帶有具有不等連接部長度的臂的機(jī)器人的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]所公開的實(shí)施例涉及一種機(jī)器人，其帶有具有不等連接部長度的臂，并且更具體地涉及一種機(jī)器人，其帶有具有不等連接部長度的一個或多個臂，每個臂支撐一個或多個基底。
【背景技術(shù)】
[0002]用于諸如與制造半導(dǎo)體、LED、太陽能、MEMS或其他設(shè)備相關(guān)聯(lián)的應(yīng)用的真空、大氣以及布控環(huán)境工藝?yán)脵C(jī)器人以及其他形式的自動化技術(shù)來傳送基底以及與基底相關(guān)聯(lián)的載片到存儲位置、處理位置或其他位置或從這些位置進(jìn)行傳送。這種基底的傳送可以是利用傳送一個或多個基底的單獨(dú)臂或利用其中每一個都傳送一個或多個基底的多個臂來移動單個基底、基底群組。例如與半導(dǎo)體制造相關(guān)聯(lián)的大規(guī)模的制造是在清潔或真空環(huán)境中完成的，其中占地面積和體積非常珍貴。此外，進(jìn)行大量的自動化傳輸，其中傳送時間的最小化導(dǎo)致了周期的降低以及增加的產(chǎn)量和對相關(guān)聯(lián)設(shè)備的利用。因此，希望提供基底傳送自動化技術(shù)，其針對給定范圍的傳送應(yīng)用要求最小的占地面積和工作空間體積并具有最小化傳送時間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]下面的
【發(fā)明內(nèi)容】
僅旨為示例性的。所述
【發(fā)明內(nèi)容】
并不旨在限定權(quán)利要求。
[0004]根據(jù)示例性實(shí)施例的一個方面，一種傳送裝置具有驅(qū)動器；連接到驅(qū)動器的第一臂，其中第一臂包括與驅(qū)動器串聯(lián)地連接的第一連接部、第二連接部和端部執(zhí)行器，其中所述第一連接部和第二連接部具有不同的有效長度；以及用于限制端部執(zhí)行器相對于第二連接部的旋轉(zhuǎn)的系統(tǒng)，以當(dāng)?shù)谝槐凵煺够蚩s回時提供端部執(zhí)行器相對于驅(qū)動器的基本上僅直線運(yùn)動。
[0005]根據(jù)示例性實(shí)施例的另一個方面，提供一種方法，包括:由驅(qū)動器旋轉(zhuǎn)臂的第一連接部；當(dāng)?shù)谝贿B接部被旋轉(zhuǎn)時旋轉(zhuǎn)臂的第二連接部，其中所述第二連接部在第一連接部上旋轉(zhuǎn)；并且在第二連接部上旋轉(zhuǎn)端部執(zhí)行器，其中第一連接部和第二連接部具有不同的有效長度，并且其中在第二連接部上的端部執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)被限制，以使得當(dāng)臂伸展或縮回時，端部執(zhí)行器被限制為相對于驅(qū)動器的基本上僅直線運(yùn)動。
[0006]根據(jù)示例性實(shí)施例的另一方面，提供一種傳送裝置，其具有驅(qū)動器；以及連接到驅(qū)動器的臂，其中所述臂包括在第一關(guān)節(jié)處連接到驅(qū)動器的第一連接部，在第二關(guān)節(jié)處連接到第一連接部的第二連接部，以及在第三關(guān)節(jié)處連接到第二連接部的端部執(zhí)行器，其中所述第一連接部包括在第一關(guān)節(jié)和第二關(guān)節(jié)之間的第一長度，其與在第二關(guān)節(jié)和第三關(guān)節(jié)之間的第二連接部的第二長度不等，其中在臂的伸展和縮回期間端部執(zhí)行器在第三關(guān)節(jié)處的運(yùn)動限制為以相對于驅(qū)動器的旋轉(zhuǎn)中心的基本上為直線的徑向線為軌跡。
【附圖說明】
[0007]結(jié)合附圖，在下面的描述中對前述的方面和其他特征進(jìn)行闡述，其中:
[0008]圖1A為傳送裝置的頂視圖；
[0009]圖1B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0010]圖2A為傳送裝置的頂部局部示意性視圖；
[0011]圖2B為傳送裝置的側(cè)視截面局部示意性視圖；
[0012]圖3A為傳送裝置的頂視圖；
[0013]圖3B為傳送裝置的頂視圖；
