一種基板取放裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開一種基板取放裝置，涉及基板搬運裝置技術領域，為解決將基板從基板盒內(nèi)取出時，因基板與基板盒之間發(fā)生碰撞或剮蹭而導致基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象的問題。所述基板取放裝置包括支撐臺、機械臂和機械手，其中，所述機械臂安裝在所述支撐臺上，所述機械臂可相對所述支撐臺升降移動，且所述機械臂可伸長和縮短；所述機械手與所述機械臂可轉動連接，所述機械手轉動，帶動基板盒內(nèi)發(fā)生偏轉的待取出的基板轉動，使待取出的基板回歸正常狀態(tài)后，所述機械手取出待取出的基板，所述正常狀態(tài)為待取出的基板未發(fā)生偏轉時的狀態(tài)。本實用新型提供的基板取放裝置用于取放基板。
【專利說明】
一種基板取放裝置
技術領域
[0001 ]本實用新型涉及基板搬運裝置技術領域，尤其涉及一種基板取放裝置。
【背景技術】
[0002] 基板通常水平放置在基板盒中，以方便將基板運輸?shù)侥康牡亍⒒暹\輸?shù)侥康?地之后，通常需要將基板從基板盒內(nèi)取出，以對基板進行后處理工序。
[0003] 目前，通常利用基板取放裝置將基板從基板盒內(nèi)取出，基板取放裝置包括機械手， 當將基板從基板盒內(nèi)取出時，先將機械手的基板叉齒伸到待取出的基板的下方，并使基板 叉齒承載待取出的基板，然后使機械手上升，基板叉齒帶動待取出的基板上升，使待取出的 基板與基板盒內(nèi)的支撐塊分離，然后使基板叉齒移動，帶動待取出的基板退出基板盒，實現(xiàn) 將待取出的基板從基板盒內(nèi)取出。
[0004] 然而，將基板裝載在基板盒內(nèi)或者運輸基板時，基板在基板盒內(nèi)可能會發(fā)生水平 偏轉，當采用上述基板取放裝置將偏轉的基板從基板盒取出時，偏轉的基板與基板盒之間 會發(fā)生碰撞或剮蹭，導致基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象。 【實用新型內(nèi)容】
[0005] 本實用新型的目的在于提供一種基板取放裝置，用于解決將基板從基板盒內(nèi)取出 時，因基板與基板盒之間發(fā)生碰撞或剮蹭而導致基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象的技術問題。
[0006] 為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：
[0007] -種基板取放裝置，包括支撐臺、機械臂和機械手，其中，所述機械臂安裝在所述 支撐臺上，所述機械臂可相對所述支撐臺升降移動，且所述機械臂可伸長和縮短;所述機械 手與所述機械臂可轉動連接。
[0008] 當采用本實用新型提供的基板取放裝置從基板盒內(nèi)取出基板時，如果基板盒內(nèi)的 待取出的基板在發(fā)生偏轉，通過調(diào)整機械手，先使機械手朝向待取出的基板的偏轉方向轉 動，然后使機械手承載待取出的基板，然后使機械手逆向待取出的基板的偏轉方向轉動，帶 動待取出的基板轉動，使待取出的基板在基板盒內(nèi)回歸正常狀態(tài)，即，使待取出的基板在基 板盒內(nèi)回歸至未發(fā)生偏轉的狀態(tài)，然后將基板從基板盒內(nèi)取出，因此，可以防止將基板從基 板盒內(nèi)取出時基板與基板盒發(fā)生碰撞或剮蹭，從而防止基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0009] 此處所說明的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，構成本實用新型的一部 分，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的 不當限定。在附圖中：
