一種離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，包括相互連接的離心工作盤系統(tǒng)、環(huán)境凈化系統(tǒng)、二流體霧化系統(tǒng)以及靜電消除系統(tǒng)；所述離心工作盤系統(tǒng)由馬達(dá)、聯(lián)軸器、主軸及工作盤夾具連接組成；所述環(huán)境凈化系統(tǒng)包括空氣凈化器、清洗室、前門氣缸、排氣口的連接；所述二流體霧化系統(tǒng)包括液路依次連接的純水入口、電阻率、檢測(cè)開關(guān)、泵浦、第一壓力表、角座閥以及第一可調(diào)流量計(jì)；所述靜電消除系統(tǒng)包括消靜電裝置、第三可調(diào)流量計(jì)、第一空氣過濾器以及第二空氣過濾器，消靜電裝置與清洗室連接。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)更加人性化、自動(dòng)化、高品質(zhì)、節(jié)能環(huán)保的離心清洗機(jī)。
【專利說(shuō)明】一種離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種精密清洗系統(tǒng)，特別涉及一種離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代電子工業(yè)的核心，而半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)是硅材料工業(yè)。雖然有各種各樣新型的半導(dǎo)體材料不斷出現(xiàn)，但90%以上的半導(dǎo)體器件和電路，尤其是超大規(guī)模集成電路(ULSI)都是制作在高純優(yōu)質(zhì)的硅單晶拋光片和外延片上的。
[0003]在MCP的工藝制造過程中，不可避免遭到塵埃、金屬、有機(jī)物和無(wú)機(jī)物的污染。這些污染很容易造成其表面缺陷及孔內(nèi)污垢，產(chǎn)生發(fā)射點(diǎn)、黑點(diǎn)、暗斑等，導(dǎo)致MCP的良品率下降，使得管子質(zhì)量不穩(wěn)定以至失效，因此在MCP的制造過程中利用清洗技術(shù)去除污染物十分重要。
[0004]以往電子清洗主要使用的是具有優(yōu)良清洗效果和兼容性的氟氯烴溶劑的超聲波清洗技術(shù)，但是在20世紀(jì)80年代，發(fā)現(xiàn)氟氯烴對(duì)大氣臭氧層有破壞作用，故已被聯(lián)合國(guó)列為禁用產(chǎn)品。隨著電子設(shè)備不斷向高頻、高功率、小型化和可靠性發(fā)展，印制線路板組件密度越來(lái)越大，也導(dǎo)致傳統(tǒng)的方法如噴淋和超聲波清洗工藝的應(yīng)用效果越來(lái)越不明顯，并且發(fā)現(xiàn)超聲波對(duì)微小型的器件有損傷作用，被各國(guó)禁止使用。
[0005]當(dāng)前迫切需要一種新的清洗工藝以解決上述難題。離心清洗工藝技術(shù)是一種既能減少環(huán)境污染又能避免損傷元器件，而且能高效干凈的清洗低架空高度和高密度封裝的BGA及CSP的底部，同時(shí)能夠滿足綠色環(huán)保和高可靠性。而離心設(shè)計(jì)與二流體清洗的配合使用，更能大幅提高清洗品質(zhì)，這兩種系統(tǒng)的結(jié)合具有更好的滲透、溶解和去污效果。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型主要是解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的技術(shù)問題，從而提供一種實(shí)現(xiàn)清洗機(jī)更加人性化、自動(dòng)化、高品質(zhì)、節(jié)能環(huán)保的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)。
[0007]本實(shí)用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的:
