專利名稱：電子元器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子元器件，涉及內(nèi)置熱敏電阻的電子元器件。
背景技術(shù)：
作為內(nèi)置熱敏電阻的以往的電子元器件，例如，已知專利文獻(xiàn)l所披露的
層疊熱敏電阻。圖10是該層疊熱敏電阻110的結(jié)構(gòu)圖。圖10 (a)是從層疊方 向(z軸方向)透視層疊熱敏電阻110的圖，圖10 (b)是層疊熱敏電阻110 的xz平面的截面構(gòu)造圖。層疊熱敏電阻110包括與外部電極114a連接的內(nèi) 部電極106a;與外部電極114b連接的內(nèi)部電極106b;與內(nèi)部電極106a及內(nèi) 部電極106b互相重疊而配置的內(nèi)部電極107。
而且，內(nèi)置熱敏電阻的電子元器件被用于移動(dòng)電話、個(gè)人計(jì)算機(jī)或者電源 部件等各種用途。因此，希望不用大幅改變熱敏電阻的期望的電阻變化率或耐 壓等特性就能增加熱敏電阻的電阻值的變動(dòng)，以能夠?qū)?yīng)各種用途。g卩，在具 有各種電阻值的熱敏電阻之中，希望一種不用大幅改變其構(gòu)造就可以容易地在 微小的范圍內(nèi)調(diào)整電阻值的電子元器件。
然而，在專利文獻(xiàn)1所披露的層疊熱敏電阻110中，如下面的說明，難以 在不大幅改變其構(gòu)造的條件下改變電阻值。更詳細(xì)而言，層疊熱敏電阻110的 電阻值取決于內(nèi)部電極106a與內(nèi)部電極107重疊的區(qū)域Ell的面積Sll;以 及內(nèi)部電極106b與內(nèi)部電極107重疊的區(qū)域E12的面積S12的總和。因此， 在希望調(diào)整層疊熱敏電阻110的電阻值時(shí)，需要改變這兩個(gè)區(qū)域Ell、 E12的 面積Sll、 S12的總和。
然而，在層疊熱敏電阻110的情況下，即使內(nèi)部電極107在其x軸方向偏 離，內(nèi)部電極106a與內(nèi)部電極107重疊的區(qū)域E11的面積Sll增加，但由于 內(nèi)部電極106b與內(nèi)部電極107重疊的區(qū)域E12的面積S12減小，因此上述兩 個(gè)面積Sll、 S12的總和保持為一定。因此，在層疊熱敏電阻110中，在使電
4阻值變化時(shí)，需要對(duì)每個(gè)熱敏電阻改變其內(nèi)部電極106a、 106b、 107的大小或 形狀的設(shè)計(jì)。即，在專利文獻(xiàn)1所披露的層疊熱敏電阻110的情況下，難以在 不大幅改變其構(gòu)造的條件下使電阻值易于變化。另外，在根據(jù)各個(gè)期望的電阻 值來改變內(nèi)部電極106a、 106b、 107的形狀的方法中，例如難以將電阻值在期 望的范圍內(nèi)進(jìn)行微調(diào)。
專利文獻(xiàn)1:日本專利特開平05—243007號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種不大幅改變其基本構(gòu)造就可以使電阻值 變化，特別是可以對(duì)電阻值微調(diào)的電子元器件。
本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的電子元器件的特征是，包括層疊陶瓷層而成 的層疊體；形成于上述層疊體的表面的第一外部電極及第二外部電極；在上述 層疊體內(nèi)沿規(guī)定方向延伸，并與上述第一外部電極及上述第二外部電極不連接 的空心電極；與上述第一外部電極連接，并在上述空心電極的一端夾著上述陶 瓷層相對(duì)的第一內(nèi)部電極；以及與上述第二外部電極連接，并在上述空心電極 的另一端夾著上述陶瓷層相對(duì)的第二內(nèi)部電極，在從層疊方向俯視時(shí)，上述空 心電極的與上述第一內(nèi)部電極及上述第二內(nèi)部電極不重疊的非重疊部分與該 第一內(nèi)部電極及該第二內(nèi)部電極的至少一方接觸的部分的兩端間的與上述規(guī) 定方向垂直的第一寬度，比該非重疊部分與該第一內(nèi)部電極及該第二內(nèi)部電極 的另一方接觸的部分的兩端間的與該規(guī)定方向垂直的第二寬度大。
根據(jù)上述電子元器件，第一寬度比第二寬度大。因此，在該電子元器件中， 若使空心電極向規(guī)定方向移動(dòng)，則第一內(nèi)部電極與空心電極重疊的部分的面積 的增減量比第二外部電極與空心電極重疊的部分的面積的增減量大。據(jù)此，可 以使第一內(nèi)部電極與空心電極重疊的部分的面積以及第二內(nèi)部電極與空心電 極重疊的部分的面積的總和增減，可以使電子元器件的電阻值減小或者增大。 其結(jié)果是，不改變空心電極的大小或形狀等的設(shè)計(jì)，只需移動(dòng)空心電極就可以 進(jìn)行電阻值的微調(diào)。