[0010] 圖1為本實用新型實施例提供的基板取放裝置的結構示意圖；
[0011] 圖2為本實用新型實施例提供的基板盒的結構示意圖；
[0012]圖3為機械手與待取出的基板的位置關系圖一；
[0013] 圖4為機械手與待取出的基板的位置關系圖二；
[0014] 圖5為機械手與待取出的基板的位置關系圖三；
[0015] 圖6為機械手與待取出的基板的位置關系圖四。
[0016] 附圖標記：
[0017] 100-基板取放裝置， 10-支撐臺，
[0018] 11-第一轉軸， 20-機械臂，
[0019] 21-第一機械臂， 22-第二機械臂，
[0020] 23-第二轉軸， 24-第三轉軸，
[0021] 30-機械手， 31-支撐梁，
[0022] 32-基板叉齒， 33-距離傳感器，
[0023] 34-真空吸附孔， 200-基板盒，
[0024] 210-基板隔腔， 220-支撐塊。
【具體實施方式】
[0025] 為了進一步說明本實用新型實施例提供的基板取放裝置，下面結合說明書附圖進 行詳細描述。
[0026]請參閱圖1，本實用新型實施例提供的基板取放裝置100包括支撐臺10、機械臂20 和機械手30，其中，機械臂20安裝在支撐臺10上，機械臂20可相對支撐臺10升降移動，且機 械臂20可伸長和縮短;機械手30與機械臂20可轉動連接，機械手30轉動，帶動基板盒200內(nèi) 發(fā)生偏轉的待取出的基板轉動，使待取出的基板回歸正常狀態(tài)后，機械手30取出待取出的 基板，正常狀態(tài)為待取出的基板未發(fā)生偏轉時的狀態(tài)。
[0027] 具體實施時，本實用新型實施例提供的基板取放裝置100包括支撐臺10、機械臂20 和機械手30，機械臂20安裝在支撐臺10上，機械手30安裝在機械臂20上;機械臂20可相對支 撐臺10升降移動，即機械臂20可相對支撐臺10沿圖1中上下方向移動，機械臂20相對支撐臺 10升降移動時，帶動機械手30相對支撐臺10升降移動;機械臂20可在水平面內(nèi)伸長和縮短， 例如機械臂20可在水平面內(nèi)沿圖1中左右方向伸長和縮短，機械臂20在水平面內(nèi)沿圖1中左 右方向伸長和縮短時，帶動機械手30沿圖1中左右方向移動;機械手30與機械臂20可轉動連 接，機械手30可相對機械臂20轉動；如圖2所示，基板盒200內(nèi)具有貫通腔，貫通腔的相對的 兩個腔壁上分別設置有一一對應的多對支撐塊220,多對支撐塊220將貫通腔分割為層疊設 置的多個基板隔腔210,每個基板隔腔210內(nèi)可放置一個基板，支撐塊220用于支撐基板，當 采用上述基板取放裝置100從基板盒200內(nèi)取出待取出的基板時，機械手30承載待取出的基 板，并帶動待取出的基板退出基板盒200的基板隔腔210。
[0028] 當采用上述實施例提供的基板取放裝置從基板盒200內(nèi)取出待取出的基板時，可 以先調(diào)節(jié)機械臂20,使機械臂20帶動機械手30相對支撐臺10上升或下降，機械手30移動至 基板盒200與待取出的基板對應的基板隔腔210處，機械手30與基板隔腔210的開口相對，即 機械手30與待取出的基板朝向基板隔腔210的側面相對，例如機械手30與圖2中待取出的基 板的右側面相對;然后根據(jù)待取出的基板在對應的基板隔腔210內(nèi)發(fā)生水平偏轉時的偏轉 角度和偏轉方向，調(diào)節(jié)機械手30,使機械手30相對機械臂20沿待取出的基板的偏轉方向轉 動，機械手30沿待取出的基板的偏振方向轉動的角度與待取出的基板的偏轉角度相同；然 后調(diào)節(jié)機械臂20,使機械臂20在水平面內(nèi)伸長，使機械手30伸到待取出的基板的下方，并使 機械手30承載待取出的基板;然后調(diào)節(jié)機械臂20,使機械臂20帶動機械手30相對支撐臺10 