涂敷頭(8)，能夠?qū)⑻峁┙o所述上側(cè)液體積存部的多余的所述膜形成液由所述液體排出路適當(dāng)?shù)嘏懦?，從而能夠防止從所述上?cè)頭與所述下側(cè)頭的所述空隙部分有不要的液體垂下等。

另外本發(fā)明涉及的涂敷方法(1)，是在基板的包括端面的周向邊緣部涂敷膜形成液的涂敷方法，其特征在于，具有：在具有可以插入所述基板端部的空隙的相向配置的一對(duì)涂敷頭的所述空隙內(nèi)，插入所述基板端部的工序；為在所述一對(duì)涂敷頭的相對(duì)面上所形成的液體積存部提供所述膜形成液的同時(shí)，使所述一對(duì)涂敷頭沿著所述基板的周向邊緣部移動(dòng)，在該基板的周向邊緣部形成涂膜的涂敷工序；該涂敷工序具備在與所述液體積存部并列設(shè)置的涂工部，將通過(guò)所述液體積存部的所述基板上所附著的所述膜形成液涂敷成薄膜狀的工序。

根據(jù)上述涂敷方法(1)，能夠在所述基板的周向邊緣部的上下面以及所述基板端面薄且均勻地涂敷所述膜形成液，能夠在所述基板的周向邊緣部精度良好地形成邊框狀的涂膜。因此，能夠防止由于所述基板端面部分的損壞所引起的塵埃的發(fā)生，同時(shí)能夠藉由涂膜使所述基板得以強(qiáng)化，能夠提高所述基板的操作性。

另外本發(fā)明涉及的涂敷方法(2)，其特征在于，在上述涂敷方法(1)中，使用復(fù)數(shù)個(gè)所述涂敷頭同時(shí)并行涂敷所述基板的各邊。

根據(jù)上述涂敷方法(2)，由于是利用復(fù)數(shù)個(gè)所述涂敷頭同時(shí)并行涂敷所述基板的各邊，所以能夠大幅地縮短涂敷所述基板全部周邊的時(shí)間，能夠提高所述涂敷工序的效率。

附圖說(shuō)明

圖1是為了顯示本發(fā)明的實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置的內(nèi)部構(gòu)造而省略了框體所顯示的側(cè)視圖。

圖2是為了顯示實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置的內(nèi)部構(gòu)造而省略了框體所顯示的前視圖。

圖3是圖2中從箭頭A方向觀看的涂敷頭的前視圖。

圖4是圖3中沿IV-IV線的剖面圖。

圖5是圖3中沿V-V線的剖面圖。

圖6是上側(cè)頭的分解底面圖。

圖7是圖3中沿VI I-VI I線的剖面圖。

圖8是實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置的涂敷頭退避至涂敷頭用保護(hù)具的位置時(shí)的平面圖。

圖9是圖8中從箭頭C方向觀看的涂敷頭用保護(hù)具的主視圖。

圖10是是用來(lái)說(shuō)明實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置的涂敷頭動(dòng)作的平面圖。

圖11是顯示使用實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置所涂敷的基板的周向邊緣部附近的圖，(a)是部分斜視圖，(b)是(a)中沿b-b線的剖視圖。

圖12是顯示構(gòu)成另外的實(shí)施方式涉及的涂敷頭的上側(cè)頭的構(gòu)造的圖，(a)是底面圖，(b)是平面圖。

圖13為了顯示實(shí)施方式(2)涉及的涂敷裝置的內(nèi)部構(gòu)造而省略了框體所顯示的平面圖。

圖14是為了顯示實(shí)施方式(2)涉及的涂敷裝置的內(nèi)部構(gòu)造而省略了框體所顯示的側(cè)視圖。

圖15是圖14中從箭頭A1方向觀看的涂敷頭的主視圖。

圖16是是圖15中沿XVI-XVI線的剖視圖。

圖17是圖15中沿XVI I-XVI I線的剖視圖。

圖18是圖15中沿XVI I I-XVI I I線的剖視圖。

圖19是上側(cè)頭的分解底面圖。

圖20是上側(cè)頭的分解主視圖。

圖21是圖15中沿XXI-XXI的剖面圖。

圖22是用來(lái)說(shuō)明實(shí)施方式(2)涉及的涂敷裝置的涂敷頭動(dòng)作的平面圖。

圖23是以往的涂敷裝置的概略側(cè)視圖。

圖24是為了顯示以往的涂敷裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，而省略了框體所顯示的概略主視圖。

具體實(shí)施方式

以下基于附圖，說(shuō)明本發(fā)明涉及的涂敷裝置、涂敷頭以及涂敷方法的實(shí)施方式。是1為了顯示實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置的內(nèi)部構(gòu)造而省略了框體所顯示的側(cè)視圖，圖2是為了顯示涂敷裝置的內(nèi)部構(gòu)造而省略了框體所顯示的正視圖。

涂敷裝置1包括支承基板2的支承臺(tái)10、具備由上側(cè)頭22與下側(cè)頭23組成的一對(duì)涂敷頭21的涂敷單元20以及使涂敷單元20移動(dòng)的移動(dòng)單元40而構(gòu)成。

另外在涂敷裝置1上裝備有給一對(duì)涂敷頭21提供含有樹脂成分的膜形成液51的液體供給單元50、用來(lái)干燥涂敷于基板2上的膜形成液51的干燥爐60、對(duì)裝置各部分的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的控制部70以及操作部80。

支承臺(tái)10配設(shè)在與基板2的運(yùn)送方向平行配設(shè)的運(yùn)送導(dǎo)軌12之間。運(yùn)送軌道12通過(guò)線性機(jī)構(gòu)等，以能夠在固定導(dǎo)軌11上滑動(dòng)移動(dòng)的方式構(gòu)成，固定導(dǎo)軌11與基板2的運(yùn)送方向平行配設(shè)。支承臺(tái)10被升降機(jī)構(gòu)13以可以升降的方式支承，升降機(jī)構(gòu)13安裝在支承部件14上，支承部件14設(shè)置在固定導(dǎo)軌11之間。固定導(dǎo)軌11固定于未圖示的框體上。

運(yùn)送導(dǎo)軌12在固定導(dǎo)軌11上滑動(dòng)移動(dòng)，則載置于運(yùn)送導(dǎo)軌12上的基板2被運(yùn)送到支承臺(tái)10上方，接下來(lái)升降機(jī)構(gòu)13運(yùn)行，則位于運(yùn)送導(dǎo)軌12的上面的下方的支承臺(tái)10上升，基板2在被支承在支承臺(tái)10上的狀態(tài)下，上升到指定的涂敷位置。另外，涂敷后，升降機(jī)構(gòu)13運(yùn)行，支承臺(tái)10下降，基板2被載置至運(yùn)送軌道12上。

另外在支承臺(tái)10上設(shè)有吸著機(jī)構(gòu)(未圖示)，能夠使基板2吸著在支承臺(tái)10的上面。作為吸著機(jī)構(gòu)可以采用在支承臺(tái)10上設(shè)置復(fù)數(shù)個(gè)空氣吸氣孔，這些空氣吸氣孔通過(guò)氣管與真空泵連接的構(gòu)成等。

移動(dòng)單元40由使涂敷單元20在2軸(XY軸)方向水平移動(dòng)的2軸(XY軸)直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成，包括固定于未圖示的框體的X軸氣缸41、一端側(cè)以能夠滑動(dòng)移動(dòng)的方式與X軸氣缸41連接的Y軸氣缸42、使Y軸氣缸42滑動(dòng)移動(dòng)的Y軸滑塊43以及支承Y軸氣缸42的另一端一側(cè)的支承引導(dǎo)部44而構(gòu)成。在Y軸滑塊43上安裝有涂敷單元20。支承引導(dǎo)部44固定于未圖示的框體上。Y軸氣缸42以及Y軸滑塊43的運(yùn)行由控制部70控制。

涂敷單元20包括環(huán)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部30以及一對(duì)涂敷頭21而構(gòu)成。環(huán)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部30包括與Y軸滑塊43連接的連接部件31、安裝于連接部件31上的旋轉(zhuǎn)環(huán)轉(zhuǎn)馬達(dá)32、與向垂直方向延伸的環(huán)轉(zhuǎn)馬達(dá)32的旋轉(zhuǎn)軸32a連接的旋轉(zhuǎn)軸部33以及一端與旋轉(zhuǎn)軸部33連接的環(huán)轉(zhuǎn)臂34而構(gòu)成，能夠以環(huán)轉(zhuǎn)馬達(dá)32的旋轉(zhuǎn)軸32a為中心使一對(duì)涂敷頭21環(huán)轉(zhuǎn)。

旋轉(zhuǎn)軸部33包括旋轉(zhuǎn)軸33a以及以可以旋轉(zhuǎn)的方式支承旋轉(zhuǎn)軸33a的滾軸軸承(未圖示)而構(gòu)成，旋轉(zhuǎn)軸33a的上端一側(cè)與環(huán)轉(zhuǎn)馬達(dá)32的旋轉(zhuǎn)軸32a連接，旋轉(zhuǎn)軸33a的下端一側(cè)與環(huán)轉(zhuǎn)臂34連接。

環(huán)轉(zhuǎn)臂34具備在水平方向上延伸設(shè)置的腕部34a，在腕部34a的下面中間部設(shè)有滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35，該滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35是用來(lái)使一對(duì)涂敷頭21在腕部34a的較長(zhǎng)一方的方向(水平方向)滑動(dòng)移動(dòng)的?；瑒?dòng)機(jī)構(gòu)35由電動(dòng)式直線移動(dòng)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)等構(gòu)成，在滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35上安裝有用來(lái)安裝一對(duì)涂敷頭21的連接部件36。

另外用來(lái)檢測(cè)環(huán)轉(zhuǎn)臂34的環(huán)轉(zhuǎn)停止位置的探測(cè)器(例如コ字型光敏探測(cè)器)(未圖示)以90度的間隔配設(shè)在旋轉(zhuǎn)軸部33的周圍，環(huán)轉(zhuǎn)臂34環(huán)轉(zhuǎn)90度，則設(shè)置在環(huán)轉(zhuǎn)臂34上的遮光板(未圖示)就會(huì)遮住所述探測(cè)器的受光部，從而檢測(cè)出停止位置而構(gòu)成。

