專利名稱：太陽電池單元檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種太陽電池單元(cell)檢查裝置。
背景技術(shù)：
在下述的專利文獻I中揭示了如下的檢查方法，該檢查方法判定如下的多晶半導(dǎo)體晶圓(wafer)的內(nèi)部是否存在缺陷,所述多晶半導(dǎo)體晶圓的大小為156mm見方且厚度為180μπι程度。根據(jù)此種檢查方法，向多晶半導(dǎo)體晶圓的下表面(一個面)照射紅外光(900nm-1100nm)，借由配置于多晶半導(dǎo)體晶圓的上表面(另一個面)側(cè)的紅外線相機 (infrared camera),接收透過多晶半導(dǎo)體晶圓的紅外光,從而獲得透射影像。接著,基于已獲得的透射影像，判定多晶半導(dǎo)體晶圓的內(nèi)部是否存在缺陷。即，若多晶半導(dǎo)體晶圓的內(nèi)部存在空隙(void)或裂縫(crack)等的缺陷，則照射的紅外光會因缺陷而散射，透射的紅外光的強度下降，因此，所述缺陷在透射影像中表現(xiàn)為昏暗的部分。
另外，在下述的專利文獻2中揭示了如下的檢查方法，該檢查方法判定多晶半導(dǎo)體晶圓的表面是否存在缺陷。根據(jù)此種檢查方法，向多晶半導(dǎo)體晶圓的上表面照射激光， 借由配置于多晶半導(dǎo)體晶圓的上表面?zhèn)鹊南鄼C，接收多晶半導(dǎo)體晶圓所反射的激光，從而獲得反射影像。接著，基于已獲得的反射影像，判定多晶半導(dǎo)體晶圓的表面是否存在缺陷。 即，若多晶半導(dǎo)體晶圓的表面存在缺陷，則照射的激光會因缺陷而散射，反射的激光的強度下降，因此，所述缺陷在反射影像中表現(xiàn)為昏暗的部分。
然而，在如上所述的檢查方法中，不是判定多晶半導(dǎo)體晶圓的內(nèi)部是否存在缺陷， 就是判定多晶半導(dǎo)體晶圓的表面是否存在缺陷。
另外，還揭示了如下的裂縫檢測裝置，該裂縫檢測裝置依次確實地判定多晶半導(dǎo)體晶圓是否存在缺陷(例如參照專利文獻3)。圖7是表示以往的裂縫檢測裝置的一例的概略構(gòu)成圖。
此種裂縫檢測裝置201包括晶圓搬送部203，對多晶硅晶圓(silicon wafer) 202 進行搬送；金屬鹵化物燈(metal halide lamp)(白色光源)204,從搬送的多晶娃晶圓202 的斜上部照射白色光；第一電荷稱合器件(Charge Coupled Device, CCD)線傳感器相機 (line sensor camera) 205,對被金屬齒化物燈204照射了白色光的多晶娃晶圓202的上部表面進行拍攝；紅外線管206，從多晶硅晶圓202的下部照射紅外光(900nm以上)；第二CXD 線傳感器相機207,對透過多晶娃晶圓202的紅外線進行拍攝；主機(host computer) 209, 具有影像處理部208，該影像處理部208根據(jù)第一 CXD線傳感器相機205所拍攝的反射影像 (影像數(shù)據(jù)(data))與第二 CCD線傳感器相機207所拍攝的透射影像(影像數(shù)據(jù))，對多晶硅晶圓202的裂縫進行檢測；以及晶圓收納部210，根據(jù)主機209對于是否有裂縫的判別， 區(qū)分地收納有裂縫的多晶硅晶圓202與無裂縫的多晶硅晶圓202。
此處，第一線傳感器相機205與第二線傳感器相機207是像素為4000左右的線傳感器相機，且拍攝每個像素作為8比特(bit)的影像數(shù)據(jù)，將明亮度作為劃分成256個灰階的數(shù)據(jù)而加以處理。
另外，晶圓搬送部203呈一列地配設(shè)有多個輥(roller) 218，各輥218的兩端部利用皮帶(belt) 219而彼此連結(jié)。由于與搬送驅(qū)動部211連接的一個輥218旋轉(zhuǎn)，因此，皮帶 219旋轉(zhuǎn)，借此，其它輥218也旋轉(zhuǎn)，從而對多晶硅晶圓202進行搬送。利用搬送驅(qū)動部211 來對輥218的旋轉(zhuǎn)的運轉(zhuǎn)及停止、與旋轉(zhuǎn)速度進行控制。借此，多晶硅晶圓202從晶圓供給部載置于晶圓搬送部203上，并被從左方向朝右方向搬送。
借此，根據(jù)裂縫檢測裝置201，利用晶圓搬送部203的前段所配置的第一線傳感器相機205來進行拍攝之后，利用晶圓搬送部203的后段所配置的第二線傳感器相機207來進行拍攝，借此，可依次確實地判定多晶硅晶圓202是否存在缺陷。
而且，根據(jù)目前的器件的構(gòu)成技術(shù)與制造技術(shù)的觀點，使用結(jié)晶硅(包含多晶硅、 單晶娃)制的半導(dǎo)體晶圓作為基板的太陽電池單元的性價比(cost performance)最佳，因此，所述太陽電池單元占據(jù)著有出售的太陽電池單元的九成。圖2是表示太陽電池單元的一例的立體圖。
在此種太陽電池單元2的生產(chǎn)線中，依靠檢查員的眼睛，S卩，依靠目視來實施如下的檢查，該檢查判定太陽電池單元2是否存在缺陷(裂縫、端部的缺損、及抗反射膜的脫落(小孔(Pinhole))、膜厚不均、指狀電極的圖案(pattern)異常(脫落、寬度異常)) 等(其中，對于膜厚不均的檢查是利用目視的顏色檢查與利用膜厚測定裝置(橢圓光度法 (elIipsometry))的抽樣檢查)。
然而，在太陽電池單元2的生產(chǎn)線中，為了使利潤提高，最低也需要1500塊/小時-3000塊/小時的規(guī)模的生產(chǎn)吞吐量(throughput)，且也依賴于生產(chǎn)線構(gòu)成或檢查裝置的數(shù)量，但一塊太陽電池單元2的檢查所允許的檢查時間為I秒_2秒，難以利用目視來進行檢查。另外，目視存在如下的問題點，即，判別水平(level)會根據(jù)檢查員的不同而存在差異，從而有可能存在檢查疏漏(miss)。
因此，在工業(yè)上需要如下的檢查方法，該檢查方法是將體現(xiàn)出成本優(yōu)勢(cost merit)的廉價的裝置導(dǎo)入至生產(chǎn)線，以固定的判定水平，在極短的時間內(nèi)(例如2秒以下)，在線(inline)地對太陽電池單元2的裂縫、缺損、小孔、以及電極等的缺陷進行檢查。
[先前技術(shù)文獻]
[專利文獻]
[專利文獻I]日本專利特開2006-351669號公報
[專利文獻2]日本專利特開2002-122552號公報