上升，待取出的基板被機械手30抬起，并與基板盒200內(nèi)的對應的支撐塊220分離;然后調(diào)節(jié) 機械手30，使機械手30相對機械臂20沿待取出的基板的偏轉方向的反方向轉動，機械手30 沿待取出的基板的偏轉方向的反方向轉動的角度與待取出的基板的偏轉角度相同，機械手 30帶動待取出的基板回歸正常狀態(tài)，即待取出的基板呈未發(fā)生水平偏轉的狀態(tài);然后調(diào)節(jié) 機械臂20,使機械臂20在水平面內(nèi)縮短，機械臂20帶動機械手30退出基板盒200的基板隔腔 210,從而將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出。
[0029] 舉例來說，當采用上述實施例提供的基板取放裝置從基板盒200內(nèi)取出待取出的 基板時，機械手30移動至基板盒200與待取出的基板對應的基板隔腔210處后，如圖2所示， 建立三維直角坐標系，三維直角坐標系的X軸平行于圖2中基板盒200的貫通腔的貫通方向， 三維直角坐標系的Y軸平行于圖2中基板盒200的基板隔腔210的開口的長度方向，三維直角 坐標系的Z軸垂直于圖2中基板盒200的基板隔腔210的開口的長度方向，也就是說，三維直 角坐標系的X軸和Y軸構成的XY平面平行于水平面;如圖3所示，在三維直角坐標系中，待取 出的基板在XY平面內(nèi)繞Z軸沿順時針方向偏轉，即待取出的基板的偏轉方向為圖3中順時針 方向，待取出的基板的偏轉角度為a;根據(jù)待取出的基板的偏轉方向和偏轉角度，調(diào)節(jié)機械 手30，使機械手30相對機械臂20沿待取出的基板的偏轉方向轉動，機械手30沿待取出的基 板的偏轉方向轉動的角度與待取出的基板的偏轉角度相同，即機械手30沿圖3中順時針方 向轉動，機械手30轉動的角度為a，此時，機械手30與待取出的基板之間的位置關系如圖4所 不。
[0030] 機械手30沿待取出的基板的偏轉方向轉動完成后，然后通過機械臂20帶動機械手 30,使機械手30伸到待取出的基板的下方，機械手30承載待取出的基板;然后通過機械臂20 帶動機械手30,機械手30上移，使待取出的基板與對應的支撐塊220分離，此時，機械手30與 待取出的基板之間的位置關系如圖5所示;然后調(diào)節(jié)機械手30,使機械手30相對機械臂20沿 待取出的基板的偏轉方向的反方向轉動，機械手30沿待取出的基板的偏轉方向的反方向轉 動的角度與待取出的基板的偏轉角度相同，即機械手30沿圖3中逆時針方向轉動，機械手30 轉動的角度為a，此時，機械手30與待取出的基板之間的位置關系如圖6所示;然后通過機械 臂20帶動機械手30退出基板盒200的基板隔腔210,待取出的基板隨機械手30退出基板盒 200的基板隔腔210,從而將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出。
[0031] 由上述可知，當采用本實用新型實施例提供的基板取放裝置100從基板盒200內(nèi)取 出基板時，可以先移動機械臂20,通過機械臂20帶動機械手30,機械手30與基板盒200內(nèi)的 待取出的基板相對;然后根據(jù)待取出的基板發(fā)生水平偏轉的偏轉角度和偏轉方向，調(diào)節(jié)機 械手30，使機械手30相對機械臂20朝向待取出的基板的偏轉方向轉動，機械手30朝向待取 出的基板的偏轉方向轉動的角度與待取出的基板的偏轉角度相同；然后調(diào)節(jié)機械臂20,機 械臂20帶動機械手30水平移動，機械手30伸到待取出的基板的下方，機械手30承載待取出 的基板;然后調(diào)節(jié)機械臂20，機械臂20帶動機械手30上升，待取出的基板在機械手30的帶動 下與基板盒200的支撐塊220分離;然后使機械手30相對機械臂20逆向待取出的基板的偏轉 方向轉動，機械手30逆向待取出的基板的偏轉方向轉動的角度與待取出的基板的偏轉角度 相同；然后調(diào)節(jié)機械臂20,機械臂20帶動機械手30水平移動，機械手30帶動待取出的基板退 出基板盒200，完成將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出。