專利名稱：基板搬運(yùn)裝置及方法、電子零件安裝機(jī)及安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)裝置及具備該基板搬運(yùn)裝置的電子零件安裝機(jī)。另外，本發(fā)明涉及搬運(yùn)基板的基板搬運(yùn)方法及具有該基板搬運(yùn)方法的電子零件安裝方法。
背景技術(shù)：
在專利文獻(xiàn)1、2中公開了用于識別基板的停止位置的方法。根據(jù)專利文獻(xiàn)I的方法，基板在制動位置和停止位置分別被進(jìn)行定點(diǎn)拍攝。即，搭載于能夠移動的機(jī)械手的光學(xué)傳感器首先移動至能夠?qū)χ苿游恢眠M(jìn)行拍攝的位置而對基板進(jìn)行拍攝。接著，機(jī)械手移動至能夠?qū)νＶ刮恢眠M(jìn)行拍攝的位置而對基板進(jìn)行拍攝。根據(jù)專利文獻(xiàn)2的方法，在停止位置處對基板進(jìn)行定點(diǎn)拍攝。即，在基板的停止位 置的下方配置有CO) (Charge-Coupled Device)相機(jī)。利用該CO)相機(jī)而從下方對基板進(jìn)行拍攝。在專利文獻(xiàn)2的第
段中記載有也可以將CCD相機(jī)配置成能夠移動，以適應(yīng)基板規(guī)格的多樣性。專利文獻(xiàn)I :日本特表2002-517104號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2006-278714號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特開2009-27202號公報(bào)這樣一來，在專利文獻(xiàn)1、2中已公開了通過光學(xué)傳感器或CXD相機(jī)識別基板的停止位置的內(nèi)容。另外，公開了以能夠移動的方式配置光學(xué)傳感器或CXD相機(jī)的內(nèi)容。但是，在專利文獻(xiàn)1、2中，沒有公開關(guān)于基板的實(shí)際的停止位置(以下適當(dāng)?shù)胤Q為“實(shí)際停止位置”)偏離預(yù)先設(shè)定的停止位置(以下適當(dāng)?shù)胤Q為“預(yù)定停止位置”)時(shí)的對策。在這一點(diǎn)上，根據(jù)專利文獻(xiàn)3的方法，能夠?qū)宓耐Ｖ刮恢玫奈恢闷钸M(jìn)行修正。S卩，在基板的搬運(yùn)路徑的基準(zhǔn)位置配置有基板傳感器。當(dāng)通過基板傳感器而獲知基板已通過基準(zhǔn)位置時(shí)，首先，相機(jī)移動至該基板的預(yù)定停止位置。接著，相機(jī)對停止的基板的標(biāo)記進(jìn)行拍攝。當(dāng)拍攝的結(jié)果為基板的實(shí)際停止位置偏離預(yù)定停止位置時(shí)，修正基板的位置。這樣一來，根據(jù)專利文獻(xiàn)3的方法，不僅能夠識別基板的停止位置，還能夠修正停止位置的位置偏差。然而，在專利文獻(xiàn)3的方法中，可考慮到基板的標(biāo)記未進(jìn)入到相機(jī)的視野的情況。即，基板被帶式輸送機(jī)從基準(zhǔn)位置搬運(yùn)到停止位置。另一方面，相機(jī)在預(yù)定停止位置等待基板。當(dāng)基板相對于傳送帶打滑時(shí)，實(shí)際停止位置相對于預(yù)定停止位置向基板的前進(jìn)方向的后方(搬運(yùn)方向上游側(cè))相應(yīng)程度地偏離。當(dāng)偏差量較大時(shí)，導(dǎo)致基板的標(biāo)記不會進(jìn)入到相機(jī)的視野。因此，導(dǎo)致不能對停止位置的位置偏差進(jìn)行修正。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置、電子零件安裝機(jī)、基板搬運(yùn)方法、電子零件安裝方法是鑒于上述問題而提出的。本發(fā)明的目的在于提供基板搬運(yùn)裝置、電子零件安裝機(jī)、基板搬運(yùn)方法及電子零件安裝方法，即使在實(shí)際停止位置相對于預(yù)定停止位置的偏差量較大時(shí)，也能夠?qū)νＶ刮恢玫奈恢闷钸M(jìn)行修正。(I)為解決上述問題，本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置的特征在于，具備搬運(yùn)基板的搬運(yùn)體；移動檢測機(jī)構(gòu)，一邊識別所搬運(yùn)的所述基板一邊進(jìn)行移動；位置傳感器，輸出與所述移動檢測機(jī)構(gòu)的位置相關(guān)的位置信號；及控制裝置，基于所述位置信號控制所述搬運(yùn)體，并使所述基板停止在預(yù)先設(shè)定的停止位置。根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，移動檢測機(jī)構(gòu)一邊移動一邊持續(xù)監(jiān)視搬運(yùn)中的基板。即，如專利文獻(xiàn)I 3所記載的相機(jī)或傳感器那樣，移動檢測機(jī)構(gòu)始終在監(jiān)視搬運(yùn)中的基板。因此，即使在基板相對于搬運(yùn)體的位置偏差較大時(shí)，也就是說即使在實(shí)際停止位置相對于預(yù)定停止位置的偏差量較大時(shí)，也能夠?qū)νＶ刮恢玫奈恢闷钸M(jìn)行修正。另外，根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置，可以一邊搬運(yùn)基板一邊對停止位置的位置偏差進(jìn)行修正。因此，與專利文獻(xiàn)3的方法(在使基板暫時(shí)停止在實(shí)際停止位置之后,使基板再次移動預(yù)定停止位置和實(shí)際停止位置之間的偏差量(修正量)的方法)相比，到達(dá)預(yù)定停止位置的搬運(yùn)時(shí)間變短?！? 2 )優(yōu)選為，在上述(I)的結(jié)構(gòu)中，具備基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)，所述基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)輸出與所述基板到達(dá)基準(zhǔn)位置相關(guān)的基準(zhǔn)信號，其中，所述基準(zhǔn)位置在所述基板的搬運(yùn)路徑上比所述停止位置靠近上游側(cè)，所述控制裝置使所述移動檢測機(jī)構(gòu)待機(jī)，使得在所述基板到達(dá)所述基準(zhǔn)位置時(shí)所述基板的標(biāo)記進(jìn)入到可檢測區(qū)域，并基于所述基準(zhǔn)信號使所述移動檢測機(jī)構(gòu)開始移動。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，在從基準(zhǔn)位置至到達(dá)停止位置的期間，使移動檢測機(jī)構(gòu)移動。即，基準(zhǔn)位置被設(shè)定在基板搬運(yùn)路徑上的停止位置的上游側(cè)。當(dāng)基板到達(dá)基準(zhǔn)位置時(shí)，基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)輸出基準(zhǔn)信號。另外，當(dāng)基板到達(dá)基準(zhǔn)位置時(shí)，基板的標(biāo)記剛好進(jìn)入到移動檢測機(jī)構(gòu)的可檢測區(qū)域。控制裝置基于來自基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)的基準(zhǔn)信號而使移動檢測機(jī)構(gòu)開始移動。