技術(shù)編號：9307757
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。用于諸如與制造半導體、LED、太陽能、MEMS或其他設(shè)備相關(guān)聯(lián)的應用的真空、大氣以及布控環(huán)境工藝利用機器人以及其他形式的自動化技術(shù)來傳送基底以及與基底相關(guān)聯(lián)的載片到存儲位置、處理位置或其他位置或從這些位置進行傳送。這種基底的傳送可以是利用傳送一個或多個基底的單獨臂或利用其中每一個都傳送一個或多個基底的多個臂來移動單個基底、基底群組。例如與半導體制造相關(guān)聯(lián)的大規(guī)模的制造是在清潔或真空環(huán)境中完成的，其中占地面積和體積非常珍貴。此外，進行大量的自動化傳輸，其中傳...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。