由上述可知，當采用本實用新型實 施例提供的基板取放裝置100從基板盒200內(nèi)取出基板時，通過調(diào)整機械手30,使機械手30 朝向待取出的基板的偏轉方向轉動和逆向待取出的基板的偏轉方向轉動，使待取出的基板 在基板盒200內(nèi)恢復至正常狀態(tài)，即待取出的基板在基板盒200內(nèi)處于不發(fā)生水平偏轉的狀 態(tài)，然后將基板從基板盒200內(nèi)取出，因此，可以防止將基板從基板盒200內(nèi)取出時基板與基 板盒200發(fā)生碰撞或剮蹭，從而防止基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象。
[0032]值得一提的是，上述實施例提供的基板取放裝置100可以取放水平放置在基板盒 200內(nèi)的基板，在實際應用中，上述實施例提供的基板取放裝置100也可以取放豎直放置在 基板盒200內(nèi)的基板，此時，機械臂20朝向支撐臺10水平移動和遠離支撐臺10水平移動，機 械臂20可以在豎直平面內(nèi)伸長和縮短，機械手30與機械臂20可轉動連接，取放豎直放置在 基板盒200內(nèi)的基板的過程與上述取放水平放置在基板盒200內(nèi)的基板的過程類似，在此不 再贅述。需要說明的是，上述實施例中，基板可以為襯底基板、液晶顯示基板、光學基板等。 [0033]值得指出的是，上述實施例提供的基板取放裝置100還可以用于將基板裝載在基 板盒200內(nèi)，當采用上述基板取放裝置100將基板裝載在基板盒200內(nèi)時，可以先通過機械手 30承載基板;然后調(diào)節(jié)機械臂20,通過機械臂20帶動機械手30上升或下降，使機械手30帶動 基板移動至基板盒200內(nèi)對應的基板隔腔210的開口處;然后調(diào)節(jié)機械手30,使機械手30相 對機械臂20轉動，以調(diào)芐基板的擺放方位，使基板處于相對基板盒200未發(fā)生水平偏轉的狀 態(tài);然后調(diào)節(jié)機械臂20,通過機械臂20帶動機械手30,使機械手30伸到基板隔腔210內(nèi)；然后 調(diào)節(jié)機械臂20,通過機械臂20帶動機械手30下降，基板與基板盒200內(nèi)的支撐塊220接觸，支 撐塊220承載基板，基板與機械手30分離;然后調(diào)節(jié)機械臂20,通過機械臂20帶動機械手30， 使機械手30退出基板隔腔210,實現(xiàn)將基板裝載在基板盒200內(nèi)。
[0034]因此，當采用上述基板取放裝置100將基板裝載在基板盒200內(nèi)時，機械手30帶動 基板移動至基板盒200內(nèi)對應的基板隔腔210的開口處之后，可以通過調(diào)節(jié)機械手30,使機 械手30相對機械臂20轉動，以調(diào)芐基板的擺放方位，使基板處于相對基板盒200未發(fā)生水平 偏轉的狀態(tài)，然后將基板裝載在對應的基板隔腔210內(nèi)，以防止基板在裝載時與基板盒200 發(fā)生碰撞或剮蹭，從而防止基板產(chǎn)生破損、劃傷等現(xiàn)象。
[0035] 請繼續(xù)參閱圖1，在本實用新型實施例提供的基板取放裝置中，機械手30包括支撐 梁31和平行設置在支撐梁31上的多個基板叉齒32,支撐梁31與機械臂20可轉動連接，多個 基板叉齒32遠離支撐梁31的端部平齊;多個基板叉齒32中，至少兩個基板叉齒32上分別設 置有距離傳感器33,基板叉齒32遠離支撐梁31的端部與基板盒200內(nèi)待取出的基板相對時， 距離傳感器33檢測對應的基板叉齒32遠離支撐梁31的端部與待取出的基板朝向機械手30 的側面之間的距離。