上述電子元器件中，即使上述空心電極向規(guī)定方向移動(dòng)時(shí)上述第一寬度也 比上述第二寬度大。上述電子元器件中，上述空心電極的與上述規(guī)定方向垂直的寬度可以隨著 從該空心電極的一端向另一端而減小，上述第一 內(nèi)部電極及上述第二內(nèi)部電極 的與上述規(guī)定方向垂直的寬度可以分別是上述空心電極的一端及另一端的與 上述規(guī)定方向垂直的寬度以上的大小。
在上述電子元器件中，空心電極的與規(guī)定方向垂直的寬度隨著從該空心電 極的一端向另一端而減小。因此，無(wú)論空心電極的移動(dòng)量如何，第一寬度始終 比第二寬度大。其結(jié)果是，增大空心電極的移動(dòng)量，電阻值的調(diào)整幅度可以取 得較大。另外，在上述電子元器件中，第一內(nèi)部電極及第二內(nèi)部電極的與規(guī)定 方向垂直的寬度分別是空心電極的一端及另一端的寬度以上的大小。因此，在
制造電子元器件的層疊體時(shí)，即使空心電極由于陶瓷生片(green sheet)的層 疊偏離而在與規(guī)定方向垂直的方向偏離，空心電極也不容易從第一內(nèi)部電極及 第二內(nèi)部電極露出。其結(jié)果是，電子元器件的電阻值的偏差被抑制。
上述電子元器件中，也可以在上述空心電極上形成未形成有導(dǎo)電膜的空白 部，上述空白部的與上述規(guī)定方向垂直的寬度隨著從上述空心電極的一端向另 一端而增大。據(jù)此，可以將空心電極的外形保持為矩形，可以抑制電阻值的偏 差。
上述電子元器件中，上述空心電極、上述第一內(nèi)部電極及上述第二內(nèi)部電極的與上述規(guī)定方向垂直的寬度也可以隨著從該空心電極的一端向另一端而
增大，上述空心電極、上述第一內(nèi)部電極及上述第二內(nèi)部電極的電極圖案也可
以是同一形狀。據(jù)此，可以利用一種電極圖案來制造空心電極、第一內(nèi)部電極
及第二內(nèi)部電極，提高電子元器件的制造效率。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方式所涉及的電子元器件，在從層疊方向俯視時(shí)，由于 空心電極與第一內(nèi)部電極及第二內(nèi)部電極不重疊的非重疊部分與該第一內(nèi)部
電極接觸的部分的兩端間的與規(guī)定方向垂直的第一寬度，比該非重疊部分與該 第二內(nèi)部電極接觸的部分的兩端間的與該規(guī)定方向垂直的第二寬度大，因此不
大幅改變其構(gòu)造就可以使電阻值變化，特別是可以使電阻值微小地變化。據(jù)此， 不用大幅改變熱敏電阻特性，就可以容易地增加稍許不同的電阻值的變動(dòng)。


圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的電子元器件的外觀立體圖。
圖2是圖1所示的電子元器件的層疊體的分解立體圖。
圖3 (a)是從z軸方向俯視圖1的電子元器件的透視圖。圖3 (b)是圖 1的電子元器件的xz平面的截面構(gòu)造圖。
圖4 (a)是使內(nèi)部電極從圖3所示的狀態(tài)向x軸方向的正方向移動(dòng)AL移 動(dòng)時(shí)的，從z軸方向俯視電子元器件的透視圖。圖4 (b)是表示內(nèi)部電極彼此 之間重疊的部分的面積的減小量的圖，圖4 (c)是表示內(nèi)部電極彼此之間重疊 的部分的面積的增加量的圖。
圖5 (a)是使內(nèi)部電極從圖3所示的狀態(tài)向x軸方向的負(fù)方向移動(dòng)AL移 動(dòng)時(shí)的，從z軸方向俯視電子元器件的透視圖。圖5 (b)是圖5 (a)的狀態(tài) 的電子元器件的xz平面的截面構(gòu)造圖。
圖6 (a)是從z軸方向俯視相當(dāng)于圖1的電子元器件的第一樣品的透視 圖。圖6(b)是從z軸方向俯視相當(dāng)于專利文獻(xiàn)l所披露的層疊熱敏電阻的第 二樣品的透視圖。圖6 (c)是第一樣品及第二樣品的xz平面的截面構(gòu)造圖。
圖7是表示模擬結(jié)果的曲線圖。
圖8是從z軸方向俯視變形例所涉及的電子元器件的透視圖。 圖9是從z軸方向俯視變形例所涉及的電子元器件的透視圖。 圖IO是專利文獻(xiàn)1所披露的層疊熱敏電阻的結(jié)構(gòu)圖。 標(biāo)號(hào)說明
4a、 4b、 5a 5f陶瓷層
6a、 6b、 7 內(nèi)部電極
10a、 10b、 10c、 10d、 10e、 10f 電子元器件
12 層疊體
14a、 14b外部電極
B空白部
具體實(shí)施方式
電子元器件。
