專利名稱：含有表面活性劑排水的處理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及處理在半導(dǎo)體、液晶等電子設(shè)備制造領(lǐng)域中產(chǎn)生的含有表面活性劑的排水的方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體、液晶等電子設(shè)備制造領(lǐng)域所使用的超純水的制造裝置中，作為有機物質(zhì)(TOC)除去裝置，通常設(shè)置有反滲透(RO)膜分離裝置。特別是在從TOC為數(shù)mg/L左右的含有低濃度TOC的排水中將TOC除去來作為超純水制造裝置的原水進行回收、再利用的排水回收系統(tǒng)中，RO膜分離裝置被廣泛使用。
但是，在RO膜分離裝置的原水(以下有時稱“RO給水”)中含有作為TOC成分的非離子性表面活性劑時，存在如下問題RO膜分離裝置的RO膜被非離子性表面活性劑顯著污染，膜通量降低而導(dǎo)致處理水量降低。
以往，為了解決這種膜污染的問題，一般采用在RO膜分離裝置的前段設(shè)置活性炭吸附塔、來吸附除去非離子性表面活性劑的方法，但是，在這種方法中存在產(chǎn)生大量廢棄活性炭的問題。
關(guān)于該非離子性表面活性劑導(dǎo)致的RO膜污染的問題，在非專利文獻1中，報道了如果以某種程度分解非離子性表面活性劑，使其表面活性能力喪失，則其分解物質(zhì)沒有RO膜污染性。
另外，在專利文獻1中，為了防止RO膜污染，提出了將原水進行臭氧氧化后進行RO膜分離的方法。在該專利文獻1中，雖然將臭氧氧化處理水的pH調(diào)整到8～10，但是向該pH堿性的臭氧氧化處理水中添加酸使pH達到中性后進行RO膜分離處理。
另外，已知即使是含有表面活性劑的排水，只要是pH堿性的條件，就不容易污染RO膜，在專利文獻2中，提案了將含有TOC的排水在pH為9.5以上的堿性條件下進行RO膜分離的方法。
專利文獻1特開2005-230731號公報專利文獻2特開2005-169372號公報非專利文獻1《分離技術(shù)會講演要旨集》(2004年6月4日發(fā)行)發(fā)明內(nèi)容在專利文獻1的方法中，雖然在RO膜分離之前進行臭氧氧化，但是由于RO膜分離在pH中性的條件下進行，所以在RO膜分離裝置內(nèi)微生物繁殖而污染膜面，存在隨時間經(jīng)過膜通量降低的問題。
在專利文獻2的方法中，由于在pH堿性的條件下進行RO膜分離，所以表面活性劑難于吸附于膜面，能夠防止膜通量的降低，但是，不能避免長期連續(xù)工作情況下的膜通量降低，另外，根據(jù)RO給水中的表面活性劑濃度，也有早期產(chǎn)生通量降低的情況。因此，希望RO給水中的表面活性劑盡可能預(yù)先除去。
本發(fā)明是鑒于上述以往的實際情況而完成的，其目的在于，提供將含有表面活性劑的排水進行膜分離處理時，防止膜通量的降低，長期連續(xù)穩(wěn)定地處理的方法。
特別是，本發(fā)明涉及有效地防止膜通量降低的方法，其是在膜分離處理之前，通過臭氧氧化將排水中的表面活性劑分解的方法。
本發(fā)明(發(fā)明1-第1項)的含有表面活性劑排水的處理方法，其是將含有表面活性劑排水用氧化工序和膜分離工序順次處理的方法，其特征在于，該氧化工序是使該排水在堿性條件下與臭氧接觸而將該排水中的表面活性劑氧化處理的工序；該膜分離工序是將從該氧化工序排出的堿性氧化處理水進行膜分離的工序。
第2項的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，在第1項中，從所述氧化工序排出的氧化處理水的pH為9～12，并且含有殘留TOC。
第3項的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，在第2項中，所述氧化處理水中的殘留TOC濃度為2～20mg/L。
第4項的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，在第1～3項的任意一項中，所述膜分離工序是反滲透膜分離工序。
