專利名稱：顯像管內(nèi)吸氣劑鋇膜吸氣能力測試裝置及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及彩色顯像管制造過程中的測試裝置及方法，尤其涉及一種彩色顯像管內(nèi)吸氣劑鋇膜吸氣能力的測試裝置和方法。
背景技術(shù)：
彩色顯像管是電視機的核心部件，而陰極又是彩色顯像管的“心臟”，其發(fā)射電子能力的衰退將會引起圖像亮度下降、對比度淡化、清晰度變差，最終導(dǎo)致“壽終”，即失效。研究表明，陰極發(fā)射不良往往是由于管內(nèi)真空度下降，引起陰極中毒、濺射而造成的。成品顯像管內(nèi)的真空狀態(tài)屬于“準靜態(tài)”，管內(nèi)真空度不僅取決于封離真空度、管內(nèi)材料放氣，還與吸氣劑的吸氣能力有關(guān)。在顯像管的大批量生產(chǎn)中，考慮到生產(chǎn)效率，管子的封離真空度不可能很高，管內(nèi)材料的放氣，尤其是在電子束掃屏過程中熒光屏材料的放氣難于避免。為長期保持管內(nèi)良好的真空質(zhì)量，必須選用吸氣能力優(yōu)良的吸氣劑以確保充分發(fā)揮其吸氣效能。
彩色顯像管中使用的是蒸散型鋇吸氣劑，它的吸氣作用除了管子制造過程中的蒸散吸氣外，主要是以蒸散后沉積在顯像管錐體內(nèi)壁及相關(guān)部件(如內(nèi)磁屏蔽)上的鋇膜通過物理化學(xué)的方法來吸除殘余氣體。吸氣劑是用來吸除管內(nèi)氣源(主要是掃屏?xí)r放氣)所釋放出的氣體、維持并提高管內(nèi)真空度、保護陰極免受損傷、確保顯像管在壽命期內(nèi)正常工作的關(guān)鍵部件。吸氣劑鋇膜沉積的位置、面積與微觀結(jié)構(gòu)(氣孔率，即“比表面積”)是決定其吸氣性能的關(guān)鍵條件，而吸氣劑蒸散后在管內(nèi)所形成的鋇膜的吸氣能力好壞又將直接影響顯像管的性能和壽命。
因此，在監(jiān)控彩色顯像管生產(chǎn)質(zhì)量的過程中，需要對彩顯管的真空質(zhì)量作測試，尤其要對彩顯管內(nèi)吸氣劑鋇膜的吸氣能力作一個準確、便捷、快速的測試。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于滿足了吸氣劑鋇膜吸氣能力測試上的要求，提供了一種顯像管內(nèi)吸氣劑鋇膜吸氣能力測試裝置及方法，它能快速而準確地測出吸氣劑鋇膜的吸氣能力，縮短測試時間，提高測試效率。
本發(fā)明的技術(shù)方案為一種顯像管內(nèi)吸氣劑鋇膜吸氣能力測試裝置，其中，所述測試裝置包括取樣系統(tǒng)，包括被測顯像管、取樣玻管、擊破錘、磁鐵，所述被測顯像管為成品彩色顯像管，所述顯像管的錐體部分有一凹坑，所述凹坑上連接一段所述取樣玻管，所述擊破錘在管外所述磁鐵的吸引下沿所述取樣玻管內(nèi)移動；通用含氣系數(shù)測試儀，所述測試儀經(jīng)真空校準且與所述顯像管中的電子槍連接，所述電子槍是所述通用含氣系數(shù)測試儀的傳感器，所述通用含氣系數(shù)測試儀用于連續(xù)測量所述被測顯像管內(nèi)的含氣系數(shù)值及真空度；進氣端壓力測量儀，包括B-A規(guī)和超高真空計，所述B-A規(guī)是進氣端壓力的傳感器，所述B-A規(guī)連接在所述取樣系統(tǒng)的管道上，用于采集所述被測顯像管進氣端的壓力，所述超高真空計用于顯示所述B-A規(guī)測得的壓力值。
測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)，所述系統(tǒng)分別與所述通用含氣系數(shù)測試儀和所述超高真空計連接，用于接收采集的數(shù)據(jù)，計算所述鋇膜的瞬時吸氣速率和累計吸氣量；超高質(zhì)譜分析與抽氣系統(tǒng)包括抽氣裝置、質(zhì)譜分析室、質(zhì)譜計和超高真空電離規(guī)，所述抽氣裝置通過閥門分別與所述取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室連接，所述質(zhì)譜分析室通過閥門分別與