(電子元器件的結(jié)構(gòu))
圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的電子元器件10a的外觀立體圖。圖 2是電子元器件10a的層疊體12的分解圖。下面，將形成電子元器件10a時(shí)， 層疊陶瓷生片的方向定義為層疊方向。而且，設(shè)該層疊方向?yàn)閦軸方向，電子 元器件10a的長(zhǎng)度方向?yàn)閤軸方向，與x軸、z軸垂直的方向?yàn)閥軸方向。x 軸、y軸及z軸與構(gòu)成電子元器件10a的邊是平行的。圖3 (a)是從z軸方向 俯視電子元器件10a的透視圖。圖3 (b)是電子元器件10a的xz平面的截面 構(gòu)造圖。
電子元器件10a如圖1所示，包括在內(nèi)部?jī)?nèi)置熱敏電阻的長(zhǎng)方體形的層疊 體12;以及在層疊體12的表面形成的外部電極14a、 14b。外部電極14a、 14b 分別覆蓋層疊體12的位于x軸方向的兩端的側(cè)面而形成。
層疊體12如下面說明的那樣，層疊多個(gè)內(nèi)部電極和多個(gè)陶瓷層而構(gòu)成， 在內(nèi)部?jī)?nèi)置熱敏電阻。更詳細(xì)而言，層疊體12如圖2所示，以多個(gè)陶瓷層5a 5c、 4a、 4b、 5d 5f的順序?qū)⑵鋵盈B而構(gòu)成。多個(gè)陶瓷層5a 5c、 4a、 4b、 5d 5f分別是具有近似相同面積及形狀的長(zhǎng)方形的半導(dǎo)體層。
在陶瓷層4a的主面上，如圖2所示，形成從陶瓷層4a的位于x軸方向的 負(fù)方向側(cè)的短邊垂直地向x軸方向的正方向延伸的長(zhǎng)方形的內(nèi)部電極6a。據(jù) 此，如圖3所示，內(nèi)部電極6a通過位于x軸方向的負(fù)方向側(cè)的短邊與外部電 極14a連接。
另外，在陶瓷層4a的主面上，如圖2所示，形成從陶瓷層4a的位于x軸 方向的正方向側(cè)的短邊垂直地向x軸方向的負(fù)方向延伸的長(zhǎng)方形的內(nèi)部電極 6b。據(jù)此，如圖3所示，內(nèi)部電極6b通過位于x軸方向的正方向側(cè)的短邊與 外部電極14b連接。
另夕卜，如圖2及圖3所示，內(nèi)部電極6a及內(nèi)部電極6b的y軸方向的寬度 分別相等。另外，內(nèi)部電極6a及內(nèi)部電極6b在x軸方向排列在一條直線上， 且隔開規(guī)定的間隙而配置。
在陶瓷層4b的主面上，如圖2及圖3所示，形成沿x軸方向延伸，并與 外部電極14a、 14b不連接的等腰梯形的內(nèi)部電極7(空心電極)。更詳細(xì)而言，如圖3所示，內(nèi)部電極7的y軸方向的寬度隨著從位于x軸方向的負(fù)方向側(cè)一 端的邊(以下稱作下底)向位于x軸方向的正方向側(cè)一端的邊(以下稱作上底) 而減小。另外，等腰梯形的內(nèi)部電極7的高度方向與x軸方向一致。
此處，如圖3所示，在從z軸方向俯視時(shí)，內(nèi)部電極6a在內(nèi)部電極7的 下底處與該內(nèi)部電極7夾著陶瓷層4a相對(duì)。同樣，內(nèi)部電極6b在內(nèi)部電極7 的上底處與該內(nèi)部電極7夾著陶瓷層4a相對(duì)。據(jù)此，由陶瓷層4a、內(nèi)部電極 7、內(nèi)部電極6a、 6b構(gòu)成熱敏電阻。
從z軸方向的上側(cè)起以圖2所示的分解立體圖的陶瓷層5a 5c、 4a、 4b、 5d 5f的順序?qū)⑵渲丿B，形成層疊體12。另外，若在層疊體12的表面形成外 部電極14a、 14b，則可以得到電子元器件10a。 (效果)
如上所述構(gòu)成的電子元器件10a，如以下使用圖3至圖5說明的那樣，不 改變內(nèi)部電極7的大小或形狀等的設(shè)計(jì)就可以使電阻值向增加的方向或者向減 小的方向變化，可以進(jìn)行電阻值的微調(diào)。更具體而言，通過使內(nèi)部電極7向x 軸方向的正方向側(cè)移動(dòng)，可以增大電阻值，通過使內(nèi)部電極7向x軸方向的負(fù) 方向側(cè)移動(dòng)，可以減小電阻值。即，在電子元器件10a中，可以使電阻值從如 圖3所示的電子元器件10a的電阻值增加或減小，可以得到具有各種電阻值的 電子元器件。另外，不改變內(nèi)部電極7的大小或形狀等的設(shè)計(jì)，就可以對(duì)電子 元器件10a的電阻值微調(diào)。
