一種膜厚調(diào)節(jié)裝置、薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種膜厚調(diào)節(jié)裝置、薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備，用以使蒸鍍膜厚保持均一，并提高生產(chǎn)效率。膜厚調(diào)節(jié)裝置包括：設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體內(nèi)部的至少兩個(gè)反射器，以及設(shè)置在所述線蒸發(fā)源腔體外部的至少一個(gè)控制器，每一所述控制器至少與一所述反射器連接；每一所述反射器上均設(shè)置若干鏤空區(qū)域，所述控制器用于通過(guò)控制與該控制器連接的所述反射器的移動(dòng)，控制不同所述反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小。
【專利說(shuō)明】
一種膜厚調(diào)節(jié)裝置、薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種膜厚調(diào)節(jié)裝置、薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de，0LED)生產(chǎn)過(guò)程中，蒸鍍時(shí)膜厚的均一性是器件的一個(gè)重要參數(shù)，膜厚的均一性的好壞將直接影響OLED器件的光特性。
[0003]在薄膜蒸鍍過(guò)程中，線蒸發(fā)源腔體內(nèi)部的反射器如圖1所示，當(dāng)蒸鍍時(shí)膜厚的均一性因線蒸發(fā)源的溫度原因發(fā)生異常時(shí)，由于現(xiàn)有技術(shù)中的反射器是圖1所示的光面型反射器，無(wú)法將多余的熱量散出，會(huì)導(dǎo)致膜厚呈高低趨勢(shì)分布，膜厚差異較大時(shí)會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢，大大降低了產(chǎn)品的良率。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)當(dāng)膜厚的均一性異常時(shí)，需要開啟線蒸發(fā)源腔體，手動(dòng)對(duì)設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體內(nèi)部的反射器進(jìn)行調(diào)節(jié)，如:調(diào)節(jié)反射器的厚度，此時(shí)需耗費(fèi)大量的生產(chǎn)時(shí)間；同時(shí)，線蒸發(fā)源中蒸鍍薄膜的材料會(huì)受到污染，材料等級(jí)降低，產(chǎn)品品質(zhì)隨之降低。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種膜厚調(diào)節(jié)裝置、薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備，用以使蒸鍍膜厚保持均一，并提高生產(chǎn)效率。
[0006]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種膜厚調(diào)節(jié)裝置，包括設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體內(nèi)部的至少兩個(gè)反射器，以及設(shè)置在所述線蒸發(fā)源腔體外部的至少一個(gè)控制器，每一所述控制器至少與一所述反射器連接；
[0007]每一所述反射器上均設(shè)置若干鏤空區(qū)域，所述控制器用于通過(guò)控制與該控制器連接的所述反射器的移動(dòng)，控制不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小。
[0008]由本實(shí)用新型實(shí)施例提供的膜厚調(diào)節(jié)裝置，由于該膜厚調(diào)節(jié)裝置通過(guò)在每一反射器上設(shè)置若干鏤空區(qū)域，控制器用于通過(guò)控制反射器的移動(dòng)，控制不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小，當(dāng)本實(shí)用新型實(shí)施例中不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域重疊時(shí)，可以將部分熱量散出，進(jìn)而使得反射器的保溫性能隨之發(fā)生變化，因此，本實(shí)用新型實(shí)施例通過(guò)調(diào)節(jié)不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小，使得蒸鍍膜厚保持均一;另外，本實(shí)用新型實(shí)施例與現(xiàn)有技術(shù)相比，不需要開啟線蒸發(fā)源腔體，通過(guò)設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體外部的控制器完成反射器的調(diào)節(jié)，減少了因開啟線蒸發(fā)源腔體導(dǎo)致的時(shí)間浪費(fèi)，大大提高了生產(chǎn)效率。
[0009]較佳地，每一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域陣列排列，同一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的面積大小相等。
[0010]較佳地，同一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的圖案相同。
[0011]較佳地，每一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的圖案相同。
[0012]較佳地，每一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的面積大小相等。
[0013]較佳地，膜厚調(diào)節(jié)裝置包括正對(duì)設(shè)置的第一反射器和第二反射器，以及一控制器，所述第一反射器和/或所述第二反射器與所述控制器連接;或，
[0014]包括正對(duì)設(shè)置的第一反射器和第二反射器，以及兩個(gè)控制器，每一所述反射器與一所述控制器分別一一對(duì)應(yīng)連接。
[0015]較佳地，所述第一反射器包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域，所述第二反射器包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域；
[0016]所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的至少一列所述鏤空區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的至少一列所述鏤空區(qū)域在列方向上位于空間的同一列；
[0017]所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一行所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一行所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。
[0018]較佳地，所述第一反射器包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域，所述第二反射器包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域；