接著就構(gòu)成涂敷單元20的一對(duì)涂敷頭21進(jìn)行說(shuō)明。圖3是圖2中從箭頭A方向觀看一對(duì)涂敷頭21的正視圖，圖4是沿圖3中IV-IV線的剖面圖。圖5是圖3中沿V-V線的剖面圖，顯示上側(cè)頭底面(與下側(cè)頭的相對(duì)面)，圖6是上側(cè)頭的分解底面圖。另外，圖7是圖3中沿VI I-VI I線的剖面圖，顯示下側(cè)頭的上面(與上側(cè)頭的相對(duì)面)。另外，圖中的箭頭B顯示涂敷頭21的移動(dòng)方向。

涂敷頭21包括具有能夠插入基板2端部的空隙的上下相向配置的上側(cè)頭22和下側(cè)頭23而構(gòu)成。在涂敷頭21的下面配設(shè)有固定在下側(cè)頭23上的液體接受部24。涂敷頭21以及液體接受部24由具有耐腐蝕性的不銹鋼等金屬材料形成。另外，涂敷頭21表面(至少在膜形成液的流路面)上，被施以陶瓷加工等表面加工。

如圖5，圖6所示，上側(cè)頭22包括固定于下側(cè)頭23的固定部件22A和相對(duì)于固定部件22A以在上下方向上可以移動(dòng)的方式固定的移動(dòng)部件22B而構(gòu)成。能夠插入基板2端部的空隙形成于上側(cè)頭22的移動(dòng)部件22B與下側(cè)頭23之間，固定部件22A與下側(cè)頭23的相對(duì)面相鄰接被固定。

在移動(dòng)部件22B的底面上并列設(shè)置有傾斜引導(dǎo)部22a、上側(cè)液體積存部22b、上側(cè)抹子部件(抹子部)22c和上側(cè)刮刀部(刮取部)22d(互相緊挨著設(shè)置)。固定部件22A的底面上形成有上側(cè)液體積存部22b、從上側(cè)液體積存部22b通到固定部件22A背面的液體排出溝22e、用來(lái)使固定于下側(cè)頭23上的螺栓部件(未圖示)通過(guò)的通孔22f。

另外在固定部件22A的背面形成有提供膜形成液51的接口22g的安裝孔22h，安裝孔22h與內(nèi)部形成的液體供給路22i連接，液體供給路22i與形成于移動(dòng)部件22B的上側(cè)液體積存部22b上的注入孔22j相連接，從而形成膜形成液51被提供給上側(cè)液體積存部22b的構(gòu)成。

傾斜引導(dǎo)部22a是為了容易在上側(cè)頭22與下側(cè)頭23的空隙內(nèi)引導(dǎo)基板2的端部而設(shè)置的，形成為相對(duì)于水平面傾斜30度左右的構(gòu)造。

與傾斜引導(dǎo)部22a并列設(shè)置的上側(cè)液體積存部22b橫跨移動(dòng)部件22B與固定部件22A，即，從移動(dòng)部件22B的正面一側(cè)端部起至固定部件22A的中央附近，形成為近似矩形的淺溝狀。

在上側(cè)液體積存部22b上形成的注入孔22j，能夠由未圖示的螺絲部件分別蓋上蓋子，當(dāng)在基板2端部所涂敷的液膜的寬度較窄時(shí)(3mm～5mm時(shí))，靠近固定部件22A的注入孔22j蓋上蓋子(未圖示)，當(dāng)給基板2端部所涂敷的液體膜的寬度較寬時(shí)(5mm～10mm時(shí))，能夠在2個(gè)注入孔22j上都不蓋蓋子的狀態(tài)下使用，從而能夠根據(jù)基板2端部所涂敷的液體膜的寬度，調(diào)整注入量和注入位置。

在移動(dòng)部件22B的上側(cè)液體積存部22b的旁邊形成有凹部22k，在凹部22k的靠近上側(cè)液體積存部22b的位置配設(shè)上側(cè)抹子部件22c，形成凹部22k的后端的壁部作為上側(cè)刮刀部22d起作用的構(gòu)成。

上側(cè)抹子部件22c與上側(cè)液體積存部22b并列設(shè)置，具有將附著在基板2的膜形成液51進(jìn)行緊貼且涂成均一膜厚的功能，在平面看為近似正方形的板狀金屬部件上形成抹子面22l和螺栓22m的安裝孔22n，通過(guò)螺栓22m以可以裝卸的方式固定在移動(dòng)部件22B的凹部22k上。

在抹子面22l上，在與涂敷頭21的移動(dòng)方向B相平行的方向上形成有復(fù)數(shù)個(gè)微小溝(例如截面為V字狀的溝)。微小溝的間隔與深度可以根據(jù)所使用的膜形成液51的粘度等特性或者膜厚等進(jìn)行適當(dāng)設(shè)定。例如，在形成10μm～50μm程度的涂膜時(shí)，優(yōu)選使用溝的中心間隔設(shè)定為0.2mm～0.3mm程度，溝的深度設(shè)定為0.05mm～0.1mm程度。

上側(cè)刮刀部22d具有刮掉通過(guò)上側(cè)抹子部件22c的基板2上所附著的多余的膜形成液51的作用，形成使凹部22k的后端壁部相對(duì)于與涂敷頭21(移動(dòng)部件22B)的正面垂直相交的面，向后方一側(cè)傾斜一定角度θ₁(例如30度前后)的狀態(tài)。由于該傾斜，能夠使從基板2端部上面刮掉的膜形成液51刮到基板2的端面一側(cè)，能夠控制膜形成液51的涂敷寬度為一定值。另外，為使構(gòu)成上側(cè)刮刀部22d的刀部的高度比上側(cè)液體積存部22b的堤部分上面還低100μm程度(為使空隙寬)，所述刀部被施以削刮加工。另外，所述刀部的高度能夠根據(jù)涂膜厚度進(jìn)行設(shè)定。

液體排出溝22e形成為從上側(cè)液體積存部22b的固定部件22A一側(cè)端部起通過(guò)固定部件22A的背面，提供給上側(cè)液體積存部22b的多余的膜形成液51自液體排出溝22e排出至外部。

另外如圖3所示，在上側(cè)頭22的移動(dòng)部件22B的正面，在2個(gè)地方，形成縱方向長(zhǎng)的長(zhǎng)孔22o，在與長(zhǎng)孔22o相對(duì)面的固定部件22A的側(cè)面，分別形成螺孔(未圖示)，移動(dòng)部件22B由螺栓22p固定在固定部件22A上。通過(guò)長(zhǎng)孔22o，能夠使移動(dòng)部件22B相對(duì)于固定部件22A，在上下方向上移動(dòng)，為了形成與所涂敷的基板2的厚度相適應(yīng)的空隙，能夠上下微調(diào)整移動(dòng)部件22B的固定位置。

如圖7所示，在下側(cè)頭23的上面，并列設(shè)置傾斜引導(dǎo)部23a、下側(cè)液體積存部23b、下側(cè)抹子部23c、下側(cè)刮刀部23d，另外，還形成有安裝孔23e，是用來(lái)固定通過(guò)上側(cè)頭22的通孔22f的螺栓(未圖示)的。進(jìn)而，在下側(cè)頭23上面，豎立設(shè)置吊設(shè)部件23g，是用來(lái)將涂敷頭21吊設(shè)于支承部25的，在下側(cè)頭23的背面，形成用來(lái)安裝液體接受部24的安裝孔23h和液體排出溝23f。在棒狀的吊設(shè)部件23g的上部形成有用來(lái)安裝連接螺栓26的螺孔23i。

傾斜引導(dǎo)部23a是為了在上側(cè)頭22與下側(cè)頭23的空隙間方便引導(dǎo)基板2端部而設(shè)置的，為相對(duì)于水平面呈傾斜30度左右的構(gòu)造。

與傾斜引導(dǎo)部23a并列設(shè)置的下側(cè)液體積存部23b，自下側(cè)頭23的正面?zhèn)榷瞬科鸬街醒敫浇纬蔀榻凭匦蔚臏\的溝形狀，在與上側(cè)液體積存部22b相向的位置形成為同樣的大小。

與下側(cè)頭23的下側(cè)液體積存部23b鄰接形成孔部23j，在孔部23j的靠下側(cè)液體積存部23b的地方配設(shè)有下側(cè)抹子部23c，孔部23j的后端的壁部作為下側(cè)刮刀部23d起作用。

下側(cè)抹子部件23c與下側(cè)液體積存部23b并列設(shè)置，具有使附著在基板2上的膜形成液51緊貼涂成均一膜厚的作用，在細(xì)板狀金屬部件上形成抹子面23k和螺栓23l的安裝孔23m，藉由螺栓23l以可以裝卸的方式固定在下側(cè)頭23的上面所形成的凹部23n上。

在抹子面23k上，在與涂敷頭21的移動(dòng)方向B平行的方向上形成有復(fù)數(shù)個(gè)的微小溝(例如截面為V字狀的溝)。微小溝的間隔和深度可以根據(jù)所使用的膜形成液51的粘度等的特性或者膜厚等適當(dāng)調(diào)整。例如，在形成10μm～50μm程度的涂膜時(shí)，優(yōu)選使用溝的中心間隔設(shè)定為0.2～0.3mm程度，溝的深度設(shè)定為0.05mm～0.1mm程度。

下側(cè)刮刀部23d具有刮掉通過(guò)了下側(cè)液體積存部23b以及下側(cè)抹子部件23c的基板2上所附著的多余的膜形成液51的功能，形成為孔部23j的后端壁部相對(duì)于與涂敷頭21(下側(cè)頭23)正面垂直相交的面，向后方一側(cè)傾斜指定角度θ₂(例如30度前后)的狀態(tài)。由于該傾斜，能夠?qū)幕?端部下面刮掉的膜形成液51刮到基板2的端面一側(cè)，從孔部23j流入液體接受部24，能夠?qū)⑼糠笠?1的涂敷寬度控制為一定值。另外，為了使構(gòu)成下側(cè)刮刀部23d的刀部的高度，比下側(cè)液體積存部23b的堤部分上面還低100μm程度(為使空隙寬)，對(duì)所述刀部進(jìn)行削刮加工。另外，所述刀部的高度能夠根據(jù)涂膜的厚度進(jìn)行設(shè)定。