[0014]圖3C為傳送裝置的頂視圖；
[0015]圖4為圖表；
[0016]圖5A為傳送裝置的頂視圖；
[0017]圖5B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0018]圖6A為傳送裝置的頂部局部示意性視圖；
[0019]圖6B為傳送裝置的側(cè)視截面局部示意性視圖；
[0020]圖7A為傳送裝置的頂視圖；
[0021]圖7B為傳送裝置的頂視圖；
[0022]圖7C為傳送裝置的頂視圖；
[0023]圖8為圖表；
[0024]圖9為傳送裝置的側(cè)視截面局部示意性圖；
[0025]圖1OA為傳送裝置的頂視圖；
[0026]圖1OB為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0027]圖1lA為傳送裝置的頂視圖；
[0028]圖1lB為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0029]圖12為傳送裝置的側(cè)視截面局部示意性圖；
[0030]圖13為傳送裝置的側(cè)視截面局部示意性圖；
[0031]圖14A為傳送裝置的頂視圖；
[0032]圖14B為傳送裝置的頂視圖；
[0033]圖14C為傳送裝置的頂視圖；
[0034]圖15A為傳送裝置的頂視圖；
[0035]圖15B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0036]圖16A為傳送裝置的頂視圖；
[0037]圖16B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0038]圖17A為傳送裝置的頂視圖；
[0039]圖17B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0040]圖18為傳送裝置的側(cè)視截面局部示意性圖；
[0041]圖19為傳送裝置的側(cè)視截面局部示意性圖；
[0042]圖20A為傳送裝置的頂視圖；
[0043]圖20B為傳送裝置的頂視圖；
[0044]圖20C為傳送裝置的頂視圖；
[0045]圖2IA為傳送裝置的頂視圖；
[0046]圖21B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0047]圖22A為傳送裝置的頂視圖；
[0048]圖22B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0049]圖23為傳送裝置的側(cè)視截面局部示意性圖；
[0050]圖24A為傳送裝置的頂視圖；
[0051]圖24B為傳送裝置的頂視圖；
[0052]圖24C為傳送裝置的頂視圖；
[0053]圖25A為傳送裝置的頂視圖；
[0054]圖25B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0055]圖26A為傳送裝置的頂視圖；
[0056]圖26B為傳送裝置的頂視圖；
[0057]圖26C為傳送裝置的頂視圖；
[0058]圖27A為傳送裝置的頂視圖；
[0059]圖27B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0060]圖28A為傳送裝置的頂視圖；
[0061]圖28B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0062]圖29A為傳送裝置的頂視圖；
[0063]圖29B為傳送裝置的頂視圖；
[0064]圖29C為傳送裝置的頂視圖；
[0065]圖30A為傳送裝置的頂視圖；
[0066]圖30B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0067]圖3IA為傳送裝置的頂視圖；
[0068]圖31B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0069]圖32A為傳送裝置的頂視圖；
[0070]圖32B為傳送裝置的頂視圖；
[0071]圖32C為傳送裝置的頂視圖；
[0072]圖32D為傳送裝置的頂視圖；
[0073]圖33A為傳送裝置的頂視圖；
[0074]圖33B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0075]圖34A為傳送裝置的頂視圖；；
