曝光裝置及其檢查方法
【專利摘要】提供一種在印刷布線基板等的曝光裝置中能夠檢測成為光源的放電燈是否為正品的曝光裝置及其檢查方法。該曝光裝置(100)的特征在于，具備：包括放電燈(1)、白熾燈(2)和反射體容器(3)的1個(gè)或多個(gè)光源裝置(4)、安裝所述光源裝置(4)的框架(5)、向所述白熾燈2提供電流的恒流電源(8)、對來自所述恒流電源(8)的所述電流進(jìn)行通斷的開關(guān)(10)、對所述開關(guān)(10)在規(guī)定的時(shí)間進(jìn)行通斷的控制部(9)、對所述白熾燈(2)的兩端電壓進(jìn)行測量的測量部(11)、比較所述兩端電壓和規(guī)定的電壓范圍的比較部(12)、使用所述比較結(jié)果來判定所述放電燈(1)是否為正品的判定部(13)以及顯示部(14)。
【專利說明】
曝光裝置及其檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種在用于印刷布線基板等的曝光的曝光裝置中具備用于檢測作為光源的放電燈是否為正品的白熾燈的曝光裝置及其檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，為了在電子設(shè)備上安裝部件而使用了在樹脂、玻璃環(huán)氧材料的基板上以銅等金屬形成了布線圖案的印刷布線基板。為了向這些印刷布線基板上形成布線圖案而使用了光刻技術(shù)。其在整面形成有成為布線的金屬層的基板整面上涂敷作為感光性藥劑的光致抗蝕劑，通過與布線圖案相同的光掩模來對其照射來自曝光裝置的照射光。在光致抗蝕劑中，有光致抗蝕劑的溶解性由于照射光而降低的負(fù)型光致抗蝕劑以及相反地光致抗蝕劑的溶解性由于照射光而增大的正型光致抗蝕劑。當(dāng)對溶解性由于照射光而相對增大的光致抗蝕劑部分進(jìn)行化學(xué)處理而將其除掉、并利用蝕刻來去除暴露出的金屬層時(shí)，只殘留位于殘留有光致抗蝕劑的部分之下的金屬層，去除光致抗蝕劑，從而將布線圖案形成在基板上。在將照射光向正型、負(fù)型中的某種光致抗蝕劑進(jìn)行照射的情況下，為了遍及照射面整面地確保均勻的曝光量，還需要以均勻的照度將穩(wěn)定的照射光照射固定的時(shí)間。
[0003]另一方面，在印刷布線基板中，為了制造工序的高效化而使印刷布線基板大型化，在基板完成后進(jìn)行分割而小型化，用于所期望的電子設(shè)備。伴隨著印刷布線基板的大型化，曝光裝置制造商要將作為光源的放電燈大型化為高照度、或者作為使用了多個(gè)低照度的小型放電燈的多個(gè)燈的光源而確保均勻的曝光量。例如，代替使用I個(gè)8kW的高壓放電燈的光源而是使用4個(gè)2kW的高壓放電燈的光源等。低照度的放電燈與高照度的放電燈相比在制造難度、制造成本上有優(yōu)勢，銷售了大量具有多燈的光源的曝光裝置。
[0004]然而，伴隨著光源的多燈化，由于確保均勻的曝光量的必要性，多個(gè)放電燈彼此的均質(zhì)性變得更為重要。因此，為了穩(wěn)定曝光裝置的性能、制造可靠性高的印刷布線基板，需要只使用由同一制造商以同一材料、同一工藝制作的正品的放電燈，需要識(shí)別放電燈是否為正品的裝置以及檢查方法。
[0005]不限于曝光裝置，在光學(xué)裝置中已知有幾個(gè)識(shí)別所使用的放電燈、光源的方法(例如，參照日本特公平7-52677號公報(bào)(專利文獻(xiàn)I )、日本特表2010-527504號公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)以及日本特開昭62-43059號公報(bào)(專利文獻(xiàn)3)。)。例如，在專利文獻(xiàn)I所述的燈異常檢測裝置中，向鹵素?zé)舻仁褂昧藷艚z的白熾電燈泡提供規(guī)定的電壓，比較燈絲半切斷狀態(tài)時(shí)的電流值和燈絲正常時(shí)的電流值來檢測有異常的燈。然而，通過這種方法，即使能夠檢測燈的壽命也難以識(shí)別燈是否為正品。
