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顯示面板及其電極基板與電極面板的制作方法

文檔序號(hào):2972696閱讀:195來源:國知局
專利名稱:顯示面板及其電極基板與電極面板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種顯示面板及其電極基板與電極面板,特別是指一種平面顯示器的顯示面板、平面顯示器的電極基板及平面顯示器的電極面板。
背景技術(shù)
如圖1所示,目前所使用的平面顯示器的電極基板4具有一基板41、一電極層42以及一導(dǎo)線層43,電極層42形成于基板41上,而導(dǎo)線層43形成于電極層42上。其中,導(dǎo)線層43的材質(zhì)選自低電阻率的金屬或其合金,一般常用的如銀合金等。
于平面顯示器的制程中,其利用蝕刻液將電極基板4中的導(dǎo)線層43蝕刻成實(shí)際所需的導(dǎo)電線的圖樣或是輔助導(dǎo)電線的圖樣,接著再于電極基板4上形成發(fā)光區(qū)與相對電極,最后再與驅(qū)動(dòng)元件(如驅(qū)動(dòng)芯片)接合以形成顯示面板。
其中,在電極基板4上形成導(dǎo)電線圖樣或是輔助導(dǎo)電線圖樣的制程中,將一光阻層5形成于導(dǎo)線層43(銀合金)上,接著再將一具有圖樣的光罩6設(shè)置于光阻層5之上,同時(shí)并照射一紫外光(UV light),如圖2所示,接下來再進(jìn)行顯影步驟,最后,再利用蝕刻液進(jìn)行蝕刻,以使導(dǎo)線層43蝕刻成所需的導(dǎo)電線的圖樣;然而,導(dǎo)線層43(銀合金)容易因照射紫外光而發(fā)生氧化(變黑)的情形,導(dǎo)致導(dǎo)線層43的電阻值升高以及與光阻層5之間附著性的下降,并且在后續(xù)的制程中,驅(qū)動(dòng)元件(驅(qū)動(dòng)芯片)加壓貼合于導(dǎo)電線上,已氧化的導(dǎo)電線將不易與驅(qū)動(dòng)元件貼合,可能會(huì)造成脫落驅(qū)動(dòng)元件的現(xiàn)象,更進(jìn)一步影響顯示面板的穩(wěn)定性。另外,當(dāng)顯示面板使用時(shí),導(dǎo)電線亦容易與外界的氧或硫反應(yīng),同時(shí)再加上電流通過時(shí)所產(chǎn)生的熱,而導(dǎo)致導(dǎo)電線氧化甚至燒毀。
有鑒于此,一般使用的主動(dòng)驅(qū)動(dòng)平面顯示器(如AMLCD)其所使用的金屬導(dǎo)電線大多為一些過渡金屬如錳(Mo)、鉻(Cr)或鉭(Ta)的合金。在制作這些金屬導(dǎo)電線時(shí)其薄膜沉積厚度不可太厚才可獲得較好的薄膜貼覆性(step-coverage)。然而,薄的金屬導(dǎo)電線將導(dǎo)致導(dǎo)電線的阻值升高,致使信號(hào)的RC-delay變大。因此,這些過渡金屬所制作的平面顯示面板的大小將被限制。所以,為了要制作大尺寸平面顯示面板,必須發(fā)展出具有超低阻值的金屬導(dǎo)電線制程或材料。
而從金屬導(dǎo)電線制程的角度來看,為了得到較低的阻值,必須采用較厚及較寬的金屬薄膜。但是厚的金屬薄膜其缺點(diǎn)為將產(chǎn)生較差的貼覆性及孔隙形成(pinhole formation)。目前雖以使用特殊的斜角蝕刻(taper etching)制程加以改善,但如此又將導(dǎo)致制程成本的增加。更有甚者,較寬的金屬薄膜則不僅減少像素的開口率而且又增加導(dǎo)電線的寄生電容(parasitic capacitance)。因此,較厚及較寬的金屬薄膜制程并不可行。
近來曾有提議以平坦化的金屬導(dǎo)電線制程改善貼覆性及減少孔隙形成。但是,平坦化的制程需要額外的制程步驟及材料且平坦化的結(jié)果又將增加寄生電容值。所以綜合以上的結(jié)果,從改善材料的本質(zhì)是較可行。