[0076]圖34B為傳送裝置的頂視圖；
[0077]圖34C為傳送裝置的頂視圖；
[0078]圖35A為傳送裝置的頂視圖；
[0079]圖35B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0080]圖36為傳送裝置的頂視圖；
[0081]圖37A為傳送裝置的頂視圖；
[0082]圖37B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0083]圖38A為傳送裝置的頂視圖；
[0084]圖38B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0085]圖39為傳送裝置的頂視圖；
[0086]圖40A為傳送裝置的頂視圖；
[0087]圖40B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0088]圖41為傳送裝置的頂視圖；
[0089]圖42為傳送裝置的頂視圖；
[0090]圖43A為傳送裝置的頂視圖；
[0091]圖43B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0092]圖44為傳送裝置的頂視圖；
[0093]圖45為傳送裝置的頂視圖；
[0094]圖46A為傳送裝置的頂視圖；
[0095]圖46B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0096]圖47A為傳送裝置的頂視圖；
[0097]圖47B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0098]圖48為傳送裝置的頂視圖；
[0099]圖49為傳送裝置的頂視圖；
[0100]圖50A為傳送裝置的頂視圖；
[0101]圖50B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0102]圖51為傳送裝置的頂視圖；
[0103]圖52A為傳送裝置的頂視圖；
[0104]圖52B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0105]圖53為傳送裝置的頂視圖；
[0106]圖54A為傳送裝置的頂視圖；
[0107]圖54B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0108]圖55A為傳送裝置的頂視圖；
[0109]圖55B為傳送裝置的頂視圖；
[0110]圖55C為傳送裝置的頂視圖；
[0111]圖56A為傳送裝置的頂視圖；
[0112]圖56B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0113]圖57A為傳送裝置的頂視圖；
[0114]圖57B為傳送裝置的頂視圖；
[0115]圖57C為傳送裝置的頂視圖；
[0116]圖58A為傳送裝置的頂視圖；
[0117]圖58B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0118]圖59A為傳送裝置的頂視圖；
[0119]圖59B為傳送裝置的頂視圖；
[0120]圖59C為傳送裝置的頂視圖；
[0121]圖60A為傳送裝置的頂視圖；
[0122]圖60B為傳送裝置的側(cè)視圖；
[0123]圖6IA為傳送裝置的頂視圖；
[0124]圖6IB為傳送裝置的頂視圖；
[0125]圖61C為傳送裝置的頂視圖；
[0126]圖62為傳送裝置的頂視圖；
[0127]圖63為描述示例性帶輪的圖；
[0128]圖64為傳送裝置的頂視圖；
[0129]圖65為傳送裝置的移動視圖；
[0130]圖66A為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0131]圖66B為示例基底傳送機(jī)器人的側(cè)視圖；
[0132]圖67A-圖67C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0133]圖68A-圖68B為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0134]圖69A為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖
[0135]圖69B為示例基底傳送機(jī)器人的側(cè)視圖；
[0136]圖70A為示例基底傳送機(jī)器人的頂部示意性視圖；
[0137]圖70B為示例基底傳送機(jī)器人的截面示意性視圖；
[0138]圖7IA為示例基底傳送機(jī)器人的頂部示意性視圖；
[0139]圖71B為示例基底傳送機(jī)器人的截面示意性視圖；
[0140]圖72A-圖72C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0141]圖73A-圖73C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0142]圖74A為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0143]圖74B為示例基底傳送機(jī)器人的側(cè)視圖；
[0144]圖75A為示例基底傳送機(jī)器人的頂部示意性視圖；
[0145]圖75B為示例基底傳送機(jī)器人的截面示意性視圖；
[0146]圖76A為示例基底傳送機(jī)器人的頂部示意性視圖；
[0147]圖76B為示例基底傳送機(jī)器人的截面示意性視圖；
[0148]圖77A-圖77C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0149]圖78A-圖78C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0150]圖79A為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0151]圖79B為示例基底傳送機(jī)器人的側(cè)視圖；
[0152]圖80A為示例基底傳送機(jī)器人的頂部示意性視圖；
[0153]圖80B為示例基底傳送機(jī)器人的截面示意性視圖；
[0154]圖81A-圖81C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0155]圖82A-圖82C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0156]圖83A為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0157]圖83B為示例基底傳送機(jī)器人的側(cè)視圖；
[0158]圖84A為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0159]圖84B為示例基底傳送機(jī)器人的側(cè)視圖；
[0160]圖85A-圖85C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0161]圖86A-圖86C為示例基底傳送機(jī)器人的頂視圖；
[0162]圖87A為示例基底傳送機(jī)器人的頂部示意性視圖；
[0163]圖87B為示例基底傳送機(jī)器人的截面示意性視圖；
[0164]圖88A為示例基底傳送機(jī)器人的頂部示意性視圖；
[0165]圖88B為示例基底傳送機(jī)器人的截面示意性視圖；
[0166]圖89A為示例基底傳送機(jī)器人的頂部示意性視圖；
[0167]圖89B為示例基底傳送機(jī)器人的截面示意性視圖；
[0168]圖90A為示例基底傳送裝置的頂視圖；
[0169]圖90B為示例基底傳送裝置的側(cè)視圖；
[0170]圖9IA為示例基底傳送裝置的頂視圖；以及
[0171]圖91B為示例基底傳送裝置的側(cè)視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0172]除了以下所公開的實(shí)施例，所公開的實(shí)施例還可以為其他的實(shí)施例并且以各種方式來實(shí)踐或完成。因而，應(yīng)當(dāng)理解的是所公開的實(shí)施例并不限于其在下面的描述中所列舉的或在附圖中所圖示的部件的構(gòu)建和布置的細(xì)節(jié)中的應(yīng)用。如果在此處僅描述一個實(shí)施例，其權(quán)利要求并不限于該實(shí)施例。此外，對其權(quán)利要求不能嚴(yán)格地解讀除非有明確并且令人信服的證據(jù)表明了特定的排除、限制或是放棄要求。