液體排出溝23f形成于下側(cè)頭23的背面近似中央處，從上側(cè)頭22的液體排出溝22e排出的膜形成液51通過(guò)液體排出溝23f流入下方的液體接受部24。

液體接受部24具備平面看為矩形的接受盤24a和自接受盤24a的一側(cè)面起向上方延伸設(shè)置的安裝板24b，安裝板24b的上部藉由未圖示的螺栓安裝于下側(cè)頭23背面的安裝孔23h。接受盤24a底面所形成的回收口24c通過(guò)接口24d與管55連接。為使回收口24c一側(cè)朝下，將接受盤24a以略微傾斜的狀態(tài)安裝在下側(cè)頭23上。

另外在涂敷頭21的退避位置(圖10的A位置)上，設(shè)置有涂敷頭用保護(hù)具27。圖8是顯示在使涂敷頭21退避至涂敷頭用保護(hù)具27位置時(shí)的狀態(tài)的平面圖，圖9是圖8中從C方向觀看的部分主視圖。

涂敷頭用保護(hù)具27包括在涂敷裝置1內(nèi)的未圖示的臺(tái)部上所設(shè)置的臺(tái)座27a、在臺(tái)座27a上豎立設(shè)置的側(cè)面近似L字形狀的帶狀板27b和安裝于帶狀板27b上部的墊單元27c而構(gòu)成。在臺(tái)座27a的底面，設(shè)有未圖示的磁石，通過(guò)該磁石固定于所述臺(tái)部。

墊單元27c包括安裝于帶狀板27b的帶狀板安裝部27d、自安裝部27d的一側(cè)邊上部朝平面看為傾斜方向延伸設(shè)置的延設(shè)片27e、在安裝部27d的上部以及延設(shè)片27e上各自安裝的墊保持部27f、被各墊保持部27f所保持的墊部件27g以及配設(shè)在安裝部27d的下端的平面看為矩形的接受盤形狀的液體接受部27h而構(gòu)成。

安裝部27d上端部與延設(shè)片27e所成的角度θ₃設(shè)置為與涂敷頭21正面(通過(guò)基板的面)與刮刀部(22d、23d)所成的角θ₄大致相同，墊部件27g與涂敷頭21正面的空隙部分以及刮刀部(22d、23d)的空隙部分相碰接。

墊保持部27f的開口部形成為近似コ字形。墊部件27g由海綿等具有吸收液體性能的多孔質(zhì)體構(gòu)成，以可以裝卸的方式嵌入于墊保持部27f。墊部件27g為近似長(zhǎng)方體形狀，所以通過(guò)改變嵌入墊保持部27f的面，能夠?qū)|部件27g側(cè)面的4個(gè)面作為與涂敷頭21相碰接的面。

液體供給單元50包括容納膜形成液51的液體容納部52、從液體容納部52通過(guò)管54為涂敷頭21提供膜形成液51的電動(dòng)泵53、以及將液體接受部24所接受的膜形成液51通過(guò)管55進(jìn)行移送(回收)到液體容納部52的電動(dòng)泵56而構(gòu)成。藉由液體供給單元50，液體容納部52的膜形成液51通過(guò)泵53以及管54，被提供給涂敷頭21的上側(cè)頭22，液體接受部24所接受的膜形成液51通過(guò)管55以及泵56被回收到液體容納部52。

膜形成液51可以使用在基板處理工序(蝕刻工序或者鍍敷工序等)中具有不剝離的特性(對(duì)于酸以及/或者堿的耐性)，對(duì)基板表面的附著性等優(yōu)異的由復(fù)數(shù)種樹脂成分混合的的液劑，例如相對(duì)于水性溶媒的溶劑，含有水性聚氨酯樹脂、水性苯乙烯樹脂以及水性增粘劑的涂層劑等，根據(jù)目的用途所調(diào)制的液劑。另外，根據(jù)所涂敷的膜厚，調(diào)整合適的涂敷膜形成液51的粘度，例如在使膜厚薄時(shí)，優(yōu)選降低粘度。

另外如圖1所示，在涂敷單元20后方設(shè)有干燥爐60。由涂敷單元20所涂敷的基板2被放置到運(yùn)送導(dǎo)軌12上，運(yùn)送至干燥爐60內(nèi)，經(jīng)過(guò)指定的干燥時(shí)間后，從干燥爐60中運(yùn)出。

干燥爐60的內(nèi)壁面配設(shè)有隔熱材料61，在干燥爐60內(nèi)以井字形配設(shè)棒狀的翅片加熱器62，在干燥爐60內(nèi)的內(nèi)側(cè)面上，環(huán)周邊設(shè)有供給配管63，在該供給配管63上以一定間隔形成有用來(lái)將空氣送入干燥爐60內(nèi)的供給孔(未圖示)。供給配管63與干燥爐60外部的空氣泵64相連。

控制部70具有進(jìn)行運(yùn)送導(dǎo)軌12的滑動(dòng)移動(dòng)控制、移動(dòng)單元40的XY軸直線移動(dòng)控制、涂敷單元20的環(huán)轉(zhuǎn)·滑動(dòng)移動(dòng)控制、通過(guò)升降機(jī)構(gòu)13的支承臺(tái)10的升降控制、吸附控制、液體供給單元50的泵53、56的驅(qū)動(dòng)控制以及干燥爐60的溫度控制等對(duì)涂敷裝置1的各個(gè)部件進(jìn)行控制的機(jī)能，包括微型多用計(jì)算機(jī)、驅(qū)動(dòng)線路、記憶部以及電源部等(都未圖示)而構(gòu)成。另外，控制部70可以由1個(gè)或者復(fù)數(shù)個(gè)控制單元構(gòu)成。

另外控制部70具有驅(qū)動(dòng)控制移動(dòng)單元40和涂敷單元20的各個(gè)部件，從而在一對(duì)涂敷頭21(上側(cè)頭22與下側(cè)頭23)的空隙內(nèi)插入被支承臺(tái)10支承的基板2端部的狀態(tài)下，使一對(duì)涂敷頭21沿著基板2的周向邊緣部移動(dòng)的作用。

操作部80具備液晶操作面板81，安裝于框體(未圖示)上。通過(guò)液晶操作面板81，能夠進(jìn)行涂敷裝置1各個(gè)部件的運(yùn)行條件的設(shè)定、各個(gè)部件的運(yùn)行指示、運(yùn)行模式(手動(dòng)、自動(dòng)等)切換等各種操作。通過(guò)操作面板81所輸入的操作信號(hào)或者設(shè)定信號(hào)被傳送到控制部70等。

例如在操作部80，能夠進(jìn)行通過(guò)移動(dòng)單元40的XY軸直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)而引起的涂敷單元20的水平移動(dòng)速度、通過(guò)液體供給單元50的泵53引起的膜形成液51的輸送速度等運(yùn)行條件的設(shè)定、通過(guò)干燥爐60的翅狀加熱器62的爐內(nèi)溫度設(shè)定或者干燥時(shí)間設(shè)定等。

以下說(shuō)明使用實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置1，為基板2的周向邊緣部涂敷膜形成液51的涂敷方法。另外，雖然對(duì)被涂敷對(duì)象是使用矩形的薄形(數(shù)十μm～數(shù)百μm)的覆銅層壓基板的情況進(jìn)行說(shuō)明，但是被涂敷對(duì)象并不限定為此，還可以將鋁基板等各種基板作為被涂敷對(duì)象。另外，使用實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置1的涂敷方法可以被采用作為基板制造工序的一個(gè)工序。

首先進(jìn)行一對(duì)涂敷頭21(上側(cè)頭22與下側(cè)頭23)的空隙的調(diào)整以及設(shè)定。即，在考慮被涂敷對(duì)象的基板2的厚度、涂膜厚度等因素后決定空隙尺寸(例如基板厚+10μm)，將與該空隙尺寸相對(duì)應(yīng)的空隙量規(guī)(未圖示)夾在上側(cè)頭22的移動(dòng)部件22B與下側(cè)頭23之間，用螺栓22p將移動(dòng)部件22B固定在固定部件22A上。然后拔出所述空隙量規(guī)，結(jié)束涂敷頭21的空隙的調(diào)整及設(shè)定，用連接螺栓26將涂敷頭21安裝到支承部25上。

然后在被移動(dòng)到搬入一側(cè)的運(yùn)送導(dǎo)軌12的指定位置上載置基板2，操縱操作部80，使運(yùn)送導(dǎo)軌12在涂敷單元20一側(cè)滑動(dòng)移動(dòng)。

運(yùn)送導(dǎo)軌12移動(dòng)，在基板2被運(yùn)送到支承臺(tái)10上方的位置時(shí)，運(yùn)送導(dǎo)軌12的移動(dòng)停止；接著升降機(jī)構(gòu)13運(yùn)行，支承臺(tái)10上升，基板2被支承在支承臺(tái)10上，進(jìn)而支承臺(tái)10上升到指定位置(涂敷單元20的一對(duì)涂敷頭21的空隙的高度的位置)。另外，吸附機(jī)構(gòu)(未圖示)也運(yùn)行，基板2以被吸附的狀態(tài)被支承在支承臺(tái)10上。

接下來(lái)的涂敷工序是，保持基板2的端部插入在一對(duì)涂敷頭21的空隙的狀態(tài)，在為一對(duì)涂敷頭21的液體積存部(上側(cè)液體積存部22b與下側(cè)液體積存部23b)提供膜形成液51的同時(shí)，使一對(duì)涂敷頭21沿著基板2的4個(gè)邊的周向邊緣部移動(dòng)的工序。

圖10是用來(lái)說(shuō)明使用一對(duì)涂敷頭21對(duì)基板2的周向邊緣部進(jìn)行涂敷的涂敷工序的圖。圖中虛線顯示一對(duì)涂敷頭21的移動(dòng)軌跡。

涂敷頭21在指定的退避位置A的位置上，被調(diào)整為涂敷頭21的前進(jìn)方向與基板2端面(右邊2a)的朝向一致。

首先使移動(dòng)單元40的Y軸氣缸42沿著X軸氣缸41向a方向移動(dòng)，由此一對(duì)涂敷頭21向a方向移動(dòng)，在圖10所示的基板2的右邊2a的周向邊緣部涂敷膜形成液51。