[0006]另外，例如在專利文獻(xiàn)2中，設(shè)為將白熾燈或者熒光燈這樣的光源與并聯(lián)連接了電阻以及電容器的電路進(jìn)行連接，測量向該光源的兩端提供規(guī)定的電壓時(shí)的時(shí)間常數(shù)(電阻值和電容值的乘積)來檢測光源是白熾燈還是熒光燈。然而，通過這種方法，即使能夠檢測時(shí)間常數(shù)的較大的差異(在白熾燈和熒光燈中時(shí)間常數(shù)大為不同)也難以識(shí)別是否為相同白熾燈間的正品。另外，例如在專利文獻(xiàn)3中，設(shè)為在向封入到同一白熾電燈泡的燈泡內(nèi)的多個(gè)燈絲發(fā)射紫外線的同時(shí)測量這些燈絲間的放電開始電壓來檢測不合格品。然而，通過這種方法即使能夠檢測不合格品也難以識(shí)別燈是否為正品。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]為了將正品的光源與由其它制造商制造出的類似品的光源進(jìn)行識(shí)別，與如專利文獻(xiàn)I以及3那樣識(shí)別光源是否不合格、或者如專利文獻(xiàn)2那樣識(shí)別是否為異種光源相比，需要更高精度的識(shí)別裝置。另外，還需要同時(shí)解決不使多個(gè)光源的檢查時(shí)間大幅超過曝光裝置的起動(dòng)時(shí)間、不使曝光裝置整體的成本大幅增加這樣的課題。
[0008]本發(fā)明是鑒于上述的課題而做出的，其目的在于提供一種在用于印刷布線基板等的曝光的曝光裝置中具備用于高精度、短時(shí)間且低成本地識(shí)別成為光源的放電燈是否為正品的白熾燈的曝光裝置及其檢查方法。
[0009]為了解決上述課題，本發(fā)明中的權(quán)利要求1所述的發(fā)明，例如圖1所示如下地構(gòu)成第I曝光裝置100。即，第I曝光裝置100的特征在于，具備:
[0010]I個(gè)或多個(gè)光源裝置4，包括成為光源的放電燈1、檢測所述放電燈I是否為正品的白熾燈2以及安裝有所述放電燈I和所述白熾燈2的反射體容器3;框架5，朝向被照射物地安裝所述光源裝置4;恒流電源8，向所述白熾燈2提供電流;開關(guān)10，對來自所述恒流電源8的所述電流進(jìn)行通斷;控制部9，在所述放電燈I的點(diǎn)亮中對所述開關(guān)10進(jìn)行通斷使所述白熾燈2點(diǎn)亮規(guī)定的時(shí)間；測量部11，測量點(diǎn)亮中的所述白熾燈2的兩端電壓；比較部12，比較由所述測量部11測量出的所述兩端電壓和判定放電燈I是否為正品的規(guī)定的上限值以及下限值的電壓范圍；判定部13，接受來自所述比較部12的信號，在所述兩端電壓在所述規(guī)定的上限值以及下限值的電壓范圍內(nèi)的情況下判定檢查對象放電燈為正品，在所述兩端電壓在所述規(guī)定的上限值以及下限值的電壓范圍外的情況下判定檢查對象放電燈為非正品；以及顯示部14，顯示判定結(jié)果。
[0011]另外，權(quán)利要求2所述的發(fā)明例如圖1所示，如下地構(gòu)成第2曝光裝置101。即，第2曝光裝置101的特征在于，具備:
[0012]I個(gè)?多個(gè)光源裝置4，包括成為光源的放電燈1、檢測所述放電燈I是否為正品的白熾燈2、以及安裝有所述放電燈I和所述白熾燈2的反射體容器3;框架5，朝向被照射物地安裝所述光源裝置4;恒流電源8，向所述白熾燈2提供電流;開關(guān)10，對來自所述恒流電源8的所述電流進(jìn)行通斷;控制部9，在所述放電燈I的點(diǎn)亮中通斷所述開關(guān)10使所述白熾燈2點(diǎn)亮規(guī)定的時(shí)間；測量部15，對點(diǎn)亮中的所述白熾燈2的兩端電壓分別在規(guī)定時(shí)間測量2次;比較部16，比較由所述測量部15第I次測量該白熾燈2時(shí)的電壓和第2次測量時(shí)的電壓之差、和判定放電燈是否為正品的規(guī)定的上限值以及下限值的電壓差范圍；判定部17，接受來自所述比較部16的信號，在所述第I次測量時(shí)的電壓和第2次測量時(shí)的電壓之差在所述規(guī)定的上限值以及下限值的電壓差范圍內(nèi)的情況下判定檢查對象放電燈為正品，在所述第I次測量時(shí)的電壓和第2次測量時(shí)的電壓之差在所述規(guī)定的上限值以及下限值的電壓差范圍外的情況下判定檢查對象放電燈為非正品；以及顯示部14，顯示判定結(jié)果。