[專利文獻3]日本專利特開2010-034133號公報
因此，考慮使用所述裂縫檢測裝置201，對太陽電池單元2的反射影像與透射影像進行拍攝，借此，判定太陽電池單元2是否存在缺陷。然而，對反射影像進行拍攝的裝置(金屬鹵化物燈204及第一 CXD線傳感器相機205)、與對透射影像進行拍攝的裝置(紅外線管 206及第二 CCD線傳感器相機207)是配置于不同的部位的兩臺裝置，因此，裝置成本上升， 無法體現(xiàn)出成本優(yōu)勢。另外，由于在搬送線的不同位置實施拍攝，因此，會產(chǎn)生偏移等，所以當影像處理部208實施反射影像與透射影像之間的運算時，有可能會產(chǎn)生問題。
借此，為了在相同的位置實施拍攝，使對反射影像進行拍攝的裝置、與對透射影像進行拍攝的裝置成為一體。然而，由于使用的光的近紅外區(qū)域的波長與可見光區(qū)域的波長不同，因此，不僅照明不同，而且成像透鏡的像差修正的波長范圍也不同。因此，難以在相同的位置實施拍攝。
由此可見，上述現(xiàn)有的檢查方法在結(jié)構(gòu)與使用上，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進一步改進。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型結(jié)構(gòu)的太陽電池單元檢查裝置，亦成為當前業(yè)界極需改進的目標。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的檢查方法存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的太陽電池單元檢查裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其為了解決所述問題，研究了使拍攝反射影像的裝置、與拍攝透射影像的裝置成為一體。首先，構(gòu)筑如下的一個拍攝光學(xué)系統(tǒng)，該拍攝光學(xué)系統(tǒng)可對反射影像與透射影像進行拍攝且覆蓋從可見光至紅外光為止的波長范圍 (470nm-lIOOnm)。然而,覆蓋從可見光至紅外光為止的波長范圍的光學(xué)透鏡(lens)在技術(shù)上已能夠?qū)崿F(xiàn)且也已有出售，但由于市場需求少，因此，該光學(xué)透鏡為非常昂貴的透鏡(40 萬日元)，且難以被重視性價比的太陽電池單元2的檢查裝置采用。而且實際上，即使光學(xué)透鏡覆蓋從可見光至紅外光為止的波長范圍，紅外光的聚焦位置與可見光的聚焦位置之間的最佳聚焦點不同，當從透射影像的拍攝過渡至反射影像的拍攝時，必須重新對焦，或必須動態(tài)地對光圈進行調(diào)整。另外，從透射影像的拍攝過渡至反射影像的拍攝為止需要時間，因此，無法在極短的時間內(nèi)(例如2秒以下)結(jié)束檢查。
因此發(fā)現(xiàn)為了在相同的位置，同時對反射影像與透射影像進行拍攝，使用將透射光影像與反射光影像分開的分束器(beam splitter)(或者對波長進行選擇反射的濾光器 (filter))。而且發(fā)現(xiàn)使用需要解析度的裂縫、小孔、缺損或電極的檢查用的解析度高的CCD 相機(例如5M(2456 X 2058)像素(pixel))、與不要求解析度的膜厚檢查用的解析度低的廉價的CCD相機(例如O. 4M(768 X 494)像素)。
本發(fā)明的另一目的在于，克服現(xiàn)有的檢查方法存在的缺陷，而提供一種新型結(jié)構(gòu)的太陽電池單元檢查裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其可在相同的位置，同時對反射影像與透射影像進行拍攝。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種太陽電池單元檢查裝置，其中包括第一照射部，向平板形狀的半導(dǎo)體晶圓的第一面照射可見光；第一拍攝部，接收所述半導(dǎo)體晶圓所反射的所述可見光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的反射影像；第二照射部，向與所述半導(dǎo)體晶圓的所述第一面相向的所述半導(dǎo)體晶圓的第二面照射紅外光；第二拍攝部，接收透過所述半導(dǎo)體晶圓的所述紅外光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的透射影像；以及判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在缺陷，上述太陽電池單元檢查裝置的特征在于包括配置在所述第一拍攝部及所述第二拍攝部之間的分束器，所述分束器將不足設(shè)定波長的光引導(dǎo)至第一拍攝部，并且將設(shè)定波長以上的光引導(dǎo)至第二拍攝部。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進一步實現(xiàn)。
前述的太陽電池單元檢查裝置，所述第二拍攝部的分辨率高于所述第一拍攝部的分辨率。
前述的太陽電池單元檢查裝置，所述第一照射部包括藍色光源、綠色光源、以及紅色光源，所述第二照射部包括紅外光源。
前述的太陽電池單元檢查裝置，所述半導(dǎo)體晶圓為太陽電池單元，所述判定部判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在選自膜厚、裂縫、電極檢查、缺損、以及表面缺陷中的至少一種缺陷。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)。依據(jù)本發(fā)明提出的一種太陽電池單元檢查裝置，其中包括第一照射部，向平板形狀的半導(dǎo)體晶圓的第一面照射可見光；第一拍攝部，接收所述半導(dǎo)體晶圓所反射的所述可見光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的反射影像；第二照射部，向與所述半導(dǎo)體晶圓的所述第一面相向的所述半導(dǎo)體晶圓的第二面照射紅外光；第二拍攝部，接收透過所述半導(dǎo)體晶圓的所述紅外光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的透射影像；以及判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在缺陷，上述太陽電池單元檢查裝置的特征在于在所述第一拍攝部的受光面的前方配置有第一濾光器，該第一濾光器使不足第一設(shè)定波長的光透射，并且對第一設(shè)定波長以上的光進行反射，在所述第二拍攝部的受光面的前方配置有第二濾光器，該第二濾光器使第二設(shè)定波長以上的光透射，并且對不足第二設(shè)定波長的光進行反射。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進一步實現(xiàn)。