即，驅(qū)動(dòng)泵53，在給上側(cè)頭22的液體供給路22i提供膜形成液51的同時(shí)，將基板右邊2a的端部插入一對(duì)涂敷頭21的空隙，在上側(cè)液體積存部22b與下側(cè)液體積存部23b內(nèi)裝滿膜形成液51的狀態(tài)下，移動(dòng)一對(duì)涂敷頭21。另外，在涂敷時(shí)，為了使基板2端部不會(huì)從一對(duì)涂敷頭21的空隙中出來(lái)，對(duì)一對(duì)涂敷頭21的位置進(jìn)行控制。

一對(duì)涂敷頭21到達(dá)B位置(基板2的角部前方)時(shí)，設(shè)在涂敷單元20的環(huán)轉(zhuǎn)臂34上的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35運(yùn)行，使一對(duì)涂敷頭21朝離開基板2的方向(d方向)滑動(dòng)移動(dòng)數(shù)mm程度，一對(duì)涂敷頭21從基板2離開，結(jié)束基板右邊2a的涂敷。另外，在B位置使一對(duì)涂敷頭21從基板2離開是為了防止對(duì)基板角部重復(fù)2次涂敷膜形成液51，也可以在B位置，不使一對(duì)涂敷頭21從基板2離開，而涂敷基板右邊2a全體。

然后驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40的Y軸氣缸42以及Y軸滑塊43，將一對(duì)涂敷頭21移動(dòng)至C位置后，將被滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35滑動(dòng)移動(dòng)的一對(duì)涂敷頭21返回到原來(lái)的位置，驅(qū)動(dòng)環(huán)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部30的環(huán)轉(zhuǎn)馬達(dá)32，將環(huán)轉(zhuǎn)臂34向左環(huán)轉(zhuǎn)90度，使基板2的端面(上邊2b)的朝向與一對(duì)涂敷頭21的前進(jìn)方向一致。

然后驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40的Y軸氣缸42以及Y軸滑塊43，將一對(duì)涂敷頭21調(diào)到D位置，使Y軸滑塊43沿著Y軸氣缸42在b方向移動(dòng)，從而使一對(duì)涂敷頭21朝b方向移動(dòng)，以與基板右邊2a同樣的動(dòng)作在基板上邊2b的周向邊緣部涂敷膜形成液51。

一對(duì)涂敷頭21到達(dá)E位置(基板2的角部前方)，與在上述B位置時(shí)的動(dòng)作同樣地，使設(shè)在涂敷單元20的環(huán)轉(zhuǎn)臂34上的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35運(yùn)行，將一對(duì)涂敷頭21在離開基板2的方向上滑動(dòng)移動(dòng)數(shù)mm，一對(duì)涂敷頭21從基板2離開，結(jié)束基板上邊2b的涂敷。

然后驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40使一對(duì)涂敷頭21移動(dòng)至F位置后，用滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35使被滑動(dòng)移動(dòng)了的一對(duì)涂敷頭21回到原來(lái)的位置，驅(qū)動(dòng)環(huán)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部30的環(huán)轉(zhuǎn)馬達(dá)32，將環(huán)轉(zhuǎn)臂34向左環(huán)轉(zhuǎn)90度，使基板2的端面(左邊2c)的朝向與一對(duì)涂敷頭21的前進(jìn)方向一致。

然后驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40，將一對(duì)涂敷頭21調(diào)到G位置，通過(guò)使Y軸氣缸42沿著X軸氣缸41在c方向上移動(dòng)，使一對(duì)涂敷頭21在c方向移動(dòng)，與基板上邊2b同樣的動(dòng)作，在基板左邊2c的周向邊緣部涂敷膜形成液51。

一對(duì)涂敷頭21到達(dá)H位置(基板2的角部前方)，與上述B位置時(shí)的動(dòng)作同樣地，使設(shè)在涂敷單元20的環(huán)轉(zhuǎn)臂34上的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35運(yùn)行，使一對(duì)涂敷頭21朝離開基板2的方向滑動(dòng)移動(dòng)數(shù)mm程度，使一對(duì)涂敷頭21從基板2離開，結(jié)束基板左邊2c的涂敷。

然后驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40，將一對(duì)涂敷頭21移動(dòng)至I位置后，用滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35使被滑動(dòng)移動(dòng)了的一對(duì)涂敷頭21回到原來(lái)的位置，驅(qū)動(dòng)環(huán)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部30的環(huán)轉(zhuǎn)馬達(dá)32，將環(huán)轉(zhuǎn)臂34向左環(huán)轉(zhuǎn)90度，使基板2的端面(下邊2d)的朝向與涂敷頭21的前進(jìn)方向一致。

然后驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40，將一對(duì)涂敷頭21調(diào)到J位置，通過(guò)使Y軸滑塊43沿著Y軸氣缸42在d方向上移動(dòng)，使一對(duì)涂敷頭21在d方向移動(dòng)，與基板左邊2c同樣的動(dòng)作，在基板下邊2d的周向邊緣部涂敷膜形成液51。

一對(duì)涂敷頭21到達(dá)K位置(基板2的角部前方)，則與在上述B位置時(shí)同樣的動(dòng)作，使設(shè)在涂敷單元20的環(huán)轉(zhuǎn)臂34上的滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35運(yùn)行，將一對(duì)涂敷頭21向離開基板2的方向滑動(dòng)移動(dòng)數(shù)mm程度，一對(duì)涂敷頭21從基板2離開，結(jié)束基板下邊2d的涂敷，然后驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40，將一對(duì)涂敷頭21移動(dòng)至L位置后，將被滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35所滑動(dòng)移動(dòng)的涂敷頭21返回到原來(lái)的位置，結(jié)束基板2的4個(gè)邊的涂敷作業(yè)。

接著驅(qū)動(dòng)涂敷單元20的環(huán)轉(zhuǎn)馬達(dá)32，環(huán)轉(zhuǎn)涂敷頭21，使基板2的端面(右邊2a)的朝向與涂敷頭21的前進(jìn)方向一致，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40的Y軸氣缸42以及Y軸滑塊43，將一對(duì)涂敷頭21調(diào)到A位置。

在A位置上設(shè)置有涂敷頭用保護(hù)具27。涂敷頭用保護(hù)具27的墊部件27g與涂敷頭21的正面(基板2所通過(guò)的面)以及刮刀部22d、23d的空隙碰接，能夠防止液體從所述空隙漏出以及干燥。

上述涂敷工序結(jié)束后，接著進(jìn)行干燥工序。首先涂敷結(jié)束后，升降機(jī)構(gòu)13運(yùn)行，支承臺(tái)10向下降下，基板2被載置到運(yùn)送導(dǎo)軌12上。然后運(yùn)送導(dǎo)軌12向干燥爐60的方向滑動(dòng)移動(dòng)，基板2被運(yùn)送到設(shè)定為指定溫度的干燥爐60內(nèi)。指定的干燥時(shí)間經(jīng)過(guò)后，運(yùn)送導(dǎo)軌12移動(dòng)，基板2從干燥爐60搬出，結(jié)束干燥工序。

圖11是顯示使用實(shí)施方式1涉及的涂敷裝置1涂敷的基板2的周向邊緣部附近的圖，(a)是部分斜視圖，(b)是(a)中沿b-b線的剖面圖。

在基板2的周向邊緣部，由樹脂成分構(gòu)成的涂膜51a形成為邊框狀(端面及上下面)。通過(guò)一對(duì)涂敷頭21的空隙的設(shè)定、上側(cè)抹子部件22c以及下側(cè)抹子部件23c的抹子面的溝形狀、上側(cè)刮刀部22d以及下側(cè)刮刀部23d的刀部的高度位置、一對(duì)涂敷頭21的移動(dòng)速度、膜形成液51的粘度等的調(diào)整，能夠控制涂膜51a的干燥后的膜厚在10μm～60μm程度。另外，上下面的涂敷寬度能夠通過(guò)一對(duì)涂敷頭21與基板2的端部的重疊寬度進(jìn)行調(diào)整，可以在1mm～10mm程度內(nèi)調(diào)整。

根據(jù)上述實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置1，能夠在一對(duì)涂敷頭21的空隙內(nèi)插入由支承臺(tái)10支承的基板2端部的狀態(tài)下，一邊為一對(duì)涂敷頭21的液體積存部22b、23b提供膜形成液51，一邊使一對(duì)涂敷頭21沿著基板2的周向邊緣部移動(dòng)。即，在基板2端部通過(guò)液體積存部22b、23b所積存的膜形成液51后，能夠利用涂工部的抹子部件22c、23c以及刮刀部22d、23d，將基板2端部所附著的膜形成液51涂敷加工成薄膜狀，同時(shí)使一對(duì)涂敷頭21沿著基板2的周向邊緣部移動(dòng)。

另外由于是基板2端部通過(guò)積存于液體積存部22b、23b的膜形成液51的構(gòu)成，所以不受由于泵53的脈動(dòng)等引起的供給量變動(dòng)的影響，能夠使膜形成液51充分附著在基板2的端部，能夠在基板2的端部無(wú)不均勻地附著膜形成液51的狀態(tài)下，通過(guò)抹子部件22c、23c，平整成薄且均勻的膜厚后，在刮刀部22d、23d，將附著的多余的膜形成液刮掉。

因此能夠在基板2的周向邊緣部的上下面以及基板2的端面(側(cè)面)薄且均勻地涂敷膜形成液51。另外，能夠持續(xù)進(jìn)行膜厚變動(dòng)等的涂膜質(zhì)量的偏差少的涂敷，能夠在基板2的周向邊緣部精度良好地形成邊框狀的均質(zhì)的涂膜。因此能夠防止基板2端面部分的損壞所引起的塵埃的發(fā)生，同時(shí)能夠通過(guò)涂膜強(qiáng)化基板2的周向邊緣部，能夠提高后面工序中基板2的使用性，降低基板2的不良品的發(fā)生率。

另外通過(guò)使用對(duì)酸或者堿具有耐性的膜形成液51，能夠?qū)崿F(xiàn)基板處理工序(蝕刻工序和鍍敷工序等)的作業(yè)性的提升和成本的降低。例如通過(guò)使用具有鍍敷耐性的膜形成液51，能夠防止在基板2的周向邊緣部的鍍敷的附著，能夠進(jìn)行基板周向邊緣部的遮蔽，能夠?qū)崿F(xiàn)遮蔽作業(yè)效率的提高。

