，并使得兩種組分的分 子量或經(jīng)曝光后交聯(lián)密度不同。基于這兩種組分可以制備具有良好顯影性和孔掩蔽性能的 層壓體，其中，通過分子量較高或交聯(lián)密度較大的組分來提供抗堿蝕的性能和力學(xué)性能，通 過分子量較低或交聯(lián)密度較小的組分來提供良好的顯影性能。
【附圖說明】
[0021] 圖1為用于評(píng)價(jià)孔掩蔽性能的多孔板評(píng)價(jià)板三連孔和四連孔的孔結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022] 圖2為層壓體的結(jié)構(gòu)示意圖，圖中，支撐層1、第一抗蝕層2、第二抗蝕層3、保護(hù)膜4。
【具體實(shí)施方式】
[0023] 本發(fā)明一種干膜抗蝕劑，包括第一組分和第二組分，所述第一組分由50~70重量 份重均分子量為80000~160000的含羧基的堿可溶性聚合物(A)、15~45含有乙烯基的不飽 和單體或寡聚物(B)、0.5~10重量份的光引發(fā)劑(C)和0~5重量份的助劑(D)組成;所述第 二組分由50~70重量份重均分子量為30000~120000的含羧基的堿可溶性聚合物(A)、15~ 45含有乙烯基的不飽和鍵單體或寡聚物(B)、0.5~10重量份的光引發(fā)劑(C)、0.1~2重量份 結(jié)構(gòu)式I的化合物、以及〇~5重量份的助劑(D)組成;所述第一組合物中含羧基的堿可溶性 聚合物(A)比第二組合物中含羧基的堿可溶性聚合物(A)的重均分子量大;且相同質(zhì)量的第 一組分和第二組分中，第一組分中的乙烯基的數(shù)量大于第二組分中乙烯基的數(shù)量。
[0024]
[0025] 其中，1?1、1?2、1?3、1?4、1?5均選自!1、0)0!1、0!1，且1?1、1?2、1?3、1?4、1?5中至少包含一個(gè)0!1基 團(tuán)或C00H基團(tuán)。
[0026] 在本發(fā)明所使用的含羧基的堿可溶性聚合物(A)，由一種或多種含羧基的共聚單 元單體與一種或多種不含羧基基團(tuán)的共聚單元單體共聚而得。其制備方法可用公知的制備 方法制備，如溶液聚合、懸浮聚合等。
[0027] 其中，含羧基的聚合物的共聚單元單體可以選自以下含有羧基的酸:衣康酸、巴豆 酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸半酯、順丁烯二酸、反丁烯二酸、乙烯基乙酸及其酸酐等；
[0028] 不含羧基基團(tuán)的共聚單元可以選自：（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲 基)丙烯酸丙酯、（甲基)丙烯酸異丙酯、（甲基)丙烯酸正丁酯、（甲基)丙烯酸異丁酯、（甲基） 丙烯酸異辛酯、（甲基）丙烯酸月桂酯、（甲基）丙烯酸十八酯、（甲基）丙烯酸-2-羥基乙酯、 (甲基)丙烯酸-2-羥基丙酯、（甲基)丙烯酸-4-羥基丁酯、聚乙二醇單（甲基)丙烯酸酯、聚丙 二醇單（甲基)丙烯酸酯、（甲基)丙烯腈、（甲基)丙烯酸縮水甘油酯、N，N_二甲基（甲基)丙烯 酸乙酯、N，N_二乙基（甲基）丙烯酸乙酯、N，N_二甲基（甲基）丙烯酸丙酯、N，N_二乙基（甲基） 丙烯酸丙酯、N，N-二甲基（甲基)丙烯酸丁酯、N，N-二乙基（甲基)丙烯酸丁酯、（甲基)丙烯酰 胺、N-羥甲基-丙烯酰胺、N-丁氧基甲基-丙烯酰胺、苯乙烯、（甲基)丙烯酸芐酯、苯氧基乙基 (甲基)丙烯酸酯、（烷氧基化)壬基苯酚（甲基)丙烯酸酯等。
[0029]本發(fā)明用于第一組分和第二組分堿可溶性樹脂酸含量在80-400mgK0H/g，更優(yōu)選 100-300mgK0H/g〇
[0030] 本發(fā)明用于第一組分的堿可溶性樹脂的重均分子量?jī)?yōu)選80，000-160，000，用于第 二組分的堿可溶性樹脂的重均分子量?jī)?yōu)選30，000-120，000。
[0031] 本發(fā)明用于第一組分和第二組分的堿可溶性樹脂，在滿足第一組分的分子量比第 二組分的分子量大，或者第一組分中的可光交聯(lián)的乙烯基含量比第二組分中的高，或者這 兩個(gè)條件都滿足的前提下，制備該堿可溶性樹脂所用的共聚單體及比例可相同，也可不同。
[0032] 作為本發(fā)明中的含有乙烯基的不飽和鍵單體或寡聚物(B)，可以選自由以下單體 或寡聚物所構(gòu)成的群組:三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、（乙氧）丙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯 酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五 丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、乙氧基化 雙酸A二丙烯酸酯、丙氧基化雙酸A二丙烯酸酯及甘油三丙酸酯。