[0008]一種離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，包括相互連接的離心工作盤系統(tǒng)、環(huán)境凈化系統(tǒng)、二流體霧化系統(tǒng)以及靜電消除系統(tǒng)；所述離心工作盤系統(tǒng)由馬達(dá)、聯(lián)軸器、主軸以及工作盤夾具連接組成；所述環(huán)境凈化系統(tǒng)包括依次連接的空氣凈化器、清洗室、前門氣缸、排氣口 ；所述二流體霧化系統(tǒng)包括依次連接的純水入口、電阻率、檢測(cè)開關(guān)、泵浦、第一壓力表、角座閥以及第一可調(diào)流量計(jì)，所述二流體霧化系統(tǒng)還包括氣路依次連接的氣源入口、調(diào)壓閥、第三壓力表、第一空氣過濾器、第二空氣過濾器、第二電磁閥、第二流量計(jì)、第二壓力表，二流體上噴桿氣路處連接第一截止閥、二流體下噴桿氣路處連接第二截止閥后，分別與第一可調(diào)流量計(jì)和第二可調(diào)流量計(jì)連接，二流體下噴桿液路單獨(dú)設(shè)置有第一手動(dòng)閥，二流體下噴桿氣路單獨(dú)設(shè)置有第二手動(dòng)閥，二流體上噴桿與二流體下噴桿設(shè)置在清洗室內(nèi)；所述靜電消除系統(tǒng)包括消靜電裝置、第三可調(diào)流量計(jì)、第一空氣過濾器以及第二空氣過濾器，消靜電裝置與清洗室連接。
[0009]進(jìn)一步地，所述氣源入口后設(shè)置有調(diào)壓閥和壓力表。
[0010]進(jìn)一步地，所述氣路上連接有第一空氣過濾器和第二空氣過濾器。
[0011 ] 進(jìn)一步地，所述二流體上噴桿連接有第一截止閥。
[0012]進(jìn)一步地，所述二流體下噴桿連接有第二截止閥。
[0013]進(jìn)一步地，所述二流體下噴桿液路連接有第一手動(dòng)閥。
[0014]進(jìn)一步地，所述二流體下噴桿氣路連接有第二手動(dòng)閥。
[0015]進(jìn)一步地，所述在泵浦出口設(shè)置角座閥。
[0016]進(jìn)一步地，所述角座閥前連接第一壓力表。
[0017]進(jìn)一步地，所述電阻率與泵浦之間的連接管道上有檢測(cè)開關(guān)。
[0018]進(jìn)一步地，所述二流體上噴桿與二流體下噴桿的液路連接第一可調(diào)流量計(jì)。
[0019]進(jìn)一步地，所述二流體上噴桿與二流體下噴桿的氣路連接第二可調(diào)流量計(jì)。
[0020]進(jìn)一步地，所述消靜電裝置連接有第三可調(diào)流量計(jì)。
[0021]進(jìn)一步地，所述清洗室頂部連接FFU。
[0022]進(jìn)一步地,所述前門氣缸與清洗室連接。
[0023]進(jìn)一步地,所述旋轉(zhuǎn)氣缸與二流體上噴桿連接。
[0024]進(jìn)一步地，所述空氣凈化器由風(fēng)扇和過濾器連接組成。
[0025]采用上述技術(shù)方案的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，由于烘干采用傳統(tǒng)的烘干方式會(huì)二次污染產(chǎn)品，所以本實(shí)用新型采用離心脫水的離心工作盤系統(tǒng)；由于產(chǎn)品要求清洗的顆粒更小，對(duì)清洗室內(nèi)部的空氣要求非常高，所以本實(shí)用新型采用環(huán)境凈化系統(tǒng)來(lái)凈化清洗室內(nèi)的空氣；由于此類產(chǎn)品的清洗要求對(duì)產(chǎn)品無(wú)損傷、節(jié)省使用成本并能達(dá)到廢水排放標(biāo)準(zhǔn)，所以本實(shí)用新型采用二流體清洗方式的二流體霧化系統(tǒng)；由于產(chǎn)品清洗過程中附帶靜電，靜電會(huì)吸附環(huán)境中的塵埃，所以本實(shí)用新型采用靜電消除系統(tǒng)避免環(huán)境污染清洗后的廣品。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0026]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0027]圖1為本實(shí)用新型離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0028]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0029]一種離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，包括相互連接的離心工作盤系統(tǒng)、環(huán)境凈化系統(tǒng)、二流體霧化系統(tǒng)以及靜電消除系統(tǒng)。