所述取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜計連接，所述超高真空電離規(guī)與所述質(zhì)譜分析室連通；試驗氣體供氣、貯存和穩(wěn)壓系統(tǒng)，包括供氣裝置、減壓器、減壓閥、貯氣室、真空電離規(guī)、壓阻規(guī)、高真空抽氣系統(tǒng)，所述供氣裝置的出氣端連接所述減壓器，所述減壓器通過所述減壓閥與所述貯氣室連通，所述真空電離規(guī)和壓阻規(guī)連接所述貯氣室，所述高真空抽氣系統(tǒng)通過閥門與所述貯氣室連接，所述貯氣室通過微調(diào)閥與所述質(zhì)譜分析室連接。
上述的測試裝置，其中，所述凹坑的直徑為6mm，剩余壁厚為0.5mm，所述取樣玻管通過密封膠粘接在所述凹坑周圍；所述取樣玻管的頂端在測試過程中用于貯存所述擊破錘，所述擊破錘采用鐵磁性材料。
上述的測試裝置，其中，所述抽氣裝置包括順序相連的機械泵、吸附阱、渦輪分子泵以及并聯(lián)的離子泵，所述渦輪分子泵分別通過閥門與所述取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室連通，所述離子泵通過閥門與所述質(zhì)譜分析室連通。
上述的測試裝置，其中，所述通用含氣系數(shù)測試儀與所述超高真空計經(jīng)標準的動平衡比對校準系統(tǒng)校準。
采用上述測試裝置的鋇膜吸氣能力測試方法，其中，包括以下步驟(a)預(yù)處理，采用加熱烘烤和抽取氣體的方式提高取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室的真空度，接著用超高真空電離規(guī)檢測含取樣玻管的質(zhì)譜分析室內(nèi)的真空度，若符合設(shè)定的要求則進入步驟(b)；(b)殘氣分析，采用成品彩色顯像管作為被測管，用擊破錘擊破顯像管錐體上凹坑底部的薄壁，使顯像管內(nèi)的氣體擴散至取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室，測出此時的真空度和各氣體的分壓力；(c)用抽氣系統(tǒng)抽取被測顯像管、取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室內(nèi)的殘余氣體，提高真空度；(d)隔離被測顯像管與抽氣系統(tǒng)，隔離質(zhì)譜計、離子泵與質(zhì)譜分析室；(e)把試驗氣體充入質(zhì)譜分析室中，同時穩(wěn)定質(zhì)譜分析室內(nèi)的試驗氣體氣壓；(f)開啟通用含氣系數(shù)測試儀和超高真空計，把顯像管內(nèi)的電子槍作為所述通用含氣系數(shù)測試儀的傳感器，接著使試驗氣體進入被測顯像管內(nèi)，在超高真空計的測量值保持穩(wěn)定的同時使用通用含氣系數(shù)測試儀測量被測顯像管內(nèi)的含氣系數(shù)值和壓力值，由測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)實時計算鋇膜吸氣速率和累計吸氣量，當終端吸氣速率降到設(shè)定值后，測試停止。
上述的吸氣能力測試方法，其中，在步驟(a)中，先使用抽氣系統(tǒng)對取樣玻管抽真空并以250℃加熱超過8小時，再對取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室以250℃加熱10-12小時。
上述的吸氣能力測試方法，其中，所述步驟(a)中，所述設(shè)定的要求是含取樣玻管的質(zhì)譜分析室內(nèi)的壓力值小于等于10-7Pa量級。
上述的吸氣能力測試方法，其中，所述步驟(c)中，將真空度提高至含氣系數(shù)小于等于0.002。
上述的吸氣能力測試方法，其中，所述步驟(e)中，試驗氣體氣壓穩(wěn)定在1.3×10-1Pa。
上述的吸氣能力測試方法，其中，所述步驟(f)中，所述超高真空計的測量值穩(wěn)定在9×10-2Pa，至吸氣速率為1L/s時測試結(jié)束。