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，可以在標(biāo)記進(jìn)入到可檢測區(qū)域的狀態(tài)下使移動檢測機(jī)構(gòu)開始移動。因此，在開始移動后，移動檢測機(jī)構(gòu)不需要搜索基板的標(biāo)記。(3)優(yōu)選為，在上述(I)或(2)的結(jié)構(gòu)中，所述移動檢測機(jī)構(gòu)與所述基板并行。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，通過使移動檢測機(jī)構(gòu)與基板并行，以實(shí)際搬運(yùn)的基板位置作為基準(zhǔn)來確定基板的停止位置。即，并不是如專利文獻(xiàn)1、2所記載的方法那樣以“不偏離搬運(yùn)體地搬運(yùn)基板”為前提并以搬運(yùn)體的驅(qū)動量為基準(zhǔn)來確定基板的停止位置的。因此，根據(jù)本結(jié)構(gòu)，即使在實(shí)際停止位置相對于預(yù)定停止位置的偏差量較大時(shí)，也能夠?qū)νＶ刮恢玫奈恢闷钸M(jìn)行修正。(4)為解決上述問題，本發(fā)明的電子零件安裝機(jī)是具備上述(I)至(3)中任一結(jié)構(gòu)的基板搬運(yùn)裝置的電子零件安裝機(jī)，其特征在于，所述停止位置是為了安裝電子零件而使所述基板從所述搬運(yùn)體移動至安裝位置的前階段的位置即安裝準(zhǔn)備位置，所述移動檢測機(jī)構(gòu)是為了確認(rèn)處于所述安裝位置上的所述基板的位置而對所述基板的標(biāo)記進(jìn)行拍攝的標(biāo)記相機(jī)，所述位置傳感器是在所述基板的搬運(yùn)方向上對所述標(biāo)記相機(jī)進(jìn)行驅(qū)動的馬達(dá)的編碼器。在電子零件安裝機(jī)中，是在安裝位置向基板上安裝電子零件的。此時(shí)，基板被固定。作為安裝位置的前階段的位置，在電子零件安裝機(jī)上設(shè)定有安裝準(zhǔn)備位置。為提高安裝精度，需要抑制安裝準(zhǔn)備位置的位置偏差。
在這一點(diǎn)上，本發(fā)明的電子零件安裝機(jī)具備帶有上述(I)至(3)中任一結(jié)構(gòu)的位置偏差抑制功能的基板搬運(yùn)裝置。因此，能夠抑制安裝準(zhǔn)備位置乃至安裝位置的位置偏差。因此，安裝精度提高。另外，根據(jù)本發(fā)明的電子零件安裝機(jī)，能夠在基板的搬運(yùn)過程中修正位置偏差。因此，到達(dá)安裝準(zhǔn)備位置的基板搬運(yùn)時(shí)間變短。因此，能夠縮短基板的生產(chǎn)時(shí)間。另外，在已設(shè)電子零件安裝機(jī)中，大多配置有標(biāo)記相機(jī)、帶編碼器的馬達(dá)。因此，可以移用已設(shè)電子零件安裝機(jī)的設(shè)備來修正安裝準(zhǔn)備位置的位置偏差。( 5 )優(yōu)選為，在上述(4 )的結(jié)構(gòu)中，所述安裝位置配置于所述安裝準(zhǔn)備位置的正上方。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，當(dāng)從安裝準(zhǔn)備位置移動至安裝位置時(shí)，基板在水平方向上不移動。因此，在安裝準(zhǔn)備位置確保的基板的位置精度在安裝位置也能夠得到確保。
(6)為解決上述問題，本發(fā)明的基板搬運(yùn)方法用于基板搬運(yùn)裝置，所述基板搬運(yùn)裝置具備搬運(yùn)基板的搬運(yùn)體；移動檢測機(jī)構(gòu)，能夠識別所述基板并進(jìn)行移動；及位置傳感器，輸出與所述移動檢測機(jī)構(gòu)的位置相關(guān)的位置信號；所述基板搬運(yùn)方法的特征在于，包括移動步驟，使所述移動檢測機(jī)構(gòu)一邊識別所搬運(yùn)的所述基板一邊進(jìn)行移動；及停止步驟，基于所述位置信號控制所述搬運(yùn)體，并使所述基板停止在預(yù)先設(shè)定的停止位置。本發(fā)明的基板搬運(yùn)方法具有移動步驟和停止步驟。在移動步驟中，通過搬運(yùn)體搬運(yùn)基板。另外，使移動檢測機(jī)構(gòu)進(jìn)行移動。在停止步驟中，基于位置信號來控制搬運(yùn)體，并使基板停止在預(yù)定停止位置。根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)方法，移動檢測機(jī)構(gòu)一邊移動一邊持續(xù)監(jiān)視該基板。即，如專利文獻(xiàn)I 3所記載的相機(jī)或傳感器所示，移動檢測機(jī)構(gòu)始終監(jiān)視搬運(yùn)中的基板。因此，即使在基板相對于搬運(yùn)體的位置偏差較大時(shí)，也就是說即使在實(shí)際停止位置相對于預(yù)定停止位置的偏差量較大時(shí)，也能夠?qū)νＶ刮恢玫奈恢闷钸M(jìn)行修正。另外，根據(jù)本發(fā)明的基板搬運(yùn)方法，能夠一邊搬運(yùn)基板一邊修正停止位置的位置偏差。因此，與專利文獻(xiàn)3的方法(在使基板暫時(shí)停止在實(shí)際停止位置之后，使基板再次移動預(yù)定停止位置和實(shí)際停止位置之間的偏差量(修正量)的方法)相比，到達(dá)預(yù)定停止位置的搬運(yùn)時(shí)間變短。(7)優(yōu)選為，在上述(6)的結(jié)構(gòu)中，所述基板搬運(yùn)裝置具備基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)，所述基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)輸出與所述基板到達(dá)基準(zhǔn)位置相關(guān)的基準(zhǔn)信號，其中，所述基準(zhǔn)位置在所述基板的搬運(yùn)路徑上比所述停止位置靠近上游側(cè)；所述基板搬運(yùn)方法在所述停止步驟之前還包括待機(jī)步驟，使所述移動檢測機(jī)構(gòu)待機(jī)，使得在所述基板到達(dá)所述基準(zhǔn)位置時(shí)所述基板的標(biāo)記進(jìn)入到可檢測區(qū)域；及移動開始步驟，基于所述基準(zhǔn)信號使所述移動檢測機(jī)構(gòu)開始移動。本結(jié)構(gòu)的基板搬運(yùn)方法具有待機(jī)步驟、移動開始步驟、移動步驟及停止步驟。在待機(jī)步驟中，使移動檢測機(jī)構(gòu)待機(jī)，以備用于即將到達(dá)基準(zhǔn)位置的基板。此時(shí)，使移動檢測機(jī)構(gòu)待機(jī)，使得在基板到達(dá)基準(zhǔn)位置時(shí)基板的標(biāo)記剛好進(jìn)入到可檢測區(qū)域。在移動開始步驟中，基于來自基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)的基準(zhǔn)信號使移動檢測機(jī)構(gòu)開始移動。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，能夠在標(biāo)記進(jìn)入到可檢測區(qū)域的狀態(tài)下使移動檢測機(jī)構(gòu)開始移動。因此，在開始移動后，移動檢測機(jī)構(gòu)不需要搜索基板的標(biāo)記。
