專利名稱：平面顯示裝置及其襯墊組件和它們的制法與制造用模具的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于平面顯示裝置的襯墊組件、襯墊組件的制造方法、具有襯墊組件的平面顯示裝置、平板顯示裝置的制造方法、用于制造襯墊組件的模具。
背景技術：
以液晶顯示裝置為代表的平面顯示裝置，作為取代陰極射線管(CTR)的顯示裝置在各種領域被廣泛地應用著。但是，液晶顯示裝置本身不會發(fā)光，與CRT相比存在著對于其顯示具有視角依賴性等一些需改進的問題。
在這樣的情況下，促進了對場發(fā)射顯示器(FED)及等離子顯示器(PDP)等自身發(fā)光型的平面顯示裝置的開發(fā)。例如，作為FED的一種的表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲲@示器(SED)，由于是能與CRT匹敵的可確保良好顯示特性的器件，故盛行地研究開發(fā)著。
該SED，具有留有規(guī)定間隙而相對配置的前面板和背面板，通過這些面板借助矩形框架的側壁將周緣部相互接合而構成真空外殼。在前面板的內面形成有3色的熒光體層，在背面板的內面排列著作為激勵熒光體的電子放出源，與每個象素對應的許多發(fā)射體。各發(fā)射體由電子放出部、向該電子放出部施加電壓的一對電極等構成。
并且，在該兩面板之間配設有板狀的格柵，在該格柵上，形成有許多相對發(fā)射體排列配置的聚束開孔，并配置有許多用于保持面板間間隙的柱狀襯墊。而且，從各發(fā)射體放出的電子束，通過格柵的對應開孔而聚束在所希望的災光體層上。
作為具有由上述那樣的格柵和襯墊構成的襯墊組件的SED，已知有美國專利第5846205號所揭示的器件。根據該SED，板狀的格柵具有許多襯墊開孔，在各襯墊開孔中，插通著比襯墊開孔直徑稍小的柱狀的襯墊，并通過粘接劑、燒結玻璃、焊料等與格柵粘接固定。而且各襯墊從格柵的兩面突出，其兩端分別與前面板和背面板的內面抵接。
但是，如上所述，在形成格柵的許多襯墊開孔中分別插通有柱狀襯墊并通過用粘接劑等固定來制造襯墊組件的場合，制造非常地麻煩，并且要提高制造效率也變得很困難。也就是說，各襯墊直徑為數(shù)百μm、高度為數(shù)mm，非常小，與其對應的襯墊開孔也非常小。而且，要將這樣非常小的襯墊正確地插通至格柵的襯墊開孔內，并用粘接劑固定在格柵上，就必須較高的裝配精度，作業(yè)變得非常困難，并導致制造成本的增加和制造效率的降低。
發(fā)明的概述本發(fā)明是鑒于以上問題而作成的，其目的在于，提供可容易制造的平面顯示裝置的襯墊組件、具有襯墊組件的平面顯示裝置、襯墊組件的制造方法、用于制造襯墊組件的模具和可確保足夠強度并能防止因襯墊帶電而引起的顯示質量下降的平面顯示裝置。
為了達到上述目的，本發(fā)明的襯墊組件的制造方法，是制造具有設置于基板與基板上的多個柱狀的襯墊并用于平面顯示裝置的襯墊組件的制造方法，準備基板和具有許多透孔的模具，將上述模具緊貼地配置在上述基板的表面上后，在模具的透孔內充填襯墊形成材料，將輻射線照射于上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板表面的緊貼性作成比上述襯墊形成材料相對上述模具的緊貼性要高，在使上述模具緊貼于基板上的狀態(tài)下，燒固上述襯墊形成材料，并使襯墊形成在上述基板上，冷卻后，將上述模具剝離于上述基板。
并且，本發(fā)明的襯墊組件的制造方法是，準備具有相對的第1和第2表面以及貫通形成的多個開孔的基板、分別具有多個透孔的第1和第2模具，將上述第1模具和第2模具分別緊貼于上述基板的第1表面和第2表面上，并且在將上述基板的開孔與第1和第2模具的透孔配置成排列狀態(tài)后，在第1和第2模具的透孔內充填襯墊形成材料，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對基板的緊貼性作成比上述襯墊形成材料相對上述第1和第2模具的緊貼性要高，在將上述第1和第2模具緊貼于基板上的狀態(tài)下，燒固上述襯墊形成材料，并將襯墊分別形成在上述基板的第1和第2表面上，冷卻后，將上述第1和第2模具剝離于上述基板。
另外，本發(fā)明的襯墊組件的另一制造方法是，準備具有相面對的第1和第2表面的基板、分別具有多個透孔的第1和第2模具，在將上述第1模具緊貼地配置于上述基板的第1表面上后，在第1模具的透孔內充填襯墊形成材料，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板的第1表面的緊貼性作成比上述襯墊形成材料相對上述第1模具的緊貼性要高，在將上述第2模具緊貼地配置在上述基板的第2表面上后，在第2模具的透孔內充填襯墊形成材料，將輻射照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板的第2表面的緊貼性作成比上述襯墊形成材料相對上述第2模具的緊貼性要高，在照射上述放射性射線后，將上述第1和第2模具緊貼于基板上的狀態(tài)下，燒固上述襯墊形成材料，并將襯墊分別形成于上述基板的第1和第2表面上，冷卻后，將上述第1和第2模具剝離于上述基板。
采用本發(fā)明，上述制造方法中，作為上述襯墊形成材料，使用至少含紫外線硬化型的粘接劑和玻璃填料的玻璃糊劑，該場合，將紫外線作為輻射線進行照射使襯墊形成材料硬化。
并且，作為上述基板，可使用在表面上形成氧化膜的金屬板、由形成許多聚束開孔的同時、在表面上形成氧化膜的金屬板構成的格柵、或玻璃基板。另外，作為上述模具，最好使用具有相對上述襯墊形成材料的剝離性和耐氧化性的進行過表面處理的模具。
根據上述構成的襯墊組件的制作方法，在使用模具并在基板或格柵上配置襯墊形成材料的狀態(tài)下，通過燒固襯墊形成材料，就能一次地將多個襯墊作在基板或格柵上的規(guī)定位置。因此，能容易地制造具有多個微細的襯墊的襯墊組件，能降低制造成本和提高制造效率。
并且，通過在將襯墊形成材料充填于模具的透孔內的狀態(tài)下進行燒固，在燒固時不會使襯墊形成材料潰散開來，能容易形成具有足夠高度且縱橫尺寸比較高的襯墊。
另外，作為襯墊形成材料，使用含有紫外線硬化型的粘接劑和玻璃填料的玻璃糊劑，在燒固之前，先用紫外線照射使襯墊形成材料硬化，并通過使用由氧化膜被覆的格柵和由具有耐氧化性的表面層被覆的模具，而可使襯墊形成材料相對基板或格柵的緊貼性比相對模具的緊貼性要高。由此，在以后的燒固、脫模的工序中，可防止形成的襯墊附著于模具側，能可靠地形成與基板或格柵一體的襯墊。
本發(fā)明的平面顯示裝置的制造方法，是制造具有下述構件的平面顯示的方法在內面形成熒光體層的第1基板；與上述第1基板留有規(guī)定間隙而相對配置的、并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；將上述第1與第2基板的周緣部相互間接合的框架狀的側壁；在上述第1與第2基板之間與該兩基板相對設置并具有與上述熒光體激勵裝置對應位置的許多開孔的板狀的格柵；設置在上述第1基板與格柵之間的多個柱狀的第1襯墊；設在上述第2基板與格柵之間的多個柱狀的第2襯墊，準備格柵和具有許多透孔的模具，將上述模具緊貼地配置在上述格柵的表面上后，將襯墊形成材料充填于模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述格柵表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對模具的緊貼性要高，在將上述模具緊貼在格柵上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，在上述格柵上形成許多的第1襯墊，冷卻后，將上述模具剝離于上述格柵。
另外，本發(fā)明的平面顯示裝置，具有在內面形成熒光體層的第1基板；與上述第1基板留有規(guī)定間隙而相對配置的并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；將上述第1與第2基板的周緣部相互間接合的框架狀的側壁；在上述第1與第2基板之間與該兩基板相對設置并具有與上述熒光體激勵裝置對應位置的許多聚束開孔的板狀的格柵；設置在上述格柵與第1基板之間的多個柱狀的第1襯墊；設置在上述格柵與第2基板之間的多個柱狀的第2襯墊，其特點是，上述各第1襯墊的高度形成得高于上述各第2襯墊的高度。
根據本發(fā)明的平面顯示裝置，上述格柵，具有與上述第1基板相對的第1表面和與上述第2基板相對的第2表面，上述第1襯墊一體地立設在上述格柵的第1表面上，上述第2襯墊一體地立設在上述格柵的第2表面上。
本發(fā)明的襯墊組件，具有基板和一體地立設于基板上的多個柱狀的襯墊，各襯墊從上述基板向延伸端進行層疊，并一體地具有直徑逐漸變小的多個階梯部，各階梯部從基板側向延伸端側形成尖細的圓錐狀。