[0033]從孔掩蔽性和分辨率的角度看，優(yōu)選（乙氧）丙氧基化三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、 (乙氧）丙氧基化雙酚A二丙烯酸酯及聚乙二醇二丙烯酸酯?？晒┻x擇的商業(yè)化單體或寡聚 物可選擇舉例例如，沙多瑪牌號(hào) SR454、CD542、SR602、SR541、SR480、SR252、SR644等。
[0034]本發(fā)明的第一組分和第二組分所用的單體種類和用量可以相同，亦可不同，其總 用量?jī)?yōu)選為15~45重量份。
[0035]作為光引發(fā)劑(C)，包含2，4，5-三芳基咪唑二聚體及其衍生物，可以舉例出，2_(鄰 氯苯基)-4,5_二苯基咪唑二聚物、2-(鄰氯苯基)-4,5_二（甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(鄰 氟苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(鄰甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(對(duì)甲氧 基苯基)-4,5-二苯基咪唑二聚物等。此外，還可以含有噻噸酮、苯偶姻苯基醚、二本甲酮、苯 偶姻甲基醚、N，N'_四甲基_4,4'_二氨基二苯甲酮(米蚩酮）、N，N'_四乙基_4,4'_二氨基二 苯甲酮、4-甲氧基-4'-二甲基氨基二苯甲酮、2-芐基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁 酮-1，2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-嗎啉代-丙酮-1等芳香族酮，2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1，4_萘醌、9,10-菲醌、2-甲基1，4_萘醌、2,3_二甲基蒽醌等醌類，安息 香甲醚、安息香乙醚、，安息香苯基醚等安息香醚化合物，安息香、甲基安息香、乙基安息香 等安息香化合物，苯偶酰二甲基縮酮等苯偶酰衍生物，9-苯基吖啶、1，7-雙(9，9 吖啶)庚 烷等吖啶衍生物，N-苯基氨基乙酸等N-苯基氨基乙酸衍生物，香豆素系化合物，惡唑系化合 物等。
[0036] 本發(fā)明的第一組分和第二組分所用的光引發(fā)劑種類和用量可以相同，亦可不同且 都必須包含0.5及以上重量份的2，4，5-三芳基咪唑二聚體及其衍生物，還可以包含一種或 多種其他種類輔助光引發(fā)劑，其總用量?jī)?yōu)選為0.5~10重量份。
[0037] 干膜抗蝕劑組合物，除了如上述成分之外，可根據(jù)需要，添加助劑D，所述助劑D可 以為含有孔雀石綠等染料、無色結(jié)晶紫等光成色劑、成色熱穩(wěn)定劑、增塑劑、顏料、填料、消 泡劑、阻燃劑、穩(wěn)定劑、流平劑、剝離促進(jìn)劑、抗氧化劑、香料、成像劑、熱交聯(lián)劑等。
[0038] 第二組分所包含的化合物(I)結(jié)構(gòu)如下所示
[0039]
[0040] ，Ki，1^，似，1^/抑、1^^：1、咖，1下乃込天化合物可舉例，如鄰羥基苯甲酸、間輕 基苯甲酸、對(duì)羥基苯甲酸、鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對(duì)苯二甲酸、2,3_二羥基苯甲酸、2,4_ 二羥基苯甲酸、3，4-二羥基苯甲酸、1，2，3-苯三甲酸、1，2，4-苯三甲酸、1，3，4-苯三甲酸、3-羥基-1，2-苯二甲酸、4-羥基-1，2-苯二甲酸、2-羥基對(duì)苯二甲酸、1，2，3-苯三甲酸、1，2，4-苯三甲酸、4-羥基-1，2，3-苯三甲酸、5-羥基-1，2，3-苯三甲酸、2-羥基-1，3，5-苯三甲酸、3-羥基-1，2，4-苯三甲酸、5-羥基-1，2，4-苯三甲酸、6-羥基-1，2，4-苯三甲酸、4，5-二羥基-1， 2，3-苯三甲酸、4，6-二羥基-1，2，3-苯三甲酸、3，5-二羥基-1，2，4-苯三甲酸、3，6-二羥基-1，2，4苯三甲酸、2，4-二羥基間苯三甲酸、4，5，6-三羥基三苯甲酸、2，5，6-三羥基苯三甲酸、 2,4,6_三羥基苯三甲酸、3,4,5_