相同位置，腔室8與腔室10配置在相同位置。
[0091](工業(yè)用機(jī)器人的大致動(dòng)作)
[0092]圖9是用以說(shuō)明從圖1所示的制程腔室5搬出基板2并向制程腔室6搬入基板2時(shí)的工業(yè)用機(jī)器人I的移動(dòng)的圖。圖10是用以說(shuō)明向圖1所示的制程腔室7搬入基板2時(shí)的工業(yè)用機(jī)器人I的移動(dòng)的圖。
[0093]機(jī)器人I使馬達(dá)31、40、46、47驅(qū)動(dòng)而在腔室5?10間搬送基板2。例如，如圖9所示，機(jī)器人I從腔室5搬出基板2并向腔室6搬入基板2。S卩，機(jī)器人I如圖9(A)所示將臂14伸長(zhǎng)而在腔室5內(nèi)裝載基板2之后，如圖9 (B)所示，收縮臂14直至第一臂部23與第二臂部24在上下方向上重疊為止而從腔室5搬出基板2。其后，機(jī)器人I使手部13轉(zhuǎn)動(dòng)180°之后，將臂14伸長(zhǎng)，如圖9(C)所示，向腔室6搬入基板2。
[0094]并且，例如，機(jī)器人I將從腔室5搬出的基板2向腔室7搬入(參照?qǐng)D10)。此時(shí)，機(jī)器人I首先如圖10(A)所示從收縮臂14的狀態(tài)使馬達(dá)31、46、47驅(qū)動(dòng)，如圖10(B)所示，以叉部21與前后方向平行并且基板2配置于手部13的后端側(cè)的方式，且以在左右方向上手部13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2與腔室7的左右方向的中心大致一致的方式，使手部13、第一臂部23以及第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)。其后，機(jī)器人I將臂14伸長(zhǎng)，如圖10(C)所示，向腔室7搬入基板2。
[0095]同樣地，機(jī)器人I例如將從腔室5搬出的基板2向腔室9搬入。此時(shí)，機(jī)器人I首先從收縮臂14的狀態(tài)使馬達(dá)31、46、47驅(qū)動(dòng)，以叉部21與前后方向平行并且基板2配置于手部13的前端側(cè)的方式，且以在左右方向上轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2與腔室9的左右方向的中心大致一致的方式，使手部13、第一臂部23以及第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)。其后，機(jī)器人I將臂14伸長(zhǎng)而向腔室9搬入基板2。
[0096]并且，機(jī)器人I例如將從腔室5搬出的基板2向腔室8搬入。此時(shí)，機(jī)器人I首先從收縮臂14的狀態(tài)使馬達(dá)31、46、47驅(qū)動(dòng)，以叉部21與前后方向平行并且基板2配置在手部13的后端側(cè)的方式，且以在左右方向上轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2與腔室8的左右方向的中心大致一致的方式，使手部13、第一臂部23以及第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)。其后，機(jī)器人I將臂14伸長(zhǎng)而向腔室8搬入基板2。
[0097]另外，機(jī)器人I例如將從腔室5搬出的基板2向腔室10搬入。此時(shí)，機(jī)器人I首先從收縮臂14的狀態(tài)使馬達(dá)31、46、47驅(qū)動(dòng)，以叉部21與前后方向平行并且基板2配置在手部13的前端側(cè)的方式，且以在左右方向上轉(zhuǎn)動(dòng)中心C2與腔室10的左右方向的中心大致一致的方式，使手部13、第一臂部23以及第二臂部24轉(zhuǎn)動(dòng)。其后，機(jī)器人I將臂14伸長(zhǎng)而向腔室10搬入基板2。