另外，本發(fā)明的襯墊組件具有具有相對的第1與第2表面且多個聚束開孔的板狀的格柵；一體地立設在上述襯墊的第1表面上的多個柱狀的第1襯墊、一體地立設在上述格柵的第2表面上的多個柱狀的第2襯墊，上述第1與第2襯墊分別從上述格柵向延伸端層疊并一體地具有直徑逐漸變小的多個階梯部，各階梯部向延伸端側形成尖細的圓錐狀。
還有，本發(fā)明平面顯示裝置具有在內面形成熒光體層的第1基板；與第1基板留有規(guī)定間隙而相對配置的并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；將上述第1與第2基板的周緣部相互間接合的框架狀的側壁；設在上述第1與第2基板之間的襯墊組件。而且，上述襯墊組件具有具有分別與上述熒光體激勵裝置面對的許多聚束開孔的板狀的格柵，一體地立設在上述格柵上的多個柱狀的襯墊，各襯墊從上述格柵向延伸端層疊并一體地具有直徑逐漸變小的多個部，各部向延伸端側形成尖細的圓錐狀。
根據上述構成的襯墊組件及平面顯示裝置，各襯墊向延伸端層疊并一體地具有直徑逐漸變小的多個階梯部，同時各階梯部向延伸端側作成尖細的圓錐狀，作成整體帶階梯的圓錐形狀，即，作成大致帶階梯的切頭圓錐形狀。因此，可利用模具等將多個的襯墊一體地作在基板或格柵上，能獲得可容易制造的襯墊組件和平面顯示裝置。
本發(fā)明的襯墊組件的制造方法是，準備基板和分別從一端側向另一端側直徑變小的具有帶階梯圓錐狀的多個透孔的板狀的模具，各透孔的大直徑側位于上述基板側地將上述模具緊貼配置在上述基板的表面上后，在模具的透孔內充填襯墊形成材料，將輻射線照射在上述襯墊形成材料使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述模具的緊貼性要高，在將上述模具緊貼在基板上的狀態(tài)下，燒固上述襯墊形成材料，將各襯墊一體地形成于上述基板上，冷卻后，將上述模具剝離于上述基板。
本發(fā)明的另一個襯墊組件的制造方法是，準備具有第1與第2表面、以及分別設有位于上述聚束孔間的多個襯墊開孔的板狀的格柵，準備具有分別從一端側向另一端側直徑逐漸變小的帶階梯圓錐狀的多個透孔的板狀的第1模具及第2模具，使各透孔的大直徑側位于上述格柵側地分別將上述第1模具和第2模具緊貼于上述格柵的第1表面和第2表面上，并且，在以排列的狀態(tài)配置上述格柵的襯墊開孔和第1及第2模具的透孔后，在上述襯墊開孔、第1及第2模具的透孔內充填襯墊形成材料，將輻射線照射上述襯墊形成材料使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述格柵的緊貼性比襯墊形成材料相對上述第1模具及第2模具的緊貼性要高，在使上述第1及第2模具緊貼于格柵上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，使襯墊分別形成在上述格柵的第1及第2表面上，冷卻后，將上述第1及第2模具剝離于上述格柵上。
另外，本發(fā)明的再一個襯墊組件的制造方法是，準備具有第1與第2表面的板狀的襯墊，準備具有分別從一端側向另一端側直徑逐漸變小的帶階梯圓錐狀的許多透孔的板狀的第1模具和第2模具，使各透孔的大直徑側位于上述格柵側地將上述第1模具緊貼配置在上述格柵的第1表面上后，在第1模具的透孔內充填襯墊形成材料，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述格柵的第1表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第1模具的緊貼性要高，使各透孔的大直徑側位于上述格柵側地將上述第2模具緊貼配置在上述格柵的第2表面上后，在第2模具的透孔內充填襯墊形成材料，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述格柵的第2表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第2模具的緊貼性要高，照射上述輻射線后，在將上述第1及第2模具緊貼在格柵上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，使襯墊分別形成在上述格柵的第1及第2表面上，冷卻后，將上述第1和第2模具剝離于上述基板。
根據本發(fā)明，在上述制造方法中，作為上述襯墊形成材料，使用含有紫外線硬化型的粘接劑和玻璃填料的玻璃糊劑，在該場合，將紫外線作為輻射線進行照射使襯墊形成材料硬化。并且，作為上述基板，可使用由在表面上形成氧化膜的金屬板、形成許多聚束開孔并在表面上形成氧化膜的金屬板構成的格柵，或玻璃基板。
根據上述構成的襯墊組件的制造方法，通過在使用模具并將襯墊形成材料配置在格柵上的狀態(tài)下燒固襯墊形成材料，則可將多個襯墊一次地作在基板或格柵上的規(guī)定位置上。因此，能容易地制造具有多個微細的襯墊的襯墊組件，能降低制造成本和提高制造效率。
并且，通過將襯墊形成材料充填在模具的透孔內的狀態(tài)下進行燒固，則在燒固時不會將襯墊形成材料潰散開來，能容易地形成具有足夠高度、縱橫比高的襯墊。
另外，作為襯墊形成材料使用至少含有紫外線硬化型的粘接劑和玻璃填料的玻璃糊劑，在燒固之前，照射紫外線使襯墊形成材料硬化，并通過使用由氧化膜被覆的格柵和由具有耐氧化性的表面層被覆的模具，能使襯墊形成材料相對基板或格柵的緊貼性比相對模具的緊貼性要高。由此，在以后的燒固、膜模工序中，能防止所形成的襯墊附著在模具側，并能可靠地形成與基板或格柵一體的襯墊。
用于制造本發(fā)明的襯墊組件的模具，具有分別形成多個圓錐狀透孔的多個金屬薄板，其特點是，各金屬薄板的各透孔具有與其他的金屬薄板的透孔不同的直徑，上述多個金屬薄板，以透孔相互間排列的狀態(tài)且以從大直徑透孔開始順序排列的狀態(tài)進行層疊。
根據上述結構，將分別形成透孔的多個金屬薄板層疊而構成模具，模具的各透孔被規(guī)定地重疊多個透孔。而且，在金屬薄板的場合，利用蝕刻、激光照射等，可較容易地形成微細的透孔。因此，通過將這些多個金屬薄板進行層疊，從熱可容易地獲得具有形成所需高度的透孔的模具。
并且，在上述模具中，形成于各金屬薄板上的透孔作成圓錐狀，并作成其直徑對于每金屬薄板不相同。因此，在將這些多個金屬薄板層疊時，即使在產生一些位置偏差時，也能獲得使各金屬薄板的透孔相互間可靠地連通并具有所需透孔的模具。
另外，根據本發(fā)明，上述模具，由相對襯墊形成材料具有剝離性的表面層被覆。因此，襯墊形成材料難以附著在模具的透孔內，從而能反復地用于襯墊組件的制造。
本發(fā)明的平面顯示裝置，具有以規(guī)定間隔相對配置的正面板和背面板，及配設在上述正面板與背面板之間的襯墊組件，上述襯墊組件，具有相對的第1與第2表面、及具有多個襯墊開孔并被配置在上述正面板與背面板之間而與正面板及背面板相對的電極板；形成在上述電極板的第1表面?zhèn)壬系亩鄠€第1襯墊；形成在上述電極板的上述第2表面?zhèn)壬系亩鄠€第2襯墊；將1個上述第2襯墊與多個上述第1襯墊通過形成于上述電極板的對應的襯墊開孔而連接的連接部。
另外，本發(fā)明的另一個平面顯示裝置，具有在內面形成有熒光體層的正面板；與上述正面板留有規(guī)定間隙而相對配置并設有激勵上述熒光體層的多個電子放出部的背面板；連接上述正面板和背面板的周緣部相互間的框架狀的側壁；設在上述正面板與背面板之間的襯墊組件，上述襯墊組件具有具有相對的第1及第2表面且多個襯墊開孔、配置在正面板與背面板之間并與正面板及背面板相對的電極板；形成于上述電極板的第1表面?zhèn)炔⒎謩e與上述正面板抵接的多個第1襯墊；形成于上述電極板的上述第2表面?zhèn)炔⒎謩e與上述背面板抵接的多個第2襯墊，多個上述第1襯墊分別通過形成于上述電極板的襯墊開孔用連接部與1個上述第2襯墊連接。
根據上述的平面顯示裝置，襯墊組件具有形成于電極板的第1表面?zhèn)鹊亩鄠€第1襯墊、形成于電極板的第2表面?zhèn)鹊亩鄠€第2襯墊，多個第1襯墊分別通過連接部與1個第2襯墊連接配置。因此，能確保襯墊組件的足夠的結構強度，并能減輕第1襯墊的帶電的影響。
附圖的簡單說明

圖1是表示本發(fā)明的實施形態(tài)的表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲅b置的立體圖。
圖2是沿圖1的II-II線剖切的上述表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲅b置的立體圖。
圖3是表示將上述表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲅b置予以放大表示的剖視圖。
圖4是表示用于制造上述表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲅b置中的襯墊組件的格柵，第1及第2模具的分解立體圖。
圖5是將上述第1模具的一部分放大表示的剖視圖。