前述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于包括配置在所述第一拍攝部及所述第二拍攝部之間的半反射鏡，所述半反射鏡將一部分的光引導(dǎo)至所述第一拍攝部，并且將剩余的光引導(dǎo)至所述第二拍攝部。
前述的太陽電池單元檢查裝置，所述第一設(shè)定波長為比所述第二設(shè)定波長更長的波長。
前述的太陽電池單元檢查裝置，所述第二拍攝部的分辨率高于所述第一拍攝部的分辨率。
前述的太陽電池單元檢查裝置，所述第一照射部包括藍色光源、綠色光源、以及紅色光源，所述第二照射部包括紅外光源。
前述的太陽電池單元檢查裝置，所述半導(dǎo)體晶圓為太陽電池單元，所述判定部判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在選自膜厚、裂縫、電極檢查、缺損、以及表面缺陷中的至少一種缺陷。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。由以上技術(shù)方案可知，本發(fā)明的主要技術(shù)內(nèi)容如下太陽電池單元檢查裝置包括向平板形狀的半導(dǎo)體晶圓的第一面照射可見光的第一照射部；接收所述半導(dǎo)體晶圓所反射的可見光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的反射影像的第一拍攝部；向與所述半導(dǎo)體晶圓的第一面相向的所述半導(dǎo)體晶圓的第二面照射紅外光的第二照射部；接收透過所述半導(dǎo)體晶圓的紅外光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的透射影像的第二拍攝部；以及基于所述反射影像及透射影像，判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在缺陷的判定部。上述太陽電池單元檢查裝置包括配置在所述第一拍攝部及所述第二拍攝部之間的分束器，所述分束器將不足設(shè)定波長的光引導(dǎo)至第一拍攝部，并且將設(shè)定波長以上的光引導(dǎo)至第二拍攝部。根據(jù)本發(fā)明的太陽電池單元檢查裝置，第一照射部向半導(dǎo)體晶圓的第一面照射可見光，并且第二照射部向半導(dǎo)體晶圓的第二面照射紅外光。即，同時照射出可見光與紅外光。接著，分束器將不足設(shè)定波長的光引導(dǎo)至第一拍攝部，并且將設(shè)定波長以上的光引導(dǎo)至第二拍攝部。借此，第一拍攝部拍攝半導(dǎo)體晶圓的影像而不對設(shè)定波長以上的光進行檢測。另一方面，第二拍攝部拍攝半導(dǎo)體晶圓的影像而不對不足設(shè)定波長的光進行檢測。另外，本發(fā)明的太陽電池單元檢查裝置包括向平板形狀的半導(dǎo)體晶圓的第一面照射可見光的第一照射部；接收所述半導(dǎo)體晶圓所反射的可見光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的反射影像的第一拍攝部；向與所述半導(dǎo)體晶圓的第一面相向的所述半導(dǎo)體晶圓的第二面照射紅外光的第二照射部；接收透過所述半導(dǎo)體晶圓的紅外光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的透射影像的第二拍攝部；以及基于所述反射影像及透射影像，判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在缺陷的判定部。上述太陽電池單元檢查裝置在所述第一拍攝部的受光面的前方配置有第一濾光器，該第一濾光器使不足第一設(shè)定波長的光透射，并且對第一設(shè)定波長以上的光進行反射；在所述第二拍攝部的受光面的前方配置有第二濾光器，該第二濾光器使第二設(shè)定波長以上的光透射，并且對不足第二設(shè)定波長的光進行反射。
借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明太陽電池單元檢查裝置至少具有下列優(yōu)點及有益效果
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的太陽電池單元檢查裝置，在各拍攝部的受光面的前方，分別配置有對波長進行選擇反射的濾光器，因此，可在相同的位置，同時對反射影像與透射影像進行拍攝。
另外，在所述發(fā)明中，也可包括配置在所述第一拍攝部及所述第二拍攝部之間的半反射鏡(half mirror)，所述半反射鏡將一部分的光引導(dǎo)至第一拍攝部，并且將剩余的光引導(dǎo)至第二拍攝部。
另外，在所述發(fā)明中，所述第一設(shè)定波長也可為比所述第二設(shè)定波長更長的波長。
另外，在所述發(fā)明中，所述第二拍攝部的分辨率也可高于所述第一拍攝部的分辨率。
根據(jù)本發(fā)明的太陽電池單元檢查裝置，為了對裂縫、小孔或缺損進行檢查，利用高分辨率的第二拍攝部來進行拍攝，為了對膜厚進行檢查，利用低分辨率的第一拍攝部來進行拍攝，因此，體現(xiàn)出成本優(yōu)勢。
而且，在所述發(fā)明中，所述第一照射部也可包括藍色光源、綠色光源、以及紅色光源，所述第二照射部也可包括紅外光源。
此外，在所述發(fā)明中，所述半導(dǎo)體晶圓也可為太陽電池單元，所述判定部也可判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在選自膜厚、裂縫、電極檢查、缺損、以及表面缺陷中的至少一種缺陷。
