一種組合式硅片片盒裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及半導體工藝設備技術領域，尤其涉及一種用于存儲硅片的組合式硅片片盒裝置。
【背景技術】
[0002]隨著半導體集成電路制造技術的發(fā)展，娃片已從200mm發(fā)展至300mm或更大，娃片的存儲裝置在半導體制造工藝中有著非常重要的作用，半導體硅片在生產(chǎn)過程中因其特性需要特殊的承載治具進行存放及轉(zhuǎn)運，通常，芯片制造企業(yè)通常使用前開口片盒(FrontOpening Unified Pod, FOUP)來存儲娃片，簡稱片盒。
[0003]隨著硅片越做越大，片盒也隨之變大，搬運問題也越來越突出，特別是針對單枚硅片需要送檢測試的情況，問題就更為嚴重。目前，針對需要單枚硅片送件測試的情況，通常采用以下方法:1.采用整盒硅片轉(zhuǎn)運，雖然只有一片需要轉(zhuǎn)運，但須整盒搬送，體積龐大，搬運不便；2.轉(zhuǎn)運前，需手工轉(zhuǎn)移至單片片匣，將單片片匣攜至目的地后再手工轉(zhuǎn)移至硅片片盒，而手工轉(zhuǎn)移過程中，容易造成碎片并沾污硅片。
[0004]由此可見，本領域技術人員亟需提供一種便于轉(zhuǎn)送單枚硅片的硅片片盒裝置，防止硅片碎片或硅片受到玷污。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明目的是提供一種組合式硅片片盒裝置，不僅轉(zhuǎn)送硅片方便，同時可防止硅片碎片或硅片受到玷污。
[0006]為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種組合式硅片片盒裝置，用于存儲硅片，包括片盒本體以及若干個片匣；所述片盒本體用于容納若干個片匣，其包括片盒門、插槽以及凸起，所述片盒門設于所述片盒本體的側(cè)面，用于封閉所述片盒本體，所述插槽設于所述片盒本體的內(nèi)腔，用于供所述片匣插入，所述凸起設在所述插槽的端部，用于與所述片匣的鎖扣相配合，以固定所述片匣在所述片盒本體內(nèi)的位置；所述片匣用于容納單枚硅片，其包括片匣小門以及鎖扣，所述片匣小門設于所述片匣的側(cè)面，用于封閉所述片匣，所述鎖扣可控制所述片匣小門的開閉狀態(tài)；其中，當取出單個所述片匣時，所述片匣的鎖扣脫離所述片盒本體的凸起，且所述鎖扣使所述片匣小門處于閉合狀態(tài)；當放入單個所述片匣時，所述片匣的鎖扣鎖定所述片盒本體的凸起，且所述鎖扣使所述片匣小門處于可打開狀態(tài)。
[0007]優(yōu)選的，所述片匣小門與所述片匣為轉(zhuǎn)軸連接，所述片匣小門上還具有彈性件；其中，當所述片匣的鎖扣鎖定所述片盒本體的凸起時，所述片匣小門在所述彈性件彈力的作用下打開片匣小門。
[0008]優(yōu)選的，所述彈性件為彈簧。
[0009]優(yōu)選的，所述片匣還包括至少一對彈性壓片，所述彈性壓片用于限定所述片匣內(nèi)硅片的位置。
[0010]優(yōu)選的，所述彈性壓片為柔性件。
[0011]優(yōu)選的，所述片匣的外側(cè)端具有至少一個用于拆裝的把手。
[0012]優(yōu)選的，所述片匣上還具有便于識別的色卡或標簽。
[0013]優(yōu)選的，所述片盒本體內(nèi)可容納2?10個片匣。
[0014]優(yōu)選的，所述片盒本體還包括用于開啟或關閉所述片盒門的門鎖。
[0015]優(yōu)選的，所述片盒本體的上端設有便于抓取的抓取盤。
[0016]本發(fā)明提供組合式硅片片盒裝置，通過若干個片匣采用插卡式結(jié)構(gòu)，組合在片盒本體內(nèi)，兼容現(xiàn)有的硅片裝載方式，尤其在轉(zhuǎn)送單枚硅片時，將單個片匣取出，轉(zhuǎn)運目的地即可，轉(zhuǎn)運過程中，既避免搬運整個片盒，同時也避免了手工轉(zhuǎn)運過程中硅片碎片或硅片受污等情況，轉(zhuǎn)運便捷同時可以較好的保護硅片；本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、操作安全，提高了轉(zhuǎn)運效率。
【附圖說明】
[0017]圖1為本發(fā)明所提供的組合式硅片片盒裝置優(yōu)選實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為圖1中組合式硅片片盒裝置中片盒本體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為圖1中組合式硅片片盒裝置中片匣的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4為圖1中組合式硅片片盒裝置中片匣的側(cè)面剖視圖。
[0021]其中，圖1?圖4中:
[0022]10、硅片；20、片盒本體；21、片盒門；22、插槽；23、凸起；24、抓取盤；30、片匣；31、片匣小門；32、鎖扣；33、彈性件；34、彈性壓片；35、把手。
【具體實施方式】
[0023]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進一步說明。當然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領域內(nèi)的技術人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。其次，本發(fā)明利用示意圖進行了詳細的表述，在詳述本發(fā)明實例時，為了便于說明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應以此作為對本發(fā)明的限定。
[0024]需要說明的是，在下述的實施例中，利用圖1?4的結(jié)構(gòu)示意圖對按本發(fā)明組合式硅片片盒裝置進行了詳細的表述。在詳述本發(fā)明的實施方式時，為了便于說明，各示意圖不依照一般比例繪制并進行了局部放大及省略處理，因此，應避免以此作為對本發(fā)明的限定。
[0025]請參考圖1?圖4，圖1為本發(fā)明所提供的組合式硅片片盒裝置優(yōu)選實施方式的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中組合式硅片片盒裝置中片盒本體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1中組合式硅片片盒裝置中片匣的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為圖1中組合式硅片片盒裝置中片匣的側(cè)面剖視圖。
[0026]如圖1所示，本發(fā)明提供的一種組合式硅片片盒裝置，用于存儲硅片10，包括片盒本體20以及若干個片匣30，其中，片匣30用于容納單枚硅片10，片盒本體20用于容納若干個片匣30，此外，片盒本體20內(nèi)可容納2?10個片匣30，較佳的，片盒本體20內(nèi)可容納2?6個片匣30，片匣30的數(shù)量可根據(jù)實際生產(chǎn)需要設定，在轉(zhuǎn)送單枚硅片時，將單個片匣取出，轉(zhuǎn)運目的地即可，避免了手工轉(zhuǎn)運過程中硅片碎片或硅片受污等情況。本實施例中的片盒與現(xiàn)行的硅片片盒在尺寸和功能上可兼容。
[0027]請參考圖2，片盒本體20包括片盒門21、插槽22以及凸起23，片盒門21設于片盒本體20的側(cè)面，用于封閉片盒本體20，插槽22設于片盒本體20的內(nèi)腔，用于供片匣30插入，凸起23設在插槽22的端部，用于與片匣30的鎖扣32相配合，以固定片匣30在片盒本體20內(nèi)的位置；片盒本體20還包括用于開啟或關閉片盒門21的門鎖。此外，片盒本體20的上端還可設有便于自動搬運時抓取的抓取盤24，兩側(cè)還可設有手動搬運的