(8)優(yōu)選為，在上述(6)或(7)的結(jié)構(gòu)中，在所述移動步驟中，使所述移動檢測機(jī)構(gòu)與所述基板并行。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，通過使移動檢測機(jī)構(gòu)與基板并行，以實(shí)際搬運(yùn)的基板的位置為基準(zhǔn)來確定基板的停止位置。即，并不是如專利文獻(xiàn)1、2所記載的方法那樣以“不偏離搬運(yùn)體地搬運(yùn)基板”為前提并以搬運(yùn)體的驅(qū)動量為基準(zhǔn)來確定基板的停止位置的。因此，根據(jù)本結(jié)構(gòu)，即使在實(shí)際停止位置相對于預(yù)定停止位置的偏差量較大時(shí)，也能夠?qū)νＶ刮恢玫奈恢闷钸M(jìn)行修正。(9)為解決上述為題，本發(fā)明的電子零件安裝方法是具有上述(6)至(8)中任一結(jié)構(gòu)的基板搬運(yùn)方法的電子零件安裝方法，其特征在于，所述停止位置是為了安裝電子零件而使所述基板從所述搬運(yùn)體移動至安裝位置的前階段的位置即安裝準(zhǔn)備位置，所述移動檢測機(jī)構(gòu)是為了確認(rèn)處于所述安裝位置上的所述基板的位置而對所述基板的標(biāo)記進(jìn)行拍攝的標(biāo)記相機(jī)，所述位置傳感器是在所述基板的搬運(yùn)方向上對所述標(biāo)記相機(jī)進(jìn)行驅(qū)動的馬達(dá)的編碼器。
在電子零件安裝機(jī)中，是在安裝位置向基板上安裝電子零件的。此時(shí)，基板被固定。作為安裝位置的前階段的位置，在電子零件安裝機(jī)上設(shè)定有安裝準(zhǔn)備位置。為提高安裝精度，需要抑制安裝準(zhǔn)備位置的位置偏差。在這一點(diǎn)上，本發(fā)明的電子零件安裝方法具有上述(6)至(8)中任一結(jié)構(gòu)的可抑制位置偏差的基板搬運(yùn)方法。因此，能夠抑制安裝準(zhǔn)備位置乃至安裝位置的位置偏差。因此，安裝精度提高。另外，根據(jù)本發(fā)明的電子零件安裝方法，能夠在基板的搬運(yùn)過程中修正位置偏差。因此，到達(dá)安裝準(zhǔn)備位置的基板的搬運(yùn)時(shí)間變短。因此，能夠縮短基板的生產(chǎn)時(shí)間。另外，在已設(shè)電子零件安裝機(jī)中，大多配置有標(biāo)記相機(jī)、帶編碼器的馬達(dá)。因此，可以移用已設(shè)電子零件安裝機(jī)的設(shè)備來修正安裝準(zhǔn)備位置的位置偏差。(10)優(yōu)選為，在上述(9)的結(jié)構(gòu)中，所述安裝位置配置于所述安裝準(zhǔn)備位置的正上方。根據(jù)本結(jié)構(gòu)，當(dāng)從安裝準(zhǔn)備位置移動至安裝位置時(shí)，基板在水平方向上不移動。因此，在安裝準(zhǔn)備位置確保的基板的位置精度在安裝位置也能夠得到確保。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種基板搬運(yùn)裝置、電子零件安裝機(jī)、基板搬運(yùn)方法及電子零件安裝方法，即使在實(shí)際停止位置相對于預(yù)定停止位置的偏差量較大時(shí)，也能夠修正停止位置的位置偏差。


圖I是本發(fā)明的一實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的立體圖。圖2是上述電子零件安裝機(jī)的安裝步驟中的從前方觀察到的剖視圖。圖3是上述電子零件安裝機(jī)的框圖。圖4是上述電子零件安裝機(jī)的待機(jī)步驟中的從前方觀察到的剖視圖。圖5是上述電子零件安裝機(jī)的待機(jī)步驟中的、基板的前進(jìn)方向前邊緣到達(dá)基準(zhǔn)位置時(shí)的標(biāo)記相機(jī)的視野的示意圖。
圖6是上述電子零件安裝機(jī)的停止步驟中的從前方觀察到的剖視圖。圖7是上述電子零件安裝機(jī)的搬出步驟中的從前方觀察到的剖視圖。圖8中，Ca)是上述電子零件安裝機(jī)的搬運(yùn)部的移動開始步驟中的從前方觀察到的放大圖，(b)是上述搬運(yùn)部的移動步驟前半段的從前方觀察到的放大圖，(c)是上述搬運(yùn)部的移動步驟后半段的從前方觀察到的放大圖，Cd)是上述搬運(yùn)部的停止步驟中的從前方觀察到的放大圖。標(biāo)號說明I 電子零件安裝機(jī)、2 :底座、3 :模塊、4 :帶式供料器、5 :設(shè)備托盤、7 :控制裝置、
8:圖像處理裝置；30 :基板搬運(yùn)單元、31 XY機(jī)械手、32 :安裝頭、33 :標(biāo)記相機(jī)、35 :基板升降裝置、 36 :殼體、40 :料帶、41 :帶盤、42 :帶盤支架、70 :計(jì)算機(jī)；303f :搬運(yùn)部、303fa :傳送帶(搬運(yùn)體)、303fb :搬運(yùn)馬達(dá)、303r :搬運(yùn)部、303ra 傳送帶(搬運(yùn)體)、303rb :搬運(yùn)馬達(dá)、304f :緊固片、304r :緊固片、305f :基準(zhǔn)傳感器(基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu))、310 :Y方向滑塊、310a :Y軸馬達(dá)、310b :編碼器、311 :X方向滑塊、311a :X軸馬達(dá)、311b :編碼器、312 :Y方向?qū)к墶?13 :Χ方向?qū)к墶?20 :吸嘴、320a :Z軸馬達(dá)、320b Θ軸馬達(dá)、350f :升降部、350fa :滾珠絲杠部、350fb :升降馬達(dá)、350r :升降部、360L :搬入口、360R 搬出口、700 :輸入輸出接口、701 :運(yùn)算部、702 :存儲部；A :基板搬運(yùn)裝置、Am :標(biāo)記對應(yīng)點(diǎn)、BO (X0、Y0):基準(zhǔn)位置、B I (XUYO):安裝準(zhǔn)備位直、Bf :基板、Bm:標(biāo)記、Br :基板、F :地面、Gl :視野(可檢測區(qū)域)、MO (x0、y0):基準(zhǔn)標(biāo)記位置、Ml (xl、y0)安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置、P :電子零件、Λ X :偏差量。
具體實(shí)施例方式以下，對本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置、電子零件安裝機(jī)、基板搬運(yùn)方法及電子零件安裝方法的實(shí)施方式進(jìn)行說明。電子零件安裝機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)首先，本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，以下的說明包括本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置的機(jī)械結(jié)構(gòu)的說明。在以后的附圖中，左側(cè)相當(dāng)于基板的搬運(yùn)方向上游側(cè)。右側(cè)相當(dāng)于基板的搬運(yùn)方向下游側(cè)。圖I表示本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的立體圖。圖2表示本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的安裝步驟中的從前方觀察到的剖視圖。在圖I中，透過模塊3的殼體36而進(jìn)行表示。圖2的剖切面是前后一對緊固片304f中的前方的緊固片304f的正后方。圖2所示的基板Bf被設(shè)置于安裝位置。如圖I、圖2所示，電子零件安裝機(jī)I具備底座2、模塊3、多個帶式供料器4及設(shè)備托盤5。如圖2所示，通過沿左右方向排列多個電子零件安裝機(jī)I而形成基板Bf、Br的生產(chǎn)線。[底座2、模塊3]底座2呈長方體的箱狀。底座2配置于工廠的地面F上。模塊3以能夠裝卸的方式配置于底座2的上表面。模塊3具備基板搬運(yùn)單元30、XY機(jī)械手31、安裝頭32、標(biāo)記相機(jī)33、基板升降裝置35及殼體36。