此處，圖4 (a)是使內(nèi)部電極7從圖3所示的狀態(tài)向x軸方向的正方向 移動(dòng)AL時(shí)的，從z軸方向俯視電子元器件10a的透視圖。圖4 (b)是表示內(nèi) 部電極6a與內(nèi)部電極7重疊部分的面積的減小量的圖，圖4 (c)是表示內(nèi)部 電極6b與內(nèi)部電極7重疊部分的面積的增加量的圖。圖5 (a)是使內(nèi)部電極 7從圖3所示的狀態(tài)向x軸方向的負(fù)方向移動(dòng)AL時(shí)的，從z軸方向俯視電子 元器件10a的透視圖。圖5 (b)是處于圖5 (a)的狀態(tài)的電子元器件10a的 xz平面的截面構(gòu)造圖。
首先，圖3 (a)中，設(shè)內(nèi)部電極7與內(nèi)部電極6a重疊的區(qū)域?yàn)閰^(qū)域El; 設(shè)內(nèi)部電極7與內(nèi)部電極6b重疊的區(qū)域?yàn)閰^(qū)域E2;設(shè)內(nèi)部電極7與內(nèi)部電極 6a、 6b不重疊的區(qū)域?yàn)閰^(qū)域E3。另外，區(qū)域E1、 E2、 E3的面積分別為面積
9Sl、 S2、 S3。
如圖3 (a)所示，在電子元器件10a中，內(nèi)部電極6a的y軸方向的寬度 比內(nèi)部電極7的下底的y軸方向的寬度稍大。另外，內(nèi)部電極6b的y軸方向 的寬度是內(nèi)部電極7的上底的y軸方向的寬度以上。因此，若等腰梯形的內(nèi)部 電極7的下底附近與上底附近分別與內(nèi)部電極6a、 6b重疊，則區(qū)域E3與內(nèi)部 電極6a接觸的部分的兩端間的y軸方向的寬度Ll比區(qū)域E3與內(nèi)部電極6b接 觸的部分的兩端間的y軸方向的寬度L2大。
如上所述，若寬度L1比寬度L2大，則可以使內(nèi)部電極7向x軸方向移 動(dòng)時(shí)的區(qū)域El的面積Sl的增減量比區(qū)域E2的面積S2的增減量大。S卩，不 改變內(nèi)部電極6a、 6b、 7的形狀，只需移動(dòng)內(nèi)部電極7，就可以使區(qū)域E3的 面積S3增減。下面詳細(xì)說明。
在內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向移動(dòng)AL時(shí)，如圖4 (a)及圖4 (b) 所示，區(qū)域E1的面積S1減小相當(dāng)于等腰梯形的區(qū)域AE1的面積AS1。此處， 用于調(diào)整電阻值的內(nèi)部電極7的移動(dòng)量在0.05mm以下。因此，如圖4(b)所 示，區(qū)域AE1可以近似為長(zhǎng)L1、寬AL的長(zhǎng)方形。同樣，區(qū)域E2的面積S2 增加相當(dāng)于等腰梯形的區(qū)域AE2的面積AS2。因此，如圖4(c)所示，區(qū)域AE2 可以近似為長(zhǎng)L2、寬AL的長(zhǎng)方形。
此處，比較區(qū)域AE1的面積AS1與區(qū)域AE2的面積AS2，由于寬度Ll 比寬度L2大，因此面積AS1比面積AS2大。S卩，在電子元器件10a中，通過 使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向移動(dòng)，可以使內(nèi)部電極6a、 6b與內(nèi)部電極7 重疊的區(qū)域E1、 E2的面積S1、 S2的總和減小。電子元器件10a的電阻值取決 于面積S1、 S2的總和。因此，若使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向移動(dòng)，使 面積S1、 S2的總和減小，則電子元器件10a的電阻值增大。
另一方面，如圖5所示，若使內(nèi)部電極7向x軸方向的負(fù)方向移動(dòng)，則面 積S1、 S2的總和增加，電子元器件10a的電阻值減小，但由于其原理與使內(nèi) 部電極7向x軸方向的正方向移動(dòng)時(shí)相同，因此省略說明。
如上所述，在電子元器件10a中，內(nèi)部電極6a、 6b、 7形成的構(gòu)造及配置 使得寬度L1比寬度L2大。因此，在電子元器件10a中，使內(nèi)部電極7向x軸 方向的正方向或者負(fù)方向移動(dòng)，可以使電子元器件10a的電阻值增大或者減小。其結(jié)果是，不改變空心電極7的大小或形狀等的設(shè)計(jì)，就可以進(jìn)行電阻值的微 調(diào)。
另外，在電子元器件10a中，如圖3所示，內(nèi)部電極7的y軸方向的寬度 隨著向x軸方向的正方向而減小。因此，無(wú)論內(nèi)部電極7的移動(dòng)量如何，寬度 L1始終比寬度L2大。因此，在電子元器件10a中，增大內(nèi)部電極7的移動(dòng)量， 電阻值的調(diào)整幅度可以取得較大。
另外，在電子元器件10a中，如圖3所示，內(nèi)部電極6a、 6b的y軸方向 的寬度分別是內(nèi)部電極7的上底及下底以上的大小。因此，在制造電子元器件 10a的層疊體12時(shí)，即使內(nèi)部電極7由于陶瓷生片的層疊偏離而在y軸方向偏 離，內(nèi)部電極7也不容易從內(nèi)部電極6a、 6b在y軸方向露出。其結(jié)果是，電 子元器件10a的電阻值的偏差被抑制。