本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明以成品彩色顯像管作為測試容器，用經(jīng)過真空校準的GR計充當Pg(管內(nèi)壓力)測量儀器，用顯像管內(nèi)的電子槍作為Pg測量儀器的傳感器，還使用測試數(shù)據(jù)自動采集、貯存和處理系統(tǒng)處理采集數(shù)據(jù)實時計算當前吸氣速率和累計吸氣量。本發(fā)明能在較短時間內(nèi)測量出彩色顯像管內(nèi)吸氣劑鋇膜的吸氣能力，用以判定彩色顯像管的內(nèi)在質(zhì)量，預(yù)估因真空因素導(dǎo)致失效的顯像管壽命水平，信息反饋速度快，更能及時反映工藝或材料變更對成品顯像管帶來的影響；還能用來比較不同廠家生產(chǎn)的吸氣劑吸氣性能的優(yōu)劣、客觀評價彩色顯像管各條生產(chǎn)線工程能力利用率的合理性以及為管子壽終機理分析提供可靠的測試數(shù)據(jù)。


圖1是本發(fā)明彩色顯像管吸氣劑鋇膜吸氣性能測試裝置的示意圖。
圖2是本發(fā)明被測顯像管取樣裝置的示意圖。
圖3是本發(fā)明彩色顯像管吸氣劑鋇膜吸氣性能測試方法的流程圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明作進一步的描述。
圖1示出了本發(fā)明鋇膜吸氣性能的測試裝置。如圖1所示，取樣系統(tǒng)主要由被測顯像管7、取樣玻管12、擊破錘9組成。在本發(fā)明中，被測顯像管7不是空白玻管，而是成品的彩色顯像管。請再參閱圖2，在被測彩顯管錐體某位置上鉆出了一個凹坑40，該凹坑40的直徑為6mm、剩余壁厚為0.5mm。用低蒸汽壓的環(huán)氧樹脂封膠11將一段取樣玻管12粘接在凹坑40周圍。在取樣玻管12內(nèi)還放置了擊破錘9，擊破錘9采用鐵磁性材料制作，錐體向下設(shè)置?；氐綀D1，在取樣玻管12側(cè)壁上開有一圓孔，該圓孔熔接一段大致為∩型的管道。取樣玻管12頂端用于存放擊破錘9，存放處稱為存放管10。在取樣玻管12外側(cè)設(shè)置一塊磁鐵，該磁鐵控制擊破錘9在取樣玻管12中移動。
通用含氣系數(shù)測試儀4的測量電纜接在被測彩顯管7的電子槍插座上，電子槍作為通用含氣系數(shù)測試儀4的傳感器，用于連續(xù)測量管內(nèi)的含氣系數(shù)和真空度。測試儀特點如下①經(jīng)標準的動平衡比對校準系統(tǒng)校準，不僅可以根據(jù)各種管型的測試條件(電參數(shù))分別測出被測管的GR值(含氣系數(shù)值)，還能顯示相應(yīng)的管內(nèi)真空度；②儀器不僅可以自動完成單次GR值的測試，還可以“周期”性進行測試。其測試“周期”分為多檔，當“選擇開關(guān)”置于“連續(xù)”檔時，儀器可不斷地顯示并輸出所測得的GR值和相應(yīng)的管內(nèi)真空度(P值)，其數(shù)據(jù)循環(huán)采集周期為10秒；③在測試過程中，本儀器可連續(xù)將測得的不斷變化著的GR值和P值顯示并輸至處理系統(tǒng)，此時它還承擔(dān)測試管內(nèi)真空度(Pg)的作用。
進氣端壓力測量儀，由B-A規(guī)G2和帶RS232串行口的數(shù)顯超高真空計5承擔(dān)。B-A規(guī)G2作為超高真空計5的傳感器，連接在取樣系統(tǒng)的管道上，用于采集被測顯像管7進氣端的壓力。真空計5的量程拓寬后為10-1-10-8Pa。規(guī)管G2及超高真空計5經(jīng)標準的動平衡比對校準系統(tǒng)校準，采集的數(shù)據(jù)由RS232輸至電腦貯存。
測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)6是一臺微機，與通用含氣系數(shù)測試儀4和超高真空計5連接，用于接收兩者采集來的數(shù)據(jù)，并根據(jù)設(shè)定的程序處理數(shù)據(jù)，實時計算吸氣劑鋇膜的當前吸氣速率和累計吸氣量。
