專利名稱：電子元器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子元器件，涉及內(nèi)置熱敏電阻的電子元器件。
背景技術(shù)：
作為內(nèi)置熱敏電阻的以往的電子元器件，例如，已知專利文獻l所披露的
層疊熱敏電阻。圖10是該層疊熱敏電阻110的結(jié)構(gòu)圖。圖10 (a)是從層疊方 向(z軸方向)透視層疊熱敏電阻110的圖，圖10 (b)是層疊熱敏電阻110 的xz平面的截面構(gòu)造圖。層疊熱敏電阻110包括與外部電極114a連接的內(nèi) 部電極106a;與外部電極114b連接的內(nèi)部電極106b;與內(nèi)部電極106a及內(nèi) 部電極106b互相重疊而配置的內(nèi)部電極107。
而且，內(nèi)置熱敏電阻的電子元器件被用于移動電話、個人計算機或者電源 部件等各種用途。因此，希望不用大幅改變熱敏電阻的期望的電阻變化率或耐 壓等特性就能增加熱敏電阻的電阻值的變動，以能夠?qū)?yīng)各種用途。g卩，在具 有各種電阻值的熱敏電阻之中，希望一種不用大幅改變其構(gòu)造就可以容易地在 微小的范圍內(nèi)調(diào)整電阻值的電子元器件。
然而，在專利文獻1所披露的層疊熱敏電阻110中，如下面的說明，難以 在不大幅改變其構(gòu)造的條件下改變電阻值。更詳細而言，層疊熱敏電阻110的 電阻值取決于內(nèi)部電極106a與內(nèi)部電極107重疊的區(qū)域Ell的面積Sll;以 及內(nèi)部電極106b與內(nèi)部電極107重疊的區(qū)域E12的面積S12的總和。因此， 在希望調(diào)整層疊熱敏電阻110的電阻值時，需要改變這兩個區(qū)域Ell、 E12的 面積Sll、 S12的總和。
然而，在層疊熱敏電阻110的情況下，即使內(nèi)部電極107在其x軸方向偏 離，內(nèi)部電極106a與內(nèi)部電極107重疊的區(qū)域E11的面積Sll增加，但由于 內(nèi)部電極106b與內(nèi)部電極107重疊的區(qū)域E12的面積S12減小，因此上述兩 個面積Sll、 S12的總和保持為一定。因此，在層疊熱敏電阻110中，在使電
4阻值變化時，需要對每個熱敏電阻改變其內(nèi)部電極106a、 106b、 107的大小或 形狀的設(shè)計。即，在專利文獻1所披露的層疊熱敏電阻110的情況下，難以在 不大幅改變其構(gòu)造的條件下使電阻值易于變化。另外，在根據(jù)各個期望的電阻 值來改變內(nèi)部電極106a、 106b、 107的形狀的方法中，例如難以將電阻值在期 望的范圍內(nèi)進行微調(diào)。
專利文獻1:日本專利特開平05—243007號公報

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種不大幅改變其基本構(gòu)造就可以使電阻值 變化，特別是可以對電阻值微調(diào)的電子元器件。
本發(fā)明的一個方式所涉及的電子元器件的特征是，包括層疊陶瓷層而成 的層疊體；形成于上述層疊體的表面的第一外部電極及第二外部電極；在上述 層疊體內(nèi)沿規(guī)定方向延伸，并與上述第一外部電極及上述第二外部電極不連接 的空心電極；與上述第一外部電極連接，并在上述空心電極的一端夾著上述陶 瓷層相對的第一內(nèi)部電極；以及與上述第二外部電極連接，并在上述空心電極 的另一端夾著上述陶瓷層相對的第二內(nèi)部電極，在從層疊方向俯視時，上述空 心電極的與上述第一內(nèi)部電極及上述第二內(nèi)部電極不重疊的非重疊部分與該 第一內(nèi)部電極及該第二內(nèi)部電極的至少一方接觸的部分的兩端間的與上述規(guī) 定方向垂直的第一寬度，比該非重疊部分與該第一內(nèi)部電極及該第二內(nèi)部電極 的另一方接觸的部分的兩端間的與該規(guī)定方向垂直的第二寬度大。
根據(jù)上述電子元器件，第一寬度比第二寬度大。因此，在該電子元器件中， 若使空心電極向規(guī)定方向移動，則第一內(nèi)部電極與空心電極重疊的部分的面積 的增減量比第二外部電極與空心電極重疊的部分的面積的增減量大。據(jù)此，可 以使第一內(nèi)部電極與空心電極重疊的部分的面積以及第二內(nèi)部電極與空心電 極重疊的部分的面積的總和增減，可以使電子元器件的電阻值減小或者增大。 其結(jié)果是，不改變空心電極的大小或形狀等的設(shè)計，只需移動空心電極就可以 進行電阻值的微調(diào)。