另外，在將內(nèi)部電極印刷在陶瓷層上時(shí)，由于室溫、濕度等條件，會(huì)產(chǎn)生 印刷滲洇或印刷不清，有時(shí)無(wú)法得到具有期望的電阻值的電子元器件。因此， 在電子元器件10a中，也可以為了將電阻值微調(diào)為期望的電阻值而使內(nèi)部電極 7沿x軸方向移動(dòng)。 (模擬結(jié)果)
本發(fā)明申請(qǐng)人為進(jìn)一步明確電子元器件10a具有的效果，進(jìn)行了下面說明 的模擬。圖6是表示模擬所使用的樣品的圖。圖6(a)是從z軸方向俯視相當(dāng) 于電子元器件10a的第一樣品的透視圖。圖6 (b)是從z軸方向俯視相當(dāng)于專 利文獻(xiàn)1所披露的層疊熱敏電阻的第二樣品的透視圖。圖6 (c)是第一樣品及 第二樣品的xz平面的截面構(gòu)造圖。在本模擬中，使圖6所示的兩個(gè)樣品的內(nèi) 部電極6a、 6b、 7、 106a、 106b、 107沿x軸方向移動(dòng)，計(jì)算電子元器件10a 及層疊熱敏電阻110的電阻值。下面說明模擬條件。
圖6 (a)所示的第一樣品使用芯片尺寸為0603 (0.6mmx0.3mmx0.3mm) 的樣品，與圖3所示的電子元器件10a—樣，設(shè)置內(nèi)部電極6a、 6b、 7。不過， 如圖6 (c)所示，內(nèi)部電極6a、 6b分別夾著內(nèi)部電極7，各設(shè)置兩片。此處， 內(nèi)部電極7的上底的長(zhǎng)度Lll為0.16mm，下底的長(zhǎng)度L12為0.2mm，高度L13 為0.405mm。另外，內(nèi)部電極6a、 6b的寬度L12是0.2mm。另外，內(nèi)部電極 6a與內(nèi)部電極6b之間的間隙為L(zhǎng)15。圖6 (b)所示的第二樣品使用芯片尺寸為0603 (0.6mmx0.3mmx0.3mm) 的樣品，與圖IO所示的層疊熱敏電阻IIO—樣，設(shè)置內(nèi)部電極106a、 106b、 107。不過，如圖6 (c)所示，內(nèi)部電極106a、 106b分別夾著內(nèi)部電極107, 各設(shè)置兩片。此處，內(nèi)部電極107的寬度L21為0.2mm，高度L23為0.38mm。 另外，內(nèi)部電極106a、 106b的寬度L21是0.2mm。另外，內(nèi)部電極106a與內(nèi) 部電極106b之間的間隙為L(zhǎng)25。
在以上的模擬條件下，使內(nèi)部電極7、 107在x軸方向從基準(zhǔn)位置偏離 ±0.05mm，計(jì)算電阻值。該基準(zhǔn)位置是指內(nèi)部電極7、 107與內(nèi)部電極106a、 106b的重疊部分在x軸方向上的寬度相同時(shí)的內(nèi)部電極7、 107的位置。另外， 此時(shí)使間隙L15、 L25在0.15mm 0.19mm之間每次變化O.Olmm，計(jì)算電阻 值。圖7是表示模擬結(jié)果的曲線圖?？v軸表示電阻值，橫軸表示間隙的大小。
如圖7所示，在相當(dāng)于專利文獻(xiàn)1所披露的層疊熱敏電阻的第二樣品中， 例如在間隙L25為0.15mm的情況下，電阻值是llkQ，可以理解為即便使內(nèi) 部電極107移動(dòng)，電阻值也不會(huì)變。另一方面，在相當(dāng)于電子元器件10a的第 一樣品中，可知在間隙L15為0.15mm的情況下，若使內(nèi)部電極7移動(dòng)，則電 阻值會(huì)在從10.7m至U 11.2kQ的范圍變化，可以理解為通過使內(nèi)部電極7移動(dòng) 會(huì)使電阻值變化0.4kQ 0.5kQ。艮卩，根據(jù)模擬，在專利文獻(xiàn)1所披露的層疊熱 敏電阻中，即便使內(nèi)部電極107移動(dòng)也無(wú)法使電阻值變化，與之相對(duì)，在電子 元器件10a中，通過使內(nèi)部電極7移動(dòng)可以使電阻值變化。而且，可以進(jìn)行微 小的電阻變化。因此，在電子元器件10a中，可以得到具有多種電阻值的電子 元器件。