[0036] 具體實施時，機械手30包括支撐梁31和多個基板叉齒32,其中，支撐梁31與機械臂 20可轉動連接，多個基板叉齒32平行設置在支撐梁31上，基板叉齒32的數(shù)量為多個，在實際 應用中，基板叉齒32的數(shù)量可以為兩個或兩個以上;支撐梁31相對機械臂20轉動時，多個基 板叉齒32也相對機械臂20轉動；多個基板叉齒32中，至少兩個基板叉齒32上分別設置有距 離傳感器33，例如，基板叉齒32的數(shù)量為兩個時，在兩個基板叉齒32上分別設置距離傳感器 33,基板叉齒32的數(shù)量為三個時，可以選取其中兩個基板叉齒32,并在選取的兩個基板叉齒 32上分別設置距離傳感器33,也可以在三個基板叉齒32上分別設置距離傳感器33,基板叉 齒32的數(shù)量為三個以上時，可以選取其中兩個基板叉齒32,并在選取的兩個基板叉齒32上 分別設置距離傳感器33,也可以選取兩個以上的基板叉齒32,并在選取的兩個以上基板叉 齒32上分別設置距離傳感器33，也可以在每個基板叉齒32上分別設置距離傳感器33;當將 機械手30移動至基板盒200與待取出的基板對應的基板隔腔210處，基板叉齒32遠離支撐梁 31的端部與基板盒200內(nèi)待取出的基板相對時，距離傳感器33檢測對應的基板叉齒32遠離 支撐梁31的端部與待取出的基板朝向機械手30的側面之間的距離。
[0037]下面以在支撐梁31上平行設置兩個基板叉齒32為例進行說明，請參閱圖1，機械手 30包括支撐梁31和平行設置在支撐梁31上的兩個基板叉齒32,兩個基板叉齒32上分別設置 有距離傳感器33。如圖2所示，當將機械手30移動至基板盒200與待取出的基板對應的基板 隔腔210處，基板叉齒32遠離支撐梁31的端部與基板盒200內(nèi)待取出的基板相對時，距離傳 感器33檢測對應的基板叉齒32遠離支撐梁31的端部與待取出的基板朝向機械手30的側面 之間的距離，如圖3所示，根據(jù)圖3中左側的基板叉齒32上的距離傳感器33的檢測結構和右 側的基板叉齒32上的距離傳感器33的檢測結果，獲取圖3中左側的基板叉齒32的上端部與 待取出的基板的下側面之間的距離為匕，圖3中右側的基板叉齒32的上端部與待取出的基 板的下側面之間的距離為h 2,圖3中左側的基板叉齒32與右側的基板叉齒32之間的距離為 1，假設待取出的基板的下表面與三維直角坐標系的Y軸之間的夾角為a，即待取出的基板發(fā) 生水平偏轉的偏轉角度為a，則可以得到偏轉角度a與距離hi、距離h 2之間的關系：
(1 )
[0039] 對式（1)進行處理后，即可獲得：
(2)
[0041]根據(jù)式(2)，并利用距離傳感器33檢測到的對應的基板叉齒32遠離支撐梁31的端 部與待取出的基板朝向機械手30的側面之間的距離，即可獲取待取出的基板的偏轉角度， 待取出的基板的偏轉方向則可以根據(jù)距離hi和距離h 2的大小確定，例如，如圖3所示，距離lu 大于距離112時，則待取出的基板沿圖3中順時針方向偏轉，即大取出的基板的偏轉方向為圖 3中順時針方向，距離匕小于距離^時，則待取出的基板沿圖3中逆時針方向偏轉，即大取出 的基板的偏轉方向為圖3中逆時針方向；根據(jù)取待取出的基板的偏轉角度和偏轉方向，調(diào)節(jié) 機械手30,使機械手30的支撐梁31沿待取出的基板的偏轉方向相對機械臂20轉動;機械手 30的基板叉齒32將待取出的基板抬起后，調(diào)節(jié)機械手30，使機械手30的支撐梁31沿待取出 的基板的偏轉方向的反方向相對機械臂20轉動;然后使機械手30帶動待取出的基板退出基 板盒200，實現(xiàn)將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出。