上述電子元器件中，即使上述空心電極向規(guī)定方向移動時上述第一寬度也 比上述第二寬度大。上述電子元器件中，上述空心電極的與上述規(guī)定方向垂直的寬度可以隨著 從該空心電極的一端向另一端而減小，上述第一 內(nèi)部電極及上述第二內(nèi)部電極 的與上述規(guī)定方向垂直的寬度可以分別是上述空心電極的一端及另一端的與 上述規(guī)定方向垂直的寬度以上的大小。
在上述電子元器件中，空心電極的與規(guī)定方向垂直的寬度隨著從該空心電 極的一端向另一端而減小。因此，無論空心電極的移動量如何，第一寬度始終 比第二寬度大。其結(jié)果是，增大空心電極的移動量，電阻值的調(diào)整幅度可以取 得較大。另外，在上述電子元器件中，第一內(nèi)部電極及第二內(nèi)部電極的與規(guī)定 方向垂直的寬度分別是空心電極的一端及另一端的寬度以上的大小。因此，在
制造電子元器件的層疊體時，即使空心電極由于陶瓷生片(green sheet)的層 疊偏離而在與規(guī)定方向垂直的方向偏離，空心電極也不容易從第一內(nèi)部電極及 第二內(nèi)部電極露出。其結(jié)果是，電子元器件的電阻值的偏差被抑制。
上述電子元器件中，也可以在上述空心電極上形成未形成有導(dǎo)電膜的空白 部，上述空白部的與上述規(guī)定方向垂直的寬度隨著從上述空心電極的一端向另 一端而增大。據(jù)此，可以將空心電極的外形保持為矩形，可以抑制電阻值的偏 差。
上述電子元器件中，上述空心電極、上述第一內(nèi)部電極及上述第二內(nèi)部電極的與上述規(guī)定方向垂直的寬度也可以隨著從該空心電極的一端向另一端而
增大，上述空心電極、上述第一內(nèi)部電極及上述第二內(nèi)部電極的電極圖案也可
以是同一形狀。據(jù)此，可以利用一種電極圖案來制造空心電極、第一內(nèi)部電極
及第二內(nèi)部電極，提高電子元器件的制造效率。
根據(jù)本發(fā)明的一個方式所涉及的電子元器件，在從層疊方向俯視時，由于 空心電極與第一內(nèi)部電極及第二內(nèi)部電極不重疊的非重疊部分與該第一內(nèi)部
電極接觸的部分的兩端間的與規(guī)定方向垂直的第一寬度，比該非重疊部分與該 第二內(nèi)部電極接觸的部分的兩端間的與該規(guī)定方向垂直的第二寬度大，因此不
大幅改變其構(gòu)造就可以使電阻值變化，特別是可以使電阻值微小地變化。據(jù)此， 不用大幅改變熱敏電阻特性，就可以容易地增加稍許不同的電阻值的變動。


圖1是本發(fā)明的一個實施方式所涉及的電子元器件的外觀立體圖。
圖2是圖1所示的電子元器件的層疊體的分解立體圖。
圖3 (a)是從z軸方向俯視圖1的電子元器件的透視圖。圖3 (b)是圖 1的電子元器件的xz平面的截面構(gòu)造圖。
圖4 (a)是使內(nèi)部電極從圖3所示的狀態(tài)向x軸方向的正方向移動AL移 動時的，從z軸方向俯視電子元器件的透視圖。圖4 (b)是表示內(nèi)部電極彼此 之間重疊的部分的面積的減小量的圖，圖4 (c)是表示內(nèi)部電極彼此之間重疊 的部分的面積的增加量的圖。
圖5 (a)是使內(nèi)部電極從圖3所示的狀態(tài)向x軸方向的負方向移動AL移 動時的，從z軸方向俯視電子元器件的透視圖。圖5 (b)是圖5 (a)的狀態(tài) 的電子元器件的xz平面的截面構(gòu)造圖。
圖6 (a)是從z軸方向俯視相當于圖1的電子元器件的第一樣品的透視 圖。圖6(b)是從z軸方向俯視相當于專利文獻l所披露的層疊熱敏電阻的第 二樣品的透視圖。圖6 (c)是第一樣品及第二樣品的xz平面的截面構(gòu)造圖。
圖7是表示模擬結(jié)果的曲線圖。
圖8是從z軸方向俯視變形例所涉及的電子元器件的透視圖。 圖9是從z軸方向俯視變形例所涉及的電子元器件的透視圖。 圖IO是專利文獻1所披露的層疊熱敏電阻的結(jié)構(gòu)圖。 標號說明
4a、 4b、 5a 5f陶瓷層
6a、 6b、 7 內(nèi)部電極
10a、 10b、 10c、 10d、 10e、 10f 電子元器件
12 層疊體
14a、 14b外部電極
B空白部
具體實施方式
電子元器件。
(電子元器件的結(jié)構(gòu))