為適應(yīng)以上的要求,鋁因?yàn)榫哂械偷淖柚导爸瞥痰暮喴仔裕虼耸紫缺话l(fā)展出來。但是因?yàn)殇X在較高溫及大電流流動(dòng)的情況下容易產(chǎn)生突出物(hillock),致使導(dǎo)電線產(chǎn)生短路或斷路的情況,導(dǎo)致顯示面板產(chǎn)生可靠度的問題。而銅,具有更低的阻值,為另一個(gè)更佳的應(yīng)用材料。但是,銅對于玻璃基板的黏著性較差、表面易氧化、且不容易蝕刻。因此,制程上的調(diào)變或成分上的改變是無可避免的。如此,制程成本以及復(fù)雜度大幅地增加,所以并不符合大量制造生產(chǎn)有機(jī)電激發(fā)光裝置的要求。
此外,在TFT-LCD(薄膜晶體管液晶顯示器)的制程中,利用鉻/鋁/鉻或是鉬/鋁/鉬的三層金屬結(jié)構(gòu)當(dāng)作導(dǎo)電線的材料,以避免產(chǎn)生上述的問題。但是,在此種導(dǎo)電線的制作上,必須利用到兩種不同的蝕刻液。一開始,先利用第一蝕刻液蝕刻上層鉻(鉬)金屬,接著再利用第二蝕刻液蝕刻中間層鋁金屬,最后再利用第一蝕刻液蝕刻下層鉻(鉬)金屬,亦即必須進(jìn)行三次的蝕刻步驟,不僅制程步驟復(fù)雜,而且亦增加整體的成本,并不適合實(shí)際工業(yè)上的應(yīng)用。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于上述課題,本發(fā)明的目的是提供一種具有兩層保護(hù)層的顯示面板及顯示面板用的電極基板與電極面板,該等保護(hù)層能夠保護(hù)導(dǎo)線層(導(dǎo)電線)而使導(dǎo)線層不易氧化燒毀,同時(shí)亦可控制所蝕刻出的導(dǎo)電線的形狀。
于本發(fā)明中,顯示面板及其電極基板與電極面板是用于平面顯示器中。
為達(dá)上述目的,依本發(fā)明的一種平面顯示器的電極基板,至少包含一基板、一電極層、一第一保護(hù)層、一第二保護(hù)層以及一導(dǎo)線層。其中,電極層形成于基板之上;第一保護(hù)層形成于電極層之上;第二保護(hù)層形成于第一保護(hù)層之上;導(dǎo)線層位于第一保護(hù)層與第二保護(hù)層之間。
為達(dá)上述目的,依本發(fā)明的一種平面顯示器的電極面板,至少包含一基板、一電極層圖樣、一第一保護(hù)層圖樣、一第二保護(hù)層圖樣以及一導(dǎo)電線圖樣。其中,電極層圖樣形成于基板之上,電極層圖樣具有數(shù)條電極線;第一保護(hù)層圖樣形成于電極層圖樣之上;第二保護(hù)層圖樣形成于第一保護(hù)層圖樣之上;導(dǎo)電線圖樣位于第一保護(hù)層圖樣與第二保護(hù)層圖樣之間,導(dǎo)電線圖樣具有至少一導(dǎo)電線。
為達(dá)上述目的,依本發(fā)明的一種平面顯示器的顯示面板,至少包含一基板、一發(fā)光區(qū)、一驅(qū)動(dòng)元件、一第一保護(hù)層、一第二保護(hù)層以及一導(dǎo)電線圖樣。其中,發(fā)光區(qū)具有數(shù)個(gè)畫素,該等畫素分別具有一第一電極、一第二電極以及一發(fā)光層,第一電極形成于基板上,第二電極形成于第一電極之上,發(fā)光層位于第一電極與第二電極之間;驅(qū)動(dòng)元件用以驅(qū)動(dòng)該等畫素;第一保護(hù)層位于基板之上;第二保護(hù)層位于第一保護(hù)層之上;導(dǎo)電線圖樣位于第一保護(hù)層與第二保護(hù)層之間,且導(dǎo)電線圖樣具有數(shù)條導(dǎo)電線,該等導(dǎo)電線分別連接第一電極與驅(qū)動(dòng)元件以及第二電極與驅(qū)動(dòng)元件。于本發(fā)明中,平面顯示器包括但不限定為一有機(jī)電激發(fā)光(Organic Electroluminescence,OEL)顯示器、無機(jī)電激發(fā)光(Electroluminescence,EL)顯示器、發(fā)光二極管(Light EmittingDiode,LED)顯示器、液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)、電漿顯示器(Plasma Display Panel,PDP)、真空螢光顯示器(VacuumFluorescent Display,VFD)、場致發(fā)射顯示器(Field Emission Display,F(xiàn)ED)與電致變色顯示器(Electro-chromic Display)等。