圖6A至圖6C是分別表示上述襯墊組件的制造工序的剖視圖。
圖7A和圖7B是分別表示上述襯墊組件的制造工序的剖視圖。
圖8是具有本發(fā)明第2實施形態(tài)的襯墊組件的表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲅b置的剖視圖。
圖9A和圖9B是分別表示上述第2實施形態(tài)的襯墊組件的制造工序的剖視圖。
圖10A至圖10C是分別表示上述第2實施形態(tài)的襯墊組件的制造工序的剖視圖。
圖11是將具有本發(fā)明第3實施形態(tài)的襯墊組件的表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲅b置予以分解表示的剖視圖。
圖12是表示本發(fā)明第4實施形態(tài)的SED的剖視圖。
圖13是從第2襯墊側看到上述第4實施形態(tài)的SED的第1及第2襯墊的概略俯視圖。
圖14是概略地表示上述第4實施形態(tài)的SED的襯墊組件的一部分的立體圖。
圖15A至圖15C是分別表示上述襯墊組件的制造工序的剖視圖。
圖16A和圖16B是分別表示上述襯墊組件的制造工序的剖視圖。
較佳實施形態(tài)的描述以下，參照附圖，詳細說明將本發(fā)明作為平面顯示裝置適用于表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲅b置(以下稱作SED)的實施形態(tài)。
如圖1至圖3所示，該SED具有分別由矩形的玻璃構成的背面板10和正面板12，這兩面板隔開約1.5-3.0mm間隙地相對配置。背面板10的尺寸做得比正面板12稍大。而且，背面板10和正面板12的周緣部相互之間通過由玻璃構成的矩形框架狀的側壁14而連接，構成扁平的矩形真空外殼15。該側壁14，利用燒結玻璃或銦等的低熔點金屬或合金而被粘附著。而且，真空外殼的內部空間保持成例如約10-8Torr的高真空。
在正面板12的內面上形成有熒光屏16。該熒光屏16排列構成有紅、藍、綠的熒光體層和黑色著色層。這些熒光體層形成各紋狀或圓點狀。并且，在熒光屏16上，形成由鋁等構成的金屬襯墊17。另外，在正面板12與熒光屏之間也可設置例如由ITO構成的透明導電膜或彩色濾膜。
在背面板10的內面，設有分別放出電子束的許多電子放出元件18，。這些電子放出元件18，作為激勵熒光體層的電子放出源。與每象素對應地排列成多個列和多個行。各電子放出元件18由未圖示的電子放出部、將電壓施加在該電子放出部上的一對元件電極等構成。并且，在背面板10上，矩陣狀地設有將電壓施加在電子放出元件18上的未圖示的多根配線。
起到接合構件功能的側壁14，利用例如由低熔點玻璃構成的燒結玻璃20而封接在背面板10的周緣部和正面板12的周緣部上，將背面板與正面板相互之間進行接合。
另外，如圖2和圖3所示，5ED具有配設在背面板10與正面板12之間的襯墊組件22。在本實施形態(tài)中，襯墊組件22具有板狀的格柵24和一體地立設于格柵兩面上的多個柱狀襯墊。
詳細地說，格柵24具有與正面板12的內面相對的第1表面24a和與背面板10的內面相對的第2表面24b，并與該兩面板平行地配置。而且，在格柵24上，利用蝕刻等形成有許多聚束開孔26和多個襯墊開孔28。聚束開孔26分別與電子放出元件18相對排列，并且襯墊開孔28，分別位于聚束開孔之間以規(guī)定的間距排列。
格柵24，用例如鐵—鎳系的金屬板形成為厚0.1-0.25mm，在其表面上形成由構成金屬板的元素構成的氧化膜、例如由Fe3O4、NiFe3O4構成的氧化膜。并且，聚束開孔26形成為0.15-0.25mm×0.2-0.40mm的矩形，襯墊開孔28形成為直徑約100-200μm。
在格柵24的第1表面24a上，一體地立設有重疊于各襯墊開孔28上的第1襯墊30a，其延伸端通過金屬襯墊17及熒光屏16的黑色著色層而與正面板12的內面抵接。并且，在襯墊24的第2表面24b上，一體地立設有重疊于各襯墊開孔28上的第2襯墊30b，其延伸端與背面板10的內面抵接。而且，各襯墊開孔28、第1及第2襯墊30a、30b呈互相排列，第1及第2襯墊通過該襯墊開孔28而互相一體地連接。
各第1及第2襯墊30a、30b，具有一體的從襯墊24側向延伸端層疊且直徑逐漸變小的多個階梯部，各階梯部從格柵側向延伸端側形成尖細的圓錐狀。即，各第1及第2襯墊30a、30b形成為帶階梯的圓錐狀或帶階梯的切頭圓錐狀。
例如，各第1襯墊30a作成帶4級階梯的圓錐狀，格柵24側一端的直徑約400μm，延伸端側的直徑約230μm，高度約1-1.2mm，縱橫比(高度/格柵側端的直徑)為2.5-3.0。并且，各第2襯墊30b作成帶3級階梯的圓錐狀，格柵24側一端的直徑約400μm，延伸端側的直徑約280μm，高度約0.3-0.75mm，縱橫比(高度/格柵側端的直徑)為0.75-1.6。
如前所述，各襯墊開孔28的直徑約為100-200μm，與第1及第2襯墊30a、30b的格柵側端的直徑相比被設定成足夠小。而且，通過將第1襯墊30a及第2襯墊30b與襯墊開孔28同軸地排列并設成一體，則第1和第2襯墊通過襯墊開孔而互相連接，并以從兩面夾住格柵24的狀態(tài)與格柵24形成一體。
而且，如上述構成的襯墊組件22的格柵24，由未圖示的電源施加規(guī)定的電壓，在防止串音的同時，利用各聚束開孔26而將從對應的電子放出元件18放出的電子束聚束在所需的熒光體層上。并且，第1和第2襯墊30a、30b，通過與正面板12及背面板10的內面抵接，而支承作用于該兩面板上的大氣壓負荷，并使面板間的間隔維持成規(guī)定值。
下面，說明上述結構的襯墊組件22和具有該襯墊組件的SED的制造方法。
在制造襯墊組件22的場合，首先如圖4所示，準備規(guī)定尺寸的格柵24和具有與格柵大致相同尺寸的矩形的第1及第2模具32、33。在格柵24上預先形成聚束開孔26和襯墊開孔28，將外面整體用例如黑化膜或由粒狀的氧化物構成的氧化膜進行被覆。
并且，第1及第2模具32、33，分別形成與格柵24的襯墊開孔28對應的多個透孔34。在此，如圖5所示，第1模具32，是將多片、例如4片金屬薄板32a、32b、32c、32d層疊而成。
詳細地說，各金屬薄板用厚度0.25-0.3mm的鐵系金屬板構成，并分別形成圓錐狀的多個透孔。而且，金屬薄板32a、32b、32c、32d各自形成的透孔具有與其他金屬薄板形成的透孔不同的直徑。例如，分別在金屬薄板32a上形成最大直徑為400μm的圓錐狀的透孔34a、在金屬薄板32b上形成最大直徑為350μm的圓錐狀的透孔34b、在金屬薄板32c上形成最大直徑為295μm的圓錐狀的透孔34c、在金屬薄板32d上形成最大直徑為240μm的圓錐狀的透孔34d。這些透孔34a至34d，利用蝕刻或激光照射來形成。
而且，這些4片金屬薄板32a、32b、32c、32d，以透孔34a、34b、34c、34d大致同軸排列的狀態(tài)且以從直徑大的透孔順序地排列的狀態(tài)被層疊，并在真空中或還原性氣氛中被互相擴散地連接。由此，整體形成為1.0-1.2mm的第1模具32，各透孔34通過使4個透孔34a、34b、34c、34d對準而具有規(guī)定的、帶階梯的圓錐狀內周面。
另外，第2模具33也與第1模具32一樣，例如，將3片金屬薄板層疊地構成，各透孔34通過3個圓錐狀透孔而具有規(guī)定的、帶階梯的圓錐狀內周面。
另外，第1和第2模具32、33的外面，還包括各透孔34的內周面，由表面層被覆。該表面層相對后述襯墊形成材料具有剝離性，并具有耐氧化性，例如，利用Ni-P與聚四氟乙烯、氧化物、氮化物、碳化物的微粒子的共析鍍或Ni-P與W、Mo、Re等的高融點金屬的共析鍍來形成。
在襯墊組件的制造工序中，如圖6A所示，將第1模具32緊貼于格柵的第1表面24a上使各透孔34的大直徑側位于格柵24側，且配置成使各透孔定位成與格柵的襯墊開孔28排列的狀態(tài)。同樣，將第2模具33緊貼于格柵的第2表面24b上使各透孔的大直徑側位于格柵24側，且配置成使各透孔定位成與格柵的襯墊開孔28排列的狀態(tài)。而且，將這些第2模具32、格柵24和第2模具33用未圖示的夾板等互相固定。
下面，如圖6B所示，使用刮漿板36，例如，從第1模具32的外面?zhèn)裙┙o糊劑狀的襯墊形成材料40，并將襯墊形成材料充填于第1模具32的透孔34、格柵24的襯墊開孔28和第2模具33的透孔34中。漏到第2模具33的外面?zhèn)鹊亩嘤嗟囊r墊形成劑40，用刮漿板38刮去。
作為襯墊形成材料40，使用至少含有紫外線硬化型的粘接劑(有機成分)和玻璃填料的玻璃糊劑。
接著，如圖6C所示，將紫外線(UV)作為輻射線從第1及第2模具的外面?zhèn)葘Τ涮畹囊r墊形成材料40進行照射，使襯墊形成材料UV硬化。通過這樣地使襯墊形成材料40進行UV硬化，從而使襯墊形成材料相對格柵24的緊貼性高于襯墊形成材料相對第1及第2模具32、33的緊貼性。
