石墨舟定位裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及集成電路或光伏產(chǎn)品的工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種石墨舟定位裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]PECVD鍍膜工序之前或之后都會用到石墨舟。在石墨舟定位后對其上的硅片進行裝卸。
[0003]現(xiàn)有的石墨舟傳輸定位主要有以下特點:
[0004]石墨舟的輸送多采用伺服馬達，成本較高；
[0005]石墨舟的定位采用較多的傳感器，成本較高；
[0006]石墨舟夾緊定位時采用氣缸力直接作用在舟片上，容易損傷舟片。
[0007]基于以上特點，現(xiàn)有的石墨舟定位技術(shù)存在如下缺點:
[0008]1.石墨舟定位的機構(gòu)比較復(fù)雜；
[0009]2.石墨舟輸送和定位的成本都比較高；
[0010]3.石墨舟定位時容易損傷石墨舟。
【實用新型內(nèi)容】
[0011]本實用新型提供一種石墨舟定位裝置，能夠解決上述問題。
[0012]本實用新型實施例提供的一種石墨舟定位裝置，包括一定位平臺，定位平臺的后側(cè)設(shè)有基準(zhǔn)定位機構(gòu)，定位平臺的前側(cè)設(shè)有彈性定位機構(gòu)，定位平臺的左側(cè)設(shè)有用于限制石墨舟繼續(xù)向左運動的限位機構(gòu)，基準(zhǔn)定位機構(gòu)和彈性定位機構(gòu)在定位平臺的右側(cè)共同形成一用于運輸石墨舟進入定位平臺的入口，彈性定位機構(gòu)包括用于抵住石墨舟前側(cè)的第一定位橫桿、第一支撐基座及固定在第一支撐基座上的沿定位平臺前后方向設(shè)置的第一驅(qū)動裝置、縱向彈簧、第一軌道，第一定位橫桿由第一驅(qū)動裝置驅(qū)動沿第一軌道前后滑動，縱向彈簧連接在第一支撐基座與第一定位橫桿之間且對第一定位橫桿施加后向的彈性力，基準(zhǔn)定位機構(gòu)設(shè)有用于抵住石墨舟后側(cè)且可沿定位平臺前后向調(diào)節(jié)位置的第二定位橫桿。
[0013]優(yōu)選地，第一定位橫桿上固定有前后向設(shè)置的第一調(diào)節(jié)桿，第一調(diào)節(jié)桿上設(shè)有可在前后向上調(diào)節(jié)位置的第一擋塊，縱向彈簧套設(shè)在該第一調(diào)節(jié)桿上，且縱向彈簧一端頂住第一定位橫桿遠離石墨舟的一側(cè)，縱向彈簧的另一端頂住該第一擋塊。
[0014]優(yōu)選地，所述限位機構(gòu)包括左側(cè)定位基座、橫向彈簧、橫向軌道及用于抵住石墨舟左側(cè)的左側(cè)定位橫桿，左側(cè)定位橫桿通過橫向軌道安裝在左側(cè)定位基座上，橫向彈簧安裝在左側(cè)定位基座上且對左側(cè)定位橫桿施加向右的彈性力。
[0015]優(yōu)選地，所述左側(cè)定位橫桿的左側(cè)設(shè)有一導(dǎo)向桿，左側(cè)定位基座的上部設(shè)有一導(dǎo)向孔，導(dǎo)向桿穿過該導(dǎo)向孔形成所述橫向軌道，橫向彈簧套設(shè)在該導(dǎo)向桿上并共同穿過該導(dǎo)向孔，導(dǎo)向桿的末端設(shè)有可調(diào)擋塊，橫向彈簧的一端頂住左側(cè)定位橫桿的左側(cè)，橫向彈簧的另一端頂住該可調(diào)擋塊。
[0016]優(yōu)選地，在左側(cè)定位橫桿與石墨舟相接觸的一面設(shè)有用于減小石墨舟在左側(cè)定位橫桿上前后向摩擦的滾輪或滾球。
[0017]優(yōu)選地，在左側(cè)定位橫桿的左側(cè)和左側(cè)定位基座的右側(cè)分別相對應(yīng)地設(shè)有輔助導(dǎo)向孔和輔助導(dǎo)向柱。
[0018]優(yōu)選地，基準(zhǔn)定位機構(gòu)還包括第二支撐基座及固定在第二支撐基座上的沿定位平臺前后方向設(shè)置的第二驅(qū)動裝置、第二軌道，第二定位橫桿由第二驅(qū)動裝置驅(qū)動沿第二軌道前后滑動。
[0019]優(yōu)選地，第二支撐基座上設(shè)有一安裝孔，第二定位橫桿上固定有一前后向設(shè)置的第二調(diào)節(jié)桿，該第二調(diào)節(jié)桿穿設(shè)在安裝孔內(nèi)并帶動第二定位橫桿在前后向上聯(lián)動，第二調(diào)節(jié)桿尾端設(shè)有用于限制第二調(diào)節(jié)桿前后向運動距離且可在前后向調(diào)節(jié)位置的第二擋塊。
[0020]優(yōu)選地，在定位平臺的入口位置設(shè)置有用于將石墨舟輸送至定位平臺上的舟輸送機構(gòu)。
[0021]上述技術(shù)方案可以看出，由于本實用新型實施例采用一側(cè)(后側(cè))由提供可調(diào)的定位基準(zhǔn)，另一側(cè)(前側(cè))依靠驅(qū)動裝置和縱向彈簧形成一個彈性定位機構(gòu)，在驅(qū)動裝置停止驅(qū)動時，縱向彈簧可以壓緊在石墨舟陶瓷桿的螺母上，減少對舟的損傷，而且整個裝置不需傳感器，實現(xiàn)柔性定位，成本低，結(jié)構(gòu)易于實現(xiàn)。