承上所述,本發(fā)明的一種顯示面板及其電極基板與電極面板具有兩層保護(hù)層,該等保護(hù)層用以保護(hù)導(dǎo)線層(導(dǎo)電線)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明有下列幾項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)第一、本發(fā)明的保護(hù)層能夠避免導(dǎo)線層因照射紫外光而產(chǎn)生氧化的情形,進(jìn)而減少導(dǎo)線層電阻值的上升,更可增加導(dǎo)線層與光阻層之間的附著性。同時(shí),當(dāng)顯示面板于使用時(shí),保護(hù)層亦可避免導(dǎo)電線受外界的氧或硫影響而發(fā)生氧化甚至燒毀的情形;第二、本發(fā)明的保護(hù)層亦可增加導(dǎo)電線與驅(qū)動(dòng)元件以及導(dǎo)電線與電極層之間的黏著度,更可確保顯示面板的穩(wěn)定性;第三、本發(fā)明更可控制蝕刻后導(dǎo)電線的形狀,如導(dǎo)電線的橫截面形狀分別由靠近第一保護(hù)層與第二保護(hù)層的位置朝中央限縮(類似沙漏形狀),所以導(dǎo)電線與電極層的接合面積以及導(dǎo)電線與驅(qū)動(dòng)元件的接合面積較大,使得導(dǎo)電線與電極層之間以及導(dǎo)電線與驅(qū)動(dòng)元件之間的接合度更為緊密,亦可確保顯示面板的可靠度;第四、本發(fā)明可使用單一的蝕刻液,所以只需進(jìn)行單次的蝕刻步驟,即可同時(shí)蝕刻保護(hù)層與電極層的三層結(jié)構(gòu);第五、本發(fā)明不僅制程簡單,而且整體成本的增加亦不高,對于實(shí)際工業(yè)上的應(yīng)用極為合適。


圖1為現(xiàn)有平面顯示器的電極基板之一示意圖;圖2為于平面顯示器的電極基板形成導(dǎo)電線或輔助導(dǎo)電線圖樣的一實(shí)施示意圖;圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例中平面顯示器的電極基板的一示意圖;圖4為第一實(shí)施例中于平面顯示器的電極基板形成導(dǎo)電線或輔助導(dǎo)電線圖樣的一剖面示意圖;圖5為本發(fā)明第二實(shí)施例中平面顯示器的電極基板的一示意圖;圖6A為本發(fā)明第三實(shí)施例中平面顯示器的顯示面板的一示意圖;圖6B為圖6A中沿線D-D的一剖面示意圖。
圖中符號(hào)說明1電極基板11 基板12 電極層13 第一保護(hù)層14 第二保護(hù)層15 導(dǎo)線層151 導(dǎo)電線2電極面板21 基板22 電極層圖樣221 電極線
23 第一保護(hù)層圖樣24 第二保護(hù)層圖樣25 導(dǎo)電線圖樣251 電線3顯示面板31 基板32 發(fā)光區(qū)321 第一電極322 發(fā)光層323 第二電極33 驅(qū)動(dòng)元件34 第一保護(hù)層35 第二保護(hù)層36 導(dǎo)電線圖樣361 導(dǎo)電線4電極基板41 基板42 電極層43 導(dǎo)線層431 導(dǎo)電線5光阻層6光罩具體實(shí)施方式
以下將參照相關(guān)附圖,說明依據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例的顯示面板及電極基板與電極面板。
以下論述的電極基板為平面顯示器的電極基板。
如圖3所示,依據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的一種平面顯示器的電極基板1,至少包含一基板11、一電極層12、一第一保護(hù)層13、一第二保護(hù)層14以及一導(dǎo)線層15。其中,電極層12形成于基板11之上;第一保護(hù)層13形成于電極層12之上;第二保護(hù)層14形成于第一保護(hù)層13之上;導(dǎo)線層15位于第一保護(hù)層13與第二保護(hù)層14之間。