另外，如圖7所示，在第二樣品中，即使將L25固定為0.150mm，使內(nèi) 部電極107移動(dòng)，電阻值也是llkfi，電阻值沒有變化。另夕卜，即便使間隙L25 每次增大0.01mm，也只能使電阻值每次以0.4ka 0.5kQ不連續(xù)地變化。與之 相對(duì)，如圖7所示，在第一樣品中，若使間隙L15增大0.01mm，則電阻值會(huì) 減小0.4kQ 0.5kQ。另夕卜，若固定間隙L15使內(nèi)部電極7移動(dòng)0.05mm，則電 阻值會(huì)變化0.4kQ 0.5kn。 S卩，通過以O(shè).Olmm為單位調(diào)整間隙L15，使內(nèi)部 電極7在0.05mm的范圍內(nèi)移動(dòng)，在第一樣品中，電阻值可以在8.9kQ 11.2kQ 之間連續(xù)變化。即，在電子元器件10a中，可以在較寬的范圍內(nèi)進(jìn)行細(xì)微的電阻值的調(diào)整。因此，在電子元器件10a中，可以通過調(diào)整內(nèi)部電極7的移動(dòng)量 及間隙L15的大小來校正內(nèi)部電極6a、 6b、 7的印刷滲洇或印刷不清引起的電 阻值的微小偏離。 (變形例)
然而，由于在電子元器件10a中，內(nèi)部電極7的形狀是等腰梯形，因此， 使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負(fù)方向移動(dòng)，可以使電子元器件10a的 電阻值增大或者減小，這不用上述說明從圖3及圖4即可知曉。然而，在內(nèi)部 電極7的形狀是等腰梯形以外的形狀時(shí)，內(nèi)部電極6a、 6b、 7通過形成為寬度 Ll比寬度L2大的構(gòu)造及配置，根據(jù)同樣的原理，可以使電子元器件的電阻值 減小或者增大。下面，參照

電子元器件10a的變形例。圖8及圖9是 從z軸方向俯視變形例所涉及的電子元器件10b 10f的透視圖。
圖8 (a)是從z軸方向俯視第一變形例所涉及的電子元器件10b的透視 圖。在電子元器件10b中，內(nèi)部電極7的形狀是長(zhǎng)方形與半圓形的組合。更詳 細(xì)而言，內(nèi)部電極7的形狀是在長(zhǎng)方形電極的x軸方向的正方向側(cè)結(jié)合半圓形 的電極。在具有這樣的內(nèi)部電極7的電子元器件10b中，寬度L1也比寬度L2 大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負(fù)方向移動(dòng)，可以使電 子元器件10b的電阻值增大或者減小。
圖8 (b)是從z軸方向俯視第二變形例所涉及的電子元器件10c的透視 圖。在電子元器件10c中，內(nèi)部電極7的形狀是等腰梯形與長(zhǎng)方形的組合。更 詳細(xì)而言，內(nèi)部電極7的形狀是在等腰梯形的電極的x軸方向的負(fù)方向側(cè)結(jié)合 長(zhǎng)方形的電極。在具有這樣的內(nèi)部電極7的電子元器件10c中，寬度L1也比 寬度L2大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負(fù)方向移動(dòng)， 可以使電子元器件10c的電阻值增大或者減小。
此處，在上述電子元器件10a 10c中，為了使寬度L1比寬度L2大，內(nèi) 部電極7的y軸方向的寬度隨著向x軸方向的正方向側(cè)而減小。然而，使寬度 Ll比寬度L2大的方法不限于此。下面，例舉其他變形例進(jìn)行說明。
圖8 (c)是從z軸方向俯視第三變形例所涉及的電子元器件10d的透視 圖。在電子元器件10d中，內(nèi)部電極7的形狀是長(zhǎng)方形。但是，在內(nèi)部電極7 的內(nèi)部形成未形成有導(dǎo)電膜的三角形的空白部B。該空白部B的形狀是y軸方向的寬度隨著從內(nèi)部電極7與內(nèi)部電極6a重疊的端部向內(nèi)部電極7與內(nèi)部電 極6b重疊的端部而增大。
在以上的電子元器件10d中，如圖8 (c)所示，寬度L1、 L2分別是從內(nèi) 部電極7的y軸方向的寬度減去空白部B的y軸方向的寬度的大小。內(nèi)部電極 7的y軸方向的寬度在x軸方向?yàn)橐欢?，與之相對(duì)，空白部B的y軸方向的寬 度隨著向x軸方向的正方向而增大。因此，在電子元器件10d中，寬度L1比 寬度L2大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負(fù)方向移動(dòng)， 可以使電子元器件10d的電阻值增大或者減小。另外，根據(jù)電子元器件10d， 由于內(nèi)部電極7的外形可以保持為矩形，因此可以抑制電子元器件10d的電阻 值的偏差。另外，在電子元器件10d中，空白部B也可以是梯形。
圖9(a)是從z軸方向俯視第四變形例所涉及的電子元器件10e的透視圖。 在電子元器件10e中，內(nèi)部電極7的形狀是長(zhǎng)方形，內(nèi)部電極6a、 6b的形狀 是等腰梯形。更詳細(xì)而言，內(nèi)部電極6a、 6b的y軸方向的寬度隨著向x軸方 向的正方向而增大。另外，內(nèi)部電極6a的y軸方向的寬度是內(nèi)部電極7的x 軸方向的負(fù)方向側(cè)的端部的y軸方向的寬度(由于內(nèi)部電極7是長(zhǎng)方形，此處 是內(nèi)部電極7的y軸方向的寬度)以上(圖9中相等)。利用這樣的內(nèi)部電極 6a、 6b、 7，也可以使寬度L1比寬度L2大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸 方向的正方向或者負(fù)方向移動(dòng)，可以使電子元器件10e的電阻值增大或者減小。