第5項的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，對于第1～4項中的任意一項，在所述氧化工序中，相對于所述含有表面活性劑排水中的表面活性劑，向該排水中供給2～10倍重量的臭氧。
第6項的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，在第1～5項的任意一項中，所述氧化工序是并用臭氧和過氧化氫的促進氧化工序。
第7項的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，在第1～6項的任意一項中，具有將殘留在經(jīng)過所述氧化工序的水中的氧化劑除去的氧化劑除去工序，經(jīng)過該氧化劑除去工序的水被導(dǎo)入所述膜分離工序。
第8項的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，在第7項中，所述氧化劑除去工序是活性炭處理工序。
根據(jù)本發(fā)明的含有表面活性劑排水的處理方法，在膜分離處理之前，在堿性條件下進行臭氧氧化，將排水中的表面活性劑氧化分解，并將該堿性的氧化處理水進行膜分離處理，所以可以防止膜通量的降低、能夠長期連續(xù)穩(wěn)定的處理。
即，如專利文獻1的方法，如果在pH中性條件下進行膜分離處理，則微生物繁殖而污染膜面，膜通量降低，但是，在本發(fā)明中，由于不將氧化處理水中和，而是堿性直接或者根據(jù)需要、進一步添加堿以達到規(guī)定的高pH來向膜分離裝置供水，所以抑制了膜分離裝置內(nèi)因微生物引起的污染、可以長時間防止通量的降低。
另外，在專利文獻2的方法中，雖然形成pH堿性防止表面活性劑的膜面吸附，但是，因為存在表面活性劑，所以在長期的工作中，不能避免因表面活性劑引起的通量降低，另外，表面活性劑濃度高時，有早期通量降低的問題。但是在本發(fā)明中，由于在膜分離之前在堿性條件下進行了臭氧氧化，可以將排水中的表面活性劑分解除去，從而解決了這樣的問題。
本發(fā)明的氧化工序，可以是并用臭氧和過氧化氫的促進氧化工序。
在臭氧氧化處理、或者并用臭氧和過氧化氫的促進氧化處理中，排水中的TOC與來自臭氧或過氧化氫的羥基自由基反應(yīng)，首先變成有機酸那樣的酸性化合物。由于有機酸的生成引起被處理水的pH降低，所以在這種pH降低了的狀態(tài)下，即使繼續(xù)原樣添加臭氧等，臭氧等的反應(yīng)性也降低。因此，為了進一步將TOC分解除去，必須添加大量的臭氧。在本發(fā)明中，通過將氧化工序(或促進氧化工序)的水或者氧化工序(或促進氧化工序)的流出水的pH調(diào)整到臭氧及羥基自由基的反應(yīng)性高的、優(yōu)選為pH9～12的堿性范圍，從而使用少量的臭氧就可以有效地分解除去含有表面活性劑的TOC。
本發(fā)明的堿性條件下的臭氧氧化或者臭氧促進氧化，不僅如上述那樣使臭氧的使用量減少，還有下述的作用效果。
即，如果在堿性條件下進行臭氧氧化或者臭氧促進氧化，則氧化處理后，在數(shù)分鐘以內(nèi)氧化處理水中的臭氧濃度減少到檢測下限值以下。另一方面，在中性～酸性下，往往有反應(yīng)后也能檢測出臭氧為數(shù)mg/L的情況。這是因為，pH依賴于臭氧的穩(wěn)定性，特別是如果在處理對象的原水中存在有機成分，則在堿性下氧化反應(yīng)持續(xù)進行。在此，如果不將臭氧添加到有機成分完全無機化為止，則可以形成反應(yīng)結(jié)束后TOC殘留、而沒有臭氧的狀態(tài)。另一方面，由于后段的RO膜容易被臭氧氧化而劣化，所以有必要將成為RO給水的氧化處理水中的殘留臭氧完全分解，但是，這樣，在有TOC殘留的臭氧氧化處理水中殘留臭氧不存在，所以沒有必要設(shè)置殘留臭氧的分解裝置。
另外，在成為RO給水的氧化處理水中，即使TOC殘留，也如后所述，表面活性劑顯示表面活性的活性部位(疏水性部分與親水性部分的界面)被臭氧改性，所以膜污染性被降低，解決了因表面活性劑導(dǎo)致的膜通量降低的問題。
因此，在臭氧氧化工序中，調(diào)整反應(yīng)pH，使得氧化處理水的pH達到堿性，以及使有機成分不完全分解、而剩余TOC是重要的。