圖1是本發(fā)明的一個實施方式所涉及的電子元器件10a的外觀立體圖。圖 2是電子元器件10a的層疊體12的分解圖。下面，將形成電子元器件10a時， 層疊陶瓷生片的方向定義為層疊方向。而且，設(shè)該層疊方向為z軸方向，電子 元器件10a的長度方向為x軸方向，與x軸、z軸垂直的方向為y軸方向。x 軸、y軸及z軸與構(gòu)成電子元器件10a的邊是平行的。圖3 (a)是從z軸方向 俯視電子元器件10a的透視圖。圖3 (b)是電子元器件10a的xz平面的截面 構(gòu)造圖。
電子元器件10a如圖1所示，包括在內(nèi)部內(nèi)置熱敏電阻的長方體形的層疊 體12;以及在層疊體12的表面形成的外部電極14a、 14b。外部電極14a、 14b 分別覆蓋層疊體12的位于x軸方向的兩端的側(cè)面而形成。
層疊體12如下面說明的那樣，層疊多個內(nèi)部電極和多個陶瓷層而構(gòu)成， 在內(nèi)部內(nèi)置熱敏電阻。更詳細而言，層疊體12如圖2所示，以多個陶瓷層5a 5c、 4a、 4b、 5d 5f的順序?qū)⑵鋵盈B而構(gòu)成。多個陶瓷層5a 5c、 4a、 4b、 5d 5f分別是具有近似相同面積及形狀的長方形的半導(dǎo)體層。
在陶瓷層4a的主面上，如圖2所示，形成從陶瓷層4a的位于x軸方向的 負方向側(cè)的短邊垂直地向x軸方向的正方向延伸的長方形的內(nèi)部電極6a。據(jù) 此，如圖3所示，內(nèi)部電極6a通過位于x軸方向的負方向側(cè)的短邊與外部電 極14a連接。
另外，在陶瓷層4a的主面上，如圖2所示，形成從陶瓷層4a的位于x軸 方向的正方向側(cè)的短邊垂直地向x軸方向的負方向延伸的長方形的內(nèi)部電極 6b。據(jù)此，如圖3所示，內(nèi)部電極6b通過位于x軸方向的正方向側(cè)的短邊與 外部電極14b連接。
另夕卜，如圖2及圖3所示，內(nèi)部電極6a及內(nèi)部電極6b的y軸方向的寬度 分別相等。另外，內(nèi)部電極6a及內(nèi)部電極6b在x軸方向排列在一條直線上， 且隔開規(guī)定的間隙而配置。
在陶瓷層4b的主面上，如圖2及圖3所示，形成沿x軸方向延伸，并與 外部電極14a、 14b不連接的等腰梯形的內(nèi)部電極7(空心電極)。更詳細而言，如圖3所示，內(nèi)部電極7的y軸方向的寬度隨著從位于x軸方向的負方向側(cè)一 端的邊(以下稱作下底)向位于x軸方向的正方向側(cè)一端的邊(以下稱作上底) 而減小。另外，等腰梯形的內(nèi)部電極7的高度方向與x軸方向一致。
此處，如圖3所示，在從z軸方向俯視時，內(nèi)部電極6a在內(nèi)部電極7的 下底處與該內(nèi)部電極7夾著陶瓷層4a相對。同樣，內(nèi)部電極6b在內(nèi)部電極7 的上底處與該內(nèi)部電極7夾著陶瓷層4a相對。據(jù)此，由陶瓷層4a、內(nèi)部電極 7、內(nèi)部電極6a、 6b構(gòu)成熱敏電阻。
從z軸方向的上側(cè)起以圖2所示的分解立體圖的陶瓷層5a 5c、 4a、 4b、 5d 5f的順序?qū)⑵渲丿B，形成層疊體12。另外，若在層疊體12的表面形成外 部電極14a、 14b，則可以得到電子元器件10a。 (效果)
如上所述構(gòu)成的電子元器件10a，如以下使用圖3至圖5說明的那樣，不 改變內(nèi)部電極7的大小或形狀等的設(shè)計就可以使電阻值向增加的方向或者向減 小的方向變化，可以進行電阻值的微調(diào)。更具體而言，通過使內(nèi)部電極7向x 軸方向的正方向側(cè)移動，可以增大電阻值，通過使內(nèi)部電極7向x軸方向的負 方向側(cè)移動，可以減小電阻值。即，在電子元器件10a中，可以使電阻值從如 圖3所示的電子元器件10a的電阻值增加或減小，可以得到具有各種電阻值的 電子元器件。另外，不改變內(nèi)部電極7的大小或形狀等的設(shè)計，就可以對電子 元器件10a的電阻值微調(diào)。
此處，圖4 (a)是使內(nèi)部電極7從圖3所示的狀態(tài)向x軸方向的正方向 移動AL時的，從z軸方向俯視電子元器件10a的透視圖。圖4 (b)是表示內(nèi) 部電極6a與內(nèi)部電極7重疊部分的面積的減小量的圖，圖4 (c)是表示內(nèi)部 電極6b與內(nèi)部電極7重疊部分的面積的增加量的圖。圖5 (a)是使內(nèi)部電極 7從圖3所示的狀態(tài)向x軸方向的負方向移動AL時的，從z軸方向俯視電子 元器件10a的透視圖。圖5 (b)是處于圖5 (a)的狀態(tài)的電子元器件10a的 xz平面的截面構(gòu)造圖。