圖9(b)是從z軸方向俯視第五變形例所涉及的電子元器件10f的透視圖。 在電子元器件10f中，內(nèi)部電極7的形狀與圖3所示的電子元器件10a的內(nèi)部 電極7—樣，是等腰梯形。另外，內(nèi)部電極6a、 6b的形狀與圖9 (a)所示的 電子元器件10e的內(nèi)部電極6a、 6b—樣，是等腰梯形。更詳細(xì)而言，內(nèi)部電 極6a、 6b、 7的y軸方向的寬度隨著向x軸方向的正方向而增大。另外，內(nèi)部 電極6a的x軸方向的正方向側(cè)的端部的y軸方向的寬度比內(nèi)部電極7的x軸 方向的負(fù)方向側(cè)的端部的y軸方向的寬度大。另外，內(nèi)部電極6b的x軸方向 的負(fù)方向側(cè)的端部的y軸方向的寬度比內(nèi)部電極7的x軸方向的正方向側(cè)的端 部的y軸方向的寬度小。利用這樣的內(nèi)部電極6a、 6b、 7，也可以使寬度Ll 比寬度L2大。其結(jié)果是，使內(nèi)部電極7向x軸方向的正方向或者負(fù)方向移動(dòng)， 可以使電子元器件10f的電阻值增大或者減小。特別是，由于內(nèi)部電極6a、 6b、7可以使用同一形狀的電極圖案，因此在批量生產(chǎn)時(shí)尤為有效。
另外，較為理想的是在電子元器件10a 10f中，即使內(nèi)部電極7在x軸 方向移動(dòng)，寬度L1也始終比寬度L2大。不過，為調(diào)整電阻值而使內(nèi)部電極7 移動(dòng)的移動(dòng)量很多情況下比較微小。因此，寬度Ll至少在為調(diào)整電阻值而使 內(nèi)部電極7移動(dòng)的范圍內(nèi)比寬度L2大即可，在除此之外的范圍內(nèi)，寬度L2 也可以比寬度L1大。為調(diào)整電阻值而使內(nèi)部電極7移動(dòng)的移動(dòng)量的范圍例如 是0.05mm。
上述實(shí)施方式所涉及的電子元器件10a 10f只是示例，電子元器件不限 于上述說明。例如，內(nèi)部電極6a、 6b不必一定設(shè)置在同一平面上，也可以設(shè) 置在將空心電極7夾在中間與空心電極7相對(duì)的平面上。 (制造方法)
下面，參照?qǐng)D1及圖2說明電子元器件10a 10f的制造方法。此處，作 為電子元器件10a 10f的制造方法的一個(gè)例子，說明電子元器件10a的制造方 法。
首先，作為原料，準(zhǔn)備78.5molX的Mn304、 21.5mol^的NiO，以及將這 些原料作為100mol份時(shí)0.5mol份的TiO2。接下來，在調(diào)合后的粉末中添加純 水，與氧化鋯球一起進(jìn)行IO小時(shí)混合粉碎處理，干燥后，在110(TC的溫度下 預(yù)燒2小時(shí)。
接下來，通過在得到的預(yù)燒后的粉末中添加有機(jī)粘合劑、分散劑及水，與 氧化鋯球一起混合若干小時(shí)，制作漿料。
接下來，使用漿料，利用刮刀法形成厚度為20 30pm的陶瓷生片。
接下來，在應(yīng)成為陶瓷層4a、 4b的陶瓷生片上，利用絲網(wǎng)印刷法，印刷 包含作為導(dǎo)電成分的銀一鈀的導(dǎo)電性糊料，形成應(yīng)成為圖2所示的內(nèi)部電極 6a、 6b、 7的導(dǎo)電性糊料膜。
接下來，確認(rèn)在應(yīng)成為內(nèi)部電極6a、 6b、 7的導(dǎo)電性糊料膜上是否產(chǎn)生印 刷滲洇或者印刷不清。確認(rèn)有無(wú)印刷滲洇或者印刷不清，例如可以通過使用圖 像分析等進(jìn)行。
接下來，從下方起按照順序?qū)盈B及壓接應(yīng)成為陶瓷層5f、 5e、 5d、 4b、 4a、 5c、 5b、 5a的陶瓷生片，并切割為規(guī)定的尺寸，得到未燒成的層疊體12。在
15層疊陶瓷層4a時(shí)，調(diào)整內(nèi)部電極7的位置并層疊應(yīng)成為陶瓷層4a的陶瓷生片， 以使內(nèi)部電極6a、 6b與內(nèi)部電極7重疊的區(qū)域El、 E2的面積S1、 S2為期望 的面積。特別是，在導(dǎo)電性糊料產(chǎn)生印刷滲洇時(shí)，面積S1、 S2比期望的面積 大，電子元器件10a的電阻值比期望的電阻值小。因此，使內(nèi)部電極7向x軸 方向的正方向側(cè)移動(dòng)，層疊應(yīng)成為陶瓷層4a的陶瓷生片。另一方面，在導(dǎo)電 性糊料產(chǎn)生印刷不清時(shí)，面積S1、 S2比期望的面積小，電子元器件10a的電 阻值比期望的電阻值大。因此，使內(nèi)部電極7向x軸方向的負(fù)方向側(cè)移動(dòng)，層 疊應(yīng)成為陶瓷層4a的陶瓷生片。