于本實(shí)施例中,基板11可以是一柔性(flexible)基板或一剛性(rigid)基板。同時(shí),基板11亦可以是一塑料(plastic)基板或是一玻璃基板。其中,柔性基板與塑料基板可為一聚碳酸酯(polycarbonate,PC)基板、一聚酯(polyester,PET)基板、一環(huán)烯共聚物(cyclic olefin copolymer,COC)基板或一金屬鉻合物基材-環(huán)烯共聚物(metallocene-based cyclicolefin copolymer,mCOC)基板。
如圖3所示,電極層12形成于基板11上。于本實(shí)施例中,電極層12利用濺鍍(sputtering)方式或是離子電鍍(ion plating)方式形成于基板11上。在此,電極層12通常作為陽極且其材質(zhì)通常為一透明的可導(dǎo)電的金屬氧化物,例如氧化銦錫(ITO)、氧化鋁鋅(AZO)或是氧化銦鋅(IZO)等等。
再請參照圖3,本實(shí)施例的第一保護(hù)層13形成于電極層12之上,其中,第一保護(hù)層13用以保護(hù)導(dǎo)線層15。在此,第一保護(hù)層13的材質(zhì)為鈦金屬,由于鈦為活性金屬,所以當(dāng)?shù)谝槐Wo(hù)層13與電極層12接合時(shí),接合的部分會(huì)形成一化合物,此化合物可以提高第一保護(hù)層13與電極層12的接合度。亦即,第一保護(hù)層13與電極層12之間的接合度會(huì)比導(dǎo)線層15本身與電極層12之間的接合度要來得佳。所以,第一保護(hù)層13可增加與電極層12之間的附著性。另外,鈦的表面上能夠形成一層薄且緊密的氧化層(氧化鈦),此致密的氧化層為具有良好抗蝕性的鈍化材質(zhì)。當(dāng)然,第一保護(hù)層13亦可以是鉑、金、鉬、鉻、含鉑的合金、含金的合金、含鈦的合金、含鉬的合金或含鉻的合金。于此,第一保護(hù)層13的厚度約為10到1000。
另外,如圖3所示,第二保護(hù)層14形成于第一保護(hù)層13之上,第二保護(hù)層14用以保護(hù)導(dǎo)線層15不受紫外光的影響,同時(shí)避免導(dǎo)線層15產(chǎn)生氧化的情形。相同地,第二保護(hù)層14的材質(zhì)為鈦金屬,所以第二保護(hù)層14與驅(qū)動(dòng)元件(未顯示于圖中)之間的接合度會(huì)比導(dǎo)線層15本身與驅(qū)動(dòng)元件之間的接合度要來得佳。當(dāng)然,第二保護(hù)層14亦可以是鉑、金、鉬、鉻、含鉑的合金、含金的合金、含鈦的合金、含鉬的合金或含鉻的合金。另外,第二保護(hù)層14的厚度約為10到1000。在此,第二保護(hù)層14與第一保護(hù)層13的特征與功能皆相同,在此不再贅述。
再請參照圖3,本實(shí)施例中的導(dǎo)線層15位于第一保護(hù)層13與第二保護(hù)層14之間,其中導(dǎo)線層15的材質(zhì)可以是鋁、銀、銅、含鋁的合金、含銀的合金或含銅的合金。由于該等金屬或其合金的電阻值低、導(dǎo)電性高,同時(shí)具有較高的機(jī)械強(qiáng)度,所以非常適合作為導(dǎo)線的用。于此,導(dǎo)線層15的厚度約為100到10000。
于本實(shí)施例中,第一保護(hù)層13、第二保護(hù)層14以及導(dǎo)線層15的厚度,可依照實(shí)際情況而做調(diào)整。
另外,于本實(shí)施例中,第一保護(hù)層13/導(dǎo)線層15/第二保護(hù)層14的材質(zhì)并不包含鉻/鋁/鉻以及鉬/鋁/鉬的組合。
在電極基板1上形成導(dǎo)電線圖樣或輔助導(dǎo)電線圖樣時(shí),首先于第二保護(hù)層14上形成一光阻層(未顯示于圖中),接著于光阻層之上設(shè)置一具有圖樣的光罩(未顯示于圖中),并同時(shí)照射一紫外光。接下來,經(jīng)過顯影步驟以形成具有圖樣的光阻層。最后,利用蝕刻液進(jìn)行蝕刻,以形成所需的圖樣。
另外,于本實(shí)施例中,該等保護(hù)層13、14以及導(dǎo)線層155可使用單一的蝕刻液,亦即,只需進(jìn)行一次蝕刻步驟即可同時(shí)蝕刻該等保護(hù)層13、14以及導(dǎo)線層15的三層結(jié)構(gòu),以形成所需的導(dǎo)電線圖樣。