[0019]所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的至少一行所述鏤空區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的至少一行所述鏤空區(qū)域在行方向上位于空間的同一行；
[0020]所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一列所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一列所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。
[0021]較佳地，所述第一反射器包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域，所述第二反射器包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域；
[0022]所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一行所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一行所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域；以及
[0023]所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一列所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一列所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。
[0024]本實(shí)用新型實(shí)施例還提供了一種薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備，該薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備包括上述的膜厚調(diào)節(jié)裝置。
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1為現(xiàn)有技術(shù)設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體內(nèi)的反射器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種膜厚調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的膜厚調(diào)節(jié)裝置中包括的兩個(gè)反射器疊加后的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖4(a)和圖4(b)為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的膜厚調(diào)節(jié)裝置中包括的反射器與控制器的連接關(guān)系示意圖；
[0029]圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的膜厚調(diào)節(jié)裝置中包括的反射器設(shè)置的鏤空區(qū)域的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的膜厚調(diào)節(jié)裝置中包括的反射器設(shè)置的鏤空區(qū)域的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0031]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種膜厚調(diào)節(jié)裝置、薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備，用以使蒸鍍膜厚保持均一，并提尚生廣效率。
[0032]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其它實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0033]下面結(jié)合附圖詳細(xì)介紹本實(shí)用新型具體實(shí)施例提供的膜厚調(diào)節(jié)裝置。
[0034]如圖2所示，本實(shí)用新型具體實(shí)施例提供了一種膜厚調(diào)節(jié)裝置，包括設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體20內(nèi)部的至少兩個(gè)反射器，如圖中示出的第一反射器21和第二反射器22兩個(gè)反射器，以及設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體20外部的至少一個(gè)控制器23，每一控制器至少與一反射器連接，圖中僅示出了一個(gè)控制器的情況，該控制器23與第二反射器22連接，當(dāng)然，控制器23還可以與第一反射器21連接；
[0035]每一反射器上均設(shè)置若干鏤空區(qū)域，如第一反射器21上設(shè)置若干鏤空區(qū)域210，第二反射器22上設(shè)置若干鏤空區(qū)域220，控制器23用于通過(guò)控制與該控制器23連接的反射器的移動(dòng)，控制不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小。
[0036]具體地，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的控制器具體用于控制與該控制器連接的反射器在水平方向、以及與水平方向垂直的方向上的移動(dòng)，使得至少兩個(gè)反射器移動(dòng)到正對(duì)設(shè)置的位置。具體實(shí)施時(shí)，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中以線蒸發(fā)源調(diào)節(jié)裝置包括兩個(gè)大小相等的反射器為例，參見圖2所示，控制器23控制第二反射器22在水平方向上向左移動(dòng)，使得第一反射器21和第二反射器22移動(dòng)到正對(duì)的位置，如圖3所示，此時(shí)第一反射器21上的鏤空區(qū)域210在垂直方向上的投影區(qū)域與第二反射器22上的鏤空區(qū)域220在垂直方向上的投影區(qū)域不重疊，實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，將此時(shí)膜厚的均一性作為最佳狀態(tài)。
[0037]優(yōu)選地，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中每一反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域陣列排列，同一反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的面積大小相等，這樣，在實(shí)際設(shè)計(jì)過(guò)程中，更加方便、簡(jiǎn)單。具體實(shí)施時(shí)，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中同一反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的圖案相同，參見圖2和圖3所示，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的圖案為三角形；當(dāng)然，在實(shí)際設(shè)計(jì)時(shí)，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的圖案還可以設(shè)計(jì)為圓形、正方形、梯形等圖案形狀。