(殼體36)殼體36形成模塊3的外殼。如圖2所示，在殼體36的左壁開設(shè)有搬入口 360L，在右壁開設(shè)有搬出口 360R。經(jīng)由搬入口 360L、搬出口 360R而在沿左右方向相鄰的搬運(yùn)部303f之間交接基板Bf、Br。(基板搬運(yùn)單元30)基板搬運(yùn)單元30具備前后一對搬運(yùn)部303f、303i■、前后一對緊固片304f、前后一對緊固片304r及前后一對基準(zhǔn)傳感器305f。基準(zhǔn) 傳感器305f包含于本發(fā)明的“基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)”的概念。前方的搬運(yùn)部303f具備前后一對傳送帶303fa。傳送帶303fa包含于本發(fā)明的“搬運(yùn)體”的概念。前后一對傳送帶303fa分別在左右方向(搬運(yùn)方向)上延伸。在前后一對傳送帶303fa上架設(shè)有基板Bf。如圖I所示，在基板Bf的上表面的左前角和右后角配置 有圓形的標(biāo)記Bm (在圖2中用“ ”來表示)。同樣地，后方的搬運(yùn)部3031■具備前后一對傳送帶303ra。傳送帶303ra包含于本發(fā)明的“搬運(yùn)體”的概念。在前后一對傳送帶303ra上架設(shè)有基板Br。如圖I所不，在基板Br的上表面的左如角和右后角配置有圓形的標(biāo)記Bm。基板Bf通過搬運(yùn)部303f、基板Br通過搬運(yùn)部303r而各自獨(dú)立地被從左側(cè)朝向右側(cè)搬運(yùn)。前后一對緊固片304f配置于前后一對傳送帶303fa的上方。前后一對緊固片304r配置于前后一對傳送帶303ra的上方?；鶞?zhǔn)傳感器305f配置于前后一對傳送帶303fa的左端(上游端)附近。具體而言，如后文所述，基準(zhǔn)傳感器305f配置于基準(zhǔn)位置。基準(zhǔn)傳感器305f為光電傳感器。當(dāng)基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣(右邊緣)通過前后一對傳送帶303fa的基準(zhǔn)位置時(shí)，基準(zhǔn)傳感器305f對基板Bf進(jìn)行識別。另外，在前后一對傳送帶303ra的左端附近也同樣配置有基準(zhǔn)傳感器(基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu))。(基板升降裝置35)基板升降裝置35具備前后一對升降部350f、350r。前后一對升降部350f、350r能夠通過圖2所示的滾珠絲杠部350fa而分別在上下方向上移動。前方的升降部350f配置于搬運(yùn)部303f的下方。后方的升降部350r配置于搬運(yùn)部303r的下方。基板Bf、Br的位置可以通過升降部350f、350r而在基板搬運(yùn)高度的安裝準(zhǔn)備位置和高度比基板搬運(yùn)高度高的安裝位置之間切換。如圖2所示，在安裝位置處，基板Bf的下表面由升降部350f從下方進(jìn)行支撐。另一方面，基板Bf的上表面的前后兩邊緣被前后一對緊固片304f從上方按壓。即，基板Bf被固定在安裝位置。(XY 機(jī)械手 31)X方向與左右方向?qū)?yīng)，Y方向與前后方向?qū)?yīng)，Z方向與上下方向?qū)?yīng)。XY機(jī)械手31具備Y方向滑塊310、X方向滑塊311、左右一對Y方向?qū)к?12及上下一對X方向?qū)к?313。左右一對Y方向?qū)к?12配置于殼體36的上壁下表面。Y方向滑塊310以能夠在前后方向上滑動的方式安裝于左右一對Y方向?qū)к?12。上下一對X方向?qū)к?13配置于Y方向滑塊310的前表面。X方向滑塊311以能夠在左右方向上滑動的方式安裝于上下一對X方向?qū)к?13。(安裝頭32)
安裝頭32安裝于X方向滑塊311。因此，安裝頭32能夠通過XY機(jī)械手31在前后左右方向上移動。吸嘴320以能夠更換的方式安裝于安裝頭32的下方。吸嘴320能夠相對于安裝頭32向下方及旋轉(zhuǎn)方向移動。因此，吸嘴320能夠在前后、左右、上下及旋轉(zhuǎn)方向上移動。(標(biāo)記相機(jī)33)
標(biāo)記相機(jī)33與安裝頭32 —同安裝于X方向滑塊311。標(biāo)記相機(jī)33配置于吸嘴320的后方。標(biāo)記相機(jī)33能夠通過XY機(jī)械手31與安裝頭32 —同在前后左右方向上移動。[設(shè)備托盤5、帶式供料器4]設(shè)備托盤5安裝于模塊3的前部開口。多個帶式供料器4分別以能夠裝卸的方式安裝于設(shè)備托盤5。帶式供料器4具備料帶40、帶盤41及帶盤支架42。在料帶40上，沿長度方向收容有多個電子零件P(參照圖2)。料帶40卷繞于帶盤41。帶盤41收容于帶盤支架42。電子零件安裝機(jī)的電氣結(jié)構(gòu)接著，對本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的電氣結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。另外，以下的說明包括本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置的電氣結(jié)構(gòu)的說明。圖3表示本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的框圖。如圖3所示，本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)I除上述的裝置類以外，還具備控制裝置7和圖像處理裝置8?？刂蒲b置7具備計(jì)算機(jī)70和多個驅(qū)動電路。計(jì)算機(jī)70具備輸入輸出接口 700、運(yùn)算部701及存儲部702。輸入輸出接口 700經(jīng)由驅(qū)動電路而分別與基板搬運(yùn)單元30的搬運(yùn)馬達(dá)303fb、303rb、基板升降裝置35的升降馬達(dá)350fb、350rb、XY機(jī)械手31的X軸馬達(dá)311a、Y軸馬達(dá)310a、安裝頭32的Z軸馬達(dá)320a及Θ軸馬達(dá)320b連接。能夠如下地分別進(jìn)行驅(qū)動搬運(yùn)馬達(dá)303fb、303rb能夠驅(qū)動傳送帶303fa、303ra (參照圖1)，升降馬達(dá)350fb、350rb能夠驅(qū)動滾珠絲杠部350fa (參照圖2)，X軸馬達(dá)311a能夠驅(qū)動X方向滑塊311 (參照圖1)，Y軸馬達(dá)310a能夠驅(qū)動Y方向滑塊310 (參照圖1)，Z軸馬達(dá)320a能夠在上下方向上驅(qū)動吸嘴320 (參照圖1)，Θ軸馬達(dá)320b能夠在水平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)方向上驅(qū)動吸嘴320 (參照圖I)。搬運(yùn)基板Bf、Br的搬運(yùn)馬達(dá)303fb、303rb為步進(jìn)馬達(dá)。另一方面，在左右方向上驅(qū)動安裝頭32即標(biāo)記相機(jī)33的X軸馬達(dá)311a和在前后方向上驅(qū)動安裝頭32即標(biāo)記相機(jī)33的Y軸馬達(dá)310a均為伺服馬達(dá)。X軸馬達(dá)311a的編碼器311b和Y軸馬達(dá)310a的編碼器310b分別與輸入輸出接口 700連接。編碼器311b、編碼器310b的輸出值(例如，與X軸馬達(dá)311a、Y軸馬達(dá)310a的旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)量、旋轉(zhuǎn)角度、旋轉(zhuǎn)位置等相對應(yīng)的電壓等)包含于本發(fā)明的“位置信號”的概念。另外，一對基準(zhǔn)傳感器305f分別與輸入輸出接口 700連接?；鶞?zhǔn)傳感器305f的輸出值(例如，隨著因基板Bf的通過而遮擋住光線所產(chǎn)生的光量變化)包含于本發(fā)明的“基準(zhǔn)信號”的概念。基板搬運(yùn)裝置本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置A被組裝入上述的電子零件安裝機(jī)I中。基板搬運(yùn)裝置A具備基板搬運(yùn)單元30、XY機(jī)械手31、標(biāo)記相機(jī)33、控制裝置7及圖像處理裝置8。電子零件安裝方法