接著，如圖7A所示，在將第1及第2模具32、33緊貼于格柵24上的狀態(tài)下，將它們在加熱爐內進行熱處理，使粘接劑從襯墊形成材料40內逸出后，以約500-550℃、30分鐘-1小時燒固襯墊形成材料。由此，形成與格柵24一體的第1及第2襯墊30a、30b。
此后，將第1及第2模具32、33及格柵24冷卻至規(guī)定溫度后，如圖7B所示，將第1及第2模具從格柵24上剝離。由此，完成襯墊組件22。
在使用如上述制造的襯墊組件22來制造SED的場合，預先設置電子放出元件18、并預先準備連接側壁14的背面板10和設有熒光屏16及金屬襯墊17的正面板12，而且，在襯墊組件22定位于背面板10上的狀態(tài)下，將該背面板和正面板12配置在真空室內，在將真空室內作成真空排氣的狀態(tài)下，通過側壁14使正面板12與背面板10連接。由此，制成具有襯墊組件22的SED。
根據上述結構的襯墊組件22和具有該襯墊組件22的SED，各襯墊一體地具有向延伸端層疊且直徑逐漸變小的多個階梯部，并且各階梯部作成向延伸端側的尖細的圓錐狀，作為整體作成帶階梯的圓錐狀，即，作成大致帶階梯的切頭圓錐狀。因此，利用模具成型可將多個襯墊一體地作在格柵上，能獲得可容易制造的襯墊組件和SED。
并且，根據上述的襯墊組件的制造方法，通過在利用模具將襯墊形成材料配置在格柵上的狀態(tài)下燒固襯墊形成材料，則能一次地將多個襯墊作在格柵上的規(guī)定位置上。因此，能容易制造具有多個微細的襯墊的襯墊組件，能降低制造成本和提高制造效率。
并且，通過在將襯墊形成材料充填于模具的透孔內的狀態(tài)下進行燒固，則在燒固時不會使襯墊形成材料潰散開來，能容易形成具有足夠高度的縱橫比高的襯墊。
另外，在本實施形態(tài)中，作為襯墊形成材料，使用含有紫外線硬化型的粘接劑和玻璃填料的玻璃糊劑，在燒固之前，照射紫外線使襯墊形成材料硬化，并通過利用由氧化膜被覆的格柵和由具有耐氧化性的表面層被覆的模具，而可使襯墊形成材料相對格柵的緊貼性高于相對模具的緊貼性。由此，在以后的燒固、脫模工序中，能防止形成的襯墊附著于模具側，并能可靠地形成與格柵一體的襯墊。
另外，根據本實施形態(tài)，各模具是分別將形成透孔的多片金屬薄板層疊而成。通常，要將襯墊形成用的直徑為數(shù)百μm的微細透孔形成約1mm以上厚度的金屬板上是非常困難的。對此，若是約0.1-0.3mm厚的金屬薄板，利用蝕刻、激光照射等，而能較容易地形成微細的透孔。因此，象本實施形態(tài)那樣，通過將形成透孔的多片金屬薄板進行層疊，而能容易地獲得具有所需高度的透孔的模具。
并且，在上述模具中，形成于各金屬薄板上的透孔作成圓錐狀，且其直徑每金屬薄板不相同。因此，在將這些多片金屬薄板層疊時，即使產生一點位置偏差時，也能獲得使各金屬薄板的透孔相互間可靠地連通并具有所需的透孔的模具。另外，上述模具，由于用相對襯墊形成材料具有剝離性的表面層被覆，故襯墊形成材料難以附著在模具的透孔內，能反復地用于襯墊組件的制造。
下面，對具有本發(fā)明的第2實施形態(tài)的襯墊組件的SED及其制造方法進行說明。
如圖8所示，根據第2實施形態(tài)，襯墊組件22的格柵24，不具有襯墊開孔，第1及第2襯墊30a、30b分別獨立并與格柵24形成一體。
也就是說，多個第1襯墊30a，在格柵24的第1表面24a上立設于聚束開孔26之間，并通過金屬襯墊17和熒光屏16的黑色著色層而與正面板12的內面抵接。并且，多個第2襯墊30b，在格柵24的第2表面24b上立設于聚束開孔26之間，與背面板10的內面抵接，并且分別與第1襯墊33a排列配置。其他結構與前述的第1實施形態(tài)中的SED相同，故對相同的部分標上相同的參照符號而省略其詳細說明。
在制造上述結構的襯墊組件22的場合，首先，如圖9A所示，將第1模具32緊貼于格柵的第1表面24a上使各透孔34的大直徑側位于格柵24側，且定位成使各透孔位于格柵的聚束開孔26之間。接著，使用刮漿板36，從第1模具32的外面?zhèn)裙┙o糊劑狀的襯墊形成材料40，將襯墊形成材料充填于第1模具32的透孔34中。并且，襯墊形成材料40和第1模具32使用與前述實施形態(tài)相同的結構。
下面，如圖9B所示，將紫外線(UV)從第1模具32的外面?zhèn)葘Τ涮钣谕缚?4中的襯墊形成材料40進行照射，使襯墊形成材料UV硬化。由此，使襯墊形成材料40相對格柵24的緊貼性比襯墊形成材料相對第1模具32的緊貼性要高。
此后，如圖10A所示，在使格柵24與第1模具32呈保持緊貼的狀態(tài)下，使第2模具33緊貼于格柵的第2表面24b上使各透孔34的大直徑側位于格柵24側，且定位成各透孔位于格柵的聚束開孔26之間。而且，將這些第1模具32、格柵24和第2模具33用未圖示的夾板等互相地固定。
接著，使用刮漿板36，從第2模具33的外面?zhèn)裙┙o糊劑狀的襯墊形成材料40，將襯墊形成材料充填于第2模具33的透孔34中。另外，第2模具使用與前述的實施形態(tài)相同的模具。
此后，如圖10B所示，將紫外線從第2模具33的外面?zhèn)葘Τ涮钣谕缚?4中的襯墊形成材料40進行照射，使襯墊形成材料UV硬化。由此，使襯墊形成材料40相對于格柵24的緊貼性比襯墊形成材料相對第2模具32的緊貼性要高。
接著，如圖10C所示，在將第1及第2模具32、33緊貼于格柵24上的狀態(tài)下將它們在加熱爐內進行熱處理，使粘接劑從襯墊形成材料40內逸出后，以約500-550℃、30分鐘-1小時燒固襯墊形成材料。由此，形成與格柵24一體的第1及第2襯墊30a、30b。
而且，在將第1及第2模具32、33及格柵24冷卻至規(guī)定溫度后，通過從格柵24上剝離第1和第2模具32、33剝離，完成襯墊組件22。并且，具有上述結構的襯墊組件22的SED的制造，用與前述實施形態(tài)同樣的工序進行。
即使在上述構成的第2實施形態(tài)中，也能獲得與前述實施形態(tài)同樣的作用效果。
另外，在上述第1和第2實施形態(tài)中，雖然襯墊組件作成在格柵24的兩面上分別一體地具有第1和第2襯墊的結構，但也可以如圖11所示的第3實施形態(tài)那樣，作成僅在格柵的一方表面上設置襯墊的結構。
也就是說，根據第3實施形態(tài)，襯墊組件22具有格柵24和一體地立設于格柵的第1表面24a上的多個第1襯墊30a。這些第1襯墊30a立設在聚束開孔26之間，通過金屬襯墊17和熒光屏16的黑色著色層而與正面板12的內面抵接。
另外，在背面板10的內面上，一體地立設有多個第2襯墊30b，分別排列在與第1襯墊30a相對的位置上并與格柵24的第2表面24b抵接。
并且，第1和第2襯墊30a、30b，與前述的實施形態(tài)相同，分別向延伸端形成尖細的帶階梯的圓錐形狀，即，形成帶階梯切頭圓錐形狀。又，SED的另一結構與前述的實施形態(tài)相同，對于相同的部分標上相同的參照符號并省略其詳細的說明。
在第3實施形態(tài)中，襯墊組件22利用與前述的第2實施形態(tài)同樣的方法進行制造。但省略第2襯墊的制造工序。
并且，在第3實施形態(tài)中，多個第2襯墊30b，與構成背面板10的下班基板一起構成另一襯墊組件22。而且，該襯墊組件22也用與第2實施形態(tài)同樣的方法進行制造。
也就是說，取代格柵而在由玻璃基板構成的背面板10的表面上，將前述的第2模具33緊貼、定位在規(guī)定的位置上，以使各透孔34的大直徑側位于背面板一側。接著，從第2模具33的外面?zhèn)裙┙o糊劑狀的襯墊形成材料，將襯墊形成材料充填在第2模具的透孔34內。襯墊形成材料使用與前述實施形態(tài)相同的材料。
接著，將紫外線照射在充填于透孔中的襯墊形成材料而使襯墊形成材料UV硬化。由此，使襯墊形成材料相對背面板10的緊貼性比襯墊形成材料相對第2模具33的緊貼性要高。在此，構成背面板10的玻璃基板，由于其自身為氧化物，故即使在背面板外面上不形成氧化膜也可。
此后，在將第2模具33緊貼在背面板10上的狀態(tài)下將它們在加熱爐內進行熱處理，將粘接劑從襯墊形成材料內逸出后，燒固襯墊形成材料。由此，形成與背面板10一體的第2襯墊30b。
而且，在將第2模具33和背面板10冷卻至規(guī)定溫度后，通過將第2模具33剝離，完成一體地具有背面板10和第2襯墊30b的襯墊組件22。
即使在上述構成的第3實施形態(tài)中，也能獲得與前述的其它實施形態(tài)同樣的作用效果。
下面，對本發(fā)明的第4實施形態(tài)的SED進行說明。如圖12所示，在構成真空外殼15的正面板12與背面板10之間，為了防止在該兩面板間的異常放電而配設具有與規(guī)定的電位連接的電極板的后述的襯墊組件22。而且，正面板12和背面板10，由該襯墊組件22相對大氣壓支承，并維持面板間的規(guī)定間隔，例如1.6mm的間隔。
正面板12，具有由無堿玻璃構成的絕緣基板和形成在該絕緣基板的內面上的熒光屏16。熒光屏16具有分別具有紅(R)、藍(B)、綠(G)的發(fā)光特性并以0.6mm間距配置的條紋狀的熒光體層13；配置在熒光層體層13之間、用于提高對比度之比率的帶狀的遮光層11。