于是，在本發(fā)明中，通過將該pH堿性的氧化處理水供給到膜分離工序，可以防止因微生物繁殖而導(dǎo)致的膜通量降低。即，如后所述，在本發(fā)明中，由于排水中的表面活性劑通過臭氧氧化而被分解，其活性部位被改性，形成易于生物降解，因此，如果將這樣的含有容易生物降解成分的氧化處理水導(dǎo)入到膜分離工序，則引起因微生物繁殖而導(dǎo)致的膜通量降低，為了防止這種情況，必須添加大量的粘泥防止劑(スヲイム防止剤)，但是，根據(jù)本發(fā)明，通過將微生物不易繁殖的堿性氧化處理水供給到膜分離工序，可以防止這樣的因微生物繁殖而導(dǎo)致的膜通量降低。因此，不引起粘泥障礙的問題，所以，不需要添加粘泥防止劑，可以降低藥劑成本，進行穩(wěn)定的處理。
在這樣的堿性條件下進行膜分離處理的基礎(chǔ)上，在其前段進行堿條件下的臭氧氧化，這在可以不需要臭氧氧化處理水的pH調(diào)整方面上是優(yōu)選的。但是，在本發(fā)明中，可以向臭氧氧化處理水中進一步添加堿試劑來進行膜分離處理。
在本發(fā)明中，通過臭氧氧化，不必須將排水中的表面活性劑完全分解到無機化，只要將表面活性劑的表面活性部位改性即可。即，如非專利文獻1所記載，表面活性劑只要失去其表面活性的功能，膜污染性就被減輕。另一方面，就表面活性劑的臭氧氧化來說，在表面活性劑中，容易被氧化的活性部位優(yōu)先被氧化。在本發(fā)明中，只要至少是表面活性劑的活性部位被氧化即可，通過臭氧氧化而被改性的表面活性劑的分解物可以在氧化處理水中作為TOC殘留。在少許TOC殘留的臭氧氧化條件下，臭氧呈幾乎被消耗完的狀態(tài)，所以在可以防止臭氧流入膜分離裝置的方面講，也是優(yōu)選的。
因此，在本發(fā)明中，從氧化工序排出的氧化處理水優(yōu)選pH為9～12，并且含有殘留TOC(第2項)，特別優(yōu)選其殘留TOC濃度為2～20mg/L(第3項)。但是，為了在這樣的濃度下使TOC殘留，在氧化工序中，相對于含有表面活性劑排水中的表面活性劑，優(yōu)選供給2～10倍重量的臭氧(第5項)。
另外，本發(fā)明的膜分離工序優(yōu)選為RO膜分離工序(第4項)。
另外，可以設(shè)置將殘留在經(jīng)過氧化工序的水中的氧化劑除去的氧化劑除去工序，將經(jīng)過氧化劑除去工序的水導(dǎo)入到膜分離工序(第7項)，在這種情況下，優(yōu)選活性炭處理工序作為氧化劑除去工序(第8項)。


圖1是表示本發(fā)明含有表面活性劑排水的處理方法的實施方式的系統(tǒng)圖。
符號說明1臭氧反應(yīng)塔2 RO膜分離裝置3臭氧產(chǎn)生機4活性炭過濾塔具體實施方式
以下參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明含有表面活性劑排水的處理方法的實施方式。
圖1(a)、(b)表示本發(fā)明含有表面活性劑排水的處理方法的實施方式的系統(tǒng)圖。
在圖1(a)中，根據(jù)需要，向原水(含有表面活性劑排水)中添加過氧化氫(H2O2)等氧化劑，接著，添加氫氧化鈉(NaOH)等堿，使得臭氧反應(yīng)塔1內(nèi)的水的pH呈堿性、優(yōu)選pH達到9～12，然后在臭氧反應(yīng)塔1中進行臭氧氧化處理，在RO膜分離裝置2中對臭氧氧化處理水進行RO膜分離處理，得到處理水。3是臭氧產(chǎn)生機。
不一定必須向原水添加H2O2等氧化劑，但是通過添加氧化劑，利用產(chǎn)生比臭氧的氧化力強的羥基自由基，能夠提高氧化分解效率，能夠?qū)崿F(xiàn)臭氧添加量的進一步減少，所以優(yōu)選添加氧化劑。
作為使用的氧化劑，只要是能使羥基自由基產(chǎn)生的物質(zhì)，就沒有特別的限定，但是，H2O2是優(yōu)選的氧化劑。
氧化劑的添加位置只要在原水與臭氧接觸之前即可，也可以在堿試劑添加之后。
另外，關(guān)于氧化劑的添加量沒有特別的限定，根據(jù)原水的水質(zhì)、使用的氧化劑種類而適當(dāng)決定，但是，一般來說，如果是H2O2，優(yōu)選相對于原水中添加的臭氧量、以重量比計為0.1～1的范圍。