[0098]在基板2的搬出時(shí)和搬入時(shí)，手部13和第一臂部23以第一臂部23相對(duì)于主體部15的轉(zhuǎn)動(dòng)角度與手部13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)角度相等且第一臂部23相對(duì)于主體部15的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與手部13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)方向?yàn)橄喾捶较虻姆绞睫D(zhuǎn)動(dòng)。S卩，馬達(dá)31、47以第一臂部23相對(duì)于主體部15的轉(zhuǎn)動(dòng)角度與手部13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)角度相等且第一臂部23相對(duì)于主體部15的轉(zhuǎn)動(dòng)方向與手部13相對(duì)于第二臂部24的轉(zhuǎn)動(dòng)方向?yàn)橄喾捶较虻姆绞叫D(zhuǎn)。因此，基板2的搬出時(shí)及搬入時(shí)手部13的朝向保持為固定。
[0099](本方式的主要效果)
[0100]如以上所說(shuō)明，在(第一發(fā)明所涉及的)本方式中，在臂部主體80形成有多個(gè)貫通孔SOf，且在蓋住貫通孔SOf的蓋部件81與臂部主體80的上表面部80a之間配置有防止空氣從為大氣壓的內(nèi)部空間66流出的環(huán)狀的密封部件。因此，在本方式中，即便機(jī)器人I大型化而使第二臂部24大型化，也可使多個(gè)密封部件各者的大小變小，其結(jié)果，可在組裝第二臂部24時(shí)容易地操作密封部件。同樣地，在本方式中，在臂部主體85形成有多個(gè)貫通孔85g，在蓋住貫通孔85g的蓋部件86與臂部主體85的上表面部85a之間配置有防止空氣從為大氣壓的內(nèi)部空間45流出的環(huán)狀的密封部件。因此，在本方式中，即便機(jī)器人I大型化而使第一臂部23大型化，也可使多個(gè)密封部件各者的大小變小，其結(jié)果，可在組裝第一臂部23時(shí)容易地操作密封部件。因此，在本方式中，即便機(jī)器人I大型化，也可減少安裝用以確保臂14的內(nèi)部空間45、66的氣密性的密封部件時(shí)的作業(yè)錯(cuò)誤。
[0101]此處，在(第一發(fā)明所涉及的)本方式中，配置在真空中的第二臂部24的內(nèi)部空間66為大氣壓，因此形成為中空狀的第二臂部24因內(nèi)部的壓力而以向外側(cè)凸起的方式變形，在本方式中，在臂部主體80的下表面部80b的上表面形成有在從上下方向觀察時(shí)與貫通孔SOf重疊的凹部80η，因此可以第二臂部24朝向上下兩側(cè)大致均等地凸起的方式使第二臂部24變形。
[0102]即，在下表面部80b的上表面未形成凹部80η時(shí)，形成有多個(gè)貫通孔SOf的上表面部80a的強(qiáng)度低于下表面部80b的強(qiáng)度，因此第二臂部24容易因內(nèi)部的壓力而以上側(cè)比下側(cè)大地凸起的方式變形，但在本方式中，在下表面部80b的上表面形成有凹部80η，可使下表面部80b的強(qiáng)度接近上表面部80a的強(qiáng)度，因此可以第二臂部24朝向上下兩側(cè)大致均等地凸起的方式使第二臂部24變形。因此，在本方式中，即便在上表面部80a形成有多個(gè)貫通孔80f，也可抑制第二臂部24以向上下方向的一側(cè)傾斜的方式變形或者第二臂部24以扭曲的方式變形。
[0103]同樣地，在(第一發(fā)明所涉及的)本方式中，配置在真空中的第一臂部23的內(nèi)部空間45為大氣壓，因此形成為中空狀的第一臂部23因內(nèi)部的壓力而以向外側(cè)凸起的方式變形，在本方式中，在臂部主體85的下表面部85b的上表面形成有在從上下方向觀察時(shí)與貫通孔85g重疊的凹部85η，因此可以第一臂部23朝向上下兩側(cè)大致均等地凸起的方式使第一臂部23變形。因此，在本方式中，即便在上表面部85a形成有多個(gè)貫通孔85g，也可抑制第一臂部23以向上下方向的一側(cè)傾斜的方式變形或者第一臂部23以扭曲的方式變形。