[0042]通過距離傳感器33檢測對應的基板叉齒32遠離支撐梁31的端部與待取出的基板 朝向機械手30的側面之間的距離，進而獲取待取出的基板的偏轉角度和偏轉方向，控制機 械手30的支撐梁31，使支撐梁31帶動基板叉齒32沿待取出的基板的偏轉方向相對機械臂20 轉動相應的角度，并使支撐梁31帶動基板叉齒32沿待取出的基板的偏轉方向的反方向相對 機械臂20轉動相應的角度，從而方便將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出，防止基板發(fā)生破 損、劃傷等現(xiàn)象。
[0043]值得指出的是，基板叉齒32的數(shù)量為多個，并在三個或三個以上基板叉齒32上分 別設置距離傳感器33時，可以分別根據(jù)其中兩個基板叉齒32遠離支撐梁31的端部與待取出 的基板朝向機械手30的側面之間的距離，獲取多個試驗角度，然后對多個試驗角度取平均 值，多個試驗角度的平均值為待取出的基板的偏轉角度。如此設計，可以提高待取出的基板 的偏轉角度的精確度。
[0044]在本實用新型實施例中，距離傳感器33可以為反射式光電傳感器，反射式光電傳 感器設置在對應的基板叉齒32遠離支撐梁31的端部。舉例來說，如圖3所示，反射式光電傳 感器設置在基板叉齒32的上端部。當通過反射式光電傳感器檢測對應的基板叉齒32遠離支 撐梁31的端部與待取出的基板朝向機械手30的側面之間的距離時，先使反射式光電傳感器 的發(fā)射端朝向待取出的基板發(fā)出光信號，光信號移動至待取出的基板時，被待取出的基板 反射，光信號則返回至反射式光電傳感器，反射式光電傳感器的接收端接收光信號，根據(jù)光 信號的傳播速度以及接收端接收光信號和發(fā)射端發(fā)射光信號之間的時間差，可以獲取對應 的基板叉齒32遠離支撐梁31的端部與待取出的基板朝向機械手30的側面之間的距離。
[0045] 上述實施例中，基板叉齒32的長度方向可以與支撐梁31的長度方向平行，例如多 個基板叉齒32設置在支撐梁31遠離機械臂20的端部，或者，基板叉齒32的長度方向可以與 支撐梁31的長度方向呈一定夾角，或者，基板叉齒32的長度方向可以與支撐梁31的長度方 向垂直。
[0046] 在本實用新型實施例提供的基板取放裝置中，請繼續(xù)參閱圖1，基板叉齒32的長度 方向與支撐梁31的長度方向垂直，多個基板叉齒32沿支撐梁31的長度方向均勻間隔設置。 基板叉齒32的長度方向與支撐梁31的長度方向垂直，與基板叉齒32的長度方向與支撐梁31 的長度方向平行或呈一定夾角相比，可以改善支撐梁31的各個區(qū)域的受力均勻性，提高基 板叉齒32承載基板時的穩(wěn)定性。多個基板叉齒32沿支撐梁31的長度方向均勻間隔設置，可 以進一步改善支撐梁31的各個區(qū)域的受力均勻性，提高基板叉齒32承載基板時的穩(wěn)定性。 [0047]在上述實施例中，機械臂20的結構可以為多種，例如，機械臂20可以為包括多個伸 縮桿節(jié)的伸縮桿，或者，機械臂20可以為絲桿。在本實用新型實施例中，請繼續(xù)參閱圖1，機 械臂20包括第一機械臂21和第二機械臂22,第一機械臂21的一端與支撐臺10可轉動連接， 第二機械臂22的一端與第一機械臂21遠離支撐臺10的一端可轉動連接，第一機械臂21和第 二機械臂22均在同一平面內(nèi)轉動;機械手30與第二機械臂22遠離第一機械臂21的一端可轉 動連接。具體實施時，圖1中第一機械臂21的右端與支撐臺10可轉動連接，第二機械臂22的 右端與第一機械臂21的左端可轉動連接，機械手30的支撐梁31與第二機械臂22的左端可轉 動連接，第一機械臂21相對支撐臺10轉動時的轉動平面與第二機械臂22相對第一機械臂21 轉動時的轉動平面位于同一平面內(nèi)，當?shù)谝粰C械臂21相對支撐臺10轉動、第二機械臂22相 對第一機械臂21轉動時，可以實現(xiàn)機械臂20伸長和縮短，從而帶動機械手30移動。
[0048]另外，第一機械臂21與支撐臺10可轉動連接，當?shù)谝粰C械臂21相對支撐臺10轉動 時，機械臂20相對支撐臺10轉動，因此，當采用上述實施例提供的基板取放裝置100從基板 盒200內(nèi)取出基板時，調(diào)整第一機械臂21，使第一機械臂21相對支撐臺10轉動，不用移動基 板盒200的位置或者支撐臺10的位置，即可從放置在基板取放裝置100的任何方位的基板盒 200內(nèi)取出基板，從而提高基板取放裝置100的適用性。