另外，在熒光屏16上，形成由鋁或其合金構成的導電薄膜層19，再在該導電薄膜層19上，形成由鋇(Ba)構成的蒸鍍吸氣層21。這樣的正面板12的導電薄膜層19具有正電極的功能。并且，蒸鍍吸氣層21，在真空室內將正面板12與背面板10貼合之前，通過在真空室內通過蒸鍍吸氣材料而形成，且在使從吸氣劑材料的蒸鍍至封固的一系列工序不暴露于大氣地保持真空的狀態(tài)下進行，而能獲得高性能的蒸鍍吸氣層21。
如圖12和圖14所示，背面板10具有由無堿玻璃構成的絕緣基板，在該絕緣基板的內面上，設有矩陣狀配置的多根掃描電極23和信號電極25，并在該掃描電極23與信號電極25的交叉部附近，分別設有從掃描電極和信號電極延伸配置的控制電極27和發(fā)射極29。
控制電極27與發(fā)射極29留有規(guī)定間隔地例如50μm而相對配置，并且，在該控制電極27和29之間，雖未圖示，但以具有5μm的間隔相對地配置石墨膜，由此構成表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲈?8。并且，在各掃描電極23上形成有保護膜31。
在上述構成的正面板12與背面板10之間設有襯墊組件22，相對大氣壓支承正面板和背面板。以下，詳細說明該襯墊組件22。
如圖12和圖14所示，襯墊組件22具有為了防止在正面板12與背面板10之間異常放電而配置的電極板42。該電極板42，用厚0.1mm的鐵—鎳合金制成，并對其表面進行氧化處理。電極板42的板厚，雖然也根據其大小，但若作成與對角尺寸20英寸以上的有效顯示區(qū)域相對應的尺寸，則為了確保所需的強度，最好形成約為0.1-0.25mm的厚度。
另外，為了確保制造容易性，雖然也考慮多個分割地形成電極板42，但由于在其邊界部對顯示帶來的不良影響，故在可能的范圍內最好使用與有效顯示區(qū)域3相對應尺寸的大型的電極板。
電極板42，在正面板12與背面板10之間被配置成與該兩面板平行。而且，在電極板42上，與表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲈?8相面對地形成多個。分別使從表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲈?8放出的電子線束透過用的250μm×180μm的矩形的開孔26。并且，在電極板42上，形成有連接后述的第1和第2襯墊用的多個圓形的襯墊開孔28。
電極板42，具有與正面板12相對的第1表面及與背面板10相對的第2表面。在第1表面?zhèn)扰c電極板42一體地形成有多個第1襯墊30a，并且，在第2表面?zhèn)扰c電極板42一體地形成有多個第2襯墊30b。而且，該第1襯墊30a和第2襯墊30b利用配置在形成于電極板42上的襯墊開孔28內的連接部52進行連接。在本實施形態(tài)中，2個第1襯墊30a分別通過連接部52而與1個第2襯墊30b連接。
如圖12至圖14所示，第2襯墊30b，與各表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲈?8相對應并通過保護膜31而配置在掃描電極23上，并沿配線方向延伸。各第2襯墊30b的截面形成為長橢圓形，沿電極板42側的配線方向的長度L1為0.4mm，沿與配線方向正交方向的長度L2為500μm，沿背面板10側的配線方向的長度L1′為0.35mm，沿與配線方向正交方向的長度L2′為400μm，而且，高度h1分別形成為0.5mm。
另外，第1襯墊30a，相對1個第2襯墊30b各設有2個。各第1襯墊30a，形成為具有一點錐度的圓柱狀，板42側的端部的直徑φ1為320μm，正面板12側的端部的直徑φ2為230μm，其高度h2分別形成為1.0mm。
也就是說，在第4實施形態(tài)中，第1襯墊30a的縱橫比(高度與電極板42側端的截面長軸方向的長度之比)相對第2襯墊30b來說形成得足夠大。并且，第2襯墊30b的高度形成為第1襯墊30a高度的約一半。
而且，相鄰的2個第1襯墊30a，分別通過電極板42的襯墊開孔28、即通過連接部52而與1個第2襯墊30b連接，與該第2襯墊30b及電極板42構成一體。該連接部52和襯墊開孔28的直徑，形成小于第1襯墊30a的電極板42側端的直徑φ1。
在將這樣構成的襯墊組件22配設在真空外殼15內的狀態(tài)下，電極板42與正面板12及背面板10平行地相對，同時防止與規(guī)定電位連接的面板間的異常放電。并且，各第2襯墊30b通過保護膜31及掃描電極23而與背面板10抵接，各第1襯墊30a，通過蒸鍍吸氣層21、導電薄膜層19和熒光屏16而與正面板12抵接，由此，相對大氣壓支承正面板12和背面板10。
根據上述構成的SED，襯墊組件22的第2襯墊30b，由于接近配置在與表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲈?8且其高度小于0.5mm，故無論沿掃描電極23配置于足夠大的面積上，第2襯墊30b的帶電也難以影響電子線的軌道。
另外，第1襯墊30a相對第2襯墊30b具有1.0mm的足夠高度，由于縱橫比形成得足夠大，故第1襯墊30a的帶電也仍然難以對電子線的軌道造成影響。并且，由于第1和第2襯墊30a、30b分別與各表面?zhèn)鲗碗娮臃懦鲈?8對應地均等配置，故難以產生因襯墊帶電引起的局部顯示不勻等。
還有，由于襯墊組件22被配置成分別相對正面板12和背面板10具有足夠大的接觸面積，故能確保SED的足夠的結構強度。因此，既能獲得足夠的強度又能防止因襯墊的帶電引起的顯示質量的下降的SED。
下面，說明關于具有上述結構的襯墊組件22的制造方法。
首先，如圖15A所示，準備厚0.1的鐵—鎳合金制成、且其表面經氧化處理的電極板42。對電極板42的表面進行氧化處理的理由是為了提高與后述的襯墊形成材料的緊貼性，尤其最好形成尖晶石型的氧化膜。在電極板42上，預先形成前述的電子線束透過用的多個開孔26(參照圖3)及將第1襯墊30a與第2襯墊30b互相連接用的多個襯墊開孔28。這些襯墊開孔28用蝕刻或激光加工等方法形成。
接著，如圖15B所示，將模具60、61與電極板42的上下位置對準地配置后，用未圖示的夾板等將它們緊貼固定。圖中，配置在電極板42的上面?zhèn)鹊哪＞?0，具有形成第1襯墊30a用的多個透孔62。另外，配置在電極板42的下面?zhèn)鹊哪＞?1，具有形成第2襯墊30b用的多個貫通的開口64。
該兩模具60、61，是將與電極板42同種的鐵—鎳合金構成的厚度約0.28mm的金屬板分別層疊4片和2片而成。其厚度，考慮后述的襯墊形成材料的固形成分的比率和所需的襯墊高度來決定。而且，透孔62和開口64，分別透過激光加工或蝕刻處理等而形成。另外，各透孔62和開口64，考慮模具60、61的剝離性而形成如圖所示的圓錐形狀。
另外，模具60、61的表面，實施與襯墊形成材料的剝離性和防止模具自身氧化用的處理，例如，實施Ni-P與聚四氟乙烯、氮化物、氧化物、碳化物的微粒子的共析鍍。作為該耐氧化處理，除了上述外，也適宜采用Ni-Co和Ni-P與W、Mo、Re等的高熔點金屬的共析鍍等。
而且，如上所述，將模具60、61相對電極板42定位配置后，例如用刮漿板36將襯墊形成材料40分別充填于模具60的透孔62和模具61的開口64內。襯墊形成材料40也可以通過模具61的開口64而一并充填于模具60的透孔62內。在任一種場合，都必須注意不要讓氣泡混入充填于模具60的透孔62和模具61的開口64內的襯墊形成材料40中。從透孔62和開口64漏出的多余的襯墊形成材料40用刮漿板等刮去。另外，作為襯墊形成材料40，使用至少含有無溶劑型的紫外線硬化型粘接劑和作為結構材料的玻璃填料的玻璃糊劑。
接著，如圖15C所示，將紫外線(UV)從模具60、61的外表面對充襯墊形成材料40進行照射，使含于襯墊形成材料40中的紫外線硬化型粘接劑充分硬化。
在此，如圖13所示，第1襯墊30a分別與對應的第2襯墊30b平面地重疊配置，尤其，第2襯墊30b也配置在對應的2個第1襯墊30a間的區(qū)域。并且，在電極板42上，與第1襯墊30a對應地形成直徑小于該第1襯墊30a的電極板側端的直徑的襯墊開孔28。因此，從圖15C也可知，對于充填于模具60的透孔62內的襯墊形成材料40，無論其縱橫比多高，UV線也能從模具60的上面?zhèn)群湍＞?2側進行充分的照射、滲透。由此，襯墊形成材料40可確保與表面氧化處理后的電極板42的足夠緊貼性，反之能確保與模具60、61的適度的剝離性。
接著，如圖16A所示，在使模具60、61緊貼于電極板42的狀態(tài)下，通過將它們在加熱爐內以400-450℃預燒固1小時，燒去在襯墊形成材料40內的粘接劑成分。再通過在加熱爐內以500℃正式燒固45分鐘，形成通過形成于襯墊開孔28內的連接部52相互連接的、與電極板42一體形成的第1及第2襯墊30a、30b。正式燒固的條件，雖然也根據尺寸等情況，但以500-550℃、30分鐘-1小時的程度較合適。