另外根據(jù)涂敷裝置1，因?yàn)橥ㄟ^(guò)環(huán)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部30能夠使一對(duì)涂敷頭21環(huán)轉(zhuǎn)，所以在為矩形的基板2的周向邊緣部涂敷膜形成液51時(shí)，能夠使一對(duì)涂敷頭21相對(duì)于基板2端面的朝向設(shè)定為在基板2的各邊時(shí)都是相同的朝向，由此能夠使基板2的各邊都在同樣狀態(tài)下進(jìn)行穩(wěn)定的涂敷。

另外通過(guò)滑動(dòng)機(jī)構(gòu)35能夠使一對(duì)涂敷頭21相對(duì)于環(huán)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部30在水平方向上滑動(dòng)移動(dòng)。因此，一對(duì)涂敷頭21的位置的微調(diào)整，例如插入一對(duì)涂敷頭21的空隙的基板2端部的寬度的微調(diào)整等、一對(duì)涂敷頭21相對(duì)于基板2的端面的位置控制能夠更加高精度地進(jìn)行。

另外由于在涂敷頭21的下方設(shè)有液體接受部24，所以從涂敷頭21漏出的膜形成液51在液體接受部24被接住，在接受盤24a所積存的膜形成液51通過(guò)管55被液體容納部52回收，所以能夠循環(huán)反復(fù)使用膜形成液51，能夠毫無(wú)浪費(fèi)地使用膜形成液51。

另外由于在一對(duì)涂敷頭21的退避位置設(shè)置涂敷頭用保護(hù)具27，所以在退避位置，能夠使一對(duì)涂敷頭21的空隙部分與涂敷頭用保護(hù)具27的墊部件27g碰接。所以能夠防止在一對(duì)涂敷頭21的空隙部分發(fā)生膜形成液51的干燥或者液體堵塞，能夠持續(xù)進(jìn)行為基板2的涂敷。

另外由于涂敷裝置1具備干燥爐60，所以通過(guò)干燥爐60，能夠在涂敷膜形成液51后，立即干燥膜形成液51，能夠提高隨后的作業(yè)性，還能提高防止膜形成液51的剝離等涂敷不良發(fā)生的效果。另外，能夠適用于涂敷裝置1的被涂敷對(duì)象的基板的種類沒(méi)有特別限定，由厚度為數(shù)百μm～數(shù)十μm程度的薄板狀或者膜狀的各種材質(zhì)構(gòu)成的基板都可以非常合適的適用。

另外在實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置1中，關(guān)于移動(dòng)單元40由包括X軸氣缸41、Y軸氣缸42、Y軸滑塊43以及支持引導(dǎo)部44的2軸(XY軸)直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成的形態(tài)進(jìn)行了說(shuō)明，但移動(dòng)單元40的形態(tài)不限定為此形態(tài)，在另外的實(shí)施方式涉及的涂敷裝置中還可以采用例如具備XY軸機(jī)器人式直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)或者多關(guān)節(jié)式機(jī)器人機(jī)構(gòu)等各種移動(dòng)單元(移動(dòng)手段)。

另外根據(jù)上述實(shí)施方式(1)涉及的涂敷方法，在基板制造工序中，能夠在基板2的周向邊緣部的上下面以及所述基板的端面(側(cè)面)薄且均勻地涂敷膜形成液51，能夠精度良好地在基板2的周向邊緣部形成邊框狀的涂膜。因此，在基板制造工序中能夠防止由于基板2的端面部分的損壞而引起的塵埃的發(fā)生，同時(shí)還能夠藉助涂膜增強(qiáng)基板2的周向邊緣部，能夠提高后面工序中的基板2的操作性，能夠降低基板的不良品發(fā)生率。

另外在上述實(shí)施方式(1)涉及的涂敷頭21中，是上側(cè)頭22的移動(dòng)部件22B相對(duì)于固定部件22A以上下方向可以移動(dòng)的方式構(gòu)成的，但上側(cè)頭22的構(gòu)成不限定于此狀態(tài)，還可以是移動(dòng)部件22B固著于固定部件22A的構(gòu)成。另外，還可以采用圖12所示的構(gòu)造。

圖12是顯示構(gòu)成另外的實(shí)施方式涉及的涂敷頭的上側(cè)頭22C的構(gòu)造的圖，(a)是底面圖，(b)是平面圖。另外，對(duì)于與上述實(shí)施方式(1)涉及的涂敷頭21的上側(cè)頭22具有相同功能的構(gòu)成部件付以相同符號(hào)，此處省略對(duì)其說(shuō)明。

另外的實(shí)施方式涉及的涂敷頭的上側(cè)頭22C包括固定部件22D以及2個(gè)移動(dòng)部件22E、22F而構(gòu)成，是相對(duì)于固定部件22D，使2個(gè)移動(dòng)部件22E、22F能夠分別在上下方向上移動(dòng)而固定的構(gòu)成。

固定部件22D的底面上形成有傾斜引導(dǎo)部22a和上側(cè)液體積存部22b，在與固定部件22D的上側(cè)液體積存部22b并列設(shè)置的一個(gè)移動(dòng)部件22E的底面形成有上側(cè)抹子部22q，在與移動(dòng)部件22E并列設(shè)置的另一個(gè)移動(dòng)部件22F的底面上形成有上側(cè)刮刀部22r。

形成有上側(cè)抹子部22q的移動(dòng)部件22E被螺栓22s以在上下方向上可以移動(dòng)的方式固定于固定部件22D上，形成有上側(cè)刮刀部22r的移動(dòng)部件22F被螺栓22t以在上下方向上可以移動(dòng)的方式固定在移動(dòng)部件22E上。在與上側(cè)頭22C相對(duì)應(yīng)的下側(cè)頭上，可以采用與上述下側(cè)頭23同樣的構(gòu)成。

根據(jù)上述另外的實(shí)施方式的涂敷頭，由于上側(cè)頭22C具備固定部件22D以及2個(gè)移動(dòng)部件22E、22F，所以能夠?qū)⒕哂猩蟼?cè)抹子部22q的移動(dòng)部件22E與具有上側(cè)刮刀部22r的移動(dòng)部件22F各自以在上下方向上可以移動(dòng)的方式固定于固定部件22D上。因此能夠根據(jù)所涂敷的基板2的厚度和涂膜的厚度，分別調(diào)整移動(dòng)部件22E與移動(dòng)部件22F的高度位置，能夠針對(duì)各種厚度的基板進(jìn)行各種膜厚的涂敷。

另外在上述實(shí)施方式(1)涉及的涂敷頭21中，上側(cè)頭22與下側(cè)頭23的空隙是根據(jù)所涂敷的基板事先固定好的，但在其他實(shí)施方式中，還可以采用空隙開閉式機(jī)構(gòu)，該空隙開閉式機(jī)構(gòu)是通過(guò)操作部80在控制部70內(nèi)輸入所涂敷基板的厚度等條件，在涂敷頭21上設(shè)置使上側(cè)頭22的移動(dòng)部件22B升降的機(jī)構(gòu)，與往基板2的插入時(shí)間相配合，為了在上側(cè)頭22與下側(cè)頭23的間形成指定的空隙(與輸入值基板的厚度相適應(yīng)的空隙)而機(jī)械地上下移動(dòng)上側(cè)頭22的移動(dòng)部件22B，形成所述空隙。

圖13是為了顯示實(shí)施方式(2)涉及的涂敷裝置內(nèi)部構(gòu)造而省略了框體所顯示的平面圖，圖14是為了顯示涂敷裝置內(nèi)部機(jī)構(gòu)而省略了框體所顯示的側(cè)視圖。另外，對(duì)與圖1～9所顯示的實(shí)施方式(1)涉及的涂敷裝置具有相同功能的構(gòu)成部件付以相同符號(hào)，此處省略對(duì)其的說(shuō)明。

在實(shí)施方式(1)的涂敷裝置1中，對(duì)配設(shè)有一個(gè)涂敷單元20的形態(tài)，即對(duì)使用一個(gè)涂敷單元20基板2的4邊進(jìn)行涂敷的形態(tài)進(jìn)行了說(shuō)明。實(shí)施方式(2)涉及的涂敷裝置1A中，配設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)涂敷單元，具體地是4臺(tái)涂敷單元20A、20B、20C、20D配設(shè)于支承臺(tái)10A的周圍，形成基板2的4個(gè)邊被4臺(tái)涂敷單元20A、20B、20C、20D同時(shí)并行涂敷的形態(tài)。

涂敷裝置1A具備位置確定部90、涂敷部200以及干燥部600。

位置確定部90是為了在將基板2移動(dòng)載置至涂敷部200的支承臺(tái)10A上的前一步，進(jìn)行基板2的位置確定而設(shè)置的。位置確定部90具備將基板2運(yùn)送到指定位置的傳送部91和對(duì)運(yùn)送到指定位置的基板2進(jìn)行位置確定(位置調(diào)整)的位置確定引導(dǎo)部92。

在位置確定部90的基板2的位置確定工序中，在傳送部91將基板2運(yùn)送(搬入)至指定位置后，通過(guò)在傳送部91的滾輪91a之間以可以升降的方式配設(shè)的基板提起部91b，使基板2處于暫且從滾輪91a提起的狀態(tài)。然后，將在傳送部91的兩側(cè)所設(shè)置的位置確定引導(dǎo)部92朝夾住基板2的方向移動(dòng)，在位置確定引導(dǎo)部92將基板2夾住，將基板2配置到指定位置，結(jié)束。在位置確定引導(dǎo)部92的內(nèi)側(cè)面配設(shè)有不會(huì)劃傷基板2的用來(lái)把持基板2的部件。

由位置確定部90確定了位置的基板2通過(guò)具備復(fù)數(shù)個(gè)吸著保持具305的基板移載部300，被從位置確定部90移載至支承臺(tái)10A，基板2以被吸著保持在吸著保持具305上的狀態(tài)，被載置到支承臺(tái)10A上。

涂敷部200具備支承基板2的支承臺(tái)10A、配設(shè)于支承臺(tái)10A周圍的4臺(tái)涂敷單元20A、20B、20C、20D和分別使涂敷單元20A、20B、20C、20D沿著支承臺(tái)10A的邊移動(dòng)的4臺(tái)移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D。在各涂敷單元20A、20B、20C、20D上裝備有具有上側(cè)頭22G以及下側(cè)頭23A的一對(duì)涂敷頭21A。