[0049] 第一機械臂21與支撐臺10可轉動連接，可以是在支撐臺10上設置可相對支撐臺10 轉動的轉動軸，第一機械臂21與轉動軸固定連接，或者，可以在支撐臺10上固定設置轉動 軸，第一機械臂21與轉動軸可轉動連接;第二機械臂22與第一機械臂21可轉動連接，可以是 在第一機械臂21上設置可相對第一機械臂21轉動的轉動軸，第二機械臂22與轉動軸固定連 接，或者，可以在第一機械臂21上固定設置轉動軸，第二機械臂22與轉動軸可轉動連接;機 械手30與第二機械臂22可轉動連接，可以是在第二機械臂22上設置可相對第二機械臂22轉 動的轉動軸，機械手30與轉動軸固定連接，或者，可以在第二機械臂22上固定設置轉動軸， 機械手30與轉動軸可轉動連接。
[0050] 在本實用新型實施例中，請繼續(xù)參閱圖1，支撐臺10上設置有第一轉軸11，第一轉 軸11可相對支撐臺10轉動，且第一轉軸11可相對支撐臺10升降移動，第一機械臂21與第一 轉軸11固定連接;第一機械臂21上設置有第二轉軸23，第二轉軸23可相對第一機械臂21轉 動，第二機械臂22與第二轉軸23固定連接;第二機械臂22上設置有第三轉軸24，第三轉軸24 可相對第二機械臂22轉動，機械手30與第三轉軸24固定連接;第一轉軸11、第二轉軸23和第 三轉軸24分別與電機連接。
[00511在本實用新型實施例中，通過電機分別驅動第一轉軸11、第二轉軸23和第三轉軸 24,通過第一轉軸11帶動第一機械臂21相對支撐臺10轉動，通過第二轉軸23帶動第二機械 臂22相對第一機械臂21轉動，通過第三轉軸24帶動機械手30相對第二機械臂22轉動，可以 分別改善第一機械臂21相對支撐臺10轉動、第二機械臂22相對第一機械臂21轉動、機械手 30相對第二機械臂22轉動時的穩(wěn)定性。
[0052]請繼續(xù)參閱圖1，在本實用新型實施例提供的基板取放裝置100中，機械手30設置 有對待取出的基板進行吸附的真空吸附孔34。具體實施時，機械手30包括支撐梁31和設置 在支撐梁31上的多個基板叉齒32,支撐梁31固定安裝在第二機械臂22上的第三轉軸24上， 基板叉齒32設置有真空吸附孔34,例如，基板叉齒32的數(shù)量為兩個，每個基板叉齒32設置有 真空吸附孔34,每個基板叉齒32上的真空吸附孔34的數(shù)量可以是一個，也可以是兩個或兩 個以上。當基板叉齒32移動至待取出的基板的下方時，通過真空吸附孔34將待取出的基板 吸附在基板叉齒32上，待取出的基板與基板叉齒32緊貼，基板叉齒32帶動待取出的基板移 動時，可以防止待取出的基板相對基板叉齒32滑動，從而進一步防止待取出的基板發(fā)生破 損、劃傷等現(xiàn)象。
[0053]為了進一步防止待取出的基板發(fā)生破損、劃傷等現(xiàn)象，真空吸附孔34的開口處設 置有吸盤，吸盤與真空吸附孔34連通。舉例來說，請參閱圖1，機械手30的基板叉齒32的數(shù)量 為兩個，每個基板叉齒32上設置有兩個真空吸附孔34,每個真空吸附孔34的開口處還設置 有吸盤，吸盤與對應的真空吸附孔34連通。當吸附待取出的基板時，通過吸盤吸附待取出的 基板，與待取出的基板直接接觸的是吸盤，可以防止待取出的基板直接與真空吸附孔34接 觸時真空吸附孔34的孔壁劃傷待取出的基板，從而進一步防止待取出的基板發(fā)生破損、劃 傷等現(xiàn)象。
[0054]在本實用新型實施例提供的基板取放裝置100中，機械手30上還設置有靜電去除 裝置。具體實施時，靜電去除裝置可以設置在機械手30的基板叉齒32上。靜電去除裝置的設 置，將待取出的基板從基板盒200內(nèi)取出時，可以去除待取出的基板上的靜電，從而防止灰 塵、異物等粘連在待取出的基板上。
