本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備和方法。

背景技術(shù)：

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)顯示器，也稱(chēng)為有機(jī)電致發(fā)光顯示器，是一種新興的平板顯示裝置，由于其具有制備工藝簡(jiǎn)單、成本低、功耗低、發(fā)光亮度高、工作溫度適應(yīng)范圍廣、體積輕薄、響應(yīng)速度快，而且易于實(shí)現(xiàn)彩色顯示和大屏幕顯示、易于實(shí)現(xiàn)和集成電路驅(qū)動(dòng)器相匹配、易于實(shí)現(xiàn)柔性顯示等優(yōu)點(diǎn)，因而具有廣闊的應(yīng)用前景。

在OLED器件的制備過(guò)程中，往往需要利用有機(jī)小分子制備功能層，例如電子傳輸層(Electron Transport Layer，ETL)、空穴傳輸層(Hole Transport Layer，HTL)、空穴阻擋層(Hole Blocking Layer，HBL)、或發(fā)光層(Emitting Layer，EL)。在這類(lèi)有機(jī)小分子材料的功能層的制備中，目前普遍采用熱蒸鍍的成膜方法，通過(guò)加熱的方式將材料由固態(tài)通過(guò)升華或熔融變?yōu)檎魵鉅顟B(tài)，高速運(yùn)動(dòng)的氣態(tài)分子到達(dá)玻璃基板并在基板上沉積固化，再變回為OLED材料的固體薄膜。具體地，就是將小分子材料置放于例如鎢舟的器皿中，如圖1所示，通過(guò)電加熱裝置110傳遞能量給鎢舟120，再通過(guò)鎢舟120將熱量傳遞給小分子材料200，小分子材料200受熱后，變成氣態(tài)分子跑出鎢舟120，穿過(guò)掩膜板300而沉積在基板400上，形成圖案化的有機(jī)薄膜。

在熱蒸鍍過(guò)程中，小分子材料200熱蒸發(fā)的速度非常重要，因?yàn)檫@關(guān)系到小分子材料200在上方基板400上沉積成膜的均勻性。而由于小分子材料200在鎢舟120這樣的器皿中放置時(shí)，本身的傳熱速率并不快，靠近中心區(qū)域的小分子材料200溫度上升較慢，導(dǎo)致小分子材料200熱蒸發(fā)的速度存在不穩(wěn)定的狀況。同時(shí)，對(duì)于升華型的小分子材料200，隨著加熱的進(jìn)行，升華一定時(shí)間后小分子材料200與鎢舟120壁之間會(huì)形成空隙，空隙形成后，小分子材料200需要加熱到更高的溫度才可以達(dá)到升華的速率，并且還容易發(fā)生塌陷，從而使得熱蒸發(fā)速度劇烈波動(dòng)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，蒸發(fā)裝置包括用于分散于有機(jī)材料中而使有機(jī)材料受熱均勻的導(dǎo)熱球，能夠平衡整個(gè)蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料的熱蒸發(fā)速率。

本發(fā)明的目的還在于提供一種有機(jī)材料蒸鍍方法，通過(guò)向有機(jī)材料中摻雜導(dǎo)熱球，改善有機(jī)材料熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善基板上的成膜均勻性，提高OLED器件質(zhì)量。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，包括：加熱裝置、及設(shè)于加熱裝置上的蒸發(fā)裝置；

所述蒸發(fā)裝置包括蒸發(fā)器皿、及導(dǎo)熱球；所述蒸發(fā)器皿用于承載有機(jī)材料，所述導(dǎo)熱球用于分散在有機(jī)材料中使有機(jī)材料受熱均勻。

所述導(dǎo)熱球的粒徑為1μm-100μm。

所述導(dǎo)熱球?yàn)楹藲そY(jié)構(gòu)，包括內(nèi)核體、及包覆內(nèi)核體的導(dǎo)熱層。

所述導(dǎo)熱層為碳納米管層、石墨烯層、或陶瓷層；

所述內(nèi)核體為聚合物微球、或SiO₂微球。

所述導(dǎo)熱層為金屬層，所述內(nèi)核體為SiO₂微球，所述導(dǎo)熱球由熔融的金屬材料均勻地包覆SiO₂微球而制得。

所述導(dǎo)熱球?yàn)榻饘傥⑶颉?/p>

所述蒸發(fā)器皿為鎢舟。

本發(fā)明還提供一種有機(jī)材料蒸鍍方法，包括如下步驟：

步驟1、提供一有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備、及有機(jī)材料；所述有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備包括：加熱裝置、及設(shè)于加熱裝置上的蒸發(fā)裝置；所述蒸發(fā)裝置包括蒸發(fā)器皿、及導(dǎo)熱球；將有機(jī)材料放置于蒸發(fā)器皿中并向有機(jī)材料中摻雜導(dǎo)熱球，使得所述導(dǎo)熱球均勻分散于有機(jī)材料中；