另外，促進氧化的方法除了添加H2O2等氧化劑以外，也可以應(yīng)用紫外線照射。
作為臭氧反應(yīng)塔1，只要能夠維持臭氧或羥基自由基的反應(yīng)性高的堿性范圍、能夠使原水有效地吸收臭氧而使反應(yīng)進行，就沒有特別的限定，可以是如圖1所示，從設(shè)置在反應(yīng)塔1上部的散水板1a散布原水，將從臭氧產(chǎn)生機3送給的臭氧通過塔下部的散氣管1b來散氣的型式，此外，也可以是具有機械式攪拌機的開放水槽。另外，也可以是設(shè)置于管道的管線攪拌器(line mixer)或者渦流泵那樣的流路內(nèi)臭氧供給單元。但是，為了使臭氧與原水充分接觸，使原水中包括表面活性劑的TOC高度地氧化分解，優(yōu)選設(shè)置反應(yīng)槽。
在本發(fā)明中，添加堿試劑，使得該臭氧反應(yīng)塔1內(nèi)的水或臭氧反應(yīng)塔1的流出水的pH達到9～12、特別是達到10～11。該調(diào)整的pH在不足9時，不能充分獲得pH堿性所致的提高臭氧氧化分解效率的效果。在pH超過12的強堿性條件下，促進臭氧自身分解，未分解的表面活性劑有殘留，因而不優(yōu)選。
作為用于該pH調(diào)整的堿試劑，使用氫氧化鈉(NaOH)、氫氧化鉀(KOH)等無機物類堿試劑。堿試劑可以添加到向臭氧反應(yīng)塔1導(dǎo)入原水的管道，也可以添加到臭氧反應(yīng)塔1。
但是，該堿試劑并不一定必須添加，在原水的pH為12左右的高pH值的情況下，無需特別對其進行調(diào)整pH，可以直接供給于臭氧氧化處理。
臭氧的添加方法沒有特別的限定，如圖1所示，可以依照如下方法進行將來自臭氧產(chǎn)生機3的臭氧通過散氣管1b散氣到臭氧反應(yīng)塔1內(nèi)的方法，或者用噴射器注入的方法等常用方法。另外，也可以用處理水等使臭氧溶解于其中，作為臭氧水來添加。
臭氧的添加量根據(jù)原水的水質(zhì)(表面活性劑濃度)、有無并用氧化劑以及其添加量而異，但是，通常相對于原水中的TOC優(yōu)選在10倍重量以下，特別優(yōu)選為2～10倍重量，尤為優(yōu)選6～8倍重量。
即，表面活性劑的活性部位與臭氧的反應(yīng)，由于反應(yīng)速度快，所以以少量的臭氧就快速反應(yīng)。將表面活性劑完全氧化分解成二氧化碳?xì)怏w時，臭氧的必需量優(yōu)選相對于表面活性劑為20～50倍重量左右，但是如前所述，本發(fā)明不一定必須將表面活性劑完全分解，所以優(yōu)選用相對于表面活性劑為2～10倍重量左右的臭氧氧化分解至使表面活性劑的表面活性失去的程度。但是，在氧化處理水中殘留的改性的有機物(TOC)與表面活性劑不同，對膜通量的降低幾乎沒有影響，另外，通過膜分離被有效地除去。
這樣，由于不用將表面活性劑完全氧化分解，只將活性部位改性，所以作為在氧化處理中殘留的TOC的程度沒有特別限定，但是通常為2～20mg/L左右。該殘留TOC的濃度過低時，有與臭氧的反應(yīng)性變差的傾向，過高時，有表面活性劑的分解(改性)不充分的情況。
但是，作為RO給水的氧化處理水，只要pH呈堿性即可，TOC可以不必殘留。但是，TOC殘留則表示臭氧沒有殘留，從防止膜氧化劣化的方面考慮是優(yōu)選的。
另外，在氧化處理中，在TOC不殘留、臭氧殘留的情況下，也可以在后述的氧化劑除去工序?qū)⑵涑ァ?br> 在圖1(a)中，臭氧反應(yīng)塔1的氧化處理水接著在RO膜分離裝置2中進行RO膜分離處理。
在本發(fā)明中，導(dǎo)入到該RO膜分離裝置2的RO給水，是pH堿性、優(yōu)選pH9～12、特別優(yōu)選pH10～11的氧化處理水。該RO給水的pH不足9時，引起因微生物繁殖而導(dǎo)致的膜通量降低的問題。但是，該RO給水的pH過高時，很可能有因原水的水質(zhì)導(dǎo)致在RO膜分離裝置中的結(jié)垢危害，另外，即使在回收、再利用RO膜分離裝置2的透過水的情況下，或者在排放的情況下，也需要添加大量的酸將pH調(diào)整到中性，因而不優(yōu)選。
