步進(jìn)石英舟的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及爐管摻雜或氧化中普遍使用的石英舟。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有6英寸及以下擴(kuò)散臥式爐管中使用的石英舟，舟齒多為等間距的，這樣會(huì)導(dǎo)致?lián)诫s或氧化后爐管內(nèi)里中口三段均勻性會(huì)有較大差異，主要體現(xiàn)為爐里摻雜濃度高或氧化速率快，到爐口摻雜濃度逐漸降低或氧化速率慢。造成此問(wèn)題的原因是摻雜用的雜質(zhì)源或氧化用的氧氣是從爐管尾部(即爐里位置)往爐管里面通的。爐管尾部的雜質(zhì)或氧氣氛圍濃度就會(huì)比爐管口部要濃一些，所以會(huì)導(dǎo)致爐里摻雜濃度要高于爐口，或爐里氧化速率比爐口快。
[0003]另外，普通石英舟的舟槽都是垂直方向的，由于舟槽的寬度大于晶圓的厚度，因此晶圓放在石英舟里面并不是完全垂直的，會(huì)有一定的傾斜，隨著石英舟的使用，舟槽的寬度會(huì)有一定程度的增大。當(dāng)舟槽寬度增大后，裝在石英舟上的晶圓的傾斜度也會(huì)增大，相鄰的晶圓如果傾斜到一定程度，晶圓上面就容易搭到一起。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種步進(jìn)石英舟，它可以提高爐管不同區(qū)域摻雜或氧化的均勻性。
[0005]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明的步進(jìn)石英舟采用步進(jìn)式結(jié)構(gòu)，石英舟的舟槽間距由爐管內(nèi)里到爐口逐漸增大。
[0006]本發(fā)明通過(guò)調(diào)整石英舟的舟槽間距，確保了石英舟上裝載的晶圓在爐管的不同位置都能與外界氛圍充分接觸，從而改善了爐管內(nèi)里和爐口的摻雜或氧化的一致性；同時(shí)舟槽與垂直方向成一定角度傾斜，避免了相鄰晶圓搭片，進(jìn)一步保證了爐管摻雜或氧化的均勻性。
【附圖說(shuō)明】
[0007]圖1是常規(guī)的等間距舟槽的石英舟結(jié)構(gòu)圖。圖中的X表示舟槽間距。
[0008]圖2是本發(fā)明的步進(jìn)石英舟結(jié)構(gòu)圖。圖中的X表示舟槽間距。
【具體實(shí)施方式】
[0009]為對(duì)本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、特點(diǎn)與功效有更具體的了解，現(xiàn)結(jié)合附圖，詳述如下:
[0010]為了抵消爐管內(nèi)濃度氛圍對(duì)摻雜濃度的影響，本發(fā)明對(duì)裝載晶圓的石英舟的舟槽間距進(jìn)行了重新設(shè)計(jì)，石英舟在爐里的部分保持較小的舟槽間距，越到爐口位置，舟槽間距越大。
[0011]圖2顯示了本發(fā)明一實(shí)施例的石英舟結(jié)構(gòu)。該石英舟采用步進(jìn)式的結(jié)構(gòu)，共有108個(gè)舟槽，可放100枚晶圓，石英舟兩邊的位置用擋片補(bǔ)齊。該石英舟以第I個(gè)舟槽為基準(zhǔn)，前24個(gè)舟槽保持等間距，從第25個(gè)舟槽開始，槽間距以0.03mm成等差數(shù)列遞增。所有舟槽均與垂直方向成4度角傾斜，以防止相鄰的晶圓之間搭片。
[0012]石英舟的結(jié)構(gòu)經(jīng)過(guò)上述改進(jìn)后，可以使?fàn)t口位置的晶圓更充分地與摻雜源或氧氣進(jìn)行接觸，這樣就改善了爐口和爐里的摻雜或氧化的均勻性。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.步進(jìn)石英舟，其特征在于，該石英舟采用步進(jìn)式結(jié)構(gòu)，石英舟的舟槽間距由爐管內(nèi)里到爐口逐漸增大。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的步進(jìn)石英舟，其特征在于，所述石英舟以第I個(gè)舟槽為基準(zhǔn)，前24個(gè)舟槽等間距，從第25個(gè)舟槽開始，舟槽間距成等差數(shù)列遞增。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的步進(jìn)石英舟，其特征在于，從第25個(gè)舟槽開始，舟槽間距以0.03mm成等差數(shù)列遞增。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任何一項(xiàng)所述的步進(jìn)石英舟，其特征在于，所述石英舟的舟槽與垂直方向成4度角傾斜。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種步進(jìn)石英舟，該石英舟采用步進(jìn)式結(jié)構(gòu)，石英舟的舟槽間距由爐管內(nèi)里到爐口逐漸增大。本發(fā)明通過(guò)調(diào)整石英舟的舟槽間距，確保了石英舟上裝載的晶圓在爐管的不同位置都能與外界氛圍充分接觸；同時(shí)，舟槽與垂直方向成一定角度傾斜，避免了相鄰晶圓搭片，如此改善了爐管內(nèi)里和爐口的摻雜或氧化的一致性。
【IPC分類】H01L21-673
【公開號(hào)】CN104733360
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310724124
【發(fā)明人】陳瑜, 王黎, 陳華倫
【申請(qǐng)人】上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
【公開日】2015年6月24日
【申請(qǐng)日】2013年12月24日