步驟2、提供基板，控制加熱裝置產(chǎn)生熱能，控制蒸發(fā)裝置通過(guò)所述加熱裝置產(chǎn)生的熱能蒸發(fā)有機(jī)材料，使所述有機(jī)材料在基板上形成有機(jī)材料膜層。

所述步驟2中，所述導(dǎo)熱球的熔點(diǎn)高于所述加熱裝置的加熱溫度。

所述步驟2還包括提供掩膜板，有機(jī)材料穿過(guò)掩膜板在基板上形成有機(jī)材料膜層。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明的有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，其蒸發(fā)裝置包括蒸發(fā)器皿、及導(dǎo)熱球；所述蒸發(fā)器皿用于承載有機(jī)材料，所述導(dǎo)熱球用于分散在有機(jī)材料中使有機(jī)材料受熱均勻，在蒸鍍過(guò)程中，所述導(dǎo)熱球在有機(jī)材料內(nèi)部均勻傳熱，從而能夠平衡整個(gè)蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料的熱蒸發(fā)速率，有效提高蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善基板上的成膜均勻性，提高OLED器件質(zhì)量；本發(fā)明的有機(jī)材料蒸鍍方法，通過(guò)向有機(jī)材料中摻雜導(dǎo)熱球，在蒸鍍過(guò)程中，分散于有機(jī)材料中的導(dǎo)熱球起到了在有機(jī)材料內(nèi)部均勻傳熱的作用，從而有效改善了有機(jī)材料熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善了基板上的成膜均勻性，提高了OLED器件質(zhì)量。

為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容，請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖，然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用，并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖，通過(guò)對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式詳細(xì)描述，將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見(jiàn)。

附圖中，

圖1為采用現(xiàn)有的熱蒸鍍方法進(jìn)行熱蒸鍍的示意圖；

圖2為本發(fā)明的有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備中一種導(dǎo)熱球的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明的有機(jī)材料蒸鍍方法的流程示意圖；

圖4為采用本發(fā)明的熱蒸鍍方法進(jìn)行熱蒸鍍的示意圖。

具體實(shí)施方式

為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果，以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。

請(qǐng)結(jié)合圖4，本發(fā)明首先提供一種有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，包括加熱裝置10、及設(shè)于加熱裝置10上的蒸發(fā)裝置20；所述加熱裝置10用于產(chǎn)生熱能；所述蒸發(fā)裝置20用于通過(guò)所述加熱裝置10產(chǎn)生的熱能蒸發(fā)有機(jī)材料50；

所述蒸發(fā)裝置20包括蒸發(fā)器皿21、及導(dǎo)熱球22；所述蒸發(fā)器皿21用于承載有機(jī)材料50，所述導(dǎo)熱球22用于分散在所述有機(jī)材料50中使有機(jī)材料50受熱均勻，在蒸鍍過(guò)程中，所述導(dǎo)熱球22在有機(jī)材料50內(nèi)部均勻傳熱，從而能夠平衡整個(gè)蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料50的熱蒸發(fā)速率，有效提高蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料50熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善基板上的成膜均勻性，提高OLED器件質(zhì)量。

具體地，所述導(dǎo)熱球22的粒徑為1μm-100μm。

具體地，如圖2所示，所述導(dǎo)熱球22優(yōu)選為核殼結(jié)構(gòu)，包括內(nèi)核體221、及包覆內(nèi)核體221的導(dǎo)熱層222。其中，所述導(dǎo)熱層222可以為碳納米管層、或石墨烯層，也可以為導(dǎo)熱性質(zhì)良好的金屬層、或陶瓷層；所述內(nèi)核體221可以為聚合物微球、或SiO₂微球，也可以為其他無(wú)機(jī)氧化物材料制備出的微球。

具體地，當(dāng)所述導(dǎo)熱球22的導(dǎo)熱層222選擇采用碳納米管、或石墨烯的碳材料時(shí)，所述內(nèi)核體221可以采用聚合物微球、或SiO₂微球，碳納米管、或石墨烯包覆內(nèi)核體221而制備導(dǎo)熱球22的方法可以參考現(xiàn)有制備碳納米管基復(fù)合球、及石墨烯基復(fù)合球的方法，例如專(zhuān)利文件CN 201510790980.4、專(zhuān)利文件CN 201510662918.7、及專(zhuān)利文件CN 201510230420.3。