于本實(shí)施例中,當(dāng)適當(dāng)?shù)卣{(diào)控該等保護(hù)層13、14的厚度、材質(zhì)以及蝕刻參數(shù)等因子時(shí),能夠控制導(dǎo)線層15蝕刻后所形成的導(dǎo)電線151的形狀。如圖4所示,導(dǎo)電線151的橫向截面積分別由靠近第一保護(hù)層13與第二保護(hù)層14的位置朝中央限縮(類似沙漏形狀),于此,導(dǎo)電線151與電極層12的接合面積以及導(dǎo)電線151與驅(qū)動(dòng)元件(未顯示于圖中)的接合面積較大,使得導(dǎo)電線151(及第一保護(hù)層13)與電極層12之間以及導(dǎo)電線151(及第二保護(hù)層14)與驅(qū)動(dòng)元件之間的接合度更為緊密且不易脫落,亦可確保顯示面板的可靠度。
當(dāng)然,在電極基板1上亦可利用相同方式形成其它所需圖樣。
以下論述的電極面板為一平面顯示器的電極面板。
如圖5所示,本發(fā)明第二實(shí)施例的一種平面顯示器的電極面板2,至少包含一基板21、一電極層圖樣22、一第一保護(hù)層圖樣23、一第二保護(hù)層圖樣24以及一導(dǎo)電線圖樣25。其中,電極層圖樣22形成于基板21之上,電極層圖樣22具有數(shù)條電極線221;第一保護(hù)層圖樣23形成于電極層圖樣22之上;第二保護(hù)層圖樣24形成于第一保護(hù)層圖樣23之上;導(dǎo)電線圖樣25位于第一保護(hù)層圖樣23與第二保護(hù)層圖樣24之間,導(dǎo)電線圖樣25具有至少一導(dǎo)電線251。
于本實(shí)施例中,電極層圖樣22的數(shù)條電極線221彼此互相平行。
另外,本實(shí)施例中的基板21、電極層圖樣22以及該等保護(hù)層圖樣23、24的特征與功能與第一實(shí)施例中的基板11、電極層12、該等保護(hù)層13、14相同,在此不再贅述。
如圖5所示,于本實(shí)施例中,導(dǎo)電線251的橫截面形狀分別由靠近第一保護(hù)層圖樣23(A點(diǎn))以及第二保護(hù)層圖樣24(B點(diǎn))的位置朝中央(C點(diǎn))限縮。于此,導(dǎo)電線251與電極線221的接合面積以及導(dǎo)電線251與驅(qū)動(dòng)元件(未顯示于圖中)的接合面積較大,使得導(dǎo)電線251(及第一保護(hù)層圖樣23)與電極線221之間以及導(dǎo)電線251(及第二保護(hù)層圖樣24)與驅(qū)動(dòng)元件之間的接合度更為緊密且不易脫落,亦可確保顯示面板的可靠度。
另外,本實(shí)施例中的導(dǎo)電線圖樣25的其余特征與功能與第一實(shí)施例的導(dǎo)線層15相同,在此亦不再贅述。
以下論述的顯示面板為平面顯示器的顯示面板。
如圖6A以及圖6B所示,本發(fā)明第三實(shí)施例的一種平面顯示器的顯示面板3,至少包含一基板31、一發(fā)光區(qū)32、一驅(qū)動(dòng)元件33、一第一保護(hù)層34、一第二保護(hù)層35以及一導(dǎo)電線圖樣36。其中,發(fā)光區(qū)32具有數(shù)個(gè)畫素,該等畫素分別具有一第一電極321、一發(fā)光層322以及一第二電極323,第一電極321形成于基板31上,第二電極323形成于第一電極321之上,發(fā)光層322位于第一電極321與第二電極323之間;驅(qū)動(dòng)元件33用以驅(qū)動(dòng)該等畫素;第一保護(hù)層34位于基板31之上;第二保護(hù)層35位于第一保護(hù)層34之上;導(dǎo)電線圖樣36位于第一保護(hù)層34與第二保護(hù)層35之間,且導(dǎo)電線圖樣36具有數(shù)條導(dǎo)電線361,該等導(dǎo)電線361分別連接第一電極321與驅(qū)動(dòng)元件33以及第二電極323與驅(qū)動(dòng)元件33。
以下將以有機(jī)電激發(fā)光顯示器的顯示面板為例進(jìn)行說明。
如圖6B所示,該等畫素分別具有第一電極321、發(fā)光層322以及第二電極323,第一電極321形成于基板31上,第二電極323形成于第一電極321之上,發(fā)光層322位于第一電極321與第二電極323之間。
其中,第一電極321的特征及功能與第一實(shí)施例的電極層12的特征與功能相同,在此亦不再贅述。