作為該RO膜分離裝置2的RO膜，不能使用耐堿性低的乙酸纖維素系RO膜，具有耐堿性的物質(zhì)，例如可以舉出聚醚酰胺復(fù)合膜、聚乙烯醇復(fù)合膜、芳香族聚酰胺膜等，優(yōu)選芳香族聚酰胺系復(fù)合膜。該RO膜可以是螺旋型、中空絲型、管狀型等任意型式的膜。
該RO膜分離裝置2的透過水作為處理水被取出到系統(tǒng)外，通常被再利用于純水裝置的原水或冷卻塔的補充水等。
在圖1(b)中，來自于臭氧反應(yīng)塔1的流出水被導(dǎo)入到活性炭過濾塔4，殘留的臭氧和/或H2O2等氧化劑被除去后，導(dǎo)入到RO膜分離裝置2，這種方式與圖1(a)表示的方法不同，其它同樣地進行處理。該活性炭過濾塔4中的處理條件根據(jù)臭氧反應(yīng)塔1的流出水中的氧化劑的殘留量而適當(dāng)決定。通過該活性炭處理，可以進一步將殘留于臭氧氧化處理水中的TOC除去。
如圖1(a)、(b)所示，將含有表面活性劑的原水進行臭氧氧化處理后，根據(jù)需要，進行活性炭處理后導(dǎo)入到RO膜分離裝置2中，由此，不引起在RO膜分離裝置2中的通量降低，可以長期進行穩(wěn)定的處理，可以得到TOC被高度地除去的高品質(zhì)處理水。
圖1是表示本發(fā)明的實施方式的一個例子，本發(fā)明只要不超過其要旨，不限于任何圖示的方式。例如，在導(dǎo)入到RO膜分離裝置的氧化處理水或活性炭處理水的pH不是足夠堿性的情況下，可以向作為RO給水的氧化處理水或活性炭處理水中進一步添加堿試劑，進行pH調(diào)整后進行RO膜分離處理。另外，在原水含有鈣離子、鎂離子等硬度成分的情況下，為了防止因濃縮而導(dǎo)致的結(jié)垢危害，可以向該RO給水中添加結(jié)垢防止劑。
在這種情況下，作為添加到RO給水中的結(jié)垢防止劑，優(yōu)選使用在堿性范圍內(nèi)解離而容易與金屬離子形成配位化合物的乙二胺四乙酸(EDTA)或氨三乙酸(NTA)等螯合類結(jié)垢防止劑，但是，除此之外，還可以使用(甲基)丙烯酸聚合物及其鹽、馬來酸聚合物以及其鹽等低分子量聚合物，乙二胺四亞甲基膦酸及其鹽、羥基亞乙基二膦酸及其鹽、次氮基三亞甲基膦酸及其鹽、膦?；⊥槿人峒捌潲}等的膦酸以及膦酸鹽，六偏磷酸及其鹽、三聚磷酸及其鹽等的無機聚合磷酸以及無機聚合磷酸鹽等。
另外，氧化處理后的膜分離處理不限于RO膜分離處理，也可以是納米過濾(NF)膜分離處理。但是，從除去TOC的角度考慮，優(yōu)選RO膜分離處理。
在本發(fā)明中處理的原水是含有表面活性劑的排水，但是，通常該表面活性劑的濃度為0.2～10mg/L左右，在本發(fā)明中，通過將這樣的含有表面活性劑的排水進行氧化處理，得到表面活性劑濃度為0.1～1mg/L、TOC為5～15mg/L左右的氧化處理水，并對其進行RO膜分離處理，得到TOC為0.5～1mg/L左右的處理水。
以下舉出實施例及比較例更具體地說明本發(fā)明。
實施例1把液晶制造工序的水洗水(TOC＝11mg/L，非離子表面活性劑為2mg/L)作為原水，向其中添加NaOH，將pH調(diào)整到10.5。向其中吹入臭氧氣體，使相當(dāng)于50mg/L的臭氧溶解。所得到的臭氧氧化處理水，pH為9.6、電導(dǎo)率為19mS/m、TOC＝8mg/L、非離子表面活性劑＝0.5mg/L以下、殘留臭氧＝0.5mg/L以下。
將該氧化處理水向RO膜分離裝置通水。使用芳香族聚酰胺系復(fù)合膜作為RO膜，在膜間壓力差為約1.2MPa、回收率為75％的條件下工作。
其結(jié)果，可以維持透過水量(通量)為0.6m3/m2/d連續(xù)2周處理，RO膜分離裝置的透過水的水質(zhì)如下pH為9.8，電導(dǎo)率為1.2mS/m，TOC＝0.8mg/L。
實施例2向在實施例1中作為原水的液晶制造工序的水洗水中添加過氧化氫10mg/L后，加入NaOH，將pH調(diào)整到10.5。向其中吹入臭氧氣體，使相當(dāng)于40mg/L的臭氧溶解。所得到的臭氧氧化處理水，pH為9.4、電導(dǎo)率為18mS/m、TOC＝9mg/L、非離子表面活性劑＝0.5mg/L以下、殘留臭氧＝0.5mg/L以下、過氧化氫＝5mg/L。
將該處理水以SV10hr-1的通水速度向活性炭過濾器通水后，在與實施例1相同的條件下，向RO膜分離裝置通水。