具體地，當(dāng)所述導(dǎo)熱球22的導(dǎo)熱層222選擇具有導(dǎo)熱性的金屬材料時(shí)，在導(dǎo)熱球22制備過(guò)程中需要將熔化的金屬材料包覆在內(nèi)核體221核上，這就要求內(nèi)核體221的耐高溫性極佳，即內(nèi)核體221的熔點(diǎn)高于所述導(dǎo)熱層222的熔點(diǎn)。例如，當(dāng)所述導(dǎo)熱球22的導(dǎo)熱層222選擇具有導(dǎo)熱性的錫(Sn)材料時(shí)，內(nèi)核體221可以采用熔點(diǎn)極高的SiO₂微球，將熔融的Sn通過(guò)灌入模具均勻地包覆住SiO₂微球后，即可得到導(dǎo)熱球22。

具體地，所述導(dǎo)熱球22也可以直接采用金屬微球，例如采用金球(Au ball)來(lái)直接進(jìn)行分散和導(dǎo)熱，而不采用核殼結(jié)構(gòu)的復(fù)合球。

具體地，所述蒸發(fā)器皿21可以為鎢舟，也可以為其它蒸發(fā)用器皿。

請(qǐng)參閱圖3-4，基于上述有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，本發(fā)明還提供一種有機(jī)材料蒸鍍方法，包括如下步驟：

步驟1、提供一有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備、及有機(jī)材料50；所述有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備包括：加熱裝置10、及設(shè)于加熱裝置10上的蒸發(fā)裝置20；所述蒸發(fā)裝置20包括蒸發(fā)器皿21、及導(dǎo)熱球22；將有機(jī)材料50放置于蒸發(fā)器皿21中并向有機(jī)材料50中摻雜導(dǎo)熱球22，使得所述導(dǎo)熱球22均勻分散于有機(jī)材料50中。

步驟2、提供基板40，并將基板40設(shè)于蒸發(fā)裝置20上方，控制加熱裝置10產(chǎn)生熱能，控制蒸發(fā)裝置20通過(guò)所述加熱裝置10產(chǎn)生的熱能蒸發(fā)有機(jī)材料50，使所述有機(jī)材料50在基板40上形成有機(jī)材料膜層。

具體地，在所述步驟2中，分散于有機(jī)材料50中的導(dǎo)熱球22起到在有機(jī)材料50內(nèi)部均勻傳熱的作用，從而有效改善了有機(jī)材料50熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善了基板40上的成膜均勻性，提高了OLED器件質(zhì)量。

具體地，所述導(dǎo)熱球22的熔點(diǎn)要遠(yuǎn)高于有機(jī)材料50的熔點(diǎn)，即所述步驟2中，所述導(dǎo)熱球22的熔點(diǎn)高于所述加熱裝置10的加熱溫度，從而在有機(jī)材料50直接升華或熔化后蒸發(fā)的過(guò)程中，所述導(dǎo)熱球22能夠保持物理和化學(xué)性質(zhì)的穩(wěn)定性。

具體地，所述步驟2還包括提供掩膜板30，并將所述掩膜板30設(shè)于基板40面向所述蒸發(fā)裝置20一側(cè)上，蒸發(fā)有機(jī)材料50穿過(guò)掩膜板30在基板40上形成圖形化的有機(jī)材料膜層。

綜上所述，本發(fā)明的有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，其蒸發(fā)裝置包括蒸發(fā)器皿、及導(dǎo)熱球；所述蒸發(fā)器皿用于承載有機(jī)材料，所述導(dǎo)熱球用于分散在有機(jī)材料中使有機(jī)材料受熱均勻，在蒸鍍過(guò)程中，所述導(dǎo)熱球在有機(jī)材料內(nèi)部均勻傳熱，從而能夠平衡整個(gè)蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料的熱蒸發(fā)速率，有效提高蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善基板上的成膜均勻性，提高OLED器件質(zhì)量；本發(fā)明的有機(jī)材料蒸鍍方法，通過(guò)向有機(jī)材料中摻雜導(dǎo)熱球，在蒸鍍過(guò)程中，分散于有機(jī)材料中的導(dǎo)熱球起到了在有機(jī)材料內(nèi)部均勻傳熱的作用，從而有效改善了有機(jī)材料熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善了基板上的成膜均勻性，提高了OLED器件質(zhì)量。

以上所述，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案和技術(shù)構(gòu)思作出其他各種相應(yīng)的改變和變形，而所有這些改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。