此后，在一邊進行消除應力退火、一邊冷卻至規(guī)定的溫度后，如圖16B所示，通過將模具60、61從電極板42上剝離，完成襯墊組件22。
通過由以上工序形成襯墊組件22，能較容易地獲得與電極板42一體形成的縱橫比高的第1襯墊30a，能降低制造成本和提高生產率。
也就是說，根據上述實施形態(tài)，通過在襯墊形成材料40中混入紫外線硬化型粘接劑并使其硬化，使相對模具60、61和電極板42的緊貼力具有選擇性，且能隨此而適當?shù)卮_保襯墊形狀。由此，能在將模具60、61緊貼于電極板42的狀態(tài)下進行燒固，尤其，從電極板42向正面板12側延伸的第1襯墊30a能獲得大于2.0的高的縱橫比。作為使緊貼性具有選擇性的方法，從生產率、制造成本等方面來看，混入紫外線硬化型硬化型粘接劑的方法是有用的，但不限于此。
另外，對第1襯墊30a，能從第2襯墊30b形成用的模具61側充分地照射UV線，可防止襯墊形成材料40的硬化不勻，能獲得縱橫比高的第1襯墊30a。
并且，在上述第4實施形態(tài)中，各第2襯墊30b的高度，雖然作成第1襯墊30a的高度的約一半，但可以作成小于第1襯墊30a的高度，尤其最好為其一半以下。
該實施形態(tài)的襯墊組件22的結構，雖然是在背面板10側的1個第2襯墊30b連接配置有在正面板12側分支成2個的2根第1襯墊30a相對配置，但也可以將分支成3個以上的第1襯墊與1個第2襯墊30b連接配置。另外，配置在正面板12側的第1襯墊30a，由于其帶電而對電子線束的軌道造成影響，故最好使縱橫比增高，且使整體的表面積減小。因此，最好用分支成多個的第1襯墊30a來構成。并且，與第1襯墊30a對應的襯墊開孔28，雖然分別作成1個開口，但也可用多個開口的集合體來構成。
并且，第2襯墊30b雖然作成具有橢圓形截面的形狀，但也可以作成具有L字形或十字形截面的形狀。
根據上述構成的SED，既能確保襯墊的足夠強度，又能防止因襯墊的帶電引起的顯示質量的下降。
此外，本發(fā)明不限于上述的實施形態(tài)，在本發(fā)明的范圍內可作各種變形。例如，襯墊形成材料不限于上述的玻璃糊劑，根據需要可作適當?shù)倪x擇。另外，襯墊的直徑及高度、其他結構要素的尺寸、材質等，根據需要可用適當?shù)剡x擇。還有，構成模具的金屬薄板，不限于擴散接合，也可利用超聲波接合等方法互相地接合。
在上述的實施形態(tài)中，雖然在將模具緊貼于格柵或玻璃基板上后、將襯墊形成材料充填于模具的透孔內，但也可以在預先將襯墊形成材料充填于模具的透孔內之后，再將模具緊貼配置于格柵或玻璃基板上。
另外，本發(fā)明不限于上述的SED，只要是具有襯墊的平面顯示裝置，可適用于各種產品。例如，在上述實施形態(tài)中，雖然是將SED為例進行說明的，但本發(fā)明也可適用于FED、PDP等其他的平面顯示裝置。并且，如在上述第3實施形態(tài)中所示，本發(fā)明不限于具有格柵的襯墊組件，也能適用于具有不帶聚束開孔的金屬基板或玻璃基板和多個襯墊的襯墊組件、平面顯示裝置及它們的制造方法。
工業(yè)上利用的可能性如以上詳述的那樣，根據本發(fā)明，可提供能容易制造的平面顯示裝置用的襯墊組件、襯墊組件的制造方法，具有高的縱橫比的襯墊的平面顯示裝置，能容易制造的平面顯示裝置的制造方法和用于制造襯墊組件的模具。并且，根據本發(fā)明，可提供既能確保襯墊的足夠強度又能防止因襯墊的帶電引起的顯示質量下降的平面顯示裝置。
權利要求
1.一種襯墊組件的制造方法，制造具有基板和設在基板上的多個柱狀襯墊、用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，準備基板和具有許多透孔的模具，在將上述模具緊貼地配置在上述基板的表面上后，將襯墊形成材料充填于模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述模具的緊貼性要高，在將上述模具緊貼于基板上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，在上述基板上形成襯墊，冷卻后，將上述模具剝離于上述基板。
2.一種襯墊組件的制造方法，制造具有基板和設在基板上的多個柱狀襯墊、用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，準備基板和具有許多透孔的模具，在將襯墊形成材料充填于上述模具的透孔內后，將模具緊貼地配置在上述基板的表面上，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述模具的緊貼性要高，在將上述模具緊貼于基板上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，在上述基板上形成襯墊，冷卻后，將上述模具剝離于上述基板。
3.一種襯墊組件的制造方法，制造具有基板和設在基板上的多個柱狀襯墊、用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，準備具有相對的第1及第2表面與貫通形成的多個開孔的基板和分別具有多個透孔的第1及第2模具，分別將上述第1模具及第2模具緊貼在上述基板的第1表面及第2表面上，且在上述基板的開孔與第1及第2模具的透孔配置成排列的狀態(tài)后，將襯墊形成材料充填于上述基板的開孔、第1及第2模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第1及第2模具的緊貼性要高，在將上述第1及第2模具緊貼于基板上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，在上述基板上分別形成襯墊，冷卻后，將上述第1及第2模具剝離于上述基板。
4.一種襯墊組件的制造方法，制造具有基板和設在基板上的多個柱狀襯墊、用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，準備具有相對的第1及第2表面的基板和分別具有多個透孔的第1及第2模具，在將上述第1模具緊貼地配置在上述基板的第1表面上后，將襯墊形成材料充填于第1模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板的第1表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第1模具的緊貼性要高，在將上述第2模具緊貼于上述基板的第2表面上后，將襯墊形成材料充填在第2模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板的第2表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第2模具的緊貼性要高，在照射上述輻射線后，在將上述第1及第2模具緊貼于基板上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，在上述基板的第1及第2表面上分別形成襯墊，冷卻后，將上述第1和第2模具剝離于上述基板。
5.如權利要求1所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，作為上述襯墊形成材料，使用至少含有紫外線硬化型的粘接劑和玻璃填料的玻璃糊劑，將紫外線作為輻射線進行照射使襯墊形成材料硬化。
6.如權利要求5所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，在對上述襯墊形成材料進行熱處理并除去上述粘接劑后，進行正式燒固。
7.如權利要求1所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，作為上述基板，使用在表面形成氧化膜的金屬板。
8.如權利要求1所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，作為上述基板，使用由形成許多聚束開孔且在表面形成氧化膜的金屬板構成的格柵。
9.如權利要求1所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，上述模具被進行相對上述襯墊形成材料具有剝離性和耐氧化性的表面處理。