[0104]如此，在(第一發(fā)明所涉及的)本方式中，即便在上表面部80a、85a形成有多個(gè)貫通孔80f、85g，也可抑制臂14以向上下方向的一側(cè)傾斜的方式變形或者臂14以扭曲的方式變形，因此可確保臂14的前端側(cè)的位置精度。因此，在本方式中，即便在上表面部80a、85a形成有多個(gè)貫通孔80f、85g，也可精度良好地向腔室5?10的預(yù)定位置搬送基板2。S卩，在本方式中，可抑制基板2從目標(biāo)到達(dá)位置偏移并提高基板2的搬送精度。
[0105]特別地，在(第一發(fā)明所涉及的)本方式中，在從上下方向觀察時(shí)，貫通孔SOf的內(nèi)周面與凹部80η的內(nèi)周面大致一致，且貫通孔85g的內(nèi)周面與凹部85η的內(nèi)周面大致一致，因此容易以第一臂部23、第二臂部24朝向上下兩側(cè)大致均等地凸起的方式使第一臂部23、第二臂部24變形。因此，在本方式中，即便在上表面部80a、85a形成有多個(gè)貫通孔80f、85g，也可有效地抑制臂14以向上下方向的一側(cè)傾斜的方式變形或者臂14以扭曲的方式變形，其結(jié)果，可提高臂14的前端側(cè)的位置精度。
[0106]在(第一發(fā)明所涉及的)本方式中，臂部主體80、85是通過(guò)對(duì)鋁合金的塊體進(jìn)行切削加工而形成的。因此，在本方式中，與通過(guò)將相互分開(kāi)形成的上表面部80a、85a、下表面部80b、85b以及側(cè)面部80c、85c接合而形成臂部主體80、85的情形相比，易于防止空氣從內(nèi)部空間45、66流出。并且，在本方式中，與臂部主體80、85是通過(guò)鑄造物而形成的情形相比，可減少?gòu)谋鄄恐黧w80、85向真空中釋放的氣體(外部氣體)的釋放量。
[0107]如以上所說(shuō)明，在(第二發(fā)明所涉及的)本方式中，臂14整體形成為中空狀，臂14的內(nèi)部空間45、66為大氣壓。因此，在本方式中，即便裝載于手部13并在真空中搬送的基板2的溫度較高，也可從臂14的內(nèi)部冷卻臂14整體，從而可抑制臂14整體的溫度上升。因此，在本方式中，即便裝載于手部13并搬送的基板2的溫度較高，也可抑制臂14整體的熱膨脹，其結(jié)果，可向腔室5?10的預(yù)定位置精度良好地搬送基板2。即，在本方式中，即便裝載于手部13并搬送的基板2的溫度較高，也可抑制基板2從目標(biāo)到達(dá)位置偏移并提高基板2的搬送精度。
[0108]并且，在(第二發(fā)明所涉及的)本方式中，臂14整體形成為中空狀，臂14的內(nèi)部空間45、66為大氣壓，因此即便裝載于手部13并搬送的基板2的溫度較高，也可抑制配置在臂14的內(nèi)部的所有軸承的溫度上升，從而可抑制這些軸承壽命下降。S卩，在本方式中，SP便裝載于手部13并搬送的基板2的溫度較高，也可抑制構(gòu)成馬達(dá)46、47、減速機(jī)48、61以及張力帶輪73等的所有軸承的壽命下降。并且，在本方式中，臂14的內(nèi)部空間45、66為大氣壓，因此作為配置于臂14的內(nèi)部的馬達(dá)46、47和減速機(jī)48、61的潤(rùn)滑劑，只要使用在大氣壓中所使用的潤(rùn)滑脂等潤(rùn)滑劑即可，而不必使用真空潤(rùn)滑脂等高價(jià)的潤(rùn)滑劑。因此，本方式中，可減少機(jī)器人I的初期成本以及運(yùn)轉(zhuǎn)成本。
