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一種砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置制造方法

文檔序號:4861991閱讀:160來源:國知局
一種砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置制造方法
【專利摘要】一種砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置,包括:一除砷箱的出水口與清水池的進水口連接;除砷箱的底部設(shè)有排泥口,除砷箱內(nèi)設(shè)有攪拌機。本實用新型的除砷裝置可以有將解決公知技術(shù)中化學(xué)沉淀法處理砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水時絮凝沉降效果不穩(wěn)定、除砷效率受限的問題。
【專利說明】一種砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于廢水處理【技術(shù)領(lǐng)域】,具體地涉及一種砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]在砷化鎵晶片生產(chǎn)加工過程中涉及到的晶體合成、生長、切割、研磨、拋光、清洗等工序均會產(chǎn)生大量含砷廢水,砷濃度最高可達100mg/L,主要以三價砷形態(tài)存在,廢水呈乳白色,含有大量懸浮顆粒,粒徑大多分布在50?200nm之間,具有極好的懸浮性和分散性,不易被凝集和沉淀。
[0003]目前,處理含砷廢水的方法主要有化學(xué)沉淀法、物化法和生物法?;瘜W(xué)沉淀法是通過加入化學(xué)藥品,生成不溶性沉淀的途徑去除廢水中的砷。物化法主要利用離子交換、吸附、膜過濾等原理將砷去除,此類方法在污染物濃度低、水量大的廢水或飲用水除砷中應(yīng)用較多,直接應(yīng)用于砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水除砷一般需復(fù)雜的預(yù)處理,難度較大。生物法主要通過生物體對砷進行吸收和富集而去除,同時可通過生物氧化和甲基化等生化過程降低砷的存在形態(tài)和生物毒性。但是,由于砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水中存在的高濃度的三價砷及其它污染物對生物具有很大的毒性,直接應(yīng)用此類方法可行性也不大。
[0004]由此可見,化學(xué)沉淀法相對而言是砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水除砷比較合適的方法,也是目前處理廢水的主流工藝,其中以鐵鹽絮凝沉降法應(yīng)用最為廣泛。然后,從除砷過程和效果來看,化學(xué)沉淀法處理此類廢水時遇到的最大問題是廢水懸浮物濃度高、分散性好,從而導(dǎo)致絮凝沉降效果穩(wěn)定性不佳,砷的去除效率也會受到較大的干擾。而且,根據(jù)我國《重金屬污染綜合防治“十二五”規(guī)劃》,處理后廢水砷濃度滿足日夜嚴格的排放標準的同時還需要實行更嚴格的總量控制要求,這對砷的去除效率提出了更大的挑戰(zhàn)。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型的目的是提供一種高效穩(wěn)定的砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置,以改進公知技術(shù)中存在的缺陷。
[0006]為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供的砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置,主要包括:
[0007]一除砷箱的出水口與清水池的進水口連接;
[0008]除砷箱的底部設(shè)有排泥口,除砷箱內(nèi)設(shè)有攪拌機。
[0009]所述的除砷裝置中,除砷箱為相互串連的一級除砷箱和二級除砷箱。
[0010]所述的除砷裝置中,除砷箱與清水池之間串接有砂濾池和中間池的一個或兩個。[0011 ] 所述的除砷裝置中,二級除砷箱的出水口連接砂濾池的進水口,砂濾池的出水口與清水池的進水口連接,清水池的出水口與砂濾池的反沖水進口連通。
[0012]所述的的除砷裝置中,一級除砷箱、二級除砷箱、中間池、砂濾池和清水池為罐、箱或混凝土池結(jié)構(gòu)。
[0013]所述的的除砷裝置中,一級除砷箱和二級除砷箱為序批式運行,砂濾池為連續(xù)運行。
[0014]所述的的除砷裝置中,一級除砷箱、二級除砷箱、中間池、砂濾池和清水池之間設(shè)有提升泵。
[0015]本實用新型的除砷裝置可以有將解決公知技術(shù)中化學(xué)沉淀法處理砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水時絮凝沉降效果不穩(wěn)定、除砷效率受限的問題。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1是本實用新型實施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2是本實用新型實施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖3是本實用新型實施例3的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]附圖主要組件符號說明:
[0020]1-原水進水口,2- 一級除砷箱,3- 一級除砷箱攪拌機,4- 一級提升泵,5- 二級除砷箱,6- 二級除砷箱攪拌機,7- 二級提升泵,8-中間池,9-三級提升泵,10-砂濾池,11-清水池,12-反沖泵,13-—級除砷箱排泥口,14-二級除砷箱排泥口,15-反沖水出口,16-清水出水口。

【具體實施方式】
[0021]本實用新型提供的砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置,如圖1所示,是本實用新型的第一實施例的示意圖,該除砷裝置由一級除砷箱2和清水池11組成。一級除砷箱2設(shè)有進水口 1,用于通入原水,一級除砷箱2內(nèi)設(shè)有一級除砷箱攪拌機3,底部設(shè)有一級除砷箱排泥口 13。原水進入一級除砷箱2后加入絮凝劑并在攪拌狀態(tài)下產(chǎn)生的絮凝從一級除砷箱排泥口 13排出,清水經(jīng)一級提升泵4進入清水池11,由清水池11的清水出水口 16排出。
[0022]在本實用新型的第二實施例中,該除砷裝置可以由一級除砷箱2和二級除砷箱5串連組成(如圖2所示),即一級除砷箱2的出水口經(jīng)過一級提升泵4進入二級除砷箱5的進水口,在二級除砷箱5內(nèi)再次進行絮凝沉淀處理后,清水經(jīng)二級提升泵7進入清水池11,由清水池11的清水出水口 16排出。二級除砷箱5內(nèi)設(shè)有二級除砷箱攪拌機6,底部設(shè)有二級除砷箱排泥口 14。
[0023]本實用新型的除砷裝置,可以根據(jù)原水和處理要求等情況,選擇兩級除砷模式或單級除砷模式,并選擇除砷后是否需要氧化、是否需要砂濾模式,以及是否需要中間池。
[0024]中間池進出水采用上進下出的方式,主要起到調(diào)節(jié)水量的作用,砂濾池采用下降流過濾的方式,砂濾池內(nèi)部結(jié)構(gòu)由上而下依次為覆水層(高1000mm)、砂層(粒徑
0.8-1.2mm,高1200mm)、卵石層(粒徑15_25mm,高300mm)、承托濾板層(孔徑20mm,孔間距250mm,高100mm)和清水蓄水層(高1200mm)。
[0025]在本實用新型的第三實施例中,該除砷裝置是在一級除砷箱2或二級除砷箱5后連接中間池8或砂濾池10,也可以同時連接中間池8和砂濾池10 (如圖3所示),由中間池8對除砷箱處理后的污水進行沉淀,清水由三級提升泵9進入砂濾池10的進水口,在砂濾池10內(nèi)進一步去除絮凝物,清水進入清水池11。在設(shè)置有砂濾池10的同時,清水池11上設(shè)置的出水口通過反沖泵12與砂濾池10的反沖水進口 15相連接,用于砂濾池10的反沖洗。
[0026]在第三實施例中,原水是通過自流或泵提被輸送至一級除砷箱,進行序批式絮凝沉淀除砷,基本過程包括進水、絮凝、沉淀和出水。出水的上清液進入二級除砷箱,首先進行氧化反應(yīng),將三價砷氧化成五價砷,然后再進行序批式絮凝沉淀除砷,基本過程包括進水、氧化、絮凝、沉淀和出水。二級出水匯入中間池,然后通過三級提升泵輸送至砂濾池進行重力過濾,過濾后最終出水進入清水池,最后外排。利用反沖泵定期對砂濾池進行反沖洗,反沖洗水取自清水池。
[0027]本實用新型包括除砷箱、中間池、砂濾池和清水池,可以是罐、箱、混凝土池等結(jié)構(gòu)型式。
【權(quán)利要求】
1.一種砷化鎵晶片生產(chǎn)加工廢水的除砷裝置,其特征是,包括: 除砷箱,除砷箱的出水口與清水池的進水口連接; 除砷箱的底部設(shè)有排泥口,除砷箱內(nèi)設(shè)有攪拌機。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的除砷裝置,其特征是,除砷箱為相互串連的一級除砷箱和二級除砷箱。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的除砷裝置,其特征是,除砷箱與清水池之間串接有砂濾池和中間池的一個或兩個。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的除砷裝置,其特征是,二級除砷箱的出水口連接砂濾池的進水口,砂濾池的出水口與清水池的進水口連接,清水池的出水口與砂濾池的反沖水進口連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的的除砷裝置,其特征是,一級除砷箱、二級除砷箱、中間池、砂濾池和清水池為罐、箱或混凝土池結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的的除砷裝置,其特征是,一級除砷箱和二級除砷箱為序批式運行,砂濾池為連續(xù)運行。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的的除砷裝置,其特征是,一級除砷箱、二級除砷箱、中間池、砂濾池和清水池之間設(shè)有提升泵。
【文檔編號】C02F9/04GK203855480SQ201420277631
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年5月28日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月28日
【發(fā)明者】李安峰, 駱堅平, 潘濤, 徐文江 申請人:北京市環(huán)境保護科學(xué)研究院
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