10.一種平面顯示裝置的制造方法，該平面顯示裝置具有在內面形成熒光體層的第1基板；與上述第1基板留有規(guī)定間隙地相對配置并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；將上述第1和第2基板的周緣部相互間連接的框架狀的側壁；在上述第1和第2基板之間設成與該兩基板相對并具有與上述熒光體激勵裝置對應位置的許多開孔的板狀的格柵；設在上述第1基板與格柵之間的多個柱狀的第1襯墊；以及設在上述第2基板與格柵之間的多個柱狀的第2襯墊，其特征在于，準備格柵和具有許多透孔的模具，在將上述模具緊貼配置在上述格柵的表面上后，將襯墊形成材料充填于模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述格柵表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對模具的緊貼性要高，在將上述模具緊貼在格柵上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，在上述格柵上形成許多第1襯墊，冷卻后，將上述模具剝離于上述格柵。
11.一種平面顯示裝置的制造方法，該平面顯示裝置具有在內面形成熒光體層的第1基板；與上述第1基板留有規(guī)定間隙地相對配置并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；將上述第1和第2基板的周緣部相互間連接的框架狀的側壁；在上述第1和第2基板之間與該兩基板相對地設置并具有與上述熒光體激勵裝置對應位置的許多聚束開孔的板狀的格柵；設在上述第1基板與格柵之間的多個柱狀的第1襯墊；以及設在上述第2基板與格柵之間的多個柱狀的第2襯墊，其特征在于，準備具有相對的第1和第2表面且具有多個襯墊開孔的格柵和分別具有多個透孔的第1和第2模具，在上述格柵的第1表面及第2表面上分別緊貼上述第1模具及第2模具，且上述格柵的襯墊開孔與第1及第2模具的透孔配置成排列的狀態(tài)后，將襯墊形成材料充填于第1及第2模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對格柵的第1及第2表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第1及第2模具的緊貼性要高，在將上述第1及第2模具緊貼于格柵上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，在上述格柵的第1及第2表面上分別形成第1及第2襯墊，冷卻后，將上述第1及第2模具剝離于上述基板。
12.如權利要求11所述的平面顯示裝置的制造方法，其特征在于，作為上述襯墊形成材料，使用至少含有紫外線硬化型的粘接劑和玻璃填料的玻璃糊劑，將紫外線作為輻射線進行照射而使襯墊形成材料硬化。
13.如權利要求12所述的平面顯示裝置的制造方法，其特征在于，在對上述襯墊形成材料進行熱處理并除去粘接劑后，正式進行燒固。
14.如權利要求11所述的平面顯示裝置的制造方法，其特征在于，作為上述格柵，使用在表面形成氧化膜的金屬板。
15.如權利要求11所述的平面顯示裝置的制造方法，其特征在于，上述模具進行相對上述襯墊形成材料具有剝離性、和具有耐氧化性的表面處理。
16.一種平面顯示裝置，其特征在于，是利用權利要求11所述的制造方法而制造。
17.一種平面顯示裝置，其特征在于，具有在內面形成熒光體層的第1基板；與上述第1基板留有間隙地相對配置并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；連接上述第1及第2基板的周緣部相互間的框架狀的側壁；襯墊組件，其具有設在上述第1與第2基板之間并形成與上述熒光體激勵裝置的對應位置的許多聚束開孔的板狀的格柵和設在上述格柵上的多個襯墊，且利用如權利要求1所述的襯墊組件的制造方法而制造。
18.一種平面顯示裝置，其特征在于，具有在內面形成熒光體層的第1基板；與上述第1基板留有間隙地相對配置并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；連接上述第1及第2基板的周緣部相互間的框架狀的側壁；在上述第1與第2基板之間設置成與該兩基板相對并具有與上述熒光體激勵裝置對應位置的許多聚束開孔的板狀的格柵；設在上述格柵與第1基板之間的多個柱狀的第1襯墊；設在上述格柵與第2基板之間的多個柱狀的第2襯墊，上述各第1襯墊的高度形成得比上述各第2襯墊的高度要高。
19.如權利要求18所述的襯平面顯示裝置，其特征在于，上述各第1襯墊的與上述第1基板抵接的一端直徑比上述格柵側端的直徑要小，上述各第2襯墊的與上述第2基板抵接的一端直徑比上述格柵側端的直徑要小。
20.如權利要求18所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述第1襯墊的縱橫比為2以上，上述第2襯墊的縱橫比為0.6以上。
21.如權利要求18所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述格柵具有與上述第1基板相對的第1表面和與上述第2基板相對的第2表面，上述第1襯墊一體地立設于上述格柵的第1表面上，上述第2襯墊一體地立設于上述格柵的第2表面上。
22.如權利要求21所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述格柵，分別具有設在上述聚束開孔之間的多個襯墊開孔，各襯墊開孔具有比上述第1及第2襯墊的格柵則端的直徑小的直徑，上述第1及第2襯墊，被設置成與上述襯墊開孔的一個排列并通過上述襯墊開孔而形成為一體。
23.如權利要求18所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述格柵，具有與上述第1基板相對的第1表面和與上述第2基板相對的第2表面，上述第1襯墊一體地立設于上述格柵的第1表面上，上述第2襯墊一體地立設于上述第2基板上。
24.一種襯墊組件，是用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，具有基板；一體地立設于基板上的多個柱狀的襯墊，各襯墊從上述基板向延伸端層疊并一體地具有直徑逐漸變小的多個階梯部，各階梯部從基板側向延伸端側形成尖細的圓錐狀。
25.一種襯墊組件，是用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，具有具有相對的第1及第2表面并具有多個聚束開孔的板狀的格柵；一體地立設于上述格柵的第1表面上的多個柱狀的第1襯墊；一體地立設于上述格柵的第2表面上的多個柱狀的第2襯墊，上述第1及第2襯墊，分別從上述格柵向延伸端層疊并一體地具有直徑逐漸變小的多個階梯部，各階梯部向延伸端側形成尖細的圓錐狀。
26.如權利要求25所述的襯墊組件，其特征在于，上述各第1襯墊，在上述聚束開孔之間立設于上述格柵的第1表面上，上述各第2襯墊，在上述聚束開孔之間立設于上述格柵的第2表面上，并與上述第1襯墊排列。
27.如權利要求25所述的襯墊組件，其特征在于，上述格柵具有多個襯墊開孔，所述多個襯墊開孔分別形成于上述聚束開孔之間并具有比上述第1及第2襯墊的格柵側端的直徑較小的直徑，上述各第1襯墊，與上述襯墊開孔重疊地立設于上述格柵的第1表面上，上述各第2襯墊，與上述襯墊開孔重疊地立設于上述格柵的第2表面上，并通過上述襯墊開孔而與第1襯墊連接成一體。
28.一種平面顯示裝置，其特征在于，具有在內面形成熒光體層的第1基板；與上述第1基板留有規(guī)定間隙地相對配置并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；連接上述第1及第2基板的周緣部相互間的框架狀的側壁；設在上述第1和第2基板之間的襯墊組件，上述襯墊組件具有設有分別與上述熒光體激勵裝置相對的許多聚束開孔的板狀的格柵；及一體地立設于上述格柵上的多個柱狀的襯墊，各襯墊從上述格柵向延伸端層疊并一體地具有直徑逐漸變小的多個階梯部，各階梯部向延伸端側形成尖細的圓錐狀。
29.一種平面顯示裝置，其特征在于，具有在內面形成熒光體層的第1基板；與上述第1基板留有規(guī)定間隙地相對配置并設有激勵上述熒光體層的熒光體激勵裝置的第2基板；連接上述第1和第2基板的周緣部相互間的框架狀的側壁；設在上述第1和第2基板之間的襯墊組件，上述襯墊組件具有設有第1及第2表面且分別與上述熒光體激勵裝置相對的許多聚束開孔的板狀的格柵；一體地立設于上述格柵的第1表面上并與上述第1基板抵接的多個柱狀的第1襯墊；一體地立設于上述格柵的第2表面上并與上述第2基板抵接的多個柱狀的第2襯墊，上述第1及第2襯墊，分別從上述格柵向延伸端層疊并一體地具有直徑逐漸變小的多個階梯部，各階梯部向延伸端側形成尖細的圓錐狀。
30.如權利要求29所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述各第1襯墊，在上述聚束開孔之間立設于上述格柵的第1表面上，上述各第2襯墊，在上述聚束開孔之間立設于上述格柵的第2表面上，并與上述第1襯墊排列。