另外,發(fā)光層322為有機(jī)官能層,其中,有機(jī)官能層通常包含一電洞注入層、一電洞傳遞層、一有機(jī)發(fā)光層、一電子傳遞層以及一電子注入層(圖中未顯示)。電洞注入層的主要材料為copperphthalocyanine(CuPc),電洞傳輸層的材料主要為4,4′-bis[N-(1-naphthyl)-N-phenylamino]biphenyl(NPB),電子注入層的材料主要為氟化鋰(LiF),電子傳輸層的材料主要為tris(8-quinolinato-N1,08)-aluminum(Alq),而且有機(jī)官能層利用蒸鍍(evaporation)、旋轉(zhuǎn)涂布(spin coating)、噴墨印刷(ink jet printing)或是印刷(printing)等方式形成于第一電極321之上。在此,有機(jī)官能層所發(fā)射的光線可為藍(lán)光、綠光、紅光、白光、其它的單色光或單色光組合成的彩色光,其中白光可以是利用例如橘色搭配藍(lán)色的互補(bǔ)發(fā)光材料所混合而成,當(dāng)然亦可利用其它互補(bǔ)發(fā)光材料混合而成。
再者,第二電極323形成于發(fā)光層322上。于此,第二電極323使用蒸鍍或是濺鍍(sputtering)等方法形成于發(fā)光層322之上。另外,于本實(shí)施例中,第二電極323的材料選自但不限定為鋁(Al)、鈣(Ca)、鎂(Mg)、銦(In)、錫(Sn)、錳(Mn)、銀(Ag)、金(Au)及含鎂的合金(例如鎂銀(Mg:Ag)合金、鎂銦(Mg:In)合金、鎂錫(Mg:Sn)合金、鎂銻(Mg:Sb)合金及鎂碲(Mg:Te)合金)等。
另外,再請參照圖6A,本實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)元件33用以驅(qū)動(dòng)該等畫素,于此,驅(qū)動(dòng)元件33包含一驅(qū)動(dòng)芯片。
接著,再請參照圖6B,第一保護(hù)層34位于基板31之上;第二保護(hù)層35位于第一保護(hù)層34之上。于本實(shí)施例中,當(dāng)顯示面板3使用時(shí),該等保護(hù)層34、35可以避免導(dǎo)電線361受外界的氧或硫影響而發(fā)生氧化甚至燒毀的情形,且導(dǎo)電線361與驅(qū)動(dòng)元件33接合時(shí),亦不容易產(chǎn)生脫落的情形,更可確保顯示面板3的穩(wěn)定性。于本實(shí)施例中,該等保護(hù)層34、35以及基板3 1的特征與第一實(shí)施例中的相同元件相同,在此亦不再贅述。
另外,再請參照圖6A及圖6B,本實(shí)施例的導(dǎo)電線圖樣36形成于基板3 1之上,此導(dǎo)電線圖樣36具有數(shù)條導(dǎo)電線361,該等導(dǎo)電線361分別連接第一電極321與驅(qū)動(dòng)元件33以及第二電極323與驅(qū)動(dòng)元件33。于本實(shí)施例中,導(dǎo)電線361的特征與功能與第一實(shí)施例的導(dǎo)電線151相同,在此亦不再贅述。
于本發(fā)明中,平面顯示器包括但不限定為一有機(jī)電激發(fā)光(OrganicElectroluminescence,OEL)顯示器、無機(jī)電激發(fā)光(Electroluminescence,EL)顯示器、發(fā)光二極管(Light Emitting Diode,LED)顯示器、液晶顯示器(Liquid Crystal Display,LCD)、電漿顯示器(Plasma Display Panel,PDP)、真空螢光顯示器(Vacuum Fluorescent Display,VFD)、場致發(fā)射顯示器(Field Emission Display,F(xiàn)ED)與電致變色顯示器(Electro-chromicDisplay)等。
