掩模進(jìn)行曝光，用最 小顯影時間的1.5倍顯影后，將正常形成了固化抗蝕劑線的最小掩模寬度作為分辨率的值。 [0096]【孔掩蔽能力評價(jià)】
[0097]在除去所制造的感光干膜抗蝕劑的PE膜后，利用加熱壓輥在直徑為6mm的三連孔、 四連孔的多孔板上進(jìn)行層疊干膜。在此，利用具有較孔徑寬0.2mm的掩模進(jìn)行曝光，用最小 顯影時間的1.5倍顯影后，測試干膜的掩孔性能，每次測試100個孔，統(tǒng)計(jì)破孔率。多孔板中 三連孔和四連孔的結(jié)構(gòu)如圖1所示：
[0098]【評價(jià)結(jié)果】
[0099] 實(shí)施例和比較例配方組成以及性能評價(jià)結(jié)果示于表2.
[0100] 表2
[0101]
[0102]
[0103]
[0104]
[0105]
[0106]
[0107]
[0108]
[0109]
[0110]
[0111]如表2所示的實(shí)施例17,使用本發(fā)明的雙層結(jié)構(gòu)的抗蝕劑，獲得了良好的孔掩蔽能 力和較高分辨率的綜合性能。另外一方面，使用了單層結(jié)構(gòu)的抗蝕劑，很難獲得兼具高分辨 率和強(qiáng)的孔掩蔽能力，分辨率或孔掩蔽能力至少一個特性變差。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種具有良好孔掩蔽和分辨率的干膜抗蝕劑，其特征在于，包括第一組分和第二組 分，所述第一組分由50~70重量份重均分子量為80000~160000的含簇基的堿可溶性聚合 物、15~45含有乙締基的不飽和單體或寡聚物、0.5~10重量份的光引發(fā)劑和0~5重量份的 助劑組成;所述第二組分由50~70重量份重均分子量為30000~120000的含簇基的堿可溶 性聚合物、15~45含有乙締基的不飽和鍵單體或寡聚物、0.5~10重量份的光引發(fā)劑、0.1~ 2重量份結(jié)構(gòu)式I的化合物、W及0~5重量份的助劑組成;所述第一組合物中含簇基的堿可 溶性聚合物比第二組合物中含簇基的堿可溶性聚合物的重均分子量大;或者相同質(zhì)量的第 一組分和第二組分中，第一組合物中的乙締基的數(shù)量大于第二組合物中乙締基的數(shù)量。其中，31、1?2、1?3、1?4、1?5均選自山(：00山0山且1?1、1?2、1?3、1?4、1?5中至少包含一個地基團(tuán)或 COOH基團(tuán)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干膜抗蝕劑，其特征在于，所述第一組分和第二組分中的含簇 基的堿可溶性聚合物的酸含量在80-400m巧OH/g，更優(yōu)選為100-300m巧OH/g。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干膜抗蝕劑，其特征在于，所述的助劑由孔雀石綠等染料、無 色結(jié)晶紫等光成色劑、成色熱穩(wěn)定劑、增塑劑、顏料、填料、消泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、流平劑、 剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、成像劑、熱交聯(lián)劑中的一種或多種按照任意配比組成。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干膜抗蝕劑，其特征在于，所述含簇基的堿可溶性聚合物，由 一種或多種含簇基的共聚單元單體與一種或多種不含簇基基團(tuán)的共聚單元單體按照任意 配比共聚而得;其中，含簇基的聚合物的共聚單元單體可W選自W下含有簇基的酸:衣康 酸、己豆酸、丙締酸、甲基丙締酸、馬來酸半醋、順下締二酸、反下締二酸、乙締基乙酸及其酸 酢等;不含簇基基團(tuán)的共聚單元可W選自：（甲基）丙締酸甲醋、（甲基）丙締酸乙醋、（甲基） 丙締酸丙醋、（甲基)丙締酸異丙醋、（甲基）丙締酸正下醋、（甲基)丙締酸異下醋、（甲基）丙 締酸異辛醋、（甲基）丙締酸月桂醋、（甲基）丙締酸十八醋、（甲基）丙締酸-2-徑基乙醋、（甲 基）丙締酸-2-徑基丙醋、（甲基）丙締酸-4-徑基下醋、聚乙二醇單（甲基）丙締酸醋、聚丙二 醇單（甲基炳締酸醋、（甲基)丙締臘、（甲基)丙締酸縮水甘油醋、N，N-二甲基（甲基)丙締酸 乙醋、N，N-二乙基（甲基)丙締酸乙醋、N，N-二甲基（甲基)丙締酸丙醋、N，N-二乙基（甲基)丙 締酸丙醋、N，N-二甲基（甲基）丙締酸下醋、N，N-二乙基（甲基）丙締酸下醋、（甲基）丙締酷 胺、N-徑甲基-丙締酷胺、N-下氧基甲基-丙締酷胺、苯乙締、（甲基)丙締酸節(jié)醋、苯氧基乙基 (甲基)丙締酸醋、（烷氧基化)壬基苯酪（甲基)丙締酸醋等。