[0022]另外，在定位平臺的左側(cè)加設(shè)限位機構(gòu)，尤其是配合橫向彈簧實現(xiàn)橫向上彈性定位，能夠進一步減小石墨舟的損失。
【附圖說明】
[0023]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。
[0024]圖1是本實用新型實施例中石墨舟定位裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖2是圖1中A處放大示意圖；
[0026]圖3是圖1中B處放大示意圖；
[0027]圖4是圖1中C處放大示意圖。
【具體實施方式】
[0028]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0029]實施例:
[0030]本實用新型實施例提供一種石墨舟定位裝置，能夠解決現(xiàn)有定位裝置機構(gòu)復(fù)雜、成本高且對石墨舟有較多損傷的問題。本實用新型實施例提供的石墨舟定位裝置，結(jié)合圖1至圖4所示，包括一定位平臺1，定位平臺I的后側(cè)設(shè)有基準(zhǔn)定位機構(gòu)2，定位平臺I的前側(cè)設(shè)有彈性定位機構(gòu)3，定位平臺I的左側(cè)設(shè)有用于限制石墨舟繼續(xù)向左運動的限位機構(gòu)4，基準(zhǔn)定位機構(gòu)2和彈性定位機構(gòu)3在定位平臺I的右側(cè)共同形成一用于運輸石墨舟進入定位平臺的入口，彈性定位機構(gòu)3包括用于抵住石墨舟前側(cè)的第一定位橫桿31、第一支撐基座32及固定在第一支撐基座32上的沿定位平臺前后方向設(shè)置的第一驅(qū)動裝置33、縱向彈簧34、第一軌道35,第一定位橫桿31由第一驅(qū)動裝置33驅(qū)動沿第一軌道35前后滑動，縱向彈簧34連接在第一支撐基座32與第一定位橫桿31之間且對第一定位橫桿31施加后向的彈性力，基準(zhǔn)定位機構(gòu)2設(shè)有用于抵住石墨舟后側(cè)且可沿定位平臺前后向調(diào)節(jié)位置的第二定位橫桿21。
[0031]本實施例中第一驅(qū)動裝置33采用氣缸，氣缸的推桿能夠在前后向上伸縮，第一滑軌可以采用現(xiàn)有的滑軌，即包括存在滑軌基座和沿滑軌基座滑動的滑動塊，第一定位橫桿與滑動塊固定在一起即可實現(xiàn)沿滑軌軌道滑動。本實施例中定義紙面向下為前向，紙面向上為后向，紙面向左為左向，紙面向右為右向，可以理解的是，這種定義只是為了便于讀者理解技術(shù)方案而定義的方向，實際運用中可以不受到此種定向的限制，只要實際原理與此相同即可。
[0032]第一定位橫桿31上固定有前后向設(shè)置的第一調(diào)節(jié)桿311,第一定位橫桿、第一驅(qū)動裝置的驅(qū)動桿(氣缸的推桿)和第一調(diào)節(jié)桿可以是都固定在一個固定塊上，以便于安裝，減小第一定位橫桿的壓力承受，第一驅(qū)動裝置驅(qū)動該固定塊便能夠驅(qū)動該第一定位橫桿運動，第一調(diào)節(jié)桿311上設(shè)有可在前后向上調(diào)節(jié)位置的第一擋塊312，縱向彈簧34套設(shè)在該第一調(diào)節(jié)桿311上,且縱向彈簧34 —端頂住第一定位橫桿31遠離石墨舟的一側(cè)(前向側(cè))，縱向彈簧34的另一端頂住該第一擋塊。本實用新型實施例中第一調(diào)節(jié)桿上設(shè)有螺紋，第一擋塊套設(shè)在該第一調(diào)節(jié)桿上且設(shè)置內(nèi)螺紋，從而實現(xiàn)前后向可調(diào)節(jié)位置，調(diào)節(jié)第一擋塊至第一定位橫桿的間距，控制縱向彈簧在前后向上的彈力大小。
[0033]本實用新型實施例中基準(zhǔn)定位機構(gòu)2還包括第二支撐基座22及固定在第二支撐基座22上的沿定位平臺前后方向設(shè)置的第二驅(qū)動裝置23、第二軌道24，第二定位橫桿21由第二驅(qū)動裝置23驅(qū)動沿第二軌道24前后滑動?；鶞?zhǔn)定位機構(gòu)中的第二支撐基座、第二驅(qū)動裝置、第二軌道的結(jié)構(gòu)和原理均可以參考彈性定位機構(gòu)，此處不再贅述。與基準(zhǔn)定位機構(gòu)不同的是，第二支撐基座22上設(shè)有一個凸起座221，該凸起座221上設(shè)有一個安裝孔(圖中未示出)，第二定位橫桿21上固定有一前后向設(shè)置的第二調(diào)節(jié)桿211，該第二調(diào)節(jié)桿211穿設(shè)在安裝孔內(nèi)并帶動第二定位橫桿21在前后向上聯(lián)動，第二調(diào)節(jié)桿211尾端設(shè)有用于限制第二調(diào)節(jié)桿前后向運動距離且可在前后向調(diào)節(jié)