超高質(zhì)譜分析與抽氣系統(tǒng)包括抽氣裝置、質(zhì)譜分析室25、四極質(zhì)譜計26和超高真空電離規(guī)27。抽氣裝置中，機械泵21、吸附阱22和渦輪分子泵23順序連成一體，與之并聯(lián)的是離子泵24。質(zhì)譜分析室25經(jīng)閥門V3和取樣系統(tǒng)連通，超高真空電離規(guī)27和質(zhì)譜分析室25連通，四極質(zhì)譜計26經(jīng)閥門V4與質(zhì)譜分析室25連通。渦輪分子泵23分別經(jīng)閥門V1、V2與質(zhì)譜分析室25和取樣系統(tǒng)連通，離子泵24經(jīng)閥門V5與質(zhì)譜分析室25連通。
試驗氣體供氣、貯存和穩(wěn)壓系統(tǒng)中，CO供氣鋼瓶31的出氣端連接減壓器32，減壓器32通過減壓閥33連接貯氣室34。貯氣室34上連有真空電離規(guī)35和壓阻規(guī)36，真空電離規(guī)35用于測量貯氣室34內(nèi)充入CO前的本底真空度，壓阻規(guī)36可測量貯氣室34的氣壓，結(jié)合由壓阻規(guī)36自動控制啟閉的減壓閥33，可確保貯氣室34中的氣壓保持穩(wěn)定。高真空抽氣系統(tǒng)37通過閥門V8連通貯氣室34。貯氣室34通過微調(diào)閥V6連接質(zhì)譜分析室25。
可以采用上述裝置快速準確地測試顯像管內(nèi)吸氣劑鋇膜吸氣能力。請參見圖1和圖3，具體步驟如下第一步，進行測試前預(yù)處理301。首先，打開閥門V2，由機械泵21、吸附阱22和渦輪分子泵23順序連成一體的抽氣系統(tǒng)對取樣玻管12抽真空，并用加熱裝置對該玻管12單獨加熱烘烤除氣，加熱溫度為250℃，加熱時間≥8小時。然后打開閥門V1、V3，用加熱裝置對取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室25同時加熱烘烤除氣，加熱溫度仍為250℃，時間為10-12小時。
待烘烤結(jié)束、系統(tǒng)溫度降至室溫后，先后在閥門V1、V2、V5打開和關(guān)閉的狀態(tài)下分別測出含取樣玻管的質(zhì)譜分析室25的動態(tài)和靜態(tài)真空度及殘余氣體分壓力。用超高真空電離規(guī)27測得動態(tài)真空度，若該值為10-7量級，則符合要求，進行下一步處理，與此同時，四極質(zhì)譜計26測得當時系統(tǒng)內(nèi)的殘氣成分主要是H2，還有H2O、N2等。
第二步，進行殘氣分析302。首先，打開閥門V1、V5，重新對取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室25抽氣。當四極質(zhì)譜計顯示的總壓力恢復(fù)到10-7量級時，同時關(guān)閉閥門V1、V5，用磁鐵吸引取樣玻管12內(nèi)的擊破錘9，將其提升到一定高度后放下，從而把被測彩色顯像管7錐體上凹坑底部的薄壁擊破，使管內(nèi)氣體擴散至整個質(zhì)譜分析系統(tǒng)，約經(jīng)3-5分鐘后，各氣體分壓力趨于平衡，用電腦采集并貯存此時的真空度和殘氣分壓力，殘氣分析過程結(jié)束。
第三步，抽取殘余氣體，提高真空度303。使正式測試前被測顯像管內(nèi)的GR(或Pg)滿足設(shè)定要求(GR≤0.002)。例如，剛下線的成品管內(nèi)殘氣中Ar占絕大多數(shù)，壽試管內(nèi)往往含有大量CH4，它們均不能被鋇膜吸除。因此要準確測試吸氣劑對CO的吸氣性能，必須事先將它們及管內(nèi)其它殘余氣體抽除。具體操作是先后打開閥門V1、V5，用渦輪分子泵23和離子泵24將被測管內(nèi)真空度抽高，直至GR≤0.002為止。在此期間，可用四極質(zhì)譜計26監(jiān)測管內(nèi)的殘氣成分。
第四步，隔離被測管和抽氣系統(tǒng)，隔離四極質(zhì)譜計、離子泵和質(zhì)譜分析室304。只要關(guān)閉閥門V2-V5即可。
