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一種組合式硅片片盒裝置的制造方法

文檔序號:8262238閱讀:488來源:國知局
一種組合式硅片片盒裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體工藝設備技術領域,尤其涉及一種用于存儲硅片的組合式硅片片盒裝置。
【背景技術】
[0002]隨著半導體集成電路制造技術的發(fā)展,娃片已從200mm發(fā)展至300mm或更大,娃片的存儲裝置在半導體制造工藝中有著非常重要的作用,半導體硅片在生產(chǎn)過程中因其特性需要特殊的承載治具進行存放及轉(zhuǎn)運,通常,芯片制造企業(yè)通常使用前開口片盒(FrontOpening Unified Pod, FOUP)來存儲娃片,簡稱片盒。
[0003]隨著硅片越做越大,片盒也隨之變大,搬運問題也越來越突出,特別是針對單枚硅片需要送檢測試的情況,問題就更為嚴重。目前,針對需要單枚硅片送件測試的情況,通常采用以下方法:1.采用整盒硅片轉(zhuǎn)運,雖然只有一片需要轉(zhuǎn)運,但須整盒搬送,體積龐大,搬運不便;2.轉(zhuǎn)運前,需手工轉(zhuǎn)移至單片片匣,將單片片匣攜至目的地后再手工轉(zhuǎn)移至硅片片盒,而手工轉(zhuǎn)移過程中,容易造成碎片并沾污硅片。
[0004]由此可見,本領域技術人員亟需提供一種便于轉(zhuǎn)送單枚硅片的硅片片盒裝置,防止硅片碎片或硅片受到玷污。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明目的是提供一種組合式硅片片盒裝置,不僅轉(zhuǎn)送硅片方便,同時可防止硅片碎片或硅片受到玷污。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種組合式硅片片盒裝置,用于存儲硅片,包括片盒本體以及若干個片匣;所述片盒本體用于容納若干個片匣,其包括片盒門、插槽以及凸起,所述片盒門設于所述片盒本體的側(cè)面,用于封閉所述片盒本體,所述插槽設于所述片盒本體的內(nèi)腔,用于供所述片匣插入,所述凸起設在所述插槽的端部,用于與所述片匣的鎖扣相配合,以固定所述片匣在所述片盒本體內(nèi)的位置;所述片匣用于容納單枚硅片,其包括片匣小門以及鎖扣,所述片匣小門設于所述片匣的側(cè)面,用于封閉所述片匣,所述鎖扣可控制所述片匣小門的開閉狀態(tài);其中,當取出單個所述片匣時,所述片匣的鎖扣脫離所述片盒本體的凸起,且所述鎖扣使所述片匣小門處于閉合狀態(tài);當放入單個所述片匣時,所述片匣的鎖扣鎖定所述片盒本體的凸起,且所述鎖扣使所述片匣小門處于可打開狀態(tài)。
[0007]優(yōu)選的,所述片匣小門與所述片匣為轉(zhuǎn)軸連接,所述片匣小門上還具有彈性件;其中,當所述片匣的鎖扣鎖定所述片盒本體的凸起時,所述片匣小門在所述彈性件彈力的作用下打開片匣小門。
[0008]優(yōu)選的,所述彈性件為彈簧。
[0009]優(yōu)選的,所述片匣還包括至少一對彈性壓片,所述彈性壓片用于限定所述片匣內(nèi)硅片的位置。
[0010]優(yōu)選的,所述彈性壓片為柔性件。
[0011]優(yōu)選的,所述片匣的外側(cè)端具有至少一個用于拆裝的把手。
[0012]優(yōu)選的,所述片匣上還具有便于識別的色卡或標簽。
[0013]優(yōu)選的,所述片盒本體內(nèi)可容納2?10個片匣。
[0014]優(yōu)選的,所述片盒本體還包括用于開啟或關閉所述片盒門的門鎖。
[0015]優(yōu)選的,所述片盒本體的上端設有便于抓取的抓取盤。
[0016]本發(fā)明提供組合式硅片片盒裝置,通過若干個片匣采用插卡式結(jié)構(gòu),組合在片盒本體內(nèi),兼容現(xiàn)有的硅片裝載方式,尤其在轉(zhuǎn)送單枚硅片時,將單個片匣取出,轉(zhuǎn)運目的地即可,轉(zhuǎn)運過程中,既避免搬運整個片盒,同時也避免了手工轉(zhuǎn)運過程中硅片碎片或硅片受污等情況,轉(zhuǎn)運便捷同時可以較好的保護硅片;本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、操作安全,提高了轉(zhuǎn)運效率。
【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明所提供的組合式硅片片盒裝置優(yōu)選實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0018]圖2為圖1中組合式硅片片盒裝置中片盒本體的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0019]圖3為圖1中組合式硅片片盒裝置中片匣的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0020]圖4為圖1中組合式硅片片盒裝置中片匣的側(cè)面剖視圖。
[0021]其中,圖1?圖4中:
[0022]10、硅片;20、片盒本體;21、片盒門;22、插槽;23、凸起;24、抓取盤;30、片匣;31、片匣小門;32、鎖扣;33、彈性件;34、彈性壓片;35、把手。
【具體實施方式】
[0023]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂,以下結(jié)合說明書附圖,對本發(fā)明的內(nèi)容作進一步說明。當然本發(fā)明并不局限于該具體實施例,本領域內(nèi)的技術人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。其次,本發(fā)明利用示意圖進行了詳細的表述,在詳述本發(fā)明實例時,為了便于說明,示意圖不依照一般比例局部放大,不應以此作為對本發(fā)明的限定。
[0024]需要說明的是,在下述的實施例中,利用圖1?4的結(jié)構(gòu)示意圖對按本發(fā)明組合式硅片片盒裝置進行了詳細的表述。在詳述本發(fā)明的實施方式時,為了便于說明,各示意圖不依照一般比例繪制并進行了局部放大及省略處理,因此,應避免以此作為對本發(fā)明的限定。
[0025]請參考圖1?圖4,圖1為本發(fā)明所提供的組合式硅片片盒裝置優(yōu)選實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為圖1中組合式硅片片盒裝置中片盒本體的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為圖1中組合式硅片片盒裝置中片匣的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為圖1中組合式硅片片盒裝置中片匣的側(cè)面剖視圖。
[0026]如圖1所示,本發(fā)明提供的一種組合式硅片片盒裝置,用于存儲硅片10,包括片盒本體20以及若干個片匣30,其中,片匣30用于容納單枚硅片10,片盒本體20用于容納若干個片匣30,此外,片盒本體20內(nèi)可容納2?10個片匣30,較佳的,片盒本體20內(nèi)可容納2?6個片匣30,片匣30的數(shù)量可根據(jù)實際生產(chǎn)需要設定,在轉(zhuǎn)送單枚硅片時,將單個片匣取出,轉(zhuǎn)運目的地即可,避免了手工轉(zhuǎn)運過程中硅片碎片或硅片受污等情況。本實施例中的片盒與現(xiàn)行的硅片片盒在尺寸和功能上可兼容。
[0027]請參考圖2,片盒本體20包括片盒門21、插槽22以及凸起23,片盒門21設于片盒本體20的側(cè)面,用于封閉片盒本體20,插槽22設于片盒本體20的內(nèi)腔,用于供片匣30插入,凸起23設在插槽22的端部,用于與片匣30的鎖扣32相配合,以固定片匣30在片盒本體20內(nèi)的位置;片盒本體20還包括用于開啟或關閉片盒門21的門鎖。此外,片盒本體20的上端還可設有便于自動搬運時抓取的抓取盤24,兩側(cè)還可設有手動搬運的
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