[0038]優(yōu)選地，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中每一反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的圖案相同，每一反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的面積大小相等，參見圖2所示。這樣，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，更加方便控制器對(duì)反射器移動(dòng)的精確調(diào)節(jié)。
[0039]具體實(shí)施時(shí)，如圖4(a)所示，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的線蒸發(fā)源調(diào)節(jié)裝置包括正對(duì)設(shè)置的第一反射器21和第二反射器22，以及一控制器23，第一反射器21和/或第二反射器22與控制器23連接。圖4(a)中第一反射器21和第二反射器22的正面形狀參見圖2所示，圖4(a)以第二反射器22與控制器23連接為例，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，第一反射器21和第二反射器22還可以同時(shí)與一控制器連接，該控制器能夠同時(shí)控制第一反射器21和第二反射器22的移動(dòng)，優(yōu)選地，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的控制器為伺服電機(jī)，伺服電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，可控制與其連接的反射器精確移動(dòng)。
[0040]當(dāng)然，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，如圖4(b)所示，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的線蒸發(fā)源調(diào)節(jié)裝置還可以包括正對(duì)設(shè)置的第一反射器21和第二反射器22，以及兩個(gè)控制器，每一反射器與一控制器分別一一對(duì)應(yīng)連接，即:第一反射器21與其中一個(gè)控制器23連接，第二反射器22與另一個(gè)控制器23連接。這種情況下，第一反射器21和第二反射器22均可以在控制器的控制下進(jìn)行移動(dòng)。
[0041]下面以本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的線蒸發(fā)源調(diào)節(jié)裝置包括正對(duì)設(shè)置的第一反射器和第二反射器為例，結(jié)合附圖詳細(xì)介紹本實(shí)用新型具體實(shí)施例中第一反射器上鏤空區(qū)域，以及第二反射器上鏤空區(qū)域的設(shè)置位置。
[0042]實(shí)施例一:
[0043]參見圖2所示，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的第一反射器21包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210，第二反射器22包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220;第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210中的至少一列鏤空區(qū)域與第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220中的至少一列鏤空區(qū)域在列方向上位于空間的同一列；第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210中的每一行鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220中的每一行鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。如:第一反射器21中的第一列鏤空區(qū)域與第二反射器22中的第一列鏤空區(qū)域位于空間的同一列;第一反射器21中的第一行鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與第二反射器22中的第一行鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。
[0044]本實(shí)用新型具體實(shí)施例以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210中的每一列鏤空區(qū)域與第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220中的每一列鏤空區(qū)域在列方向上位于空間的同一列為例，如圖2所示，將本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的第一反射器21和第二反射器22疊加安裝后如圖3所示，第一反射器21和第二反射器22上的鏤空區(qū)域錯(cuò)位設(shè)置，第一反射器21的鏤空區(qū)域210在垂直方向上的投影區(qū)域和第二反射器22的鏤空區(qū)域220在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域，此時(shí)膜厚的均一性為最佳狀態(tài)。
[0045]在蒸鍍過(guò)程中，當(dāng)膜厚的均一性因線蒸發(fā)源溫度原因發(fā)生異常時(shí)，控制器23控制第二發(fā)射器在豎直方向上、下移動(dòng)，此時(shí)第一反射器21的鏤空區(qū)域210在垂直方向上的投影區(qū)域和第二反射器22的鏤空區(qū)域220在垂直方向上的投影區(qū)域產(chǎn)生重疊區(qū)域，這時(shí)第一反射器21和第二反射器22上會(huì)出現(xiàn)透孔，該透孔的大小隨著第二反射器22的移動(dòng)可控，第一反射器21和第二反射器22疊加后形成的透孔發(fā)生變化時(shí)，第一反射器21和第二反射器22的保溫性能也隨之發(fā)生變化，通過(guò)控制器23控制第二反射器22的移動(dòng)達(dá)到控制第一反射器21和第二反射器22疊加后形成的透孔的大小，進(jìn)而使得蒸鍍膜厚保持均一。
[0046]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具體實(shí)施例不需要開啟線蒸發(fā)源腔體，通過(guò)設(shè)置在蒸發(fā)源腔體外部的控制器控制完成線蒸發(fā)源腔體內(nèi)的反射器的調(diào)節(jié)，減少了因開啟線蒸發(fā)源腔體導(dǎo)致的時(shí)間浪費(fèi)，大大提高了生產(chǎn)效率;同時(shí)，線蒸發(fā)源中蒸鍍薄膜的材料也不會(huì)受到污染，廣品品質(zhì)較_ D
[0047]實(shí)施例二:
[0048]如圖5所示，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的第一反射器21包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210，第二反射器22包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220;第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210中的至少一行鏤空區(qū)域與第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220中的至少一行鏤空區(qū)域在行方向上位于空間的同一行;第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210中的每一列鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220中的每一列鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。如:第一反射器21中的第一列鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與第二反射器22中的第一列鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域;第一反射器21中的第一行鏤空區(qū)域與第二反射器22中的第一行鏤空區(qū)域位于空間的同一行O
[0049]本實(shí)用新型具體實(shí)施例以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210中的每一行鏤空區(qū)域與第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220中的每一行鏤空區(qū)域在行方向上位于空間的同一行為例，如圖5所示，將本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的第一反射器21和第二反射器22疊加安裝后，第一反射器21和第二反射器22上的鏤空區(qū)域錯(cuò)位設(shè)置，第一反射器21的鏤空區(qū)域210在垂直方向上的投影區(qū)域和第二反射器22的鏤空區(qū)域220在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域，此時(shí)膜厚的均一性為最佳狀態(tài)。
[0050]在蒸鍍過(guò)程中，當(dāng)膜厚的均一性因線蒸發(fā)源溫度原因發(fā)生異常時(shí)，控制器23控制第二發(fā)射器在水平方向左、右移動(dòng)，此時(shí)第一反射器21的鏤空區(qū)域210在垂直方向上的投影區(qū)域和第二反射器22的鏤空區(qū)域220在垂直方向上的投影區(qū)域產(chǎn)生重疊區(qū)域，即此時(shí)第一反射器21和第二反射器22上出現(xiàn)透孔，通過(guò)控制器23控制第二反射器22的移動(dòng)達(dá)到控制第一反射器21和第二反射器22疊加后形成的透孔的大小，進(jìn)而使得蒸鍍膜厚保持均一。
[0051 ] 實(shí)施例三:
[0052]如圖6所示，本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的第一反射器21包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210，第二反射器22包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220;第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210中的每一行鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220中的每一行鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域;第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域210中的每一列鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域220中的每一列鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。如:第一反射器21中的第一列鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與第二反射器22中的第一列鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域;第一反射器21中的第一行鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與第二反射器22中的第一行鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。
[0053]如圖6所示，將本實(shí)用新型具體實(shí)施例中的第一反射器21和第二反射器22疊加安裝后，第一反射器21和第二反射器22上的鏤空區(qū)域錯(cuò)位設(shè)置，第一反射器21的鏤空區(qū)域210在垂直方向上的投影區(qū)域和第二反射器22的鏤空區(qū)域220在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域，此時(shí)膜厚的均一性為最佳狀態(tài)。
[0054]在蒸鍍過(guò)程中，當(dāng)膜厚的均一性因線蒸發(fā)源溫度原因發(fā)生異常時(shí)，首先，控制器23控制第二發(fā)射器在水平方向左、右移動(dòng)，接著，控制器23控制第二發(fā)射器在豎直方向上、下移動(dòng)，使得第一反射器21的鏤空區(qū)域210在垂直方向上的投影區(qū)域和第二反射器22的鏤空區(qū)域220在垂直方向上的投影區(qū)域產(chǎn)生重疊區(qū)域；當(dāng)然，在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中，本實(shí)用新型具體實(shí)施例的控制器23也可以先控制第二發(fā)射器在豎直方向上、下移動(dòng)，之后再控制第二發(fā)射器在水平方向左、右移動(dòng)，使得第一反射器21的鏤空區(qū)域210在垂直方向上的投影區(qū)域和第二反射器22的鏤空區(qū)域220在垂直方向上的投影區(qū)域產(chǎn)生重疊區(qū)域。
[0055]本實(shí)用新型具體實(shí)施例還提供了一種薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備，該薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備包括本實(shí)用新型具體實(shí)施例提供的上述膜厚調(diào)節(jié)裝置，采用本實(shí)用新型具體實(shí)施例提供的薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備能夠使蒸鍍膜厚保持均一。