[0013]另外，權(quán)利要求3所述的發(fā)明涉及一種放電燈I的檢查方法，
[0014]其特征在于，在裝備有包括成為光源的所述放電燈1、檢測所述放電燈I是否為正品的白熾燈2以及安裝了所述放電燈I和所述白熾燈2的反射體容器3的多個(gè)光源裝置4的權(quán)利要求I所述的曝光裝置100或者權(quán)利要求2所述的曝光裝置101中，所述控制部9在所述放電燈I的點(diǎn)亮中依次對所述白熾燈2進(jìn)行通斷來依次檢查所述放電燈I是否為正品。
[0015]根據(jù)權(quán)利要求1所述的發(fā)明，在收納到同一反射體容器的放電燈和白熾燈中，放電燈作為光源、白熾燈作為產(chǎn)生用于識(shí)別放電燈是否純正的固有電壓的電阻裝置而被利用。在將白熾燈安裝進(jìn)反射體容器之前，向白熾燈單體提供恒定電流，測量經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后的白熾燈的兩端的電壓。在相同條件下測量多個(gè)白熾燈的兩端的電壓，確定電壓分布范圍。之后，在收納到同一反射體容器的放電燈和白熾燈中，比較以與上述相同的條件測量的白熾燈的兩端的電壓和上述的電壓分布范圍，如果測量出的電壓在該電壓分布范圍內(nèi)，則能夠識(shí)別為與測量了的白熾燈在同一反射體容器內(nèi)的放電燈為正品。在上述的曝光裝置中，對全部的放電燈依次進(jìn)行上述的比較判定，能夠短時(shí)間、低成本且高精度地識(shí)別放電燈為正品。另外，在上述的發(fā)明中，如果測量I次白熾燈的兩端的電壓則能夠識(shí)別是否為正品。
[0016]本發(fā)明的曝光裝置中使用通常的白熾燈，其燈絲的材質(zhì)是鎢等，由于燈絲產(chǎn)生的熱，燈絲的電阻值表示固有的溫度變化。因此，在緊接著向白熾燈提供恒定電流之后燈絲的溫度還低時(shí)，其電阻值非常小(幾歐姆左右)，測量此時(shí)的白熾燈的兩端的電壓，接著在燈絲的溫度充分上升了時(shí)(攝氏600度以上)，其電阻值增加幾倍，測量此時(shí)的電壓，當(dāng)測量兩者的電壓之差時(shí)成為燈絲固有的電壓差。
[0017]根據(jù)權(quán)利要求2所述的發(fā)明，通過利用由于上述的燈絲固有的溫度導(dǎo)致的電壓差，能夠更高精度地識(shí)別正品。在將白熾燈安裝進(jìn)反射體容器之前，向白熾燈單體提供恒定電流，首先緊接著向白熾燈開始恒定電流供給之后測量燈絲的溫度低時(shí)的白熾燈的兩端的電壓，接著在經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后測量燈絲的溫度充分上升了時(shí)的兩端的電壓，測量兩者的電壓差。以相同的條件測量多個(gè)白熾燈的兩端的電壓，確定電壓差分布范圍。之后，在收納到同一反射體容器的放電燈和白熾燈中，比較以與上述相同的條件測量出的白熾燈的電壓差和上述的電壓差分布范圍，如果測量出的電壓差在該電壓差分布范圍內(nèi)，則能夠識(shí)別為與白熾燈同一反射體容器內(nèi)的放電燈為正品。在上述的曝光裝置中，對全部的放電燈依次進(jìn)行上述的比較判定，能夠短時(shí)間、低成本且更高精度地識(shí)別放電燈是否為正品。
[0018]在上述的發(fā)明中，測量2次白熾燈的兩端的電壓，測量由第I次和第2次的溫度導(dǎo)致的電壓差并進(jìn)行比較，因此即使在比較判定具備代替白熾燈而連接了具有與白熾燈的燈絲相同的電阻值的固定電阻器等的不是正品的放電燈的光學(xué)裝置的情況下，由固定電阻器等的溫度導(dǎo)致的電壓差與白熾燈大幅不同，因此能夠識(shí)別該光學(xué)裝置的放電燈不是正品。
【附圖說明】
[0019]圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的曝光裝置的概要圖。