接著，對本實(shí)施方式的電子零件安裝方法進(jìn)行說明。另外，以下的說明包括本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)方法的說明。另外，以下的說明是與前后兩個生產(chǎn)線中的、前方的生產(chǎn)線的電子零件安裝方法相關(guān)的說明，但是后方的生產(chǎn)線的電子零件安裝方法也相同。本實(shí)施方式的電子零件安裝方法具有待機(jī)步驟、移動開始步驟、移動步驟、停止步驟、安裝步驟及搬出步驟。在以下的附圖中，當(dāng)以(〇、Λ)表示位置時(shí)，“〇”表示X方向(左右方向)坐標(biāo)，“Λ”表示Y方向(前后方向)坐標(biāo)。[待機(jī)步驟]圖4表示本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的待機(jī)步驟中的從前方觀察到的剖視圖。圖4與圖2 (安裝步驟)相對應(yīng)。另外，在圖4中，為便于說明，省略吸嘴320 (參照圖2)而進(jìn)行表示。如圖4所示,在本步驟中，使標(biāo)記相機(jī)33移動至基準(zhǔn)標(biāo)記位置MO (x0、y0)的正上方。此處，基準(zhǔn)標(biāo)記位置MO (x0、y0)是指基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣(右邊緣)到達(dá)了基 準(zhǔn)位置BO (X0、Y0)時(shí)的、基板Bf的標(biāo)記Bm (圖I所示的基板Bf的一對標(biāo)記Bm中的右后角的標(biāo)記Bm)的位置。與基準(zhǔn)位置BO (Χ0、Υ0)的X方向分量X0、即基準(zhǔn)標(biāo)記位置MO (x0、y0)的X方向分量xO相對應(yīng)的編碼器311b的輸出值作為X方向第一設(shè)定值而被存儲于圖3所示的存儲部702中。另外，與基準(zhǔn)位置BO (Χ0、Υ0)的Y方向分量Y0、即基準(zhǔn)標(biāo)記位置MO (x0、y0)的Y方向分量y0相對應(yīng)的編碼器310b的輸出值作為Y方向第一設(shè)定值而被進(jìn)行存儲。運(yùn)算部701驅(qū)動X軸馬達(dá)311a (即X方向滑塊311)、Y軸馬達(dá)310a (即Y方向滑塊310)，以使編碼器311b的輸出值=X方向第一設(shè)定值、編碼器310b的輸出值=Y方向第一設(shè)定值。接著，使標(biāo)記相機(jī)33在基準(zhǔn)標(biāo)記位置MO (xO.yO)的正上方進(jìn)行待機(jī)。當(dāng)圖3所示的運(yùn)算部701驅(qū)動搬運(yùn)馬達(dá)303fb時(shí)，圖4所示的前后一對傳送帶303fa進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。因此，基板Bf被從左側(cè)的電子零件安裝機(jī)I搬入至右側(cè)的電子零件安裝機(jī)I。當(dāng)基板Bf被搬入時(shí)，圖3所示的基準(zhǔn)傳感器305f檢測到基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣。即，檢測出基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣已到達(dá)基準(zhǔn)位置BO (Χ0、Υ0)。因此，基準(zhǔn)傳感器305f輸出基準(zhǔn)信號。圖5是表示本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的待機(jī)步驟中的、基板的前進(jìn)方向前邊緣到達(dá)了基準(zhǔn)位置時(shí)的標(biāo)記相機(jī)的視野的示意圖。如圖5所示，基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣到達(dá)基準(zhǔn)位置BO (XO、Y0)的同時(shí)，基板Bf的右后角的標(biāo)記Bm被配置于標(biāo)記相機(jī)33的視野Gl的中心。標(biāo)記相機(jī)33的視野Gl包含于本發(fā)明的“可檢測區(qū)域”的概念。[移動開始步驟]在本步驟中，基于基準(zhǔn)信號被傳送至控制裝置7而使標(biāo)記相機(jī)33開始移動。具體而言，如圖3所示，當(dāng)基準(zhǔn)信號從基準(zhǔn)傳感器305f輸入至控制裝置7時(shí)，運(yùn)算部701驅(qū)動X軸馬達(dá)311a (即X方向滑塊311)。因此，標(biāo)記相機(jī)33開始與基板Bf并行。[移動步驟]在本步驟中，一邊維持將基板Bf的右后角的標(biāo)記Bm配置于圖5所示的標(biāo)記相機(jī)33的視野Gl的中心的狀態(tài)，一邊使標(biāo)記相機(jī)33從基準(zhǔn)標(biāo)記位置MO (xO、y0)移動至安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml (xl、y0)。即，運(yùn)算部701持續(xù)驅(qū)動X軸馬達(dá)311a (即X方向滑塊311)。如圖5中的虛線所示，當(dāng)標(biāo)記Bm相對地偏離視野Gl的中心時(shí)，圖3所示的圖像處理裝置8計(jì)算出偏差量Λ X。偏差量Λ X從圖像處理裝置8輸入至控制裝置7。運(yùn)算部701根據(jù)輸入的偏差量Λ X來調(diào)整X軸馬達(dá)311a的輸出。即，調(diào)整X方向滑塊311的速度。接著，再次將標(biāo)記Bm配置于視野Gl的中心。另外，關(guān)于產(chǎn)生偏差量Λ X時(shí)的動作，在后文進(jìn)行詳細(xì)說明。[停止步驟]圖6是表示本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的停止步驟中的從前方觀察到的剖視圖。圖6與圖2 (安裝步驟)相對應(yīng)。另外，在圖6中，為便于說明，省略吸嘴320 (參照圖2)而進(jìn)行表示。如圖6所示，在本步驟中，一邊維持將基板Bf的右后角的標(biāo)記Bm配置于圖5所示的標(biāo)記相機(jī)33的視野Gl的中心的狀態(tài)，一邊使標(biāo)記相機(jī)33停止在安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml(xl、y0)的正上方。此處，安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml (xl、y0)是指基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣(右邊緣)到達(dá)了安裝準(zhǔn)備位置BI (XI、Y0)時(shí)的基板Bf的標(biāo)記Bm的位置。 