31.如權利要求29所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述格柵具有多個襯墊開孔，所述多個襯墊開孔分別形成于上述聚束開孔之間并具有比上述第1及第2襯墊的格柵側一端的直徑較小的直徑，上述各第1襯墊，與上述襯墊開孔重疊地立設于上述格柵的第1表面上，上述各第2襯墊，與上述襯墊開孔重疊地立設于上述格柵的第2表面上，并通過上述襯墊開孔而與第1襯墊連接成一體。
32.如權利要求29所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述第1襯墊的高度形成得比上述第2襯墊的高度要高。
33.一種襯墊形成材料，具有在內面形成熒光體的第1基板；與上述第1基板留有規(guī)定間隙地相對配置并設有激勵上述熒光體層的熒光體層激勵裝置的第2基板；連接上述第1及第2基板的周緣部相互間的框架狀的側壁；襯墊組件，其具有設有第1與第2表面、與上述熒光體激勵裝置相對的許多聚束開孔且設在上述第1與第2基板之間的板狀的格柵；及一體地立設于上述格柵的第1表面上并與上述第1基板抵接的多個柱狀的第1襯墊；一體地立設于上述第2基板上并與上述格柵的第2表面抵接的多個柱狀的第2襯墊，上述第1及第2襯墊，分別向延伸端層疊并一體地具有直徑變小的多個階梯部，各階梯部向延伸端側形成尖細的圓錐狀。
34.一種襯墊組件的制造方法，制造具有基板和設在基板上的多個柱狀的襯墊、用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，準備基板和分別具有從一端側向另一端側直徑逐漸變小的帶階梯圓錐狀的多個透孔的板狀的模具，在使各透孔的直徑徑側位于上述基板側地將上述模具緊貼配置在上述基板的表面上后，將襯墊形成材料充填于模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述基板表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述模具的緊貼性要高，在將上述模具緊貼在基板上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，使各襯墊一體地形成于上述基板上，冷卻后，將上述模具剝離于上述基板。
35.一種襯墊組件的制造方法，制造具有許多聚束開孔的板狀的格柵和設在格柵上的多個柱狀的襯墊、用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，準備具有第1及第2表面且分別位于上述聚束開孔間的多個襯墊開孔的板狀的格柵，準備具有分別從一端側向另一端側直徑逐漸變小的帶階梯圓錐狀的多個透孔的板狀的第1模具和第2模具，使各透孔的大直徑側位于上述格柵側地將上述第1模具及第2模具分別緊貼在上述格柵的第1表面及第2表面上、并使上述格柵的襯墊開孔與第1及第2模具的透孔配置成排列的狀態(tài)后，將襯墊形成材料充填于第1及第2模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述格柵的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第1及第2模具的緊貼性要高，在將上述第1及第2模具緊貼在格柵上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，使襯墊分別形成在上述第1及第2表面上，冷卻后，將上述第1及第2模具剝離于上述格柵。
36.一種襯墊組件的制造方法，制造具有許多聚束開孔的板狀的格柵和設在格柵上的多個柱狀的襯墊、用于平面顯示裝置的襯墊組件，其特征在于，準備具有第1及第2表面的板狀的格柵，準備具有分別從一端側向另一端側直徑逐漸變小的帶階梯圓錐狀的許多透孔的板狀的第1模具和第2模具，使各透孔的大直徑側位于上述格柵側地將上述第1模具緊貼地配置在上述格柵的第1表面上后，將襯墊形成材料充填于第1模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述格柵的第1表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第1模具的緊貼性要高，使各透孔的大直徑側位于上述格柵側地將上述第2模具緊貼地配置在上述格柵的第2表面上后，將襯墊形成材料充填于第2模具的透孔內，將輻射線照射在上述襯墊形成材料上使其硬化，使上述襯墊形成材料相對上述格柵的第2表面的緊貼性比上述襯墊形成材料相對上述第2模具的緊貼性要高，在照射上述輻射線后，在將第1和第2模具緊貼在格柵上的狀態(tài)下燒固上述襯墊形成材料，將襯墊分別形成于上述格柵的第1和第2表面上，在冷卻后，將上述第1和第2模具從上述格柵剝離。
37.如權利要求34所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，作為上述基板，使用由氧化膜被覆的金屬基板。
38.如權利要求35所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，作為上述格柵，使用由在表面形成氧化膜的金屬板構成的格柵。
39.如權利要求34所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，上述模具，進行具有相對上述襯墊形成材料的剝離性、和耐氧化性的表面處理。
40.如權利要求34所述的襯墊組件的制造方法，其特征在于，作為上述襯墊形成材料，使用至少含有紫外線硬化型的粘接劑和玻璃填料的玻璃糊劑，將紫外線作為輻射線進行照射使襯墊形成材料硬化。
41.一種模具，用于如權利要求34所述的襯墊組件的制造方法的模具，其特征在于，具有分別形成圓錐狀多個透孔的多片金屬薄板，各金屬薄板的各透孔，具有與其他金屬薄板的透孔不同的直徑，上述多個金屬薄板，在使透孔相互間排列的狀態(tài)、且從直徑大的透孔順序地排列的狀態(tài)下被層疊著。
42.如權利要求41所述的模具，其特征在于，上述多片的金屬薄板被互連接著。
43.如權利要求42所述的模具，其特征在于，上述多片的金屬薄板，利用擴散連接、釬焊、超聲波連接的任一種方法而相互連接。
44.如權利要求41所述的模具，其特征在于，由具有相對襯墊形成材料的剝離性、和耐氧化性的表面層被覆。
45.一種平面顯示裝置，具有具有規(guī)定的間隔而相對配置的正面板和背面板；配置在上述正面板與背面板之間的襯墊組件，其特征在于，上述襯墊組件具有電極板，其具有相對的第1和第2表面及多個襯墊開孔，并配置在上述正面板與背面板之間、與正面板及背面板相對；形成于上述電極板的第1表面?zhèn)鹊亩鄠€第1襯墊；形成于上述電極板的第2表面?zhèn)鹊亩鄠€第2襯墊；將1個上述第2襯墊與多個上述第1襯墊通過形成于上述電極板上對應的襯墊開孔而連接的連接部。
46.如權利要求45所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述各襯墊開孔的尺寸，小于上述第1襯墊的上述電極板側一端的尺寸。
47.如權利要求45所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述背面板具有多個電子放出部，上述電極板具有分別與上述電子放出部相對設置的多個開孔。
48.如權利要求45所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述第2襯墊，具有比上述第1襯墊小的縱橫比。
49.如權利要求48所述的平面顯示裝置，其特征在于，上述第2襯墊的高度，形成為上述第1襯墊的高度的一半以下。
50.一種平面顯示裝置，具有在內面形成熒光體層的正面板；與上述正面板留有規(guī)定間隙地相對配置并設有激勵上述熒光體層的多個電子放出部的背面板；連接上述正面板與背面板的周緣部相互間的框架狀的側壁；設在上述正面板與背面板之間的襯墊組件，其特征在于，上述襯墊組件具有電極板，其具有相對的第1和第2表面及多個襯墊開孔，并配置在上述正面板與背面板之間、與正面板及背面板相對；形成于上述電極板的第1表面?zhèn)?、分別與上述正面板抵接的多個第1襯墊；形成于上述電極板的第2表面?zhèn)?、分別與上述背面板抵接的多個第2襯墊；多個上述第1襯墊，分別通過形成于上述電極板的襯墊開孔利用連接部而與1個上述第2襯墊連接。
全文摘要
一種襯墊組件,具有分別一體地立設于板狀的格柵的第1及第2表面上的第1及第2襯墊。第1及第2襯墊,通過下述方法一體地形成于格柵表面上:在將分別具有多個透孔的第1及第2模具緊貼地配置在格柵的第1及第2表面上后,將含有紫外線硬化型粘接劑的玻璃糊劑充填在模具透孔內,照射紫外線使玻璃糊劑硬化,再在將模具保持緊貼的狀態(tài)下,以規(guī)定的溫度燒固玻璃糊劑。使第1襯墊的縱橫比成為2.5－3。
文檔編號H01J9/18GK1366701SQ01801107
公開日2002年8月28日 申請日期2001年3月23日 優(yōu)先權日2000年3月23日
發(fā)明者竹中滋男, 福田久美雄, 二階堂勝, 石川諭 申請人:株式會社東芝