本發(fā)明的一種顯示面板及其電極基板與電極面板具有兩層保護(hù)層,該等保護(hù)層用以保護(hù)導(dǎo)線層(導(dǎo)電線)。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明有下列幾項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)第一、本發(fā)明的保護(hù)層能夠避免導(dǎo)線層因照射紫外光而產(chǎn)生氧化的情形,進(jìn)而減少導(dǎo)線層電阻值的上升,更可增加導(dǎo)線層與光阻層之間的附著性。同時(shí),當(dāng)顯示面板于使用時(shí),保護(hù)層亦可避免導(dǎo)電線受外界的氧或硫影響而發(fā)生氧化甚至燒毀的情形;第二、本發(fā)明的保護(hù)層亦可增加導(dǎo)電線與驅(qū)動(dòng)元件以及導(dǎo)電線與電極層之間的黏著度,更可確保顯示面板的穩(wěn)定性;第三、本發(fā)明更可控制蝕刻后導(dǎo)電線的形狀,如導(dǎo)電線的橫截面形狀分別由靠近第一保護(hù)層與第二保護(hù)層的位置朝中央限縮(類似沙漏形狀),所以導(dǎo)電線與電極層的接合面積以及導(dǎo)電線與驅(qū)動(dòng)元件的接合面積較大,使得導(dǎo)電線與電極層之間以及導(dǎo)電線與驅(qū)動(dòng)元件之間的接合度更為緊密,亦可確保顯示面板的可靠度;第四、本發(fā)明可使用單一的蝕刻液,所以只需進(jìn)行單次的蝕刻步驟,即可同時(shí)蝕刻保護(hù)層與電極層的三層結(jié)構(gòu);第五、本發(fā)明不僅制程簡單,而且整體成本的增加亦不高,對于實(shí)際工業(yè)上的應(yīng)用極為合適。
以上所述僅為舉例性,而非為限制性者。任何未脫離本發(fā)明的精神與范疇,而對其進(jìn)行的等效修改或變更,均應(yīng)包含于后附的申請專利范圍中。
權(quán)利要求
1.一種平面顯示器的電極基板,其特征在于,至少包含一基板;一電極層,其形成于該基板之上;一第一保護(hù)層,其形成于該電極層之上;一第二保護(hù)層,其形成于該第一保護(hù)層之上;以及一導(dǎo)線層,其位于該第一保護(hù)層與該第二保護(hù)層之間。
2.如權(quán)利要求1所述的平面顯示器的電極基板,其中該導(dǎo)線層的材質(zhì)至少選自鋁、銀、銅、含鋁的合金、含銀的合金及含銅的合金其中之一。
3.如權(quán)利要求1所述的平面顯示器的電極基板,其中該第一保護(hù)層與該第二保護(hù)層的材質(zhì)至少選自鉑、金、鈦、鉬、鉻、含鉑的合金、含金的合金、含鈦的合金、含鉬的合金及含鉻的合金其中之一。
4.如權(quán)利要求1所述的平面顯示器的電極基板,其中該電極層為導(dǎo)電的金屬氧化物電極層。
5.如權(quán)利要求4所述的平面顯示器的電極基板,其中該導(dǎo)電的金屬氧化物電極層至少選自氧化銦錫、氧化鋁鋅及氧化銦鋅之一所形成的電極層。
6.如權(quán)利要求1所述的平面顯示器的電極基板,其中該導(dǎo)線層的厚度為100到10000,而該第一保護(hù)層與該第二保護(hù)層的厚度為10到1000。
7.一種平面顯示器的電極面板,其特征在于,至少包含一基板;一電極層圖樣,其形成于該基板之上,該電極層圖樣具有數(shù)條電極線;一第一保護(hù)層圖樣,其形成于該電極層圖樣之上;一第二保護(hù)層圖樣,其形成于該第一保護(hù)層圖樣之上;以及一導(dǎo)電線圖樣,其位于該第一保護(hù)層圖樣與該第二保護(hù)層圖樣之間,該導(dǎo)電線圖樣具有至少一導(dǎo)電線。
8.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極面板,其中該導(dǎo)電線的橫截面形狀分別由靠近該第一保護(hù)層圖樣與該第二保護(hù)層圖樣的位置朝中央限縮。
9.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極面板,其中該等導(dǎo)電線的材質(zhì)至少選自鋁、銀、銅、含鋁的合金、含銀的合金及含銅的合金其中之一。
10.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極面板,其中該第一保護(hù)層圖樣與該第二保護(hù)層圖樣的材質(zhì)至少選自鉑、金、鈦、鉬、鉻、含鉑的合金、含金的合金、含鈦的合金、含鉬的合金及含鉻的合金其中之一。