與安裝準(zhǔn)備位置BI (X1、Y0)的X方向分量XI、即安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml CxUyO)的X方向分量Xl相對應(yīng)的編碼器311b的輸出值作為X方向第二設(shè)定值而被存儲于圖3所示的存儲部702中。另外，與安裝準(zhǔn)備位置BI (X1、Y0)的Y方向分量Y0、即安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml (xl、yO)的Y方向分量y0相對應(yīng)的編碼器310b的輸出值作為Y方向第二設(shè)定值而被進(jìn)行存儲。另外，由于基板Bf僅在左右方向上被搬運(yùn)，所以，Y方向第二設(shè)定值=Y方向第一設(shè)定值。運(yùn)算部701驅(qū)動X軸馬達(dá)311a (即X方向滑塊311)，以使編碼器311b的輸出值=X方向第二設(shè)定值。接著，使標(biāo)記相機(jī)33停止于安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml (xl、y0)的正上方O[安裝步驟]如圖2所示，在本步驟中，首先，圖3所示的運(yùn)算部701驅(qū)動升降馬達(dá)350fb。接著，基板Bf的下表面被升降部350f從搬運(yùn)部303f抬起，直至基板Bf的上表面的前后兩邊緣抵接于前后一對緊固片304f。即，使基板Bf從安裝準(zhǔn)備位置上升至安裝位置。接著，圖3所示的運(yùn)算部701適當(dāng)?shù)仳?qū)動X軸馬達(dá)311a、Y軸馬達(dá)310a、Z軸馬達(dá)320a及Θ軸馬達(dá)320b，由此，通過吸嘴320將電子零件P從圖I所示的帶式供料器4的料帶40取出。接著，如圖2所示，圖3所示的運(yùn)算部701通過吸嘴320將電子零件P安裝在基板Bf的規(guī)定的安裝坐標(biāo)處。若安裝完被分配至電子零件安裝機(jī)I的所有電子零件P，則圖3所示的運(yùn)算部701驅(qū)動升降馬達(dá)350fb，并使基板Bf從安裝位置下降至安裝準(zhǔn)備位置。[搬出步驟]圖7是表示本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的搬出步驟中的從前方觀察到的剖視圖。圖7與圖2 (安裝步驟)相對應(yīng)。另外，在圖7中，為便于說明，省略吸嘴320 (參照圖2)而進(jìn)行表示。如圖7所示，在本步驟中，圖3所示的運(yùn)算部701驅(qū)動搬運(yùn)馬達(dá)303fb而使圖4所示的前后一對傳送帶303fa進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。接著，將基板Bf從左側(cè)的電子零件安裝機(jī)I搬出至右側(cè)的電子零件安裝機(jī)I。這樣一來，電子零件安裝機(jī)I反復(fù)進(jìn)行待機(jī)步驟一移動開始步驟一移動步驟一停止步驟一安裝步驟一搬出步驟，由此，可連續(xù)地生產(chǎn)多個基板Bf。
在移動步驟中基板發(fā)生偏離時(shí)的動作圖8 (a)是表示本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的搬運(yùn)部的移動開始步驟中的從前方觀察到的放大圖。圖8(b)是表示該搬運(yùn)部的移動步驟前半中的從前方觀察到的放大圖。圖8 (c)是表示該搬運(yùn)部的移動步驟后半中的從前方觀察到的放大圖。圖8 (d)是該搬運(yùn)部的停止步驟中的從前方觀察到的放大圖。如圖8 (a)所示,在移動開始步驟中，標(biāo)記Bm與傳送帶303fa的標(biāo)記對應(yīng)點(diǎn)Am在基準(zhǔn)標(biāo)記位置MO (xO、yO)上下重疊。但是，如圖8 (b)所示，存在基板Bf相對于傳送帶303fa發(fā)生打滑而使標(biāo)記Bm與標(biāo)記對應(yīng)點(diǎn)Am在左右方向上偏離了偏差量Λ X的情況。此時(shí),如圖5中的虛線所示，標(biāo)記Bm從標(biāo)記相機(jī)33的視野Gl的中心偏離了偏差量ΛΧ。另外，產(chǎn)生偏差量Λ X的原因多種多樣,例如可列舉出驅(qū)動傳送帶303fa的搬運(yùn)馬達(dá)303fb (圖3)為階段性地動作的步進(jìn)馬達(dá)，因此，基板Bf相對于傳送帶303fa發(fā) 生打滑。另外，可列舉出基板Bf具有“翹曲”，基板Bf與傳送帶303fa的接觸面積較小，因此，基板Bf相對于傳送帶303fa發(fā)生打滑。當(dāng)產(chǎn)生偏差量Λ X時(shí)，標(biāo)記相機(jī)33相應(yīng)程度地提前于標(biāo)記Bm。因此，減慢標(biāo)記相機(jī)33的速度，以消除偏差量Λ X。即，圖3所示的運(yùn)算部701根據(jù)偏差量Λ X來減小X軸馬達(dá)311a的輸出。即，減慢X方向滑塊311的速度。接著，再次將標(biāo)記Bm配置于視野Gl的中心。這樣一來，運(yùn)算部701 —邊將基板Bf從基準(zhǔn)位置BO (XO、Y0)搬運(yùn)至安裝準(zhǔn)備位置BI (XI、Y0)，一邊修正偏差量Λ X。在現(xiàn)有的電子零件安裝機(jī)的情況下，以傳送帶303fa的驅(qū)動量為基準(zhǔn)、即以傳送帶303fa的標(biāo)記對應(yīng)點(diǎn)Am的移動量為基準(zhǔn)來確定基板Bf的停止位置。因此，如圖8 (c)所示，在標(biāo)記對應(yīng)點(diǎn)Am到達(dá)了安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml (xl、yO)的階段，即使標(biāo)記Bm未到達(dá)安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml (xl、yO)，移動步驟也已結(jié)束。但是，在本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)的情況下，以標(biāo)記相機(jī)33的視野Gl的中心與基板Bf的標(biāo)記Bm —致為基準(zhǔn)、即以基板Bf的移動量為基準(zhǔn)來確定基板Bf的停止位置。因此，在圖8 (c)的狀態(tài)下,移動步驟不會結(jié)束。如圖8 (d)所示,標(biāo)記Bm (=視野Gl的中心)到達(dá)安裝準(zhǔn)備標(biāo)記位置Ml (xl、y0)，由此移動步驟結(jié)束。另外，在移動步驟結(jié)束時(shí)，標(biāo)記對應(yīng)點(diǎn)Am相對于標(biāo)記Bm提前了偏差量Λ X。作用效果接著，對本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置Α、電子零件安裝機(jī)I、基板搬運(yùn)方法、電子零件安裝方法的作用效果進(jìn)行說明。如圖8 (a) 圖8 (d)所示，根據(jù)本實(shí)施方式的基板搬運(yùn)裝置A、電子零件安裝機(jī)I、基板搬運(yùn)方法、電子零件安裝方法(以下總稱為“電子零件安裝機(jī)I等”)，標(biāo)記相機(jī)33 —邊與搬運(yùn)中的基板Bf并行，一邊持續(xù)監(jiān)視該基板Bf (具體而言為標(biāo)記Bm)。因此，即使在標(biāo)記Bm相對于傳送帶303fa的偏差量Λ X較大時(shí)，也能夠?qū)νＶ刮恢玫奈恢闷钸M(jìn)行修正。根據(jù)本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)I等，使標(biāo)記相機(jī)33與基板Bf并行，由此，以實(shí)際搬運(yùn)的基板Bf的標(biāo)記Bm的位置為基準(zhǔn)來確定基板Bf的停止位置(安裝準(zhǔn)備位置BI(Χ1、Υ0))。即，并不是以“不偏離傳送帶303fa地搬運(yùn)基板Bf”為前提且以傳送帶303fa的驅(qū)動量為基準(zhǔn)來確定基板Bf的停止位置。同樣地，在這一點(diǎn)上，根據(jù)本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)I等，也能夠?qū)νＶ刮恢玫奈恢闷钸M(jìn)行修正。