首先，圖3 (a)中，設(shè)內(nèi)部電極7與內(nèi)部電極6a重疊的區(qū)域為區(qū)域El; 設(shè)內(nèi)部電極7與內(nèi)部電極6b重疊的區(qū)域為區(qū)域E2;設(shè)內(nèi)部電極7與內(nèi)部電極 6a、 6b不重疊的區(qū)域為區(qū)域E3。另外，區(qū)域E1、 E2、 E3的面積分別為面積
9Sl、 S2、 S3。
如圖3 (a)所示，在電子元器件10a中，內(nèi)部電極6a的y軸方向的寬度 比內(nèi)部電極7的下底的y軸方向的寬度稍大。另外，內(nèi)部電極6b的y軸方向 的寬度是內(nèi)部電極7的上底的y軸方向的寬度以上。因此，若等腰梯形的內(nèi)部 電極7的下底附近與上底附近分別與內(nèi)部電極6a、 6b重疊，則區(qū)域E3與內(nèi)部 電極6a接觸的部分的兩端間的y軸方向的寬度Ll比區(qū)域E3與內(nèi)部電極6b接 觸的部分的兩端間的y軸方向的寬度L2大。
如上所述，若寬度L1比寬度L2大，則可以使內(nèi)部電極7向x軸方向移 動時的區(qū)域El的面積Sl的增減量比區(qū)域E2的面積S2的增減量大。S卩，不 改變內(nèi)部電極6a、 6b、 7的形狀，只需移動內(nèi)部電極7，就可以使區(qū)域E3的 面積S3增減。下面詳細說明。
在內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向移動AL時，如圖4 (a)及圖4 (b) 所示，區(qū)域E1的面積S1減小相當于等腰梯形的區(qū)域AE1的面積AS1。此處， 用于調(diào)整電阻值的內(nèi)部電極7的移動量在0.05mm以下。因此，如圖4(b)所 示，區(qū)域AE1可以近似為長L1、寬AL的長方形。同樣，區(qū)域E2的面積S2 增加相當于等腰梯形的區(qū)域AE2的面積AS2。因此，如圖4(c)所示，區(qū)域AE2 可以近似為長L2、寬AL的長方形。
此處，比較區(qū)域AE1的面積AS1與區(qū)域AE2的面積AS2，由于寬度Ll 比寬度L2大，因此面積AS1比面積AS2大。S卩，在電子元器件10a中，通過 使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向移動，可以使內(nèi)部電極6a、 6b與內(nèi)部電極7 重疊的區(qū)域E1、 E2的面積S1、 S2的總和減小。電子元器件10a的電阻值取決 于面積S1、 S2的總和。因此，若使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向移動，使 面積S1、 S2的總和減小，則電子元器件10a的電阻值增大。
另一方面，如圖5所示，若使內(nèi)部電極7向x軸方向的負方向移動，則面 積S1、 S2的總和增加，電子元器件10a的電阻值減小，但由于其原理與使內(nèi) 部電極7向x軸方向的正方向移動時相同，因此省略說明。
如上所述，在電子元器件10a中，內(nèi)部電極6a、 6b、 7形成的構(gòu)造及配置 使得寬度L1比寬度L2大。因此，在電子元器件10a中，使內(nèi)部電極7向x軸 方向的正方向或者負方向移動，可以使電子元器件10a的電阻值增大或者減小。其結(jié)果是，不改變空心電極7的大小或形狀等的設(shè)計，就可以進行電阻值的微 調(diào)。
另外，在電子元器件10a中，如圖3所示，內(nèi)部電極7的y軸方向的寬度 隨著向x軸方向的正方向而減小。因此，無論內(nèi)部電極7的移動量如何，寬度 L1始終比寬度L2大。因此，在電子元器件10a中，增大內(nèi)部電極7的移動量， 電阻值的調(diào)整幅度可以取得較大。
另外，在電子元器件10a中，如圖3所示，內(nèi)部電極6a、 6b的y軸方向 的寬度分別是內(nèi)部電極7的上底及下底以上的大小。因此，在制造電子元器件 10a的層疊體12時，即使內(nèi)部電極7由于陶瓷生片的層疊偏離而在y軸方向偏 離，內(nèi)部電極7也不容易從內(nèi)部電極6a、 6b在y軸方向露出。其結(jié)果是，電 子元器件10a的電阻值的偏差被抑制。