[0030]如圖1所示,所述離心工作盤系統(tǒng)由馬達(dá)34、聯(lián)軸器35、主軸36及工作盤夾具37連接組成，該離心工作盤系統(tǒng)由馬達(dá)34通過聯(lián)軸器35連接主軸36，傳遞扭力帶動(dòng)工作盤夾具37作旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，利用該系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)中產(chǎn)生的離心力輔助清洗，離心力與清洗壓力的相互作用下，有很好的滲透、溶解和去污效果，并且該離心工作盤系統(tǒng)利用高轉(zhuǎn)速下產(chǎn)生的離心力為元器件離心脫水，以此來(lái)達(dá)到干燥的目的。；
[0031]所述環(huán)境凈化系統(tǒng)包括依次連接的空氣凈化器38、清洗室27、前門氣缸25、排氣口 21，所述環(huán)境凈化系統(tǒng)由外部空氣通過空氣凈化器38的凈化后送至清洗室27，清洗室27內(nèi)的空氣由排氣口 21排出，前門氣缸25用于控制清洗室27內(nèi)的密封，因產(chǎn)品要求去除的顆粒更小，所以設(shè)備的清洗室內(nèi)部的空氣要求非常高，因此環(huán)境凈化系統(tǒng)用于避免環(huán)境污染清洗后的產(chǎn)品。
[0032]所述二流體霧化系統(tǒng)由氣路和液路組成，包括通過液路依次連接的純水入口 23、電阻率1、檢測(cè)開關(guān)2、泵浦3、第一壓力表5、角座閥4以及第一可調(diào)流量計(jì)6，所述二流體霧化系統(tǒng)還包括提高氣路依次連接的氣源入口 24、調(diào)壓閥10、第三壓力表11、第一空氣過濾器12、第二空氣過濾器13、第二電磁閥30、第二流量計(jì)14、第二壓力表15，二流體上噴桿8氣路處連接第一截止閥17、二流體下噴桿9氣路處連接第二截止閥18后，分別與第一可調(diào)流量計(jì)6和第二可調(diào)流量計(jì)14連接，二流體下噴桿9液路單獨(dú)設(shè)置有第一手動(dòng)閥7，二流體下噴桿9氣路單獨(dú)設(shè)置有第二手動(dòng)閥16，二流體上噴桿8與二流體下噴桿9設(shè)置在清洗室27內(nèi)，清洗室27內(nèi)的液體由排水口 22排出，第四電磁閥32控制角座閥4，第五電磁閥32控制旋轉(zhuǎn)氣缸26，旋轉(zhuǎn)氣缸26連接在二流體上噴桿8上；該二流體霧化系統(tǒng)中的氣體和液體混合后形成二流體噴霧，噴霧高速?zèng)_擊清洗面時(shí)產(chǎn)生沖擊波和膨脹波，可在低破壞下使被清洗霧得到最佳效果；該二流體霧化系統(tǒng)的設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單實(shí)用、成本低，在實(shí)際應(yīng)用中能得到穩(wěn)定的效果，并且易于保養(yǎng)和維護(hù)。
[0033]所述靜電消除系統(tǒng)，壓縮空氣通過調(diào)壓閥10連接第一空氣過濾器12、第二空氣過濾器13，由第一電磁閥29控制，經(jīng)第三可調(diào)流量計(jì)19連接至消靜電裝置20，接入的壓縮空氣通過第一空氣過濾器12、第二空氣過濾器13凈化后，通過消靜電裝置20后產(chǎn)生大量正負(fù)電荷吹出；形成一股正負(fù)電荷的氣流，將物體表面所帶的電荷中和掉，當(dāng)物體表面所帶為負(fù)電荷時(shí)，它會(huì)吸引氣流中的正電荷，當(dāng)物體表面所帶為正電荷時(shí)，它會(huì)吸引電流中的負(fù)電荷，從而使物體表面上的靜電被中和，達(dá)到消除靜電的目的。該靜電消除系統(tǒng)使用的是凈化后潔凈的壓縮空氣，對(duì)產(chǎn)品無(wú)二次污染，產(chǎn)品在消除了靜電后能減少后期塵埃的粘附。