上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段， 而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。


圖I是表示本發(fā)明的第一實施方式的太陽電池單元檢查裝置的一例的概略構(gòu)成圖。
圖2是表示太陽電池單元的一例的立體圖。
圖3 (a)、圖3 (b)是表示太陽電池單元的檢查項目的一例的表。
圖4是用以對檢查方法進行說明的流程圖。
圖5是表示本發(fā)明的第二實施方式的太陽電池單元檢查裝置的一例的概略構(gòu)成圖。
圖6是用以對檢查方法進行說明的流程圖。
圖7是表示先前的裂縫檢測裝置的一例的概略構(gòu)成圖。
1、101 :太陽電池單元檢查裝置
2 :太陽電池單元(半導(dǎo)體晶圓)
4 :第一照射部
4a :藍色光源
4b :綠色光源
4c :紅色光源
4d:反射型擴散板
5、105 :第一 (XD傳感器相機/(XD傳感器/第一拍攝部
6、106:第二照射部
7、107 :第二 CXD傳感器相機/(XD傳感器/第二拍攝部
10 :拍攝裝置
11 :分束器
20、120:電腦
21、121 :CPU (控制部)
21a、121a :搬送驅(qū)動部
21b、121b :光源驅(qū)動部
21c、121c :影像取得部
21d、121d:判定部
111 :第二濾光器
112:第一濾光器
S101-S103,S103/ ,S104,S105,S105/ ,S106,S107,S107/ 、S108、S 109、S109'、 S110、S IlUSlir , S112-S115, S201-S203, S203/、S204、S205、S205'、S206、S207、 S207' , S208,S209,S209/、S210-S213 :步驟
X、Y、Z:方向具體實施方式
為更進一步闡述本發(fā)明為達成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的太陽電池單元檢查裝置其具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細說明如后。
<第一實施方式>
圖I是表示本發(fā)明的第一實施方式即太陽電池單元檢查裝置的一例的概略構(gòu)成圖。再者，已對與上述裂縫檢測裝置201相同的部分附上了相同的符號。
太陽電池單元檢查裝置I包括對太陽電池單元2進行搬送的晶圓搬送部(未圖示)；設(shè)置于晶圓搬送部的途中的拍攝裝置10 ;以及對整個太陽電池單元檢查裝置I進行控制的電腦20。另外，拍攝裝置10包括箱狀的框體，在該框體內(nèi)部具有從搬送的太陽電池單元2的上部照射光的第一照射部4 ;對太陽電池單元2進行拍攝的第一 CXD傳感器相機(第一拍攝部)5 ;從太陽電池單元2的下部照射光的第二照射部6 ;對太陽電池單元2進行拍攝的第二 CXD傳感器相機(第二拍攝部)7 ；以及配置在第一 CXD傳感器相機5與第二 CXD傳感器相機7之間的分束器11。
再者，將與地面呈水平的右方向設(shè)為X方向，將與地面呈水平且與X方向垂直的方向設(shè)為Y方向，將垂直于X方向與Y方向的上方向設(shè)為Z方向。
首先，對本發(fā)明中的作為檢查對象的太陽電池單元2進行說明。圖2是表示太陽電池單元2的一例的立體圖。
太陽電池單元2的大小為156mm見方且厚度為180 μ m程度，而且該太陽電池單元 2為大致平板形狀，使用結(jié)晶硅(包含多晶硅、單晶硅)制的半導(dǎo)體晶圓作為基板。
再者，所述太陽電池單元也可為基板切割狀態(tài)的太陽電池單元、清洗之后的太陽電池單元、形成表面紋理(texture)之后的太陽電池單元、形成抗反射膜之后的太陽電池單元、以及附帶表面指狀電極(finger electrode)的太陽電池單元。然而，在形成背面電極(鋁)之后，紅外光無法透過，因此，在此情況下，從表面照射紅外光，使用從背面電極反射而來的影像。
接著，對太陽電池單元檢查裝置I所檢查的太陽電池單元2的檢查項目進行說明。 圖3是表示太陽電池單元的檢查項目的表。圖3 (a)是表示作為第一實施方式的太陽電池單元2的檢查項目的一例的表。
(I)膜厚
向太陽電池單元2的上表面(第一面、表面)分別照射三種顏色(藍色(Blue)、綠色(Green)、及紅色(Red))的各種光，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃XD傳感器 5、7，分別接收太陽電池單元2的上表面所反射的各種光，獲得三個反射影像，借此，基于已獲得的三個反射影像的相對強度比(光譜(spectrum))來對膜厚進行計算。
再者，也可預(yù)先取得藍色(Blue)或綠色(Green)的反射強度與膜厚的相互關(guān)系， 并制成校準曲線(calibration curve)，根據(jù)每個像素或固定的像素區(qū)域的B、G強度且參照校準曲線，求出膜厚變化、及膜厚分布。
(2)裂縫
向太陽電池單元2的下表面(第二面、背面)照射紅外光(900nm-lIOOnm)，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃XD傳感器7，接收透過太陽電池單元2的紅外光，獲得透射影像，借此，基于已獲得的透射影像，判定太陽電池單元2的內(nèi)部是否存在裂縫。
(3)電極檢查
向太陽電池單元2的上表面照射紅色(Red)的光，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃CD傳感器7，接收太陽電池單元2的上表面所反射的紅色(Red)的光，獲得反射影像，借此，基于已獲得的反射影像，判定是否存在電極。
(4)缺損
向太陽電池單元2的下表面照射白色光，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃XD傳感器5，接收通過太陽電池單元2的白色光，獲得強調(diào)端部的通過影像，借此，基于已獲得的通過影像，判定太陽電池單元2是否存在缺損。
(5)表面缺陷
向太陽電池單元2的上表面照射紅色(Red)的光，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃CD傳感器7，接收太陽電池單元2的上表面所反射的紅色(Red)的光，獲得反射影像，借此，基于已獲得的反射影像，判定是否存在表面缺陷。