另外，根據(jù)本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)I等，能夠一邊搬運(yùn)基板Bf—邊修正停止位置的位置偏差。因此，與首先使基板Bf暫時(shí)停止在圖8 (c)所示的狀態(tài)、接著再次使基板Bf移動與偏差量Λ X而達(dá)到圖8 (d)所示的狀態(tài)的情況相比，從基準(zhǔn)位置BO (Χ0、Υ0)到安裝準(zhǔn)備位置BI (XUYO)的搬運(yùn)時(shí)間變短。另外，如圖8 (a) 圖8 (d)所示，根據(jù)本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)I等，在從基準(zhǔn)位置BO (XO、Y0)至到達(dá)安裝準(zhǔn)備位置BI (XI、Y0)的期間，使標(biāo)記相機(jī)33與基板Bf并行。即，當(dāng)基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣到達(dá)基準(zhǔn)位置BO (XO、Y0)時(shí)，基準(zhǔn)傳感器305f輸出基準(zhǔn)信號。另外，如圖5所示，當(dāng)基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣到達(dá)基準(zhǔn)位置BO (Χ0、Υ0)時(shí)，基板Bf的標(biāo)記Bm剛好進(jìn)入到標(biāo)記相機(jī)33的視野Gl的中心?？刂蒲b置7基于來自基準(zhǔn)傳感器305f的基準(zhǔn)信號而使標(biāo)記相機(jī)33開始移動。因此，能夠在標(biāo)記Bm進(jìn)入到視野Gl的狀態(tài)下，使標(biāo)記相機(jī)33開始與基板Bf并行。因此，開始并行后，標(biāo)記相機(jī)33不需要搜索正在移動的基板Bf的標(biāo)記Bm。另外，如圖8 (a) 圖8 (d)所示，根據(jù)本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)1，具備帶有偏差抑制功能的基板搬運(yùn)裝置A。因此，能夠抑制安裝準(zhǔn)備位置BI (X1、Y0)乃至安裝位置的位置偏差。因此，安裝精度提高。另外，基板搬運(yùn)裝置A最初被編組裝入已設(shè)的電子零件安裝機(jī)I中。S卩，基板搬運(yùn)裝置A具備基板搬運(yùn)單元30、XY機(jī)械手31、標(biāo)記相機(jī)33、控制裝置7及圖像處理裝置8?；灏徇\(yùn)單元30以搬運(yùn)基板Bf、Br的目的、XY機(jī)械手31以移動吸嘴320的目的、標(biāo)記相機(jī)33以在安裝電子零件時(shí)對準(zhǔn)基板Bf、Br的位置的目的、控制裝置7以綜合控制電子零件安裝機(jī)I的目的、圖像處理裝置8以處理從標(biāo)記相機(jī)33等獲得的圖像的目的，起始即被組裝入電子零件安裝機(jī)I。因此，根據(jù)本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)1，例如僅更新圖3所示的存儲部702的程序、或者僅在存儲部702追加程序，即可在已設(shè)的電子零件安裝機(jī)I上追加位置偏差修正功能。因此，通用性高。另外，能夠削減設(shè)備成本。另外，根據(jù)本實(shí)施方式的電子零件安裝機(jī)I等，如圖3所示，作為用于驅(qū)動傳送帶303fa、303ra的搬運(yùn)馬達(dá)303fb、303rb，使用步進(jìn)馬達(dá)。因此，與使用伺服馬達(dá)的情況相比，能夠削減基板搬運(yùn)單元30乃至電子零件安裝機(jī)I的設(shè)備成本。另外，通過使用步進(jìn)馬達(dá)，盡管基板Bf、Br容易相對于傳送帶303fa、303ra打滑，但也能夠抑制停止位置的位置偏差。其他以上，對本發(fā)明的基板搬運(yùn)裝置、電子零件安裝機(jī)、基板搬運(yùn)方法、電子零件安裝方法的實(shí)施方式進(jìn)行了說明。但是，本發(fā)明的實(shí)施方式不特別限定于上述方式。也能夠以本領(lǐng)域技術(shù)人員可進(jìn)行的各種變形方式、改良方式來實(shí)施。標(biāo)記Bm的種類不特別進(jìn)行限定。例如，也可以將文字、圖形、符號、基板Bf、Br的特征性形狀(角部、圖案、安裝完的電子零件，或者電子零件的上表面的文字、圖形、符號等)用作標(biāo)記Bm。另外，在上述實(shí)施方式中，在基板搬運(yùn)過程中利用標(biāo)記相機(jī)33對右后角的標(biāo)記Bm進(jìn)行了拍攝，但也可以對左前角的標(biāo)記Bm進(jìn)行拍攝。標(biāo)記相機(jī)33之類的移動檢測機(jī)構(gòu)的種類不特別進(jìn)行限定?？闪信e出能夠移動的各種相機(jī)、各種傳感器等。相機(jī)的情況下，例如，也可以使用CXD相機(jī)、CM0S( CompIementaryMetal-oxide Semiconductor)相機(jī)、紅外線相機(jī)。傳感器的情況下，例如，也可以使用光電傳感器、接近傳感器。基準(zhǔn)傳感器305f之類的基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)的種類不特別進(jìn)行限定。可列舉出各種相機(jī)、各種傳感器等。相機(jī)的情況下，例如，也可以使用CCD相機(jī)、CMOS相機(jī)。傳感器的情況下，例如，也可以使用光電傳感器、接近傳感器、機(jī)械傳感器。另外，基準(zhǔn)傳感器305f所識別的也可以不是基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣。例如，也可以是前進(jìn)方向后邊緣。X軸馬達(dá)311a、Y軸馬達(dá)310a可以是旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，也可以是線性馬達(dá)。編碼器311b、310b可以是旋轉(zhuǎn)編碼器，也可以是線性編碼器。另外，如圖8 (a) 圖8 (d)所示，在上述實(shí)施方式中，對左右方向(搬運(yùn)方向)的偏差量Λ X進(jìn)行了修正，但是也可以對水平面內(nèi)的傾斜方向的偏差量進(jìn)行修正。此時(shí)，需要通過控制裝置7各自獨(dú)立地驅(qū)動前后一對傳送帶303fa。 傾斜方向的偏差量的修正也可以以標(biāo)記Bm的位置為基準(zhǔn)進(jìn)行。另外，也可以以圖5所示的視野Gl中的基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣的傾斜量為基準(zhǔn)進(jìn)行。即，基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣原本與前后方向平行地延伸。