[°02°]圖2是表不本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的光源部的俯視圖。
[0021]圖3是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的光源裝置的截面圖。
[0022]圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施例1的開關(guān)的通斷和白熾燈的兩端電壓測量的定時(shí)的時(shí)序圖。
[0023]圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施例2的開關(guān)的通斷和白熾燈的兩端電壓測量的定時(shí)的時(shí)序圖。
【具體實(shí)施方式】
[0024]以下，根據(jù)圖1?圖5來說明本發(fā)明。此外，在各標(biāo)記中，在將各部位以上位概念表示的情況下不帶字母的副編號而只以阿拉伯?dāng)?shù)字表示，在需要區(qū)別各部位的情況下(即以下位概念表示的情況)，將小寫字母的副編號附加到阿拉伯?dāng)?shù)字進(jìn)行區(qū)別。另外，在附圖的說明中，對同一要素附加相同標(biāo)記，省略重復(fù)的說明。
[0025]圖3是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的光源裝置4的截面圖。放電燈I具有:發(fā)光管ld，具備具有封入了水銀等發(fā)光物質(zhì)的內(nèi)部空間Ia的發(fā)光部Ib以及將發(fā)光部Ib的內(nèi)部空間Ia密封的一對密封部I c; 一對電極Ie，在發(fā)光部Ib內(nèi)相互對置地配置；以及一對供電線If，用于供電。白熾燈2是通常的白熾燈，燈絲2a使用將鎢等加工為線圈狀而得到的絲。鎢的電阻值在常溫下非常小，但是由于燈絲的發(fā)熱(攝氏600度以上)，電阻值變大為幾倍。作為反射體容器3的材質(zhì)，考慮玻璃或者鋁等，在內(nèi)側(cè)形成具有旋轉(zhuǎn)拋物面的反射面3a。反射體容器3在碗狀底部的外側(cè)包覆有基部3b，其接合部用粘接劑3e固定。另外基部3b的底部被蓋部3c覆蓋，其接合部用帽(cap)結(jié)構(gòu)固定?；?b以及蓋部3c是在內(nèi)部具有收容白熾燈2的收容空間3g的構(gòu)件，優(yōu)選是以絕緣性以及導(dǎo)熱性高的材料形成。
[0026]放電燈I的密封部Ic的一方插入到形成于反射體容器3的碗狀底部的插入孔3f，與插入孔3f通過粘接劑等來固定。另外，密封部Ic的一方配置成貫通基部3b的插入孔3d而到達(dá)蓋部3c的內(nèi)部空間。白熾燈2配置于由基部3b和蓋部3c形成的收容空間3g。光源裝置4與放電燈I的一對供電導(dǎo)線If和白熾燈2的一對供電線2b這共計(jì)四根供電線連接。
[0027]圖2是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的光源部6的俯視圖。在框架5縱向4列、橫向6列地分別安裝了光源裝置4，構(gòu)成光源部6。
[0028]圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施例1以及2的曝光裝置的概要圖，在向被照射物照射照射光的光源部6中安裝多個(gè)光源裝置4，各個(gè)光源裝置4與向放電燈I提供電力的點(diǎn)亮電路7以及向白熾燈2提供恒定電流的恒流電源8連接。在恒流電源8與白熾燈2之間串聯(lián)連接將恒定電流進(jìn)行通斷的開關(guān)10，該開關(guān)10是通過控制部9來進(jìn)行通斷的。另外，在恒流電源8與白熾燈2之間串聯(lián)連接電阻30，在白熾燈2發(fā)生短路故障的情況下保護(hù)恒流電源8。白熾燈2的兩端還與測量部11連接，以能夠測量電壓，電阻I Ia表示測量部11的內(nèi)部電阻，是與白熾燈2的燈絲2a的電阻值相比充分大的電阻值(幾兆歐左右)，因此測量部11能夠準(zhǔn)確地測量燈絲2a產(chǎn)生的電壓。