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干膜抗蝕劑，其特征在于，所述乙締基的不飽和單體或寡聚物 由=徑甲基丙烷=丙締酸醋、（乙氧）丙氧基化=徑甲基丙烷=丙締酸醋、季戊四醇=丙締 酸醋、季戊四醇四丙締酸醋、二季戊四醇四丙締酸醋、二季戊四醇五丙締酸醋、二季戊四醇 六丙締酸醋、聚乙二醇二丙締酸醋、聚丙二醇二丙締酸醋、乙氧基化雙酪A二丙締酸醋、丙氧 基化雙酪A二丙締酸醋及甘油S丙酸醋中的一種或多種按照任意配比組成。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的干膜抗蝕劑，其特征在于，所述乙締基的不飽和單體或寡聚物 為（乙氧）丙氧基化=徑甲基丙烷=丙締酸醋、（乙氧）丙氧基化雙酪A二丙締酸醋或聚乙二 醇二丙締酸醋。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的干膜抗蝕劑，其特征在于，每1重量份的光引發(fā)劑由0.5~1重 量份的主引發(fā)劑和0~0.5重量份的輔助引發(fā)劑組成;所述主引發(fā)劑為2,4,5-=芳基咪挫二 聚體、或2，4，5-=芳基咪挫二聚體衍生物，例如:2-(鄰氯苯基)-4，5-二苯基咪挫二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5-二（甲氧基苯基)咪挫二聚物、2-(鄰氣苯基)-4,5-二苯基咪挫二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪挫二聚物、2-(對甲氧基苯基)-4,5-二苯基咪挫二聚物等。 所述輔助引發(fā)劑由嚷噸酬、苯偶姻苯基酸、二本甲酬、苯偶姻甲基酸、N，N'-四甲基-4,4'-二 氨基二苯甲酬(米蛋酬）、N，N'-四乙基-4,4'-二氨基二苯甲酬、4-甲氧基-4'-二甲基氨基二 苯甲酬、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎嘟基苯基)-下酬-1,2-甲基-1-[4-(甲基硫代）苯 基]-2-嗎嘟代-丙酬-1等芳香族酬，2-乙基蔥釀、菲釀、2-叔下基蔥釀、八甲基蔥釀、1,2-苯 并蔥釀、2,3-苯并蔥釀、2-苯基蔥釀、2,3-二苯基蔥釀、1-氯蔥釀、2-甲基蔥釀、1,4-糞釀、9， 10-菲釀、2-甲基1,4-糞釀、2,3-二甲基蔥釀等釀類，安息香甲酸、安息香乙酸、安息香酸化 合物，安息香、甲基安息香、乙基安息香等安息香化合物，苯偶酷二甲基縮酬等苯偶酷衍生 物，9-苯基日丫晚、1,7-雙(9,9'-日丫晚)庚燒等日丫晚衍生物，N-苯基氨基乙酸等N-苯基氨基乙 酸衍生物，香豆素系化合物，惡挫系化合物等中的一種或多種按照任意配比組成。8. -種由權(quán)利要求1-7所述的干膜抗蝕劑制成的抗蝕劑層壓體，其特征在于，包括支撐 層（1)和依次涂覆于支撐層（1)上的第一抗蝕層(2)和第二抗蝕層(3)，W及層疊于第二抗蝕 劑層之上的保護(hù)膜(4)，所述第一抗蝕層(2)由第一組分構(gòu)成，第二抗蝕層(3)由第二組分構(gòu) 成。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的抗蝕劑層壓體，其特征在于，第一抗蝕層(2)的厚度為厚度為 20~50微米，第二抗蝕層(3)的厚度為1-10微米。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種具有良好孔掩蔽和分辨率的干膜抗蝕劑及其層壓體，所述干膜抗蝕劑包括第一組分和第二組分，所述第一組分由堿可溶性聚合物、含有乙烯基的不飽和單體或寡聚物、光引發(fā)劑和助劑組成；所述第二組分由含羧基的堿可溶性聚合物、含有乙烯基的不飽和鍵單體或寡聚物、光引發(fā)劑、結(jié)構(gòu)式I的化合物、以及助劑組成；所述層壓體包括支撐體、由第一組分構(gòu)成的第一抗蝕層，由第二組分構(gòu)成的第二抗蝕層，以及層疊于第二抗蝕劑層之上的保護(hù)膜。本發(fā)明通過對兩種組分設(shè)計(jì)不同的分子量和交聯(lián)密度，實(shí)現(xiàn)了良好的顯影性和孔掩蔽性能。？。
【IPC分類】G03F7/038, G03F7/027, G03F7/004
【公開號】CN105511227
【申請?zhí)枴緾N201510997422
【發(fā)明人】李志強(qiáng), 李偉杰, 嚴(yán)曉慧, 黃森彪, 韓傳龍, 周光大, 林建華
【申請人】杭州福斯特光伏材料股份有限公司
【公開日】2016年4月20日
【申請日】2015年12月26日