第五步，將試驗氣體充至質(zhì)譜分析室中，并保持分析室內(nèi)的試驗氣體氣壓穩(wěn)定305。在CO鋼瓶31供氣之前，要用高真空抽氣系統(tǒng)37結(jié)合烘烤除氣方法降低貯氣室34內(nèi)的真空度，直至電離真空規(guī)G3測得本底真空度優(yōu)于10-7Pa量級。測試用的CO氣體純度不應(yīng)低于99.8％。先將閥門V1關(guān)小，一般僅開兩圈，緩緩調(diào)節(jié)真空微調(diào)閥V6，充入CO氣體，使超高真空計27測得的CO動平衡壓力穩(wěn)定在1.3×10-7Pa。此時，渦輪分子泵23在閥門V1限流的條件下，抽除極少量的CO氣體，通過分流起到穩(wěn)定系統(tǒng)內(nèi)氣壓的作用。
第六步，開啟通用含氣系數(shù)測試儀和超高真空計，用測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)實時計算吸氣速率和累計吸氣量306。事先向系統(tǒng)中輸入相關(guān)資料，比如管型及相應(yīng)的lg(P)＝Alg(GR)+B中的A、B值、試樣說明、已知流導(dǎo)值C、終端吸氣速率設(shè)定值。其中l(wèi)g(P)＝Alg(GR)+B是某確定管型中含氣系數(shù)GR和壓力值P之間的轉(zhuǎn)換公式，對于不同的管型，其A、B值是不同的。開啟通用含氣系數(shù)測試儀4和超高真空計5，打開閥門V3后，使試驗氣體通過已知流導(dǎo)8進入被測彩色顯像管7，B-A規(guī)G2顯示值自動平衡在10-2Pa量級，點擊系統(tǒng)“測試”鍵，吸氣性能測試過程便開始自動進行。
在測試過程中，系統(tǒng)顯示屏上不僅能顯示超高真空計5測得的當前進氣端壓力值Pm(t)和通用含氣系數(shù)測試儀4測得的管內(nèi)當前含氣系數(shù)值GR(t)及其對應(yīng)的壓力值Pg(t)外，還同步顯示計算結(jié)果鋇膜吸氣劑當前吸氣速率S(t)和吸氣劑鋇膜從測試開始至當前的累計吸氣量∑Q(t)。當測得的當前吸氣速率S(t)≤事先設(shè)定的終端吸氣速率Send(通常Send＝1L/s)時，測試過程自動停止。測試過程中各參數(shù)隨時間的變化和測試結(jié)果均可用表格或曲線的形式顯示和打印出來。
其測試方法的原理是動態(tài)定壓法，利用處于分子流狀態(tài)下的試驗氣體CO，流過由連接管道和被測顯像管錐體上已被擊穿的小孔串聯(lián)組成的已知流導(dǎo)進入被測管時，由于管內(nèi)吸氣劑鋇膜的吸氣作用，在管內(nèi)外(已知流導(dǎo)兩端)出現(xiàn)壓力差的現(xiàn)象，通過恒定進氣端壓力Pm(t)，測量另一端(成品彩顯管內(nèi))隨時間t變化的壓力值Pg(t)，再結(jié)合流導(dǎo)值C分別求出各個時刻的吸氣速率S(t)和某一時間間隔內(nèi)的吸氣量Q(t)。
吸氣速率S(t)指吸氣劑鋇膜在一定壓力下，單位時間內(nèi)所吸著的氣體體積，它是在彩顯管內(nèi)存在氣源時能維持管內(nèi)真空度高低的能力量度。S(t)的值由 計算出。吸氣量Q(t)指吸氣劑鋇膜在特定時間內(nèi)所吸著的試驗氣體量，計算公式為Q(t)＝C∫t0(Pm(t)-Pg(t))dt。這些計算均由測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)內(nèi)部處理，最終實時顯示計算結(jié)果。
值得注意的是，在本發(fā)明的測試方法中，是用成品彩色顯像管作為被測容器；將通用含氣系數(shù)測試儀連接顯像管中的電子槍，以電子槍作為傳感器；測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)可實時根據(jù)采集的數(shù)據(jù)計算吸氣速率和累計吸氣量。
上述實施例是提供給本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來實現(xiàn)或使用本發(fā)明的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可在不脫離本發(fā)明的發(fā)明思想的情況下，對上述實施例做出種種修改或變化，因而本發(fā)明的保護范圍并不被上述實施例所限，而應(yīng)該是符合權(quán)利要求書提到的創(chuàng)新性特征的最大范圍。