此處，對太陽電池單元檢查裝置I的構(gòu)成進行說明。
第一照射部4包括藍色光源4a，射出470nm的光；綠色光源4b，射出525nm的光； 紅色光源4c，射出660nm的光；以及圓頂形的反射型擴散板4d，用以利用均一的光強度來對太陽電池單元2的上表面進行照明。再者，藍色光源4a、綠色光源4b、以及紅色光源4c在 XY面上，隔開等間隔地配置在相同的圓周上。而且，第一照射部4配置在太陽電池單元2的上部。
借此，若射出470nm的光，則470nm的光被反射型擴散板4d反射之后，向-Z方向?qū)μ栯姵貑卧?的上表面進行照射。另外，若射出525nm的光，則525nm的光被反射型擴散板4d反射之后，向-Z方向?qū)μ栯姵貑呜?的上表面進行照射。而且，若射出660nm的光,則660nm的光被反射型擴散板4d反射之后，向-Z方向?qū)μ栯姵貑呜?的上表面進行照射。
第二照射部6包括射出970nm的近紅外光的紅外線管、與射出白色光的白色光源。而且，第二照射部6配置在太陽電池單元2的下部。借此，若射出970nm的紅外光，則 970nm的紅外光向Z方向?qū)μ栯姵貑呜?的下表面進行照射。另外，若射出白色光，則白色光向Z方向?qū)μ栯姵貑卧?的下表面進行照射。
第一拍攝部5是O. 4M(768X494)像素的CXD相機。而且，第一拍攝部5是以使第一拍攝部5的受光面朝向右方(Y方向)的方式,配置在太陽電池單兀2的上部。
第二拍攝部7是5M(2456X2058)像素的CXD相機。而且，第二拍攝部7是以使第二拍攝部7的受光面朝向下方(-Z方向)的方式，配置在太陽電池單元2的上部。
分束器11為平板形狀，對不足600nm(設(shè)定波長)的光進行反射，并且使600nm以上的光透射。而且，分束器11設(shè)置在太陽電池單元2的上方(Z方向)，并且是以如下的方式配置，即，將不足600nm的光向左方(-Y方向)反射，將該光引導(dǎo)至第一拍攝部5的受光面，并且使600nm以上的光向Z方向透射，將該光引導(dǎo)至第二拍攝部7的受光面。
根據(jù)如上所述的太陽電池單元檢查裝置1，若470nm的光從藍色光源4a向-Z方向射出，則在太陽電池單元2的上表面向Z方向反射的470nm的光被分束器11反射之后，由第一拍攝部5的受光面接收。即，利用第一拍攝部5來拍攝470nm的光所形成的反射影像。 另外，若525nm的光從綠色光源4b向-Z方向射出，則在太陽電池單兀2的上表面向Z方向反射的525nm的光被分束器11反射之后，由第一拍攝部5的受光面接收。即，利用第一拍攝部5來拍攝525nm的光所形成的反射影像。而且，若白色光從第二照射部6的白色光源向Z方向射出，則向Z方向通過太陽電池單兀2的白色光的一部分被分束器11反射之后， 由第一拍攝部5的受光面接收。即，利用第一拍攝部5來拍攝白色光的一部分所形成的通過影像。
另外,若660nm的光從紅色光源4c向_Z方向射出，貝U在太陽電池單兀2的上表面向Z方向反射的660nm的光透過分束器11之后，由第二拍攝部7的受光面接收。即，利用第二拍攝部7來拍攝660nm的光所形成的反射影像。而且，若970nm的近紅外光從第二照射部6的紅外光源向Z方向射出，則向Z方向透過太陽電池單元2的970nm的近紅外光透過分束器11之后，由第二拍攝部 的受光面接收。即，利用第二拍攝部7來拍攝970nm的紅外光所形成的透射影像。
電腦20包括中央處理器(Central Processing Unit, CPU)(控制部)21,而且連結(jié)有存儲器(memory)(未圖示)、監(jiān)視器(monitor)(未圖示)與操作部(未圖示)。若區(qū)塊化地對CPU21的處理功能進行說明，則CPU21包括對輥的旋轉(zhuǎn)的運轉(zhuǎn)及停止與旋轉(zhuǎn)速度進行控制的搬送驅(qū)動部21a ;對第一照射部4及第二照射部6進行控制的光源驅(qū)動部21b ； 對第一拍攝部5及第二拍攝部7進行控制的影像取得部21c ;以及基于反射影像及透射影像，判定太陽電池單元2是否存在缺陷的判定部2Id。
接著，對如下的檢查方法進行說明，該檢查方法是利用太陽電池單元檢查裝置1， 依次對太陽電池單元2進行拍攝。圖4是用以對檢查方法進行說明的流程圖。
首先，在步驟(st印)SlOl的處理中，表示太陽電池單元2的個數(shù)的個數(shù)參數(shù) (parameter) N=I0
接著，在步驟S102的處理中，搬送驅(qū)動部21a從左方向朝右方向(X方向)搬送太陽電池單元2，將太陽電池單元2配置在拍攝裝置10內(nèi)的規(guī)定的位置。然后，搬送驅(qū)動部 21a將停止(Stop)信號(太陽電池單元設(shè)置(set)完成、拍攝OK信號)予以輸出。
接著，在步驟S103的處理中，光源驅(qū)動部21b開始從藍色光源4a照射出470nm的光(開始)。接著，在步驟S104的處理中，影像取得部21c利用第一拍攝部5來拍攝470nm 的光所形成的反射影像，在步驟S103'的處理中，停止照射出470nm的光。此時，在0.1秒內(nèi)實施步驟S103的處理-步驟S103'的處理。
另一方面，在執(zhí)行步驟S103的處理-步驟S103'的處理的同時，在步驟S105的處理中，光源驅(qū)動部21b開始從紅色光源4c照射出660nm的光。接著，在步驟S106的處理中，影像取得部21c利用第二拍攝部7來拍攝660nm的光所形成的反射影像，在步驟S105' 的處理中，停止照射出660nm的光。此時，在0. I秒內(nèi)實施步驟S105的處理-步驟S105' 的處理。即，在0. I秒內(nèi)，取得470nm的光所形成的反射影像、與660nm的光所形成的反射影像這兩個影像。
接著，在步驟S107的處理中，光源驅(qū)動部21b開始從綠色光源4b照射出525nm的光。接著，在步驟S108的處理中，影像取得部21c利用第一拍攝部5來拍攝525nm的光所形成的反射影像，在步驟S107'的處理中，停止照射出525nm的光。此時，在0. I秒內(nèi)實施步驟S107的處理-步驟S107,的處理。