換言之，在與基板Bf的搬運(yùn)方向正交的方向上延伸。也可以通過圖3所示的圖像處理裝置8來計(jì)算基板Bf的前進(jìn)方向前邊緣相對于前后方向的傾斜量(=偏差量)并通過前后一對傳送帶303fa的獨(dú)立驅(qū)動來修正該偏差量。如圖8 (a) 圖8 (d)所示,在上述實(shí)施方式中，通過減慢標(biāo)記相機(jī)33的速度來消除偏差量Λ Xo但是,也可以通過加快基板Bf的搬運(yùn)速度來消除偏差量Λ Xo這樣一來，從基準(zhǔn)位置BO (Χ0、YO)到安裝準(zhǔn)備位置BI (XI、YO)的搬運(yùn)時(shí)間變短。S卩，可以通過“減慢標(biāo)記相機(jī)33的速度”及“加快基板Bf的搬運(yùn)速度”中的至少一種方式來消除偏差量Λ X。另外，如圖8 (a) 圖8 (d)所示，在上述實(shí)施方式中，為使標(biāo)記Bm始終處于圖5所示的視野Gl的中心，每次在基板搬運(yùn)過程中產(chǎn)生偏差量Λ X時(shí)都進(jìn)行了偏差量Λ X的修正。但是，也可以將偏差量Λ X的總值存儲于存儲部702而在移動步驟的最后統(tǒng)一地修正偏差量Λ X。此時(shí)，在圖5所示的視野Gl中，在標(biāo)記Bm偏離視野Gl的中心的狀態(tài)下搬運(yùn)基板Bf。這樣一來，不需要在基板Bf的搬運(yùn)過程中對標(biāo)記相機(jī)33或基板Bf的速度進(jìn)行調(diào)整。
權(quán)利要求
1.ー種基板搬運(yùn)裝置，具備 搬運(yùn)基板的搬運(yùn)體； 移動檢測機(jī)構(gòu)，一邊識別所搬運(yùn)的所述基板ー邊進(jìn)行移動； 位置傳感器，輸出與所述移動檢測機(jī)構(gòu)的位置相關(guān)的位置信號；及控制裝置，基于所述位置信號控制所述搬運(yùn)體，并使所述基板停止在預(yù)先設(shè)定的停止位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基板搬運(yùn)裝置，其中， 具備基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)，所述基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)輸出與所述基板到達(dá)基準(zhǔn)位置相關(guān)的基準(zhǔn)信號，其中，所述基準(zhǔn)位置在所述基板的搬運(yùn)路徑上比所述停止位置靠近上游側(cè)， 所述控制裝置使所述移動檢測機(jī)構(gòu)待機(jī)，使得在所述基板到達(dá)所述基準(zhǔn)位置時(shí)所述基板的標(biāo)記進(jìn)入到可檢測區(qū)域，并基于所述基準(zhǔn)信號使所述移動檢測機(jī)構(gòu)開始移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的基板搬運(yùn)裝置，其中， 所述移動檢測機(jī)構(gòu)與所述基板并行。
4.一種電子零件安裝機(jī)，具備權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的基板搬運(yùn)裝置， 所述停止位置是為了安裝電子零件而使所述基板從所述搬運(yùn)體移動至安裝位置的前階段的位置即安裝準(zhǔn)備位置， 所述移動檢測機(jī)構(gòu)是為了確認(rèn)處于所述安裝位置上的所述基板的位置而對所述基板的標(biāo)記進(jìn)行拍攝的標(biāo)記相機(jī)， 所述位置傳感器是在所述基板的搬運(yùn)方向上對所述標(biāo)記相機(jī)進(jìn)行驅(qū)動的馬達(dá)的編碼器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電子零件安裝機(jī)，其中， 所述安裝位置配置于所述安裝準(zhǔn)備位置的正上方。
6.ー種基板搬運(yùn)方法，用于基板搬運(yùn)裝置， 所述基板搬運(yùn)裝置具備 搬運(yùn)基板的搬運(yùn)體； 移動檢測機(jī)構(gòu)，能夠識別所述基板并進(jìn)行移動 '及 位置傳感器，輸出與所述移動檢測機(jī)構(gòu)的位置相關(guān)的位置信號； 所述基板搬運(yùn)方法的特征在于，包括 移動步驟，使所述移動檢測機(jī)構(gòu)ー邊識別所搬運(yùn)的所述基板ー邊進(jìn)行移動；及停止步驟，基于所述位置信號控制所述搬運(yùn)體，并使所述基板停止在預(yù)先設(shè)定的停止位置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板搬運(yùn)方法，其中， 所述基板搬運(yùn)裝置具備基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)，所述基準(zhǔn)檢測機(jī)構(gòu)輸出與所述基板到達(dá)基準(zhǔn)位置相關(guān)的基準(zhǔn)信號，其中，所述基準(zhǔn)位置在所述基板的搬運(yùn)路徑上比所述停止位置靠近上游側(cè)； 所述基板搬運(yùn)方法在所述停止步驟之前還包括 待機(jī)步驟，使所述移動檢測機(jī)構(gòu)待機(jī)，使得在所述基板到達(dá)所述基準(zhǔn)位置時(shí)所述基板的標(biāo)記進(jìn)入到可檢測區(qū)域；及 移動開始步驟，基于所述基準(zhǔn)信號使所述移動檢測機(jī)構(gòu)開始移動。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的基板搬運(yùn)方法，其中， 在所述移動步驟中，使所述移動檢測機(jī)構(gòu)與所述基板并行。
9.一種電子零件安裝方法，包括權(quán)利要求6至8中任一項(xiàng)所述的基板搬運(yùn)方法， 所述停止位置是為了安裝電子零件而使所述基板從所述搬運(yùn)體移動至安裝位置的前階段的位置即安裝準(zhǔn)備位置， 所述移動檢測機(jī)構(gòu)是為了確認(rèn)處于所述安裝位置上的所述基板的位置而對所述基板的標(biāo)記進(jìn)行拍攝的標(biāo)記相機(jī)， 所述位置傳感器是在所述基板的搬運(yùn)方向上對所述標(biāo)記相機(jī)進(jìn)行驅(qū)動的馬達(dá)的編碼器。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的電子零件安裝方法，其中， 所述安裝位置配置于所述安裝準(zhǔn)備位置的正上方。
全文摘要
本發(fā)明提供一種基板搬運(yùn)裝置及方法、電子零件安裝機(jī)及安裝方法，即使在實(shí)際停止位置相對于預(yù)定停止位置的偏差量較大時(shí)，也能夠修正偏差?；灏徇\(yùn)裝置(A)具備搬運(yùn)基板(Bf、Br)的搬運(yùn)體(303fa、303ra)；移動檢測機(jī)構(gòu)(33)，一邊識別所搬運(yùn)的基板(Bf、Br)一邊進(jìn)行移動；位置傳感器(311b)，輸出與移動檢測機(jī)構(gòu)(33)的位置相關(guān)的位置信號；及控制裝置，基于位置信號來控制搬運(yùn)體(303fa、303ra)，并使基板(Bf、Br)停止在預(yù)先設(shè)定的停止位置B1(X1、Y0)。
文檔編號H05K13/08GK102821590SQ20121018968
公開日2012年12月12日 申請日期2012年6月8日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月9日
發(fā)明者神藤高廣 申請人:富士機(jī)械制造株式會社