權(quán)利要求
1一種顯像管內(nèi)吸氣劑鋇膜吸氣能力測試裝置，其特征在于，所述測試裝置包括取樣系統(tǒng)，包括被測顯像管、取樣玻管(12)、擊破錘(9)、磁鐵(50)，所述被測顯像管為成品彩色顯像管(7)，所述顯像管(7)的錐體部分有一凹坑(40)，所述凹坑(40)上連接一段所述取樣玻管(12)，所述擊破錘(9)在管外所述磁鐵(50)的吸引下沿所述取樣玻管(12)內(nèi)移動；通用含氣系數(shù)測試儀(4)，所述測試儀(4)經(jīng)真空校準且與所述顯像管(7)中的電子槍連接，所述電子槍是所述通用含氣系數(shù)測試儀(4)的傳感器，所述通用含氣系數(shù)測試儀(4)用于連續(xù)測量所述被測顯像管內(nèi)的含氣系數(shù)值及真空度；進氣端壓力測量儀，包括B-A規(guī)(G2)和超高真空計(5)，所述B-A規(guī)(G2)是進氣端壓力的傳感器，所述B-A規(guī)(G2)連接在所述取樣系統(tǒng)的管道上，用于采集所述被測顯像管(7)進氣端的壓力，所述超高真空計(5)用于顯示所述B-A規(guī)(G2)測得的壓力值。測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)(6)，所述系統(tǒng)(6)分別與所述通用含氣系數(shù)測試儀(4)和所述超高真空計(5)連接，用于接收采集的數(shù)據(jù)，計算所述鋇膜的瞬時吸氣速率和累計吸氣量；超高質(zhì)譜分析與抽氣系統(tǒng)包括抽氣裝置、質(zhì)譜分析室(25)、質(zhì)譜計(26)和超高真空電離規(guī)(27)，所述抽氣裝置通過閥門分別與所述取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室(25)連接，所述質(zhì)譜分析室(25)通過閥門分別與所述取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜計(26)連接，所述超高真空電離規(guī)(27)與所述質(zhì)譜分析室(25)連通；試驗氣體供氣、貯存和穩(wěn)壓系統(tǒng)，包括供氣裝置(31)、減壓器(32)、減壓閥(33)、貯氣室(34)、真空電離規(guī)(35)、壓阻規(guī)(36)、高真空抽氣系統(tǒng)(37)，所述供氣裝置(31)的出氣端連接所述減壓器(32)，所述減壓器(32)通過所述減壓閥(33)與所述貯氣室(34)連通，所述真空電離規(guī)(35)和壓阻規(guī)(36)連接所述貯氣室(34)，所述高真空抽氣系統(tǒng)(37)通過閥門與所述貯氣室(34)連接，所述貯氣室(34)通過微調(diào)閥(V6)與所述質(zhì)譜分析室(25)連接。
2根據(jù)權(quán)利要求1所述的測試裝置，其特征在于，所述凹坑(40)的直徑為6mm，剩余壁厚為0.5mm，所述取樣玻管(12)通過密封膠(11)粘接在所述凹坑(40)周圍；所述取樣玻管(12)的頂端在測試過程中用于貯存所述擊破錘(9)，所述擊破錘(9)采用鐵磁性材料。
3根據(jù)權(quán)利要求2所述的測試裝置，其特征在于，所述抽氣裝置包括順序相連的機械泵(21)、吸附阱(22)、渦輪分子泵(23)以及并聯(lián)的離子泵(24)，所述渦輪分子泵(23)分別通過閥門與所述取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室(25)連通，所述離子泵(24)通過閥門與所述質(zhì)譜分析室(25)連通。
4根據(jù)權(quán)利要求3所述的測試裝置，其特征在于，所述通用含氣系數(shù)測試儀(4)與所述超高真空計(5)經(jīng)標準的動平衡比對校準系統(tǒng)校準。