另一方面，在執(zhí)行步驟S107的處理-步驟S107'的處理的同時，在步驟S109的處理中，光源驅(qū)動部21b開始從第二照射部6的紅外光源照射出970nm的紅外光。接著，在步驟SllO的處理中，影像取得部21c利用第二拍攝部7來拍攝970nm的紅外光所形成的透射影像，在步驟S109'的處理中，停止照射出970nm的光。此時，在0. I秒內(nèi)實施步驟S109的處理-步驟S109'的處理。即，在0. I秒內(nèi)，取得525nm的光所形成的反射影像、與970nm 的紅外光所形成的透射影像這兩個影像。
接著，在步驟Slll的處理中，光源驅(qū)動部21b開始從第二照射部6的白色光源照射出白色光。接著，在步驟S112的處理中，影像取得部21c利用第一拍攝部5來拍攝白色光所形成的通過影像(透射影像)，在步驟Slll'的處理中，使白色光的照射停止。此時， 在0. I秒內(nèi)實施步驟Slll的處理-步驟Slll'的處理。接著，在拍攝了白色光所形成的通過影像之后，影像取得部21c將拍攝完成信號予以輸出。
接著,在步驟S113的處理中，判定N是否等于Nmax。當判定為N不等于Nmax時， 步驟S114的處理中，設(shè)為N = N+1。接著，在步驟S115的處理中，搬送驅(qū)動部21 a從左方向朝右方向(X方向)搬送N-I的太陽電池單元2，將該N-I的太陽電池單元2從拍攝裝置10 內(nèi)的規(guī)定的位置移除，并返回至步驟S102的處理。
另一方面，當判定為N = Nmax時,結(jié)束本流程。
如上所述，根據(jù)太陽電池單元檢查裝置1，包括分束器11，該分束器11將不足 600nm的光引導(dǎo)至第一拍攝部5，并且將600nm以上的光引導(dǎo)至第二拍攝部7，因此，可在相同的位置，同時對反射影像與透射影像進行拍攝，且可在O. 3秒內(nèi)，對一個太陽電池單元2 進行檢查。另外，為了對裂縫、小孔或缺損進行檢查，利用高分辨率的第二拍攝部7進行拍攝，為了對膜厚進行檢查，利用低分辨率的第一拍攝部5進行拍攝，因此，可體現(xiàn)出成本優(yōu)勢。
〈第二實施方式〉
圖5是表示本發(fā)明的第二實施方式即太陽電池單元檢查裝置的一例的概略構(gòu)成圖。再者，已對與所述太陽電池單元檢查裝置I相同的部分附上了相同的符號。
太陽電池單元檢查裝置101包括對太陽電池單元2進行搬送的晶圓搬送部(未圖示)；設(shè)置于晶圓搬送部的途中的拍攝裝置10 ;以及對整個太陽電池單元檢查裝置101 進行控制的電腦120。另外，拍攝裝置10包括箱狀的框體，在該框體內(nèi)部具有從搬送的太陽電池單元2的上部照射光的第一照射部4 ;對太陽電池單元2進行拍攝的第一 CCD傳感器相機105 ;從太陽電池單元2的下部照射光的第二照射部106 ;對太陽電池單元2進行拍攝的第二 (XD傳感器相機107 ;配置在第一 (XD傳感器相機105的受光面的前方的第一濾光器112 ;以及配置在第二 C⑶傳感器相機107的受光面的前方的第二濾光器111。
接著，對太陽電池單元檢查裝置101所檢查的太陽電池單元2的檢查項目進行說明。圖3(b)是表示太陽電池單元2的檢查項目的一例的表。
(I,)膜厚
向太陽電池單元2的上表面(第一面、表面)分別照射三種顏色(藍色(Blue)、綠色(Green)、及紅色(Red))的各種光，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃XD傳感器 105，分別接收太陽電池單元2的上表面所反射的各種光，獲得三個反射影像，借此，基于已獲得的三個反射影像的相對強度比(光譜)來對膜厚進行計算。
(2)裂縫
向太陽電池單元2的下表面(第二面、背面)照射紅外光(900nm-lIOOnm)，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃XD傳感器107，接收透過太陽電池單元2的紅外光，獲得透射影像，借此，基于已獲得的透射影像，判定太陽電池單元2的內(nèi)部是否存在裂縫。
(3)電極檢查
向太陽電池單元2的上表面照射紅色(Red)的光，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃XD傳感器107，接收太陽電池單元2的上表面所反射的紅色(Red)的光，獲得反射影像，借此，基于已獲得的反射影像，判定是否存在電極。
(4')缺損
向太陽電池單元2的上表面照射紅色(Red)的光，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃XD傳感器107，接收太陽電池單元2的上表面所反射的紅色(Red)的光，獲得反射影像，借此，基于已獲得的反射影像，判定太陽電池單元2是否存在缺損。
(5)表面缺陷
向太陽電池單元2的上表面照射紅色(Red)的光，利用配置于太陽電池單元2的上表面?zhèn)鹊腃XD傳感器107，接收太陽電池單元2的上表面所反射的紅色(Red)的光，獲得反射影像，借此，基于已獲得的反射影像，判定是否存在表面缺陷。
此處，對太陽電池單元檢查裝置101的構(gòu)成進行說明。
第二照射部106包括紅外線管，該紅外線管射出970nm的紅外光。而且，第二照射部106配置在太陽電池單元2的下部。借此，若射出970nm的紅外光，則970nm的紅外光向 Z方向?qū)μ栯姵貑卧?的下表面進行照射。
第一拍攝部105是O. 4M(768X494)像素的CXD相機。而且，第一拍攝部105是以使第一拍攝部105的受光面朝向下方(-Z方向)的方式,配置在太陽電池單兀2的上部。 另外，在第一拍攝部105的受光面的前方(-Z方向)配置有第一濾光器112,該第一濾光器 112對700nm(第一設(shè)定波長)以上的光進行反射，并且使不足700nm的光透射。
第二拍攝部107是5M(2456X2058)像素的CXD相機。而且，第二拍攝部107是以使第二拍攝部107的受光面朝向下方(-Z方向)的方式，配置在太陽電池單元2的上部。 另外，在第二拍攝部107的受光面的前方(-Z方向)配置有第二濾光器111，該第二濾光器 111對不足600nm(第二設(shè)定波長)的光進行反射，并且使600nm以上的光透射。再者，第一拍攝部105與第二拍攝部107相鄰地配置。
根據(jù)如上所述的太陽電池單元檢查裝置101，若660nm的光從紅色光源4c向-Z方向射出，貝1J在太陽電池單兀2的上表面向Z方向反射的660nm的光透過第一濾光器112與第二濾光器111之后，由第一拍攝部105的受光面與第二拍攝部107的受光面接收。即，利用第一拍攝部105與第二拍攝部107來拍攝660nm的光所形成的反射影像。