另外，在涂敷部200上，裝備有為涂敷單元20A、20B、20C、20D各涂敷頭21A提供含樹脂成分的膜形成液51的液體供給單元50A、50B、50C、50D。

干燥部600具備運(yùn)送從涂敷部200移送過(guò)來(lái)的基板2的傳送部12A以及對(duì)被涂敷到基板2的膜形成液51進(jìn)行干燥的干燥爐60A。干燥爐60A具備與圖1所示的干燥爐60相同的功能。在傳送部12A上，例如采用薄板條傳送，將基板2放在薄板條(板子)上時(shí)，使基板2的周向邊緣部不接觸薄板條來(lái)設(shè)定各薄板條的寬度和間隔。

另外，涂敷裝置1A具備對(duì)位置確定部90、涂敷部200、基板移載部300、干燥部600等裝置各部的驅(qū)動(dòng)進(jìn)行控制的控制部70A，以及用來(lái)操作各個(gè)部件的操作部80A。

基板移載部300具有將基板2從位置確定部90移載到涂敷部200以及從涂敷部200移送至干燥部900的功能?；逡戚d部300具備第1的基板保持部301、第2的基板保持部302、使第1的基板保持部301以及第2的基板保持部302在基板運(yùn)送方向上往復(fù)移動(dòng)的水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)303、使第1的基板保持部301以及第2的基板保持部302在垂直方向上往復(fù)移動(dòng)的垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)304。另外，在第1的基板保持部301以及第2的基板保持部302上配設(shè)用來(lái)吸著保持基板2的吸著保持具305。吸著保持具305由吸著噴嘴等構(gòu)成，通過(guò)未圖示的空氣管與真空泵連接。

第1的基板保持部301以及第2的基板保持部302是通過(guò)水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)303以及垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)304，并行進(jìn)行將基板2從位置確定部90向支承臺(tái)10A移載的動(dòng)作以及將基板2從支承臺(tái)10A向干燥部600移送的動(dòng)作而構(gòu)成的。

接著說(shuō)明涂敷部200的構(gòu)成。支承臺(tái)10A被支柱4支承在臺(tái)部3上。移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D以圍著支承臺(tái)10A的樣態(tài)配設(shè)。移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D由使涂敷單元20A、20B、20C、20D在2軸(XY軸)方向上水平移動(dòng)的2軸(XY軸)直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)構(gòu)成。

移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D分別具備與支承臺(tái)10A的邊相平行配設(shè)的X軸氣缸46、滑動(dòng)移動(dòng)X軸氣缸46的X軸滑塊47、安裝于X軸滑塊47上的Y軸氣缸48以及滑動(dòng)移動(dòng)Y軸氣缸48的Y軸滑塊49。在移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D的Y軸滑塊49上分別安裝涂敷單元20A、20B、20C、20D。X軸滑塊47以及Y軸滑塊49的動(dòng)作由控制部70A控制。

涂敷單元20A、20B、20C、20D分別具備安裝于Y軸滑塊49的涂敷頭安裝部件37以及安裝于涂敷頭安裝部件37上的涂敷頭21A。

接著，就分別設(shè)置于涂敷單元20A、20B、20C、20D上的涂敷頭21A進(jìn)行說(shuō)明。圖是15圖14中從箭頭A1方向觀看時(shí)的涂敷頭21A的正面圖，圖16是圖15中沿XVI-XVI線的剖面圖，圖17是圖15中沿XVI I-XVI I線的剖面圖。圖18是圖15中沿XVI I I-XVI I I線的剖面圖，顯示上側(cè)頭的底面(與下側(cè)頭的相對(duì)面)，圖19是上側(cè)頭的分解底面圖。圖20是上側(cè)頭的分解正視圖。另外，圖21，是圖15中沿XXI-XXI線的剖面圖，顯示下側(cè)頭的上面(與上側(cè)頭的相對(duì)面)。另外，圖15、圖21所示的箭頭B1，顯示了涂敷頭21A的移動(dòng)方向。

一對(duì)涂敷頭21A包括具有能夠插入基板2端部的空隙的上下互相相向設(shè)置的上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A而構(gòu)成。涂敷頭21A的下方配設(shè)有液體接受部24A。涂敷頭21A以及液體接受部24A由具有耐腐蝕性的不銹鋼等金屬材料形成。另外，下側(cè)頭23A以及液體接受部24A的構(gòu)成，與圖7所示的下側(cè)頭23以及液體接受部24大致相同，對(duì)具有相同機(jī)能的構(gòu)成部件付以相同符號(hào)，此處省略對(duì)其說(shuō)明。

另外，在涂敷頭21A的表面(至少是膜形成液的流路面)上，被施以陶瓷加工等表面加工。通過(guò)該表面加工，能夠提高防止膜形成液51在涂敷時(shí)向涂敷頭21A粘附的效果，另外涂敷后，能夠容易地進(jìn)行從涂敷頭21A上剝離膜形成液51以及洗凈作業(yè)，能夠提高維護(hù)性。

上側(cè)頭22G如圖18、19、20所示，包括固定于下側(cè)頭23A的固定部件22H以及相對(duì)于固定部件22H，以能夠在上下方向上進(jìn)行位置調(diào)整(滑動(dòng)移動(dòng))的方式安裝的移動(dòng)部件22I而構(gòu)成。

移動(dòng)部件22I具備第1的部件22J與第2的部件22K。第1的部件22J以相對(duì)于固定部件22H以能夠在上下方向上進(jìn)行位置調(diào)整(滑動(dòng)移動(dòng))的方式安裝。第2的部件22K以被作為施加勢(shì)力手段的片簧部件28e(參照第16圖)施加向下方向(按壓)勢(shì)力的狀態(tài)，安裝于第1的部件22J上。第1的部件22J與第2的部件22K之間配設(shè)近似凹形形狀的墊圈部件(金屬板)22L。

第2的部件22K的底面上并列設(shè)置有傾斜引導(dǎo)部28a、上側(cè)液體積存部28b、上側(cè)抹子部件(抹子部)28c以及上側(cè)刀片部(刮取部)28d。在形成有上側(cè)刮刀部28d的一側(cè)，延伸設(shè)置有由片簧部件28e所施加勢(shì)力(按壓)的按壓部28f。在按壓部28f的平面(上面)上，設(shè)有被片簧部件28e所按壓的突起部28g(參照?qǐng)D16)。突起部28g由螺絲部件構(gòu)成，可以通過(guò)螺絲所螺入的量進(jìn)行突起部28g的高度調(diào)整。通過(guò)突起部28g的高度調(diào)整，能夠調(diào)整片簧部件28e的按壓力，能夠調(diào)整上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A之間的空隙。

第1的部件22J的底面形成有上側(cè)液體積存部28h和用來(lái)使吊設(shè)部件23g通過(guò)的通孔28i，在通孔28i所形成的一側(cè)延設(shè)(彎曲形成)有片簧安裝部28j。片簧部件28e的一端部通過(guò)螺絲部件28k(參照?qǐng)D16)安裝在片簧安裝部28j的平面(上面)，片簧部件28e的另一端，是以按壓第2的部件22k的按壓部28f的突起部28g的形式構(gòu)成的。片簧部件28e的彈簧乘數(shù)考慮上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A的空隙、基板2的厚度、涂膜的厚度等，為得到所希望的涂膜而適宜設(shè)定。

在固定部件22H的底面大致中央部，從固定部件22H的正面一側(cè)起通過(guò)背面一側(cè)，形成液體排出溝28l，在固定部件22H的兩端部形成通孔28m。螺栓28n插在通孔28m上，藉由螺栓28n，固定部件22H固定于下側(cè)頭23A上。

如圖20所示，在固定部件22H的正面大致中央部，形成有凹部28p，在該凹部28p上配置有用來(lái)將膜形成液51提供給第2的部件22K的管狀連接部件28o(參照?qǐng)D17)。在固定部件的正面(與第1的部件22J的相對(duì)面)上，在上下方向形成凸部28q，在凸部28q的高度方向中央部形成螺栓孔29a，另外，在橫跨凹部28p一側(cè)的正面上部形成有螺栓孔29b。

在第1的部件22J的正面大致中央部，形成有配置了連接部件28o的凹部28r。另外，在第1的部件22J的背面(與固定部件22H的相對(duì)面)上形成有與固定部件22H的凸部28q相配合的溝部28s。在溝部28s的高度方向中央部，縱向長(zhǎng)的長(zhǎng)孔29c形成于與固定部件22H的螺栓孔29a相對(duì)面的位置。在長(zhǎng)孔29c的上面形成螺栓安裝孔29d，另外，在橫跨凹部28r的一側(cè)的上部，縱向長(zhǎng)的長(zhǎng)孔29e形成于與固定部件22H的螺栓孔29b相對(duì)面的位置。

在第2的部件22K的背面一側(cè)形成有插入部28t，連接部件28o頂端部插在該插入部28t中。插入部28t與在第2的部件22K內(nèi)部所形成的液體供給路28u連接，液體供給路28u與在上側(cè)液體積存部28b上所形成的注入孔28v相連。通過(guò)液體供給路28u以及注入孔28v，膜形成液51被供給到上側(cè)液體積存部28b中。

另外，在第2的部件22K的正面上，在與第1的部件22J的長(zhǎng)孔29c相對(duì)面的位置形成有縱向長(zhǎng)的長(zhǎng)孔29f，該長(zhǎng)孔29f位于傾斜引導(dǎo)部28a的上方，上側(cè)抹子部件28c的上方所形成的縱向長(zhǎng)的長(zhǎng)孔29h形成在第1的部件22J的長(zhǎng)孔29e的相對(duì)面的位置。另外，在長(zhǎng)孔29f上，螺栓安裝孔29g形成在與第1的部件22J的螺栓安裝孔29d相對(duì)面的位置。

在墊圈部件22L的正面左右2個(gè)地方，在與第1的部件22J的長(zhǎng)孔29c、29e相對(duì)面的位置上形成有螺栓插通孔29i、29j。

第2的部件22K的傾斜引導(dǎo)部28a是為了在上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A的空隙內(nèi)容易引導(dǎo)基板2的端部而設(shè)置的，為相對(duì)于水平面向下方傾斜30度左右的構(gòu)造。