[0055] 在上述實施方式的描述中，具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多 個實施例或示例中以合適的方式結合。
[0056] 以上所述，僅為本實用新型的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限 于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內(nèi)，可輕易想到變化 或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應以所述權 利要求的保護范圍為準。
【主權項】
1. 一種基板取放裝置，其特征在于，包括支撐臺、機械臂和機械手，其中，所述機械臂安 裝在所述支撐臺上，所述機械臂可相對所述支撐臺升降移動，且所述機械臂可伸長和縮短； 所述機械手與所述機械臂可轉動連接，所述機械手轉動，帶動基板盒內(nèi)發(fā)生偏轉的待取出 的基板轉動，使待取出的基板回歸正常狀態(tài)后，所述機械手取出待取出的基板，所述正常狀 態(tài)為待取出的基板未發(fā)生偏轉時的狀態(tài)。2. 根據(jù)權利要求1所述的基板取放裝置，其特征在于，所述機械手包括支撐梁和平行設 置在所述支撐梁上的多個基板叉齒，所述支撐梁與所述機械臂可轉動連接，多個所述基板 叉齒遠離所述支撐梁的端部平齊； 多個所述基板叉齒中，至少兩個所述基板叉齒上分別設置有距離傳感器，所述基板叉 齒遠離所述支撐梁的端部與基板盒內(nèi)的基板相對時，所述距離傳感器檢測對應的所述基板 叉齒遠離所述支撐梁的端部與基板朝向所述機械手的側面之間的距離。3. 根據(jù)權利要求2所述的基板取放裝置，其特征在于，所述距離傳感器為反射式光電傳 感器，所述反射式光電傳感器設置在對應的所述基板叉齒遠離所述支撐梁的端部。4. 根據(jù)權利要求2所述的基板取放裝置，其特征在于，所述基板叉齒的長度方向與所述 支撐梁的長度方向垂直，多個所述基板叉齒沿所述支撐梁的長度方向均勻間隔設置。5. 根據(jù)權利要求1所述的基板取放裝置，其特征在于，所述機械臂包括第一機械臂和第 二機械臂，所述第一機械臂的一端與所述支撐臺可轉動連接，所述第二機械臂的一端與所 述第一機械臂遠離所述支撐臺的一端可轉動連接，所述第一機械臂和所述第二機械臂均在 同一平面內(nèi)轉動;所述機械手與所述第二機械臂遠離所述第一機械臂的一端可轉動連接。6. 根據(jù)權利要求5所述的基板取放裝置，其特征在于，所述支撐臺上設置有第一轉軸， 所述第一轉軸可相對所述支撐臺轉動，所述第一轉軸可相對所述支撐臺升降移動，所述第 一機械臂與所述第一轉軸固定連接； 所述第一機械臂上設置有第二轉軸，所述第二轉軸可相對所述第一機械臂轉動，所述 第二機械臂與所述第二轉軸固定連接； 所述第二機械臂上設置有第三轉軸，所述第三轉軸可相對所述第二機械臂轉動，所述 機械手與所述第三轉軸固定連接； 所述第一轉軸、所述第二轉軸和所述第三轉軸分別與電機連接。7. 根據(jù)權利要求1-6任一所述的基板取放裝置，其特征在于，所述機械手設置有對待取 出的基板進行吸附的真空吸附孔。8. 根據(jù)權利要求7所述的基板取放裝置，其特征在于，所述真空吸附孔的開口處設置有 吸盤，所述吸盤與所述真空吸附孔連通。9. 根據(jù)權利要求1-6任一所述的基板取放裝置，其特征在于，所述機械手上還設置有靜 電去除裝置。
【文檔編號】B65G47/90GK205634157SQ201620504639
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月27日
【發(fā)明人】張玉兵, 李朝壘, 裴新華, 劉國鵬, 王鵬, 高建強, 閆宇, 張斌, 梁團, 趙雙會
【申請人】鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司, 京東方科技集團股份有限公司