[0029]在比較部12中登記了以預(yù)先規(guī)定的條件測量出的多個(gè)正品檢測用的白熾燈的電壓分布范圍，判定部13根據(jù)比較部12的比較結(jié)果判定放電燈是否為正品，顯示部14顯示其判定結(jié)果。在圖1中，附圖標(biāo)記有括弧的測量部15、比較部16、判定部17以及曝光裝置101在實(shí)施例2中使用與實(shí)施例1的測量部11、比較部12、判定部13分別相同的結(jié)構(gòu)，這種情況下表示是曝光裝置101。在比較部16中以預(yù)先規(guī)定的條件登記了對多個(gè)正品檢測用的白熾燈以規(guī)定的時(shí)間間隔測量了 2次時(shí)的電壓差的分布范圍。
[0030][實(shí)施例1]
[0031 ]在圖1中，當(dāng)接通曝光裝置100的電源開關(guān)時(shí)，點(diǎn)亮電路7向全部的放電燈I提供電力。通常，放電燈I完全啟動(dòng)需要幾分鐘。在曝光裝置100剛剛接通電源開關(guān)之后，控制部9將與光源裝置4內(nèi)的第I白熾燈2連接的第I開關(guān)10設(shè)為導(dǎo)通，從恒流電源8提供恒定電流。在從第I開關(guān)10的導(dǎo)通時(shí)起的規(guī)定時(shí)間后(例如10秒后)由測量部11測量第I白熾燈2的兩端電壓，將該結(jié)果發(fā)送給比較部12，比較部12比較該結(jié)果和預(yù)先登記在比較部12中的多個(gè)正品檢測用的白熾燈的電壓分布范圍，將是否在登記電壓范圍內(nèi)發(fā)送給判定部13，如果在登記電壓范圍內(nèi)，則判定部13判定相對應(yīng)的放電燈I為正品，如果在登記范圍外，則判定相對應(yīng)的放電燈I為非正品，將其判定結(jié)果顯示到顯示部14。從測量至顯示為止的檢查是自動(dòng)地進(jìn)行的，因此以極短時(shí)間內(nèi)結(jié)束。
[0032]在第I白熾燈2的電壓測量結(jié)束后，控制部9將與第I白熾燈2連接的第I開關(guān)10設(shè)為斷開，將與第2白熾燈2連接的第2開關(guān)10設(shè)為導(dǎo)通，從恒流電源8提供恒定電流。以后與第I白熾燈2的情況相同地判定相對應(yīng)的放電燈I是否為正品，進(jìn)行相同的檢查直到結(jié)束全部的白熾燈2的檢查為止。
[0033]在光源部6由24個(gè)的放電燈構(gòu)成的情況下，每個(gè)燈需要例如10秒，在這種情況下用240秒(4分鐘)結(jié)束檢查。因此，如果考慮一般的放電燈的啟動(dòng)時(shí)間為幾分鐘左右、曝光裝置整體的起動(dòng)時(shí)間通常為1分鐘左右，則能夠以充分短的時(shí)間結(jié)束檢查。
[0034]此時(shí)，在白熾燈2的電壓在登記電壓范圍外、判定部13判定相對應(yīng)的放電燈I為非正品的情況下，優(yōu)選顯示部14顯示確定相應(yīng)的放電燈的位置的信息及該放電燈為非正品的意思，控制部9能夠臨時(shí)中斷檢查、之后由操作員等確認(rèn)后再次開始檢查。另外，作為其它應(yīng)對方式，更優(yōu)選即使在檢測出非正品的放電燈的情況下，也不中斷檢測地進(jìn)行全部的放電燈的檢查，將與由顯示部14顯示檢查結(jié)果的情況相同的信息另外保存在存儲(chǔ)裝置等中，在全部的放電燈的檢查結(jié)束后能夠一并顯示非正品的放電燈的位置信息等。
[0035]圖4中示出開關(guān)10的通斷的定時(shí)和測量部11的測量定時(shí)的關(guān)系。在圖4中示出:在從與第I白熾燈2連接的第I開關(guān)10成為導(dǎo)通時(shí)起的規(guī)定的時(shí)間后測量第I白熾燈2的兩端的電壓，在緊接測量之后與第I白熾燈2連接的第I開關(guān)10成為斷開，與第2白熾燈2連接的第2開關(guān)10成為導(dǎo)通，在規(guī)定的時(shí)間之后測量第2白熾燈2的兩端的電壓，以后同樣地測量全部的白熾燈2的兩端電壓。上述的結(jié)構(gòu)是在以往的多燈類型的曝光裝置中追加了恒流電源8、開關(guān)10、控制部9、測量部11、比較部12、判定部13、顯示部14后的結(jié)構(gòu)，特別是控制部9、比較部12、判定部13也能夠由I臺(tái)微計(jì)算機(jī)等來實(shí)現(xiàn)，不會(huì)大大增加曝光裝置的成本。