[0109]并且，在(第二發(fā)明所涉及的)本方式中，臂14的內(nèi)部空間45、66為大氣壓，因此在真空區(qū)域VR中可防止從馬達(dá)46、47、減速機(jī)48、61、帶輪52、53、57、58、60、63以及傳動(dòng)帶54、59、64產(chǎn)生氣體(外部氣體)。并且，在本方式中，臂14的內(nèi)部空間45、66為大氣壓，可減少配置于真空區(qū)域VR內(nèi)的臂14的表面積，因此在真空區(qū)域VR中可減少來(lái)自臂14的外部氣體的產(chǎn)生量。因此，在本方式中，在基板2的制造工序中可抑制起因于外部氣體的故障的產(chǎn)生。
[0110]在(第二發(fā)明所涉及的)本方式中，通過(guò)減速機(jī)48而構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的一部分，通過(guò)減速機(jī)61而構(gòu)成關(guān)節(jié)部27的一部分。因此，在本方式中，可提高關(guān)節(jié)部26、27的剛性。
[0111]在(第二發(fā)明所涉及的)本方式中，馬達(dá)47配置于第一臂部23的內(nèi)部。因此，在本方式中，與馬達(dá)47配置于第二臂部24的內(nèi)部的情形相比，可使第二臂部24小型化。另夕卜，在馬達(dá)47配置于第一臂部23的內(nèi)部時(shí)，從馬達(dá)47到手部13為止的動(dòng)力的傳遞路徑變長(zhǎng)，但在本方式中，通過(guò)減速機(jī)61而構(gòu)成關(guān)節(jié)部27的一部分，在減速機(jī)61的輸出側(cè)直接固定有手部13。因此，在本方式中，例如與以減速機(jī)61構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的方式配置且減速機(jī)61與手部13通過(guò)傳動(dòng)帶和帶輪而連接的情形相比，可提高手部13的停止精度，其結(jié)果，可提高基板2的搬送精度。S卩，在以減速機(jī)61構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的方式配置且減速機(jī)61與手部13通過(guò)傳動(dòng)帶和帶輪而連接的情形下，對(duì)用以連接減速機(jī)61與手部13的傳動(dòng)帶施加減速后的負(fù)載，因而在手部13停止時(shí)，該傳動(dòng)帶會(huì)伸長(zhǎng)而手部13的停止精度容易下降，在本方式中，對(duì)傳動(dòng)帶64施加減速前的負(fù)載，從而可抑制手部13停止時(shí)傳動(dòng)帶64的伸長(zhǎng)，提高手部13的停止精度。
[0112](工業(yè)用機(jī)器人的變形例一)
[0113]圖11是本發(fā)明(第二發(fā)明)的其它實(shí)施方式所涉及的工業(yè)用機(jī)器人I的俯視圖。
[0114]在上述方式中，臂14是由一個(gè)第一臂部23和一個(gè)第二臂部24構(gòu)成的。除此以外，例如，如圖11所示，臂14也可由一個(gè)第一臂部23與兩個(gè)第二臂部24構(gòu)成。在該情形時(shí)，第一臂部23形成為大致V形或者直線狀，且其中心部為可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接于主體部15的基端部。并且，如圖11所示，在第一臂部23的兩個(gè)前端側(cè)分別可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接有第二臂部24，在第一臂部23的兩個(gè)前端側(cè)分別形成有關(guān)節(jié)部26。
[0115]即便在該情形時(shí)，也與上述方式同樣地，通過(guò)減速機(jī)48構(gòu)成關(guān)節(jié)部26的一部分，通過(guò)減速機(jī)61而構(gòu)成關(guān)節(jié)部27的一部分。并且，在第一臂部23的兩個(gè)前端側(cè)分別在第一臂部23的內(nèi)部空間45配置有馬達(dá)46、47和減速機(jī)48，在兩個(gè)第二臂部24的前端側(cè)分別在第二臂部24的內(nèi)部空間66配置有減速機(jī)61。并且，內(nèi)部空間45、