[0034]所述氣源入口后設(shè)置有調(diào)壓閥10和壓力表11 ;所述氣路上連接有第一空氣過濾器12和第二空氣過濾器13 ;所述二流體上噴桿8連接有第一截止閥17 ;所述二流體下噴桿9連接有第二截止閥18 ;所述二流體下噴桿9液路連接有第一手動(dòng)閥7 ;所述二流體下噴桿9氣路連接有第二手動(dòng)閥16 ;所述泵浦3出口設(shè)置角座閥4 ;所述角座閥4前連接第一壓力表5 ;所述電阻率I與泵浦之間3的連接管道上有檢測(cè)開關(guān)2 ;所述二流體上噴桿8與二流體下噴桿9的液路連接第一可調(diào)流量計(jì)6 ;所述二流體上噴桿8與二流體下噴桿9的氣路連接第二可調(diào)流量計(jì)14 ;所述消靜電裝置20連接有第三可調(diào)流量計(jì)19 ;所述清洗室27頂部連接空氣凈化器38 ;所述前門氣缸25與清洗室27連接；所述旋轉(zhuǎn)氣缸26與二流體上噴桿8連接。
[0035]以上所述，僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何不經(jīng)過創(chuàng)造性勞動(dòng)想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書所限定的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，包括相互連接的離心工作盤系統(tǒng)、環(huán)境凈化系統(tǒng)、二流體霧化系統(tǒng)以及靜電消除系統(tǒng)；其特征在于:所述離心工作盤系統(tǒng)包括馬達(dá)、聯(lián)軸器、主軸以及工作盤夾具；所述環(huán)境凈化系統(tǒng)包括依次連接的空氣凈化器、清洗室、前門氣缸以及排氣口 ；所述二流體霧化系統(tǒng)包括通過依次連接的純水入口、電阻率、檢測(cè)開關(guān)、泵浦、第一壓力表、角座閥以及第一可調(diào)流量計(jì)，所述二流體霧化系統(tǒng)還包括氣路依次連接的氣源入口、調(diào)壓閥、第三壓力表、第一空氣過濾器、第二空氣過濾器、第二電磁閥、第二流量計(jì)、第二壓力表，二流體上噴桿氣路處連接第一截止閥、二流體下噴桿氣路處連接第二截止閥后，分別與第一可調(diào)流量計(jì)和第二可調(diào)流量計(jì)連接，二流體下噴桿液路單獨(dú)設(shè)置有第一手動(dòng)閥，二流體下噴桿氣路單獨(dú)設(shè)置有第二手動(dòng)閥，二流體上噴桿與二流體下噴桿設(shè)置在清洗室內(nèi)；所述靜電消除系統(tǒng)包括消靜電裝置、第三可調(diào)流量計(jì)、第一空氣過濾器以及第二空氣過濾器，消靜電裝置與清洗室連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:所述氣源入口后設(shè)置有調(diào)壓閥和壓力表。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:所述氣路上連接有第一空氣過濾器和第二空氣過濾器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:所述二流體上噴桿連接有第一截止閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:所述二流體下噴桿連接有第二截止閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:所述二流體下噴桿液路連接有第一手動(dòng)閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:二流體下噴桿氣路連接有第二手動(dòng)閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:所述角座閥前連接第一壓力表。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:所述電阻率與泵浦之間的連接管道上有檢測(cè)開關(guān)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離心清洗機(jī)的精密清洗系統(tǒng)，其特征在于:所述二流體上噴桿與二流體下噴桿的液路連接第一可調(diào)流量計(jì)。
【文檔編號(hào)】B08B13/00GK203955616SQ201420231782
【公開日】2014年11月26日 申請(qǐng)日期:2014年5月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月8日
【發(fā)明者】李鑫 申請(qǐng)人:李鑫