與傾斜引導(dǎo)部28a并列設(shè)置的上側(cè)液體積存部28b形成為淺的溝狀，與第1的部件22J的上側(cè)液體積存部28h相連接。在上側(cè)液體積存部28b上形成的注入孔22v可以用未圖示的螺絲部件將其單獨(dú)地蓋上蓋子。在基板2的端部所涂敷的液膜寬度窄的時(shí)候(3mm～5mm)，靠近第1的部件22J的注入孔22v蓋上蓋子(未圖示)，在基板2的端部涂敷的液膜的寬度寬的時(shí)候(5mm～10mm)，2個(gè)注入孔22v可以不蓋蓋子使用。通過(guò)該構(gòu)造，可以根據(jù)基板2端部所涂敷的液膜的寬度，調(diào)整注入量與注入位置。

第2的部件22K的上側(cè)液體積存部28b的旁邊形成有凹部28w，在凹部28w的靠近上側(cè)液體積存部28b上配設(shè)上側(cè)抹子部件28c，凹部28w的后端的壁部作為上側(cè)刮刀部28d發(fā)揮作用。

上側(cè)抹子部件28c與上側(cè)液體積存部28b并列設(shè)置，具有將附著于基板2的膜形成液51緊貼，涂敷成均一膜厚的機(jī)能，在平面看近似正方形的板狀金屬部件上形成抹子面28x和螺栓28y的安裝孔28z，通過(guò)螺栓28y以可以脫卸的方式，安裝于第2的部件22K的凹部28w上。抹子面28x形成為平坦面，能夠適用在與涂敷頭21A的移動(dòng)方向B1相平行的方向上形成有復(fù)數(shù)個(gè)微小溝(例如截面為V字狀的溝)的情形。

上側(cè)刮刀部28d具有刮掉通過(guò)了上側(cè)抹子部件28c的基板2上所附著的多余的膜形成液51的機(jī)能，成為使凹部28w的后端壁部相對(duì)于與涂敷頭21A(第2部件22K)的正面垂直相交的面，向后方一側(cè)傾斜指定角度θ₁(例如30度左右)的狀態(tài)。另外，為使構(gòu)成上側(cè)刮刀28d的刀部的高度，比上側(cè)液體積存部28b的堤部分的上面還低100μm程度(使空隙變大)，對(duì)所述刀部進(jìn)行削刮加工。另外，所述刀部的高度可以根據(jù)涂膜的厚度進(jìn)行設(shè)定。

上述的上側(cè)頭22G的各個(gè)部件的組成構(gòu)造是第2的部件22K通過(guò)螺栓29k以藉助軸可以旋轉(zhuǎn)的方式支承在第1的部件22J上，第1的部件22J通過(guò)螺栓29l、29m固定于固定部件22H的構(gòu)成。

第2的部件22K安裝于第1的部件22J的步驟是從正面一側(cè)將螺栓29k(例如具備頭部、圓柱狀腰部和頂端螺絲部的外螺絲式脫料螺栓)插入第2的部件22K的螺栓安裝孔29g，將螺栓29k的頂端螺絲部擰進(jìn)到第1的部件22J的螺栓安裝孔29d。

將第1的部件22J安裝于固定部件22H的步驟是在第2的部件22K與第1的部件22J的間(第1的部件22J的正面一側(cè))配設(shè)墊圈部件22L，將螺栓291通過(guò)第2的部件22K的長(zhǎng)孔29f、墊圈部件22L的通孔29i以及第1的部件22J的長(zhǎng)孔29c，使固定部件22H的凸部28q與第1的部件22J的溝部28s相吻合的狀態(tài)下，輕輕地將螺栓29l的先端部擰進(jìn)固定部件22H的螺栓孔29a。接著使螺栓29m通過(guò)第2的部件22K的長(zhǎng)孔29h、墊圈部件22L的通孔29j以及第1的部件22J的長(zhǎng)孔29e，將螺栓29m的頂端部輕輕地?cái)Q進(jìn)固定部件22H的螺栓孔29b。

接著確定第1的部件22J(移動(dòng)部件22I)的相對(duì)于固定部件22H的安裝位置(另外位置調(diào)整量受長(zhǎng)孔29c、29e的長(zhǎng)度限制)，位置確定后，進(jìn)一步擰入螺栓29l、29m，將第1的部件22J(移動(dòng)部件22I)固定于固定部件22H。通過(guò)設(shè)定墊圈部件22L，能夠在用螺栓29l、29m將第1的部件22J固定于固定部件22H時(shí)，防止第1的部件22J的位置偏移。

根據(jù)上述的上側(cè)頭22G的組成構(gòu)造，通過(guò)第1的部件22J的長(zhǎng)孔29c、29e，能夠使移動(dòng)部件22I(第1的部件22J以及第2的部件22K)相對(duì)于固定部件22H在上下方向上移動(dòng)，能夠進(jìn)行上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A的空隙調(diào)整。

另外第2的部件22K由螺栓29k被軸以可以旋轉(zhuǎn)的方式支承于第1的部件22J上(以可以來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)的方式被軸支承)，螺栓29l、29m的頭部分別位于長(zhǎng)孔29f、29h的上部，按壓部28f通過(guò)片簧部件28e成為被向下方施以勢(shì)力的狀態(tài)(換言之，即第2的部件22K的下端面從上側(cè)液體積存部28b朝著上側(cè)刮刀部28d稍微向下方傾斜的狀態(tài))。

因此以螺栓29k為支點(diǎn)，在長(zhǎng)孔29f、29h所限制的范圍內(nèi)，能夠使第2的部件22K抵抗片簧部件28e的增勢(shì)力(向上方)來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)，所以能夠使上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A的空隙尺寸保持為一定寬度，能夠?qū)?yīng)厚度不同的基板。

下側(cè)頭23A如圖21所示，在上面并列設(shè)置傾斜引導(dǎo)部23a、下側(cè)液體積存部23b、下側(cè)抹子部件23c以及下側(cè)刮刀部23d。另外，在下側(cè)頭23A的上面，形成有安裝孔23e，該安裝孔23e是用來(lái)固定通過(guò)了固定部件22H的通孔28m的螺栓28n的，進(jìn)而在下側(cè)頭23A上面，豎立設(shè)置有用來(lái)在安裝部件37上吊設(shè)涂敷頭21A的吊設(shè)部件23g。另外，在下側(cè)頭23A的背面形成用來(lái)安裝液體接受部24A的安裝孔23h和液體排出溝23f。在棒狀的吊設(shè)部件23g的上部，形成用來(lái)安裝連接螺栓26(參照?qǐng)D14)的螺孔23i。

液體接受部24A具備平面看為矩形的接受盤24a以及從接受盤24a的一側(cè)面起向上方延伸設(shè)置的安裝板24b，安裝板24b的上部通過(guò)未圖示的螺栓等安裝于下側(cè)頭23A背面的安裝孔23h上。在接受盤24a的底面所形成的回收口24c上，通過(guò)接口24d與管55連接。接受盤24a以回收口24c一側(cè)向下，略微傾斜的狀態(tài)安裝于下側(cè)頭23上。

另外在各涂敷頭21A的退避位置上，分別配置涂敷頭用保護(hù)具27A。涂敷頭用保護(hù)具27A的主要部件與圖8、9所示的形式大致相同，所以這里省略對(duì)其說(shuō)明，涂敷頭用保護(hù)具27A通過(guò)升降機(jī)構(gòu)27i(參照?qǐng)D14)，在涂敷時(shí)下降到支承臺(tái)10A的下方，退避時(shí)上升至涂敷頭21A的位置，墊子單元27c的墊部件27g與涂敷頭21A的正面的空隙部分以及刮刀部分(28d、23d)的空隙部分相碰接。

液體供給單元50A、50B、50C、50D包括容納膜形成液51的液體容納部52、從液體容納部52通過(guò)管54為各涂敷頭21A提供膜形成液51的電動(dòng)式泵53以及將各液體接受部24A所接受的膜形成液51通過(guò)管55移送(回收)到液體容納部的電動(dòng)式泵56而構(gòu)成。通過(guò)液體供給單元50A、50B、50C、50D，液體容納部52的膜形成液51藉由泵53以及管54被供給到各涂敷頭21A的上側(cè)頭22G，各液體接受部24A所接受的膜形成液51藉由管55以及泵56被回收至液體容納部52。

另外由各涂敷單元20A、20B、20C、20D所涂敷的基板2，藉由基板移載部300被移送至傳送部12A上，然后被運(yùn)送到干燥爐60A內(nèi)，經(jīng)過(guò)指定的干燥時(shí)間后，從干燥爐60A運(yùn)出。干燥爐60A可以采用與干燥爐60相同構(gòu)成。

控制部70A具有位置確定部90的運(yùn)送·位置確定控制、藉由基板移載部300的基板2的移載控制、移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D的XY軸直線動(dòng)作控制、液體供給單元50A、50B、50C、50D的泵53、56的驅(qū)動(dòng)控制以及干燥爐60A的溫度控制等對(duì)涂敷裝置1A各個(gè)部分進(jìn)行控制的功能，包括微型計(jì)算機(jī)、驅(qū)動(dòng)線路、記憶部以及電源部等(均未圖示)而構(gòu)成。另外，控制部70A可以由一個(gè)或者復(fù)數(shù)個(gè)控制單元(例如搬入·位置確定控制用、涂敷部控制用、干燥爐用等)構(gòu)成。

另外控制部70A具有驅(qū)動(dòng)控制移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D，使各涂敷頭21A在各涂敷頭21A(上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A)的空隙內(nèi)分別插入被支承臺(tái)10A所支承的基板2的4個(gè)邊的狀態(tài)下，沿著基板2的周向邊緣部移動(dòng)的功能。

操作部80A具備液晶操作面板81，安裝于框體(未圖示)上。通過(guò)液晶操作面板81，能夠進(jìn)行涂敷裝置1A的各個(gè)部件的動(dòng)作條件的設(shè)定、各個(gè)部件的動(dòng)作指示、動(dòng)作模式(手動(dòng)·自動(dòng)等)切換等各種操作。由操作面板81所輸入的操作信號(hào)和設(shè)定信號(hào)被發(fā)送至控制部70A等。

例如在操作部80A，能夠進(jìn)行通過(guò)移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D的XY軸直線移動(dòng)機(jī)構(gòu)的涂敷單元20A、20B、20C、20D的水平移動(dòng)速度、通過(guò)液體供給單元50A、50B、50C、50D的各個(gè)泵53的膜形成液51的輸送速度等運(yùn)行條件的設(shè)定、干燥爐60A的翅狀加熱器62的爐內(nèi)溫度設(shè)定以及干燥時(shí)間設(shè)定等。