另外，在將內(nèi)部電極印刷在陶瓷層上時，由于室溫、濕度等條件，會產(chǎn)生 印刷滲洇或印刷不清，有時無法得到具有期望的電阻值的電子元器件。因此， 在電子元器件10a中，也可以為了將電阻值微調(diào)為期望的電阻值而使內(nèi)部電極 7沿x軸方向移動。 (模擬結(jié)果)
本發(fā)明申請人為進一步明確電子元器件10a具有的效果，進行了下面說明 的模擬。圖6是表示模擬所使用的樣品的圖。圖6(a)是從z軸方向俯視相當 于電子元器件10a的第一樣品的透視圖。圖6 (b)是從z軸方向俯視相當于專 利文獻1所披露的層疊熱敏電阻的第二樣品的透視圖。圖6 (c)是第一樣品及 第二樣品的xz平面的截面構(gòu)造圖。在本模擬中，使圖6所示的兩個樣品的內(nèi) 部電極6a、 6b、 7、 106a、 106b、 107沿x軸方向移動，計算電子元器件10a 及層疊熱敏電阻110的電阻值。下面說明模擬條件。
圖6 (a)所示的第一樣品使用芯片尺寸為0603 (0.6mmx0.3mmx0.3mm) 的樣品，與圖3所示的電子元器件10a—樣，設(shè)置內(nèi)部電極6a、 6b、 7。不過， 如圖6 (c)所示，內(nèi)部電極6a、 6b分別夾著內(nèi)部電極7，各設(shè)置兩片。此處， 內(nèi)部電極7的上底的長度Lll為0.16mm，下底的長度L12為0.2mm，高度L13 為0.405mm。另外，內(nèi)部電極6a、 6b的寬度L12是0.2mm。另外，內(nèi)部電極 6a與內(nèi)部電極6b之間的間隙為L15。圖6 (b)所示的第二樣品使用芯片尺寸為0603 (0.6mmx0.3mmx0.3mm) 的樣品，與圖IO所示的層疊熱敏電阻IIO—樣，設(shè)置內(nèi)部電極106a、 106b、 107。不過，如圖6 (c)所示，內(nèi)部電極106a、 106b分別夾著內(nèi)部電極107, 各設(shè)置兩片。此處，內(nèi)部電極107的寬度L21為0.2mm，高度L23為0.38mm。 另外，內(nèi)部電極106a、 106b的寬度L21是0.2mm。另外，內(nèi)部電極106a與內(nèi) 部電極106b之間的間隙為L25。
在以上的模擬條件下，使內(nèi)部電極7、 107在x軸方向從基準位置偏離 ±0.05mm，計算電阻值。該基準位置是指內(nèi)部電極7、 107與內(nèi)部電極106a、 106b的重疊部分在x軸方向上的寬度相同時的內(nèi)部電極7、 107的位置。另外， 此時使間隙L15、 L25在0.15mm 0.19mm之間每次變化O.Olmm，計算電阻 值。圖7是表示模擬結(jié)果的曲線圖?？v軸表示電阻值，橫軸表示間隙的大小。
如圖7所示，在相當于專利文獻1所披露的層疊熱敏電阻的第二樣品中， 例如在間隙L25為0.15mm的情況下，電阻值是llkQ，可以理解為即便使內(nèi) 部電極107移動，電阻值也不會變。另一方面，在相當于電子元器件10a的第 一樣品中，可知在間隙L15為0.15mm的情況下，若使內(nèi)部電極7移動，則電 阻值會在從10.7m至U 11.2kQ的范圍變化，可以理解為通過使內(nèi)部電極7移動 會使電阻值變化0.4kQ 0.5kQ。艮卩，根據(jù)模擬，在專利文獻1所披露的層疊熱 敏電阻中，即便使內(nèi)部電極107移動也無法使電阻值變化，與之相對，在電子 元器件10a中，通過使內(nèi)部電極7移動可以使電阻值變化。而且，可以進行微 小的電阻變化。因此，在電子元器件10a中，可以得到具有多種電阻值的電子 元器件。
另外，如圖7所示，在第二樣品中，即使將L25固定為0.150mm，使內(nèi) 部電極107移動，電阻值也是llkfi，電阻值沒有變化。另夕卜，即便使間隙L25 每次增大0.01mm，也只能使電阻值每次以0.4ka 0.5kQ不連續(xù)地變化。與之 相對，如圖7所示，在第一樣品中，若使間隙L15增大0.01mm，則電阻值會 減小0.4kQ 0.5kQ。另夕卜，若固定間隙L15使內(nèi)部電極7移動0.05mm，則電 阻值會變化0.4kQ 0.5kn。 S卩，通過以O(shè).Olmm為單位調(diào)整間隙L15，使內(nèi)部 電極7在0.05mm的范圍內(nèi)移動，在第一樣品中，電阻值可以在8.9kQ 11.2kQ 之間連續(xù)變化。即，在電子元器件10a中，可以在較寬的范圍內(nèi)進行細微的電阻值的調(diào)整。因此，在電子元器件10a中，可以通過調(diào)整內(nèi)部電極7的移動量 及間隙L15的大小來校正內(nèi)部電極6a、 6b、 7的印刷滲洇或印刷不清引起的電 阻值的微小偏離。 (變形例)