[0056]綜上所述，本實(shí)用新型具體實(shí)施例提供一種膜厚調(diào)節(jié)裝置，包括設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體內(nèi)部的至少兩個(gè)反射器，以及設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體外部的至少一個(gè)控制器，每一控制器至少與一反射器連接;每一反射器上均設(shè)置若干鏤空區(qū)域，控制器用于通過(guò)控制與該控制器連接的反射器的移動(dòng)，控制不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小。由于本實(shí)用新型具體實(shí)施例通過(guò)在每一反射器上設(shè)置若干鏤空區(qū)域，控制器用于通過(guò)控制反射器的移動(dòng)，控制不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小，當(dāng)本實(shí)用新型具體實(shí)施例中不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域重疊時(shí)，可以將部分熱量散出，進(jìn)而使得反射器的保溫性能隨之發(fā)生變化，因此，本實(shí)用新型具體實(shí)施例通過(guò)調(diào)節(jié)不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小，使得蒸鍍膜厚保持均一；另外，本實(shí)用新型具體實(shí)施例與現(xiàn)有技術(shù)相比，不需要開啟線蒸發(fā)源腔體，通過(guò)設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體外部的控制器控制完成反射器的調(diào)節(jié)，減少了因開啟線蒸發(fā)源腔體導(dǎo)致的時(shí)間浪費(fèi)，大大提高了生產(chǎn)效率。
[0057]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括設(shè)置在線蒸發(fā)源腔體內(nèi)部的至少兩個(gè)反射器，以及設(shè)置在所述線蒸發(fā)源腔體外部的至少一個(gè)控制器，每一所述控制器至少與一所述反射器連接； 每一所述反射器上均設(shè)置若干鏤空區(qū)域，所述控制器用于通過(guò)控制與該控制器連接的所述反射器的移動(dòng)，控制不同反射器上鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域的重疊區(qū)域的大小。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，每一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域陣列排列，同一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的面積大小相等。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，同一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的圖案相同。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，每一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的圖案相同。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，每一所述反射器上設(shè)置的鏤空區(qū)域的面積大小相等。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，包括正對(duì)設(shè)置的第一反射器和第二反射器，以及一控制器，所述第一反射器和/或所述第二反射器與所述控制器連接;或， 包括正對(duì)設(shè)置的第一反射器和第二反射器，以及兩個(gè)控制器，每一所述反射器與一所述控制器分別 對(duì)應(yīng)連接。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一反射器包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域，所述第二反射器包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域； 所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的至少一列所述鏤空區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的至少一列所述鏤空區(qū)域在列方向上位于空間的同一列； 所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一行所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一行所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一反射器包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域，所述第二反射器包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域； 所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的至少一行所述鏤空區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的至少一行所述鏤空區(qū)域在行方向上位于空間的同一行； 所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一列所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一列所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的膜厚調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述第一反射器包括以第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域，所述第二反射器包括以第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域； 所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一行所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一行所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域；以及 所述第一陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一列所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域與所述第二陣列排列的若干鏤空區(qū)域中的每一列所述鏤空區(qū)域在垂直方向上的投影區(qū)域無(wú)重疊區(qū)域。10.一種薄膜蒸鍍?cè)O(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任一權(quán)利要求所述的膜厚調(diào)節(jié) 目.ο
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK205669063SQ201620628028
【公開日】2016年11月2日
【申請(qǐng)日】2016年6月21日
【發(fā)明人】馬群, 胡海兵
【申請(qǐng)人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司