[0036][實(shí)施例2]
[0037]在圖1中，與實(shí)施例1不同的要素是測量部15(內(nèi)部電阻為電阻15a)、比較部16、判定部17，其它要素相同。省略與實(shí)施例1相同的要素的說明。在曝光裝置101剛剛接通電源開關(guān)之后，將與光源裝置4內(nèi)的第I白熾燈2連接的第I開關(guān)10設(shè)為導(dǎo)通來從恒流電源8提供恒定電流。在緊接其之后由測量部15來進(jìn)行第I白熾燈2的兩端電壓的第I次測量，將該結(jié)果發(fā)送給比較部16。接著從第I次測量起規(guī)定時(shí)間后(例如10秒后)由測量部15來進(jìn)行第I白熾燈2的兩端電壓的第2次測量，將該結(jié)果發(fā)送給比較部16，比較部16比較2次測量電壓之差的電壓、和預(yù)先登記在比較部16的多個(gè)正品檢測用的白熾燈的電壓差分布范圍，將是否在所登記的電壓差范圍內(nèi)發(fā)送給判定部17，如果在登記范圍內(nèi)則判定部17判定所對應(yīng)的放電燈I為正品，如果在登記范圍外則判定所對應(yīng)的放電燈I為非正品，將該判定結(jié)果顯示到顯示部
14。從測量至顯示為止的檢查是自動(dòng)地進(jìn)行的，因此在極短時(shí)間內(nèi)結(jié)束。
[0038]在第I白熾燈2的2次電壓測量結(jié)束后，控制部9將與第I白熾燈2連接的第I開關(guān)1設(shè)為斷開，將與第2白熾燈2連接的第2開關(guān)10設(shè)為導(dǎo)通，從恒流電源8提供恒定電流。以后與第I白熾燈2的情況同樣地判定相對應(yīng)的放電燈I為正品，進(jìn)行相同的檢查直到全部的白熾燈的檢查結(jié)束為止。
[0039]圖5中示出開關(guān)10的通斷的定時(shí)和測量部15的測量定時(shí)的關(guān)系。在圖5中示出:緊接與第I白熾燈2連接的第I開關(guān)10成為導(dǎo)通之后進(jìn)行第I次的第I白熾燈2的兩端的電壓測量，然后在規(guī)定的時(shí)間后進(jìn)行第2次的第I白熾燈2的兩端的電壓測量，在緊接第2次測量之后與第I白熾燈2連接的第I開關(guān)10成為斷開，與第2白熾燈2連接的第2開關(guān)10成為導(dǎo)通，緊接其之后進(jìn)行第I次的第2白熾燈2的兩端的電壓測量，然后在規(guī)定的時(shí)間后進(jìn)行第2次的第2白熾燈2的兩端的電壓測量，在緊接第2次測量之后與第2白熾燈2連接的第2開關(guān)10成為斷開，以后同樣地對全部的白熾燈2的兩端電壓各測量2次。
[0040]在實(shí)施例2中，在第I次以及第2次的電壓測量時(shí)間的設(shè)定中，開關(guān)10為導(dǎo)通狀態(tài)的時(shí)間段能夠設(shè)定任意時(shí)間。在白熾燈的電壓差為所登記的電壓差范圍外、并且判定部17判定所對應(yīng)的放電燈I為非正品的情況下，優(yōu)選采取與實(shí)施例1的情況相同的應(yīng)對。另外，在實(shí)施例I中，還能夠通過變更控制控制部9、測量部11、比較部12、判定部13、顯示部14的計(jì)算機(jī)程序來不變更硬件結(jié)構(gòu)地實(shí)現(xiàn)實(shí)施例2。
[0041]在本發(fā)明的曝光裝置100(101)中，在光源裝置4的臺(tái)數(shù)多、并且這些白熾燈2的檢查時(shí)間大幅超過曝光裝置100 (1I)的啟動(dòng)時(shí)間的情況下，將控制部9、恒流電源8、測量部11