然而，由于在電子元器件10a中，內(nèi)部電極7的形狀是等腰梯形，因此， 使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負方向移動，可以使電子元器件10a的 電阻值增大或者減小，這不用上述說明從圖3及圖4即可知曉。然而，在內(nèi)部 電極7的形狀是等腰梯形以外的形狀時，內(nèi)部電極6a、 6b、 7通過形成為寬度 Ll比寬度L2大的構(gòu)造及配置，根據(jù)同樣的原理，可以使電子元器件的電阻值 減小或者增大。下面，參照

電子元器件10a的變形例。圖8及圖9是 從z軸方向俯視變形例所涉及的電子元器件10b 10f的透視圖。
圖8 (a)是從z軸方向俯視第一變形例所涉及的電子元器件10b的透視 圖。在電子元器件10b中，內(nèi)部電極7的形狀是長方形與半圓形的組合。更詳 細而言，內(nèi)部電極7的形狀是在長方形電極的x軸方向的正方向側(cè)結(jié)合半圓形 的電極。在具有這樣的內(nèi)部電極7的電子元器件10b中，寬度L1也比寬度L2 大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負方向移動，可以使電 子元器件10b的電阻值增大或者減小。
圖8 (b)是從z軸方向俯視第二變形例所涉及的電子元器件10c的透視 圖。在電子元器件10c中，內(nèi)部電極7的形狀是等腰梯形與長方形的組合。更 詳細而言，內(nèi)部電極7的形狀是在等腰梯形的電極的x軸方向的負方向側(cè)結(jié)合 長方形的電極。在具有這樣的內(nèi)部電極7的電子元器件10c中，寬度L1也比 寬度L2大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負方向移動， 可以使電子元器件10c的電阻值增大或者減小。
此處，在上述電子元器件10a 10c中，為了使寬度L1比寬度L2大，內(nèi) 部電極7的y軸方向的寬度隨著向x軸方向的正方向側(cè)而減小。然而，使寬度 Ll比寬度L2大的方法不限于此。下面，例舉其他變形例進行說明。
圖8 (c)是從z軸方向俯視第三變形例所涉及的電子元器件10d的透視 圖。在電子元器件10d中，內(nèi)部電極7的形狀是長方形。但是，在內(nèi)部電極7 的內(nèi)部形成未形成有導(dǎo)電膜的三角形的空白部B。該空白部B的形狀是y軸方向的寬度隨著從內(nèi)部電極7與內(nèi)部電極6a重疊的端部向內(nèi)部電極7與內(nèi)部電 極6b重疊的端部而增大。
在以上的電子元器件10d中，如圖8 (c)所示，寬度L1、 L2分別是從內(nèi) 部電極7的y軸方向的寬度減去空白部B的y軸方向的寬度的大小。內(nèi)部電極 7的y軸方向的寬度在x軸方向為一定，與之相對，空白部B的y軸方向的寬 度隨著向x軸方向的正方向而增大。因此，在電子元器件10d中，寬度L1比 寬度L2大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負方向移動， 可以使電子元器件10d的電阻值增大或者減小。另外，根據(jù)電子元器件10d， 由于內(nèi)部電極7的外形可以保持為矩形，因此可以抑制電子元器件10d的電阻 值的偏差。另外，在電子元器件10d中，空白部B也可以是梯形。
圖9(a)是從z軸方向俯視第四變形例所涉及的電子元器件10e的透視圖。 在電子元器件10e中，內(nèi)部電極7的形狀是長方形，內(nèi)部電極6a、 6b的形狀 是等腰梯形。更詳細而言，內(nèi)部電極6a、 6b的y軸方向的寬度隨著向x軸方 向的正方向而增大。另外，內(nèi)部電極6a的y軸方向的寬度是內(nèi)部電極7的x 軸方向的負方向側(cè)的端部的y軸方向的寬度(由于內(nèi)部電極7是長方形，此處 是內(nèi)部電極7的y軸方向的寬度)以上(圖9中相等)。利用這樣的內(nèi)部電極 6a、 6b、 7，也可以使寬度L1比寬度L2大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸 方向的正方向或者負方向移動，可以使電子元器件10e的電阻值增大或者減小。