11.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極面板,其中該電極層圖樣的數(shù)條電極線彼此互相平行。
12.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極面板,其中該電極層圖樣的材質(zhì)為導(dǎo)電的金屬氧化物。
13.如權(quán)利要求12所述的平面顯示器的電極面板,其中該導(dǎo)電的金屬氧化物的材質(zhì)至少選自氧化銦錫、氧化鋁鋅及氧化銦鋅其中之一。
14.如權(quán)利要求7所述的平面顯示器的電極面板,其中該導(dǎo)電線圖樣的厚度為100到10000,而該第一保護(hù)層與該第二保護(hù)層的厚度為10到1000。
15.一種平面顯示器的顯示面板,其特征在于,至少包含一基板;一發(fā)光區(qū),具有數(shù)個(gè)畫素,該等畫素分別具有一第一電極、一第二電極以及一發(fā)光層,該第一電極形成于該基板上,該第二電極形成于該第一電極之上,該發(fā)光層位于該第一電極與該第二電極之間;一驅(qū)動(dòng)元件,其用以驅(qū)動(dòng)該等畫素;一第一保護(hù)層,其位于該基板之上;一第二保護(hù)層,其位于該第一保護(hù)層之上;以及一導(dǎo)電線圖樣,其位于該第一保護(hù)層與該第二保護(hù)層之間,且該導(dǎo)電線圖樣具有數(shù)條導(dǎo)電線,該等導(dǎo)電線分別連接該第一電極與該驅(qū)動(dòng)元件以及該第二電極與該驅(qū)動(dòng)元件。
16.如權(quán)利要求15所述的平面顯示器的顯示面板,其中該導(dǎo)電線的材質(zhì)至少選自鋁、銀、銅、含鋁的合金、含銀的合金及含銅的合金其中之一。
17.如權(quán)利要求15所述的平面顯示器的顯示面板,其中該第一保護(hù)層與該第二保護(hù)層的材質(zhì)至少選自鉑、金、鈦、鉬、鉻、含鉑的合金、含金的合金、含鈦的合金、含鉬的合金及含鉻的合金其中之一。
18.如權(quán)利要求15所述的平面顯示器的顯示面板,其中該第一電極的材質(zhì)為導(dǎo)電的金屬氧化物。
19.如權(quán)利要求18所述的平面顯示器的顯示面板,其中該導(dǎo)電的金屬氧化物的材質(zhì)至少選自氧化銦錫、氧化鋁鋅及氧化銦鋅其中之一。
20.如權(quán)利要求15所述的平面顯示器的顯示面板,其中該第二電極至少選自鋁、鈣、鎂、銦、錫、錳、銀、金及含鎂的合金之一所形成的電極層。
21.如權(quán)利要求20所述的平面顯示器的顯示面板,其中該含鎂的合金包括但不限于鎂銀合金、鎂銦合金、鎂錫合金、鎂銻合金及鎂碲合金。
22.如權(quán)利要求15所述的平面顯示器的顯示面板,其中該驅(qū)動(dòng)元件具有一驅(qū)動(dòng)芯片。
23.如權(quán)利要求15所述的平面顯示器的顯示面板,其中該導(dǎo)電線圖樣的厚度為100到10000,而該第一保護(hù)層與該第二保護(hù)層的厚度為10到1000。
24.如權(quán)利要求15所述的平面顯示器的顯示面板,其中該平面顯示器為有機(jī)電激發(fā)光顯示器、或是無機(jī)電激發(fā)光顯示器、或是發(fā)光二極管顯示器、或是液晶顯示器、或是電漿顯示器、或是真空螢光顯示器、或是場致發(fā)射顯示器、或是電致變色顯示器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平面顯示器的電極基板,至少包含一基板、一電極層、一第一保護(hù)層、一第二保護(hù)層以及一導(dǎo)線層。其中,電極層形成于基板之上;第一保護(hù)層形成于電極層之上;第二保護(hù)層形成于第一保護(hù)層之上;導(dǎo)線層位于第一保護(hù)層與第二保護(hù)層之間。
文檔編號(hào)H01J31/12GK1585078SQ0315456
公開日2005年2月23日 申請日期2003年8月18日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月18日
發(fā)明者吳朝欽, 廖孟傑, 李君浩 申請人:錸寶科技股份有限公司
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