(15)、比較部12(16)、判定部13(17)、顯示部14增設(shè)與白熾燈2的檢查所需的臺(tái)數(shù)相應(yīng)的數(shù)量，使它們并聯(lián)地進(jìn)行工作來并行地進(jìn)行白熾燈2的檢查，由此能夠不增加檢查時(shí)間地應(yīng)對光源裝置4的臺(tái)數(shù)增加而進(jìn)行檢查。
[0042]本發(fā)明不僅能夠利用于在印刷布線基板上形成布線圖案的曝光工序用的曝光裝置，而且還能夠利用于在利用了放電燈的液晶顯示面板用、半導(dǎo)體器件用等所有曝光裝置和部件的外觀檢查裝置等具有多個(gè)燈的光源裝置中需要正品的放電燈的裝置中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種曝光裝置，其特征在于，具備: I個(gè)或多個(gè)光源裝置，該光源裝置包括成為光源的放電燈、檢測所述放電燈是否為正品的白熾燈以及安裝有所述放電燈以及所述白熾燈的反射體容器； 框架，朝向被照射物地安裝所述光源裝置； 恒流電源，向所述白熾燈提供電流； 開關(guān)，對來自所述恒流電源的所述電流進(jìn)行通斷； 控制部，在所述放電燈的點(diǎn)亮中對所述開關(guān)進(jìn)行通斷來使所述白熾燈點(diǎn)亮規(guī)定的時(shí)間； 測量部，測量點(diǎn)亮中的所述白熾燈的兩端電壓； 比較部，比較由所述測量部測量出的所述兩端電壓和判定所述放電燈是否為正品的規(guī)定的上限值以及下限值的電壓范圍； 判定部，接受來自所述比較部的信號，在所述兩端電壓在所述規(guī)定的上限值以及下限值的電壓范圍內(nèi)的情況下，判定檢查對象放電燈為正品，在所述兩端電壓在所述規(guī)定的上限值以及下限值的電壓范圍外的情況下，判定檢查對象放電燈為非正品；以及顯示部，顯示判定結(jié)果。2.一種曝光裝置，其特征在于，具備: I個(gè)或多個(gè)光源裝置，該光源裝置包括成為光源的放電燈、檢測所述放電燈是否為正品的白熾燈以及安裝有所述放電燈和所述白熾燈的反射體容器； 框架，朝向被照射物地安裝所述光源裝置； 恒流電源，向所述白熾燈提供電流； 開關(guān)，對來自所述恒流電源的所述電流進(jìn)行通斷； 控制部，在所述放電燈的點(diǎn)亮中對所述開關(guān)進(jìn)行通斷來使所述白熾燈點(diǎn)亮規(guī)定的時(shí)間； 測量部，分別在規(guī)定的時(shí)間測量2次點(diǎn)亮中的所述白熾燈的兩端電壓； 比較部，比較由所述測量部第I次測量該白熾燈時(shí)的電壓與第2次測量時(shí)的電壓之差、和判定所述放電燈是否為正品的規(guī)定的上限值以及下限值的電壓差范圍； 判定部，接受來自所述比較部的信號，在所述第I次測量時(shí)的電壓與第2次測量時(shí)的電壓之差在所述規(guī)定的上限值以及下限值的電壓差范圍內(nèi)的情況下，判定檢查對象放電燈為正品，在所述第I次測量時(shí)的電壓與第2次測量時(shí)的電壓之差在所述規(guī)定的上限值以及下限值的電壓差范圍外的情況下，判定檢查對象放電燈為非正品；以及顯示部，顯示判定結(jié)果。3.—種放電燈的檢查方法，其特征在于，在裝備有包括成為光源的所述放電燈、檢測所述放電燈是否為正品的白熾燈以及安裝有所述放電燈和所述白熾燈的反射體容器的多個(gè)光源裝置的權(quán)利要求1或者2所述的曝光裝置中， 所述控制部在所述放電燈的點(diǎn)亮中依次對所述白熾燈進(jìn)行通斷來依次檢查所述放電燈是否為正品。
【文檔編號】H05B37/03GK106061077SQ201610225945
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年4月13日 公開號201610225945.2, CN 106061077 A, CN 106061077A, CN 201610225945, CN-A-106061077, CN106061077 A, CN106061077A, CN201610225945, CN201610225945.2
【發(fā)明人】谷田敏昭
【申請人】鳳凰電機(jī)公司