[0173]現(xiàn)在參考圖1A和圖1B，存在分別示出的具有驅(qū)動器12和臂14的機(jī)器人的頂視圖和側(cè)視圖。臂14示出為處于縮回位置。臂14具有可以圍繞著驅(qū)動器12的旋轉(zhuǎn)中心軸18旋轉(zhuǎn)的上臂或第一連接部16。臂14進(jìn)一步具有可以圍繞著肘部旋轉(zhuǎn)軸22旋轉(zhuǎn)的前臂或第二連接部20。臂14進(jìn)一步具有可以圍繞著腕部旋轉(zhuǎn)軸26旋轉(zhuǎn)的端部執(zhí)行器或第三連接部24。端部執(zhí)行器24支撐基底28。正如即將描述的，臂14配置為與驅(qū)動器12共同工作，以使得基底28沿著可能與例如路徑34、36重合(如從圖1A可見)或平行于與驅(qū)動器12的旋轉(zhuǎn)中心軸18重合的直線路徑32的徑向路徑30而被傳送。在所示出的實(shí)施例中，前臂或第二連接部20的關(guān)節(jié)到關(guān)節(jié)的長度大于上臂或第一連接部16的關(guān)節(jié)到關(guān)節(jié)的長度。在所示出的實(shí)施例中，端部執(zhí)行器或第三連接部24的橫向偏移38對應(yīng)于前臂20和上臂14的關(guān)節(jié)到關(guān)節(jié)長度的差。正如將在底下更為詳細(xì)地描述的，在臂14的伸展和縮回期間，所述橫向偏移38保持為基本上恒定，以使得基底28沿著直線路徑移動而沒有基底28或端部執(zhí)行器24相對于直線路徑的旋轉(zhuǎn)。這通過將要描述的內(nèi)在于臂14的結(jié)構(gòu)來完成，而不需使用附加的受控軸來控制端部執(zhí)行器24在腕部26相對于前臂20的旋轉(zhuǎn)。在所公開的實(shí)施例的一個方面中，對于圖1A，第三連接部或端部執(zhí)行器24的質(zhì)心可以位于腕部中心線或旋轉(zhuǎn)軸26。備選地，第三連接部或端部執(zhí)行器24的質(zhì)心可以位于沿著路徑40的距離旋轉(zhuǎn)中心軸18的偏移38處。以這種方式，由于在臂的伸展和回縮期間的質(zhì)量偏移而導(dǎo)致的施加的力矩，可以使得對相對于連接部16、18而限制端部執(zhí)行器24的帶的擾動最小化。此處，可以在有基底或沒有基底或在其中間時來確定質(zhì)心。備選地，第三連接部或端部執(zhí)行器24的質(zhì)心可以處于任何適合的位置。在所示出的實(shí)施例中，基底傳送裝置10利用在旋轉(zhuǎn)中心軸18上聯(lián)接到驅(qū)動器部分12的可移動的臂組件14來傳送基底28?；字?4在腕部旋轉(zhuǎn)軸26上聯(lián)接到臂組件14，正如將從圖3A到圖3C可以看到的，在伸展和縮回期間，臂組件14在所述腕部旋轉(zhuǎn)軸26處圍繞旋轉(zhuǎn)中心軸18旋轉(zhuǎn)。在伸展和縮回期間，腕部旋轉(zhuǎn)軸26相對于旋轉(zhuǎn)中心軸18沿著與例如路徑30、34或36的徑向路徑平行并且與其偏移38或其他情況的腕部路徑40移動?；字?4類似地在伸展和縮回期間平行于徑向路徑30運(yùn)動而沒有旋轉(zhuǎn)。正如將在所公開的實(shí)施例的其他方面中更為詳細(xì)地描述的，限制端部執(zhí)行器以基本上純粹徑向運(yùn)動來移動的原理和結(jié)構(gòu)可以被應(yīng)用在前臂長度短于上臂長度的情況下。進(jìn)一步，所述特征可以被應(yīng)用在由端部執(zhí)行器正在處理多于一個基底的情況下。進(jìn)一步，所述特征可以被應(yīng)用在第二臂用于與驅(qū)動器連接地處理一個或多個附加基底的情況下。因此，可以涵蓋所有這樣的變形。
[0174]同樣參考圖2A和圖2B，存在分別示出的系統(tǒng)10的局部示意性頂視圖和側(cè)視圖，示出了用于驅(qū)動圖1A和圖1B中所示的臂14的個體連接部的內(nèi)部布置。驅(qū)動器12具有第一電動機(jī)和第二電動機(jī)52、54，并且對應(yīng)的第一編碼器和第二編碼器56、58被聯(lián)接到殼體60并且分別驅(qū)動第一軸和第二軸62、64。此處軸62可以被聯(lián)接到帶輪66并且軸64可以被聯(lián)接到上臂64，其中軸62、64可以同心或以其他方式放置。在備選的方面，可以提供任何適合的驅(qū)動器。殼體60可以與腔室68通信，此處折箱70、腔室68以及殼體60的內(nèi)部部分將真空環(huán)境72從大氣環(huán)境74隔離。