接著說(shuō)明使用實(shí)施方式(2)涉及的涂敷裝置1A對(duì)基板2的周向邊緣部涂敷膜形成液51的涂敷方法。另外，作為被涂敷對(duì)象，是就使用矩形的薄形(數(shù)十μm～數(shù)百μm)覆銅層壓板的情形進(jìn)行了說(shuō)明，但被涂敷對(duì)象不限定于此，還可以是鋁基板、玻璃基板等各種基板作為被涂敷對(duì)象。另外，使用實(shí)施方式(2)涉及的涂敷裝置1A的涂敷方法，可以作為基板制造工序的一個(gè)工序(內(nèi)部工序)而使用。

首先，進(jìn)行涂敷頭21A(一對(duì)上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A)的空隙的調(diào)整與設(shè)定。即，考慮被涂敷對(duì)象的基板2的厚度、涂膜厚度等后決定空隙尺寸(例如基板厚+10～500μm)，將與該空隙尺寸相對(duì)應(yīng)的空隙量規(guī)(未圖示)夾在上側(cè)頭22G的移動(dòng)部件22I(第2的部件22K)與下側(cè)頭23A的間，用螺栓29I、29m將第1的部件22J固定于固定部件22H上。然后拔掉所述空隙量規(guī)，結(jié)束涂敷頭21A的空隙的調(diào)整與設(shè)定，用連接螺栓26將涂敷頭21A安裝在安裝部件37上。由于上側(cè)頭22G的按壓部28f被片簧部件28e付以向下的勢(shì)力(按壓)，所以上側(cè)頭22G的第2的部件22K的下端面成為，自上側(cè)液體積存部28b起朝上側(cè)刮刀部28d略微向下傾斜的狀態(tài)。

在基板搬入工序中，首先用位置確定部90的傳送部91將基板2運(yùn)送到指定位置，使基板提起部91b運(yùn)行(上升)，將滾輪91a上的基板2暫且提起后，位置確定引導(dǎo)部92運(yùn)行，以輕輕地夾著基板2側(cè)面的方式進(jìn)行位置確定，然后，基板提起部91b運(yùn)行(下降)，將基板2載置于滾輪91a上。接著基板移載部300的垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)304運(yùn)行，以吸附保持具305吸附基板2的狀態(tài)向上方提起，水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)303運(yùn)行，水平移動(dòng)到支承臺(tái)10A的上方后，垂直移動(dòng)機(jī)構(gòu)304運(yùn)行，基板2保持被吸附保持具305吸附保持的狀態(tài)，被載置到支承臺(tái)10A的上方。

接下來(lái)的涂敷工序是保持基板2端部插入涂敷頭21A的空隙的狀態(tài)下，一邊為4臺(tái)涂敷頭21A的液體積存部(上側(cè)液體積存部28b、28h與下側(cè)液體積存部23b)提供膜形成液51一邊使4臺(tái)涂敷頭21A沿著基板2各邊的周向邊緣部移動(dòng)的工序。

圖22是用來(lái)說(shuō)明用4臺(tái)涂敷頭21A對(duì)基板2的周向邊緣部進(jìn)行涂敷的涂敷工序的模式圖。圖中的虛線顯示各涂敷頭21A的移動(dòng)軌跡。由于是使任一個(gè)涂敷頭21A都進(jìn)行同樣的動(dòng)作而進(jìn)行控制的，所以這里對(duì)設(shè)置在涂敷單元20A上的涂敷頭21A的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。

在指定的退避位置的A位置上，調(diào)整涂敷頭21A，使基板2的端面(右邊2a)的朝向與涂敷頭21A的前進(jìn)方向一致。

首先，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40A的X軸滑塊47，使Y軸氣缸48沿著X軸氣缸46在a方向上移動(dòng)，由此使涂敷頭21A向a方向移動(dòng)，為圖22的基板2右邊2a的周向邊緣部涂敷膜形成液51。

即，驅(qū)動(dòng)泵53，在一邊為上側(cè)頭22G的液體供給路28u提供膜形成液51，一邊將基板右邊2a端部插入涂敷頭21A的空隙，在上側(cè)液體積存部28b與下側(cè)液體積存部23b內(nèi)充滿膜形成液51的狀態(tài)下，水平移動(dòng)涂敷頭21A。另外，在涂敷時(shí)，控制涂敷頭21A的位置，使得基板2的端部不會(huì)從涂敷頭21A的空隙超出來(lái)。另外，在驅(qū)動(dòng)X軸滑塊47時(shí)，進(jìn)行控制以驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)27i，使涂敷頭用保護(hù)具27A下降。

涂敷頭21A到達(dá)B位置(基板2的角部通過(guò)的位置)，則移動(dòng)單元40A的Y軸滑塊49運(yùn)行，使涂敷頭21A在離開基板2的方向(d方向)滑動(dòng)移動(dòng)到C位置。

然后，驅(qū)動(dòng)移動(dòng)單元40A的X軸滑塊47，使涂敷頭21A滑動(dòng)移動(dòng)至D位置后，驅(qū)動(dòng)Y軸滑塊49使涂敷單元20A滑動(dòng)移動(dòng)至退避位置(A位置)。在涂敷單元20A移動(dòng)到退避位置前，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)27i，進(jìn)行使涂敷頭用保護(hù)具27A上升的控制，則涂敷單元20A到達(dá)退避位置時(shí)，墊部件27g與涂敷頭21A相碰接。

在涂敷單元20A對(duì)基板右邊2a進(jìn)行涂敷作業(yè)的同時(shí)，并行地進(jìn)行移動(dòng)單元40A、40B、40C、40D等各部的驅(qū)動(dòng)控制來(lái)進(jìn)行通過(guò)涂敷單元20B對(duì)基板上邊2b的涂敷作業(yè)，通過(guò)涂敷單元20C對(duì)基板左邊2c的涂敷作業(yè)以及通過(guò)涂敷單元20D對(duì)基板下邊2d的涂敷作業(yè)。

在上述涂敷工序中，對(duì)基板2的4個(gè)邊的涂敷作業(yè)結(jié)束后，接著進(jìn)行干燥工序。

涂敷結(jié)束后，保持基板2被基板移載部300的吸附保持具305所吸附的狀態(tài)，將基板2提起，使其水平移動(dòng)至傳送部12A的上方后，將其移載至傳送部12A。然后，由傳送部12A將基板2運(yùn)送到干燥爐60A內(nèi)。經(jīng)過(guò)指定的干燥時(shí)間后，基板2從干燥爐60A搬出，結(jié)束干燥工序。在基板2的周向邊緣部，由樹脂成分構(gòu)成的涂膜形成為邊框狀(端面及上下面)。

根據(jù)上述實(shí)施方式(2)涉及的涂敷裝置1A，能夠利用4臺(tái)涂敷頭21A同時(shí)并行地對(duì)基板2的4個(gè)邊進(jìn)行涂敷，所以能夠縮短涂敷時(shí)間。因此，能夠在基板制造生產(chǎn)線中以線內(nèi)的方式導(dǎo)入，能夠維持高的生產(chǎn)效率。另外，由于在基板2的周向邊緣部形成有涂膜，所以能夠提高隨后的基板加工工序的操作性，另外還能夠降低不良產(chǎn)品的發(fā)生，通過(guò)使用涂敷裝置1A，能夠減低基板的制造成本。

另外根據(jù)實(shí)施方式(2)的涂敷頭21A，上側(cè)頭22G包含固定部件22H、第1的部件22J以及第2的部件22K而構(gòu)成，通過(guò)第1的部件22J的長(zhǎng)孔29c、29e，能夠使移動(dòng)部件22I(第1的部件22J以及第2的部件22K)相對(duì)于固定部件22H在上下方向上移動(dòng)(位置調(diào)整)，能夠容易地進(jìn)行上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A的空隙的調(diào)整。另外，根據(jù)上側(cè)頭22G的組成構(gòu)造，能夠以螺栓29k為支點(diǎn)，在長(zhǎng)孔29f、29h所限制的范圍內(nèi)，使第2的部件22K對(duì)抗片簧部件28e的附加的勢(shì)力(在向上方向)來(lái)回轉(zhuǎn)動(dòng)，所以能夠使上側(cè)頭22G與下側(cè)頭23A的空隙尺寸保持在一定寬度，能夠應(yīng)對(duì)厚度不同的基板。

以上就本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明不限定為上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)，可以對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式施以各種變形或者變更，該變形或者變更也包括在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。另外，本發(fā)明實(shí)施方式所記載的作用以及效果只不過(guò)是列舉了由本發(fā)明所產(chǎn)生的最合適的作用以及效果而以，本發(fā)明的作用以及效果不限定為本發(fā)明的實(shí)施方式所記載的范圍內(nèi)。

產(chǎn)業(yè)上的利用可能性

本發(fā)明可以在印刷基板、金屬基板、包裝基板、玻璃基板等使用各種基板的電子器械產(chǎn)業(yè)等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。

符號(hào)說(shuō)明

1、1A 涂敷裝置

10、10A 支承臺(tái)

11 固定導(dǎo)軌

12 運(yùn)送導(dǎo)軌

13 升降機(jī)構(gòu)

20、20A、20B、20C、20D 涂敷單元

21、21A 涂敷頭

22、22C、22G 上側(cè)頭

22A、22D、22H 固定部件

22B、22E、22F、22I 移動(dòng)部件

22a、28a 傾斜引導(dǎo)部

22b、28b、28h 上側(cè)液體積存部

22c、28c 上側(cè)抹子部件

22d、28d 上側(cè)刮刀部

23、23A 下側(cè)頭

23a 傾斜引導(dǎo)部

23b 下側(cè)液體積存部

23c 下側(cè)抹子部件

23d 下側(cè)刮刀部

24、24A 液體接受部

30 環(huán)轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部

40、40A、40B、40C、40D 移動(dòng)單元

41、46 X軸氣缸

42、48 Y軸氣缸

47 X軸滑塊

43、49 Y軸滑塊

50、50A、50B、50C、50D 液體供給單元

51 膜形成液

52 液體容納部

53、56 泵

54、55 管

60、60A 干燥爐

70、70A 控制部

80、80A 操作部

90 確定位置部

300 基板移載部