接下來，將未燒成的層疊體12在大氣中以35(TC的溫度進(jìn)行20小時(shí)的脫 脂，在大氣氣氛中以120(TC的溫度燒成2小時(shí)。據(jù)此，得到燒成的層疊體12。
接下來，使用分別由Si和Al制成的拋光介質(zhì)對(duì)層疊體12進(jìn)行滾筒拋光， 對(duì)層疊體12的角落部及棱線部分的角部進(jìn)行圓角處理。
接下來，在層疊體12的側(cè)面形成由銀制成的焊接電極，接下來，在銀電 極上形成由鎳構(gòu)成的鍍膜，另外，形成由錫構(gòu)成的鍍膜，形成外部電極14a、 14b。利用以上的工序，完成電子元器件10a。
權(quán)利要求
1.一種電子元器件，其特征在于，包括層疊陶瓷層而成的層疊體；形成于所述層疊體的表面的第一外部電極及第二外部電極；在所述層疊體內(nèi)沿規(guī)定方向延伸，并與所述第一外部電極及所述第二外部電極不連接的空心電極；與所述第一外部電極連接，并在所述空心電極的一端夾著所述陶瓷層相對(duì)的第一內(nèi)部電極；以及與所述第二外部電極連接，并在所述空心電極的另一端夾著所述陶瓷層相對(duì)的第二內(nèi)部電極，在從層疊方向俯視時(shí)，所述空心電極的與所述第一內(nèi)部電極及所述第二內(nèi)部電極不重疊的非重疊部分與該第一內(nèi)部電極及該第二內(nèi)部電極中的至少一方接觸的部分的兩端間的與所述規(guī)定方向垂直的第一寬度，比該非重疊部分與該第一內(nèi)部電極及該第二內(nèi)部電極中的另一方接觸的部分的兩端間的與該規(guī)定方向垂直的第二寬度大。
2. 如權(quán)利要求1所述的電子元器件，其特征在于，即使所述空心電極向 規(guī)定方向移動(dòng)時(shí)所述第一寬度也比所述第二寬度大。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的電子元器件，其特征在于，所述空心電極的 與所述規(guī)定方向垂直的寬度隨著從該空心電極的一端向另一端而減小，所述第一內(nèi)部電極及所述第二內(nèi)部電極的與所述規(guī)定方向垂直的寬度分 別是所述空心電極的一端及另一端的與所述規(guī)定方向垂直的寬度以上的大小。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的電子元器件，其特征在于，在所述空心電極 上形成有未形成導(dǎo)電膜的空白部，所述空白部的與所述規(guī)定方向垂直的寬度隨著從所述空心電極的一端向 另一端而增大。
5. 如權(quán)利要求1或2所述的電子元器件，其特征在于，所述空心電極、 所述第一內(nèi)部電極及所述第二內(nèi)部電極的與所述規(guī)定方向垂直的寬度隨著從 該空心電極的一端向另一端而增大，所述空心電極、所述第一內(nèi)部電極及所述第二內(nèi)部電極的電極圖案是同一 形狀。
全文摘要
本發(fā)明提供一種不大幅改變其基本構(gòu)造就可以使電阻值變化的電子元器件。層疊體(12)是層疊陶瓷層而成的。外部電極(14a)、(14b)形成于層疊體(12)的表面。內(nèi)部電極(7)在層疊體(12)內(nèi)沿x軸方向延伸，并且與外部電極(14a)、(14b)不連接。內(nèi)部電極(6a)與外部電極(14a)連接，并在內(nèi)部電極(7)的一端夾著陶瓷層相對(duì)。內(nèi)部電極(6b)與外部電極(14b)連接，并在內(nèi)部電極(7)的另一端夾著陶瓷層相對(duì)。在從z軸方向俯視時(shí)，內(nèi)部電極(7)的y軸方向的寬度隨著從內(nèi)部電極(7)的一端向另一端而減小，內(nèi)部電極(7)的與內(nèi)部電極(6a)、(6b)不重疊的區(qū)域(E3)與內(nèi)部電極(6a)接觸的部分的兩端間的y軸方向的寬度(L1)比區(qū)域(E3)與內(nèi)部電極(6b)接觸的部分的兩端間的y軸方向的寬度(L2)寬。
文檔編號(hào)H01C7/00GK101609739SQ20091013943
公開日2009年12月23日 申請(qǐng)日期2009年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月16日
發(fā)明者伊藤弘將 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所