殼體60可以作為在滑塊76上的卡座而在z方向上滑動，此處可以提供導(dǎo)螺桿或其他適合的垂直或直線z驅(qū)動器78以選擇性地在z80方向上移動聯(lián)接到其處的殼體60和臂14。在所示出的實(shí)施例中，由電動機(jī)54驅(qū)動上臂16圍繞旋轉(zhuǎn)中心軸18。類似地，通過具有帶輪66、82和帶84、86的帶驅(qū)動器(諸如傳統(tǒng)的圓形帶輪和帶)，前臂由電動機(jī)52驅(qū)動。在備選的方面，可以提供任何適合的結(jié)構(gòu)以相對于上臂16驅(qū)動前臂20。在帶輪66和82之間的比率可以是1:1、2:1或任何適合的比率。具有端部執(zhí)行器的第三連接部24可以由具有相對于連接部16而定位的帶輪88、相對于端部執(zhí)行器或第三連接部24而定位的帶輪90以及限制帶輪88和帶輪90的帶92、94的帶驅(qū)動器來限制。正如將描述的，在帶輪88和帶輪90之間的比率可以不恒定從而使得第三連接部24在臂14的伸展和縮回期間沿徑向路徑為軌跡而不會旋轉(zhuǎn)。這可以通過其中帶輪88、90可以為一個或多個非圓形的帶輪(諸如兩個非圓形帶輪)來實(shí)現(xiàn)或通過其中帶輪88、90中的一個可以是圓形而另一個不是圓形來實(shí)現(xiàn)。備選地，可以提供任何適合的耦合或連接部連接用于如所描述地限制第三連接部或端部執(zhí)行器24的路徑。在所示出的實(shí)施例中，至少一個非圓形帶輪補(bǔ)償了上臂16和前臂20的不等長度的效果，以使得無論前兩個連接部16和20的位置如何，端部執(zhí)行器24徑向地指向30。將針對帶輪90為非圓形而帶輪88為圓形來描述實(shí)施例。備選地，帶輪88可以為非圓形并且?guī)л?0為圓形。備選地，帶輪88和90可以為非圓形或可以提供任何適合的耦合來如所描述地限制臂14的連接部。以示例的方式，非圓形的帶輪或鏈輪在1989年9月12日發(fā)布的名為非圓形驅(qū)動器的美國專利N0.4，865，577中所有描述，其通過引用的方式而整體地并入于此。備選地，可以提供任何適合的聯(lián)接來如所描述地限制臂14的連接部，例如，單獨(dú)使用的任何適合的可變比率驅(qū)動器或聯(lián)接、連接齒輪或鏈輪、凸輪或其他，或者其與適合的連接或其他聯(lián)接的合并使用。在示出的實(shí)施例中，肘部帶輪88被聯(lián)接到上臂16并且示出為圓圈或圓形的，其中聯(lián)接到腕部或第三連接部24的腕部帶輪90被示出為非圓形。腕部帶輪形狀為非圓形并且可以具有關(guān)于垂直于徑向軌跡30的線96的對稱性，當(dāng)前臂20和上臂16通過與肩部軸18最接近的腕部軸26而彼此排成一行時，所述徑向軌跡30還可能與兩個帶輪88、90之間的線相重合或與其平行，例如從圖3B中所見的示例。帶輪90的形狀為使得帶92、94在臂14伸展和縮回時保持拉緊從而在具有距腕部旋轉(zhuǎn)軸26的變化的徑向距離102、104的帶輪90的相對側(cè)上建立切點(diǎn)98、100。例如，在圖3B所示出的定向上，在帶輪上的兩個帶的切點(diǎn)98、100位于距腕部旋轉(zhuǎn)軸26相等的徑向距離102、104處。這將針對示出了分別的比率的圖4而進(jìn)行進(jìn)一步描述。為了使臂14旋轉(zhuǎn)，機(jī)器人的兩個驅(qū)動軸62、64需要在臂的旋轉(zhuǎn)方向上移動相同的量。為了端部執(zhí)行器24沿著直線路徑在徑向上伸展并且縮回，兩個驅(qū)動軸62、64需要以協(xié)調(diào)的方式進(jìn)行運(yùn)動，例如根據(jù)在本節(jié)中稍后呈現(xiàn)的示例性的逆向運(yùn)動學(xué)方程。此處，基底傳送裝置10適于傳送基底28。前臂20可旋轉(zhuǎn)地聯(lián)接到上臂16并且可圍繞從中心軸18偏移有上臂連接部長度的肘部軸22旋轉(zhuǎn)。端部執(zhí)行器24可旋轉(zhuǎn)地聯(lián)接到前臂20并且可圍繞從肘部軸22偏移有前臂連接部長度的腕部軸26旋轉(zhuǎn)。腕部帶輪90被固定到端部執(zhí)行器24并且通過帶92、94聯(lián)接到肘部帶輪88。此處，前臂連接部長度與上臂連接部長度不等，并且端部執(zhí)行器由肘部帶輪、腕部帶輪和帶相對于上臂而被限制，以使得基底沿著直線徑向路徑30相對于中心軸18運(yùn)動。此處，基底支撐24通過基底支撐聯(lián)