圖9(b)是從z軸方向俯視第五變形例所涉及的電子元器件10f的透視圖。 在電子元器件10f中，內(nèi)部電極7的形狀與圖3所示的電子元器件10a的內(nèi)部 電極7—樣，是等腰梯形。另外，內(nèi)部電極6a、 6b的形狀與圖9 (a)所示的 電子元器件10e的內(nèi)部電極6a、 6b—樣，是等腰梯形。更詳細而言，內(nèi)部電 極6a、 6b、 7的y軸方向的寬度隨著向x軸方向的正方向而增大。另外，內(nèi)部 電極6a的x軸方向的正方向側(cè)的端部的y軸方向的寬度比內(nèi)部電極7的x軸 方向的負方向側(cè)的端部的y軸方向的寬度大。另外，內(nèi)部電極6b的x軸方向 的負方向側(cè)的端部的y軸方向的寬度比內(nèi)部電極7的x軸方向的正方向側(cè)的端 部的y軸方向的寬度小。利用這樣的內(nèi)部電極6a、 6b、 7，也可以使寬度Ll 比寬度L2大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負方向移動， 可以使電子元器件10f的電阻值增大或者減小。特別是，由于內(nèi)部電極6a、 6b、7可以使用同一形狀的電極圖案，因此在批量生產(chǎn)時尤為有效。
另外，較為理想的是在電子元器件10a 10f中，即使內(nèi)部電極7在x軸 方向移動，寬度L1也始終比寬度L2大。不過，為調(diào)整電阻值而使內(nèi)部電極7 移動的移動量很多情況下比較微小。因此，寬度Ll至少在為調(diào)整電阻值而使 內(nèi)部電極7移動的范圍內(nèi)比寬度L2大即可，在除此之外的范圍內(nèi)，寬度L2 也可以比寬度L1大。為調(diào)整電阻值而使內(nèi)部電極7移動的移動量的范圍例如 是0.05mm。
上述實施方式所涉及的電子元器件10a 10f只是示例，電子元器件不限 于上述說明。例如，內(nèi)部電極6a、 6b不必一定設(shè)置在同一平面上，也可以設(shè) 置在將空心電極7夾在中間與空心電極7相對的平面上。 (制造方法)
下面，參照圖1及圖2說明電子元器件10a 10f的制造方法。此處，作 為電子元器件10a 10f的制造方法的一個例子，說明電子元器件10a的制造方 法。
首先，作為原料，準備78.5molX的Mn304、 21.5mol^的NiO，以及將這 些原料作為100mol份時0.5mol份的TiO2。接下來，在調(diào)合后的粉末中添加純 水，與氧化鋯球一起進行IO小時混合粉碎處理，干燥后，在110(TC的溫度下 預(yù)燒2小時。
接下來，通過在得到的預(yù)燒后的粉末中添加有機粘合劑、分散劑及水，與 氧化鋯球一起混合若干小時，制作漿料。
接下來，使用漿料，利用刮刀法形成厚度為20 30pm的陶瓷生片。
接下來，在應(yīng)成為陶瓷層4a、 4b的陶瓷生片上，利用絲網(wǎng)印刷法，印刷 包含作為導(dǎo)電成分的銀一鈀的導(dǎo)電性糊料，形成應(yīng)成為圖2所示的內(nèi)部電極 6a、 6b、 7的導(dǎo)電性糊料膜。
接下來，確認在應(yīng)成為內(nèi)部電極6a、 6b、 7的導(dǎo)電性糊料膜上是否產(chǎn)生印 刷滲洇或者印刷不清。確認有無印刷滲洇或者印刷不清，例如可以通過使用圖 像分析等進行。
接下來，從下方起按照順序?qū)盈B及壓接應(yīng)成為陶瓷層5f、 5e、 5d、 4b、 4a、 5c、 5b、 5a的陶瓷生片，并切割為規(guī)定的尺寸，得到未燒成的層疊體12。在
15層疊陶瓷層4a時，調(diào)整內(nèi)部電極7的位置并層疊應(yīng)成為陶瓷層4a的陶瓷生片， 以使內(nèi)部電極6a、 6b與內(nèi)部電極7重疊的區(qū)域El、 E2的面積S1、 S2為期望 的面積。特別是，在導(dǎo)電性糊料產(chǎn)生印刷滲洇時，面積S1、 S2比期望的面積 大，電子元器件10a的電阻值比期望的電阻值小。因此，使內(nèi)部電極7向x軸 方向的正方向側(cè)移動，層疊應(yīng)成為陶瓷層4a的陶瓷生片。另一方面，在導(dǎo)電 性糊料產(chǎn)生印刷不清時，面積S1、 S2比期望的面積小，電子元器件10a的電 阻值比期望的電阻值大。因此，使內(nèi)部電極7向x軸方向的負方向側(cè)移動，層 疊應(yīng)成為陶瓷層4a的陶瓷生片。