5一種采用所述測試裝置的鋇膜吸氣能力測試方法，其特征在于，包括以下步驟(a)預(yù)處理，采用加熱烘烤和抽取氣體的方式提高取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室(25)的真空度，接著用超高真空電離規(guī)(27)檢測含取樣玻管的質(zhì)譜分析室(25)內(nèi)的真空度，若符合設(shè)定的要求則進入步驟(b)；(b)殘氣分析，采用成品彩色顯像管(7)作為被測管，用擊破錘(9)擊破顯像管(7)錐體上凹坑底部的薄壁，使顯像管(7)內(nèi)的氣體擴散至取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室(25)，測出此時的真空度和各氣體的分壓力；(c)用抽氣系統(tǒng)抽取被測顯像管(7)、取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室(25)內(nèi)的殘余氣體，提高真空度；(d)隔離被測顯像管(7)與抽氣系統(tǒng)，隔離質(zhì)譜計(26)、離子泵(24)與質(zhì)譜分析室(25)；(e)把試驗氣體充入質(zhì)譜分析室(25)中，同時穩(wěn)定質(zhì)譜分析室(25)內(nèi)的試驗氣體氣壓；(f)開啟通用含氣系數(shù)測試儀(4)和超高真空計(5)，把顯像管(7)內(nèi)的電子槍作為所述通用含氣系數(shù)測試儀(4)的傳感器，接著使試驗氣體進入被測顯像管(7)內(nèi)，在超高真空計(5)的測量值保持穩(wěn)定的同時使用通用含氣系數(shù)測試儀(4)測量被測顯像管(7)內(nèi)的含氣系數(shù)值和壓力值，由測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)(6)實時計算鋇膜吸氣速率和累計吸氣量，當終端吸氣速率降到設(shè)定值后，測試停止。
6根據(jù)權(quán)利要求5所述的吸氣能力測試方法，其特征在于，在步驟(a)中，先使用抽氣系統(tǒng)對取樣玻管抽真空并以250℃加熱超過8小時，再對取樣系統(tǒng)和質(zhì)譜分析室(25)以250℃加熱10-12小時。
7根據(jù)權(quán)利要求6所述的吸氣能力測試方法，其特征在于，所述步驟(a)中，所述設(shè)定的要求是含取樣玻管的質(zhì)譜分析室(25)內(nèi)的壓力值小于等于10-7Pa量級。
8根據(jù)權(quán)利要求7所述的吸氣能力測試方法，其特征在于，所述步驟(c)中，將真空度提高至含氣系數(shù)小于等于0.002。
9根據(jù)權(quán)利要求8所述的吸氣能力測試方法，其特征在于，所述步驟(e)中，試驗氣體氣壓穩(wěn)定在1.3×10-1Pa。
10根據(jù)權(quán)利要求9所述的吸氣能力測試方法，其特征在于，所述步驟(f)中，所述超高真空計(5)的測量值穩(wěn)定在9×10-2Pa，至吸氣速率為1L/s時測試結(jié)束。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種顯像管內(nèi)吸氣劑鋇膜吸氣能力測試裝置及方法，其技術(shù)方案為裝置包括取樣系統(tǒng)、通用含氣系數(shù)測試儀、進氣端壓力測量儀、測試數(shù)據(jù)自動處理系統(tǒng)、超高質(zhì)譜分析與抽氣系統(tǒng)和試驗氣體供氣、貯存和穩(wěn)壓系統(tǒng)；測試方法包括預(yù)處理、殘氣分析、充入CO氣體，測量管子進氣端壓力和管內(nèi)壓力，計算吸氣速率和吸氣容量。本發(fā)明以成品彩色顯像管作為被測容器，采用顯像管電子槍作為測量管內(nèi)真空度的傳感器。本發(fā)明應(yīng)用于對彩顯管內(nèi)吸氣劑鋇膜的吸氣能力作一個準確、便捷、快速的測試。
文檔編號H01J9/42GK1992128SQ20051011214
公開日2007年7月4日 申請日期2005年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月28日
發(fā)明者錢永生, 孫公方 申請人:上海永新彩色顯像管股份有限公司