其結(jié)果，可以維持透過水量(通量)為0.7m3/m2/d連續(xù)2周處理，透過水的水質(zhì)如下pH為9.5，電導(dǎo)率為1.0mS/m，TOC＝0.6mg/L。
比較例1向與實施例1相同操作而得到的臭氧氧化處理水中添加鹽酸，將pH調(diào)整到6.5，添加作為結(jié)合氯系粘泥防止劑的Kishida Chemical公司制的“CHLORAMINE-T”10mg/L之后，在與實施例1相同的條件下，向RO膜分離裝置通水，其結(jié)果為，透過水量(通量)緩慢降低，1周后達到0.3m3/m2/d。透過水的水質(zhì)如下pH為6.3，電導(dǎo)率為0.3mS/m，TOC＝0.2mg/L。
由以上結(jié)果可知，根據(jù)本發(fā)明，在將含有表面活性劑的排水用臭氧氧化處理后進行RO膜分離處理的情況下，可以防止因表面活性劑導(dǎo)致的RO膜污染，維持高的膜通量，持續(xù)穩(wěn)定的處理。
權(quán)利要求
1.一種含有表面活性劑排水的處理方法，其是將含有表面活性劑排水用氧化工序和膜分離工序順次處理的方法，其特征在于，該氧化工序是使該排水在堿性條件下與臭氧接觸，將該排水中的表面活性劑氧化處理的工序；該膜分離工序是對從該氧化工序排出的堿性氧化處理水進行膜分離的工序。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，從所述氧化工序排出的氧化處理水的pH為9～12，并且含有殘留TOC。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，所述氧化處理水中的殘留TOC濃度為2～20mg/L。
4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，所述膜分離工序是反滲透膜分離工序。
5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項所述的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，在所述氧化工序中，相對于所述含有表面活性劑排水中的表面活性劑，向該排水中供給2～10倍重量的臭氧。
6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，所述氧化工序是并用臭氧和過氧化氫的促進氧化工序。
7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項所述的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，具有將殘留在經(jīng)過所述氧化工序的水中的氧化劑除去的氧化劑除去工序，經(jīng)過該氧化劑除去工序的水被導(dǎo)入所述膜分離工序。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的含有表面活性劑排水的處理方法，其特征在于，所述氧化劑除去工序是活性炭處理工序。
全文摘要
本發(fā)明提供一種含有表面活性劑排水的處理方法，其在膜分離處理含有表面活性劑的排水時，能夠防止膜的通量降低，長期持續(xù)穩(wěn)定的處理，在膜分離處理之前，在堿性條件下進行臭氧氧化，將排水中的表面活性劑氧化分解，對該堿性的氧化處理水進行膜分離處理。由于不將氧化處理水中和、以堿性直接向膜分離裝置供水，所以在膜分離裝置內(nèi)因微生物而導(dǎo)致的污染被抑制，可以長時間防止通量的降低；由于在膜分離之前于堿性條件下進行臭氧氧化，可以將排水中的表面活性劑分解除去，所以可以防止因表面活性劑導(dǎo)致的膜通量的降低、長期持續(xù)穩(wěn)定的處理。
文檔編號C02F1/44GK101045592SQ200710088280
公開日2007年10月3日 申請日期2007年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月27日
發(fā)明者一柳直人 申請人:栗田工業(yè)株式會社