接下來，將未燒成的層疊體12在大氣中以35(TC的溫度進行20小時的脫 脂，在大氣氣氛中以120(TC的溫度燒成2小時。據(jù)此，得到燒成的層疊體12。
接下來，使用分別由Si和Al制成的拋光介質(zhì)對層疊體12進行滾筒拋光， 對層疊體12的角落部及棱線部分的角部進行圓角處理。
接下來，在層疊體12的側(cè)面形成由銀制成的焊接電極，接下來，在銀電 極上形成由鎳構(gòu)成的鍍膜，另外，形成由錫構(gòu)成的鍍膜，形成外部電極14a、 14b。利用以上的工序，完成電子元器件10a。
權(quán)利要求
1.一種電子元器件，其特征在于，包括層疊陶瓷層而成的層疊體；形成于所述層疊體的表面的第一外部電極及第二外部電極；在所述層疊體內(nèi)沿規(guī)定方向延伸，并與所述第一外部電極及所述第二外部電極不連接的空心電極；與所述第一外部電極連接，并在所述空心電極的一端夾著所述陶瓷層相對的第一內(nèi)部電極；以及與所述第二外部電極連接，并在所述空心電極的另一端夾著所述陶瓷層相對的第二內(nèi)部電極，在從層疊方向俯視時，所述空心電極的與所述第一內(nèi)部電極及所述第二內(nèi)部電極不重疊的非重疊部分與該第一內(nèi)部電極及該第二內(nèi)部電極中的至少一方接觸的部分的兩端間的與所述規(guī)定方向垂直的第一寬度，比該非重疊部分與該第一內(nèi)部電極及該第二內(nèi)部電極中的另一方接觸的部分的兩端間的與該規(guī)定方向垂直的第二寬度大。
2. 如權(quán)利要求1所述的電子元器件，其特征在于，即使所述空心電極向 規(guī)定方向移動時所述第一寬度也比所述第二寬度大。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的電子元器件，其特征在于，所述空心電極的 與所述規(guī)定方向垂直的寬度隨著從該空心電極的一端向另一端而減小，所述第一內(nèi)部電極及所述第二內(nèi)部電極的與所述規(guī)定方向垂直的寬度分 別是所述空心電極的一端及另一端的與所述規(guī)定方向垂直的寬度以上的大小。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的電子元器件，其特征在于，在所述空心電極 上形成有未形成導(dǎo)電膜的空白部，所述空白部的與所述規(guī)定方向垂直的寬度隨著從所述空心電極的一端向 另一端而增大。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的電子元器件，其特征在于，所述空心電極、 所述第一內(nèi)部電極及所述第二內(nèi)部電極的與所述規(guī)定方向垂直的寬度隨著從 該空心電極的一端向另一端而增大，所述空心電極、所述第一內(nèi)部電極及所述第二內(nèi)部電極的電極圖案是同一 形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不大幅改變其基本構(gòu)造就可以使電阻值變化的電子元器件。層疊體(12)是層疊陶瓷層而成的。外部電極(14a)、(14b)形成于層疊體(12)的表面。內(nèi)部電極(7)在層疊體(12)內(nèi)沿x軸方向延伸，并且與外部電極(14a)、(14b)不連接。內(nèi)部電極(6a)與外部電極(14a)連接，并在內(nèi)部電極(7)的一端夾著陶瓷層相對。內(nèi)部電極(6b)與外部電極(14b)連接，并在內(nèi)部電極(7)的另一端夾著陶瓷層相對。在從z軸方向俯視時，內(nèi)部電極(7)的y軸方向的寬度隨著從內(nèi)部電極(7)的一端向另一端而減小，內(nèi)部電極(7)的與內(nèi)部電極(6a)、(6b)不重疊的區(qū)域(E3)與內(nèi)部電極(6a)接觸的部分的兩端間的y軸方向的寬度(L1)比區(qū)域(E3)與內(nèi)部電極(6b)接觸的部分的兩端間的y軸方向的寬度(L2)寬。
文檔編號H01C7/00GK101609739SQ20091013943
公開日2009年12月23日 申請日期2009年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月16日
發(fā)明者伊藤弘將 申請人:株式會社村田制作所