另外,若470nm的光從藍色光源4a向-Z方向射出，則在太陽電池單兀2的上表面向Z方向反射的470nm的光透過第一濾光器112之后，由第一拍攝部105的受光面接收。 即，利用第一拍攝部105來拍攝470nm的光所形成的反射影像。而且，若525nm的光從綠色光源4b向-Z方向射出，則在太陽電池單元2的上表面向Z方向反射的525nm的光透過第一濾光器112之后，由第一拍攝部105的受光面接收。S卩,利用第一拍攝部105來拍攝525nm 的光所形成的反射影像。
而且，若使970nm的近紅外光從第二照射部106的紅外光源向Z方向射出，則向Z 方向透過太陽電池單元2的970nm的近紅外光透過第二濾光器111之后，由第二拍攝部107 的受光面接收。即，利用第二拍攝部107來拍攝970nm的紅外光所形成的透射影像。
電腦120包括CPU(控制部)121，而且連結(jié)有存儲器(未圖示)、監(jiān)視器(未圖示)、 以及操作部(未圖示)。若區(qū)塊化地對CPU121的處理功能進行說明，則CPU121包括對輥的旋轉(zhuǎn)的運轉(zhuǎn)及停止與旋轉(zhuǎn)速度進行控制的搬送驅(qū)動部121a ;對第一照射部4及第二照射部106進行控制的光源驅(qū)動部121b ;對第一拍攝部105及第二拍攝部107進行控制的影像取得部121c ;以及基于反射影像及透射影像，判定太陽電池單元2是否存在缺陷的判定部 121d。
接著，對如下的檢查方法進行說明，該檢查方法是利用太陽電池單元檢查裝置 101，依次對太陽電池單元2進行拍攝。圖6是用以對檢查方法進行說明的流程圖。
首先，在步驟S201的處理中，表示太陽電池單元2的個數(shù)的個數(shù)參數(shù)N = I。
接著，在步驟S202的處理中，搬送驅(qū)動部121a從左方向朝右方向(X方向)搬送太陽電池單元2，將太陽電池單元2配置在拍攝裝置10內(nèi)的規(guī)定的位置。然后，搬送驅(qū)動部 121a將停止(Stop)信號(太陽電池單元設(shè)置(set)完成、拍攝OK信號)予以輸出。
接著，在步驟S203的處理中，光源驅(qū)動部121b開始從紅色光源4c照射出660nm的光。接著，在步驟S204的處理中，影像取得部121c利用第一拍攝部105與第二拍攝部107 來拍攝660nm的光所形成的反射影像,在步驟S203'的處理中，使660nm的光照射停止。此時，在O. I秒內(nèi)實施步驟S203的處理-步驟S203'的處理。即，在O. I秒內(nèi)，利用第一拍攝部105與第二拍攝部107，取得660nm的光所形成的反射影像。再者，如圖3(b)所示，針對紅色光源4c而由第一拍攝部105取得的影像用于膜厚檢查，由第二拍攝部107取得的影像用于電極檢查、缺損、及表面缺陷的檢查。
接著，在步驟S205的處理中，光源驅(qū)動部121b開始從藍色光源4a照射出470nm 的光。接著，在步驟S206的處理中，影像取得部121c利用第一拍攝部105來拍攝470nm的光所形成的反射影像，在步驟S205'的處理中，停止照射出470nm的光。此時，在O. I秒內(nèi)實施步驟S205的處理-步驟S205'的處理。
接著，在步驟S207的處理中，光源驅(qū)動部121b開始從綠色光源4b照射出525nm 的光。接著，在步驟S208的處理中，影像取得部121c利用第一拍攝部105來拍攝525nm的光所形成的反射影像，在步驟S207'的處理中，停止照射出525nm的光。此時，在O. I秒內(nèi)實施步驟S207的處理-步驟S207'的處理。
另一方面，在執(zhí)行步驟S205-步驟S208的處理的同時，在步驟S209的處理中，光源驅(qū)動部121b開始從紅外光源206照射出970nm的紅外光。接著，在步驟S210的處理中， 影像取得部121c利用第二拍攝部107來拍攝970nm的紅外光所形成的透射影像，在步驟 S209/的處理中，停止照射出970nm的光。此時，在O. 2秒內(nèi)實施步驟S209的處理-步驟 S209'的處理。即，在0.2秒內(nèi)，取得47011111的光所形成的反射影像、52511111的光所形成的反射影像、以及970nm的紅外光所形成的透射影像這三個影像。接著，在拍攝了 970nm的紅外光所形成的透射影像之后，影像取得部121c將拍攝完成信號予以輸出。
接著,在步驟S211的處理中，判定N是否等于Nmax。當判定為N不等于Nmax時， 在步驟S212的處理中，設(shè)為N = N+1。接著，在步驟S213的處理中，搬送驅(qū)動部121a從左方向朝右方向(X方向)搬送N-I的太陽電池單元2，將該N-I的太陽電池單元2從拍攝裝置10內(nèi)的規(guī)定的位置移除，并返回至步驟S202的處理。
另一方面，當判定為N = Nmax時,結(jié)束本流程。
如上所述，根據(jù)太陽電池單元檢查裝置101，在第一拍攝部105的受光面的前方配置有第一濾光器112,該第一濾光器112對700nm以上的光進行反射,并且使不足700nm的光透射，在第二拍攝部107的受光面的前方配置有第二濾光器111，該第二濾光器111對不足600nm的光進行反射，并且使600nm以上的光透射，因此，可在相同的位置，同時對反射影像與透射影像進行拍攝，可使感度所需的紅外透射影像的拍攝時間延長，且可在O. 3秒內(nèi)， 對一個太陽電池單元2進行檢查。另外，為了對裂縫、小孔或缺損進行檢查，利用高分辨率的第二拍攝部107進行拍攝，為了對膜厚進行檢查，利用低分辨率的第一拍攝部105進行拍攝，因此，可體現(xiàn)出成本優(yōu)勢。
〈其他實施方式〉
(I)在如上所述的太陽電池單元檢查裝置I中，包括第一拍攝部5與第二拍攝部7 這兩臺拍攝部，但也可包括三臺拍攝部。
(2)在如上所述的太陽電池單元檢查裝置I中，第一拍攝部5等為O. 4M (768 X 494) 像素的(XD相機,但拍攝部也可為(XD線傳感器、互補金屬氧化物半導(dǎo)體(Complementary Metal Oxide Semiconductor, CMOS)相機或彩色相機。
(3)在如上所述的太陽電池單元檢查裝置I中，第一照射部4包括射出470nm的光的藍色光源4a、射出525nm的光的綠色光源4b、以及射出660nm的光的紅色光源4c，但也可包括射出470nm的光的藍色光源、射出525nm的光的綠色光源、射出660nm的光的紅色光源、以及射出970nm的紅外光的紅外光源。
(4)在如上所述的太陽電池單元檢查裝置101中，第一拍攝部105與第二拍攝部 107相鄰地配置,但第一拍攝部105也可以使第一拍攝部105的受光面朝向右方(Y方向) 的方式配置，第二拍攝部107以使第二拍攝部107的受光面朝向下方(-Z方向)的方式配置，且半反射鏡配置為將50%的光向左方(-Y方向)反射，將該50%的光引導(dǎo)至第一拍攝部105的受光面，并且使50%的光向Z方向透射，將該50%的光引導(dǎo)至第二拍攝部107的受光面。
[產(chǎn)業(yè)上的可利用性]
本發(fā)明可利用于太陽電池單元檢查裝置等。
以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。權(quán)利要求
1.一種太陽電池單元檢查裝置，其特征在于包括 第一照射部，向平板形狀的半導(dǎo)體晶圓的第一面照射可見光； 第一拍攝部，接收所述半導(dǎo)體晶圓所反射的所述可見光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的反射影像； 第二照射部，向與所述半導(dǎo)體晶圓的所述第一面相向的所述半導(dǎo)體晶圓的第二面照射紅外光； 第二拍攝部，接收透過所述半導(dǎo)體晶圓的所述紅外光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的透射影像；以及 判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在缺陷，上述太陽電池單元檢查裝置的特征在于 包括配置在所述第一拍攝部及所述第二拍攝部之間的分束器， 所述分束器將不足設(shè)定波長的光引導(dǎo)至第一拍攝部，并且將設(shè)定波長以上的光引導(dǎo)至弟~■拍攝部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于 所述第二拍攝部的分辨率高于所述第一拍攝部的分辨率。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于 所述第一照射部包括藍色光源、綠色光源、以及紅色光源， 所述第二照射部包括紅外光源。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于 所述半導(dǎo)體晶圓為太陽電池單元， 所述判定部判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在選自膜厚、裂縫、電極檢查、缺損、以及表面缺陷中的至少一種缺陷。
5.一種太陽電池單元檢查裝置，其特征在于包括 第一照射部，向平板形狀的半導(dǎo)體晶圓的第一面照射可見光； 第一拍攝部，接收所述半導(dǎo)體晶圓所反射的所述可見光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的反射影像； 第二照射部，向與所述半導(dǎo)體晶圓的所述第一面相向的所述半導(dǎo)體晶圓的第二面照射紅外光； 第二拍攝部，接收透過所述半導(dǎo)體晶圓的所述紅外光，借此，取得所述半導(dǎo)體晶圓的透射影像；以及 判定部，基于所述反射影像及所述透射影像，判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在缺陷，上述太陽電池單元檢查裝置的特征在于 在所述第一拍攝部的受光面的前方配置有第一濾光器，該第一濾光器使不足第一設(shè)定波長的光透射，并且對第一設(shè)定波長以上的光進行反射， 在所述第二拍攝部的受光面的前方配置有第二濾光器，該第二濾光器使第二設(shè)定波長以上的光透射，并且對不足第二設(shè)定波長的光進行反射。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于 包括配置在所述第一拍攝部及所述第二拍攝部之間的半反射鏡， 所述半反射鏡將一部分的光引導(dǎo)至所述第一拍攝部，并且將剩余的光引導(dǎo)至所述第二拍攝部。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于 所述第一設(shè)定波長為比所述第二設(shè)定波長更長的波長。
8.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于 所述第二拍攝部的分辨率高于所述第一拍攝部的分辨率。
9.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于 所述第一照射部包括藍色光源、綠色光源、以及紅色光源， 所述第二照射部包括紅外光源。
10.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的太陽電池單元檢查裝置，其特征在于 所述半導(dǎo)體晶圓為太陽電池單元， 所述判定部判定所述半導(dǎo)體晶圓是否存在選自膜厚、裂縫、電極檢查、缺損、以及表面缺陷中的至少一種缺陷。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種太陽電池單元檢查裝置，可在相同的位置，同時對反射影像與透射影像進行拍攝。太陽電池單元檢查裝置包括向半導(dǎo)體晶圓的第一面照射可見光的第一照射部；接收半導(dǎo)體晶圓所反射的可見光以取得半導(dǎo)體晶圓的反射影像的第一拍攝部；向與半導(dǎo)體晶圓的第一面相向的第二面照射紅外光的第二照射部；接收透過半導(dǎo)體晶圓的紅外光以取得半導(dǎo)體晶圓的透射影像的第二拍攝部；基于反射影像及透射影像，判定半導(dǎo)體晶圓是否存在缺陷的判定部。上述太陽電池單元檢查裝置的特征在于包括配置在第一拍攝部及第二拍攝部之間的分束器。
文檔編號H01L21/66GK102983089SQ20121018415
公開日2013年3月20日 申請日期2012年5月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月6日
發(fā)明者高見芳夫, 橋本豊之, 北原大 申請人:株式會社島津制作所