專利名稱：有機電致發(fā)光屏電極的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種電極的制作方法，特別是涉及一種有機電致發(fā)光屏的電極的制作方法。
背景技術(shù)：
一般的有機電致發(fā)光屏(或稱有機電致發(fā)光顯示屏-OLED)需要制作前電極和背電極。制作發(fā)光屏的首道工序就是制作前電極。制作前電極是將透明導電膜層刻制成條狀的電極。
在先技術(shù)中，前電極的制作過程，如圖1所示的制作過程<1>首先在發(fā)光屏的玻璃基片1上覆蓋一層ITO(氧化銦錫)透明導電膜2；<2>在ITO透明導電膜2上涂上一層光刻膠層3；<3>在光刻膠層3上置放一相對應(yīng)電極條掩膜的掩膜板4，并用紫外光源5進行光刻，刻制成與電極條相對應(yīng)的光刻膠條6；<4>用腐蝕刻制的方法，刻去兩兩光刻膠條6之間所露出的ITO透明導電膜，即刻制出ITO電極條7和兩電極條之間的間隙8；<5>去掉覆蓋ITO電極條7上的光刻膠條6；為了防止ITO電極條邊緣漏電，要再用光刻的方法在ITO電極的邊緣做一層絕緣層，然后再做隔離柱為最后蒸發(fā)背電極時，形成相互隔離的垂直于ITO電極條的背電極條。所以，要進行下一步<6>用甩膠的方法在ITO電極條上涂上一層專做絕緣層的正性光刻膠層12；<7>用專做絕緣層的掩膜板13進行精確對位后進行曝光，其精確度要求5微米以下；<8>進行顯影，把需要留下的絕緣層14留下并進行高溫烘烤。上述的制作過程中要求兩次對準掩膜板，兩次光刻。其操作比較復(fù)雜，嚴重的影響了制作效率。而且由于制作的是正性光刻膠層的絕緣層，是有機絕緣層，不僅所用的光刻膠價格昂貴，而且還容易帶來殘留有機氣氛，影響有機電致發(fā)光器件的性能，經(jīng)常會出現(xiàn)光點的收縮等不良效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為了克服制作絕緣層時再次需要精確對準的掩膜板光刻和有機絕緣層所帶來的麻煩以及對有機電致發(fā)光屏的不利因素。提供一種制作有機電致發(fā)光屏電極的方法。制作的絕緣層是無機絕緣層，絕緣層制作后無須再用掩膜板和光刻。
本發(fā)明為了達到上述的目的所采取的技術(shù)方案分為前電極和背電極的制作過程。在制作前電極的過程中，當刻制出透明電極條及其間隙之后，即上述制作前電極過程中，第4步完成之后，先不去掉覆蓋在電極條上的光刻膠條，而是用溶劑溶解光刻膠條，使光刻膠條的長度和寬度收縮，露出透明電極條的邊緣，然后在上面覆蓋一層無機絕緣層，再將覆蓋在透明電極條上的光刻膠條連同覆蓋在它上的絕緣層一起去掉，則留下的是覆蓋透明電極條之間間隙和包住透明電極條邊緣的絕緣層，此絕緣層起到了保護電極條邊緣的作用。
制作背電極的過程中，采用拉線模具和一次蒸鍍的方法制作背電極條。本發(fā)明電極的制作方法效果顯著。
①本發(fā)明的前電極制作過程中，比在先技術(shù)制作前電極的過程中減少了一次置放掩膜板和光刻的工藝過程，縮短了制作前電極的總過程，提高了生產(chǎn)效率。
②本發(fā)明前電極的制作過程中，制作絕緣層是自對準。不存在對準掩膜板不準確的問題，從而工藝簡單化了，精度也提高了。
③本發(fā)明前電極的制作過程中，制作絕緣層是用無機絕緣材料，它的性能穩(wěn)定可靠，也免去了在先技術(shù)中用有機絕緣層對有機電致發(fā)光器件所帶來的不良影響。
④本發(fā)明制作背電極的過程中，因為采用拉線模具一次蒸鍍成功。而且，該拉線模具能夠時時繃緊拉線，蒸鍍出的電極條均勻而精確度高，而且操作簡單方便。又減少了一道光刻的工藝過程。


圖1是在先技術(shù)制作有機電致發(fā)光屏前電極的方法過程示意圖；圖2是本發(fā)明制作有機電致發(fā)光屏前電極的方法過程示意圖；
圖2-1是圖2中第<4>步的A平面放大圖；圖2-2是圖2中第<5>步的B平面放大圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖進一步說明本發(fā)明制作有機電致發(fā)光屏電極的方法以及與在先技術(shù)對比存在的優(yōu)點。
圖2是本發(fā)明有機電致發(fā)光屏前電極的制作過程示意圖。如圖2所示<1>首先在發(fā)光屏的透明基片1上覆蓋一層透明導電膜2；在本實施例中，透明基片選擇玻璃基片，透明導電膜選用ITO(氧化銦錫)透明導電膜作為前電極的膜層；<2>在上述透明導電膜2上涂上一層光刻膠層3；在本實施例中，采用正性光刻膠層；<3>在上述的光刻膠層3上置放一掩膜板4，掩膜板4上的掩膜為相對應(yīng)的透明電極條7，并用紫外光源5進行光刻，將光刻膠層刻制成光刻膠條6；<4>對上述覆蓋有光刻膠條6的透明導電膜進行腐蝕刻制，經(jīng)過蝕刻后留下覆蓋有光刻膠條6的透明電極條7以及透明電極條7之間的間隙8；<5>用溶劑溶解上述覆蓋在透明電極條7上的光刻膠條6，使光刻膠條6的長寬收縮，露出透明導電條7的邊緣，如圖2和圖2-2中所示的溶解后的光刻膠條9；在本實施例中，所采用的溶劑是比一般顯影液濃度低30％至50％的顯影液；由圖2-2的平面放大圖與圖2-1的平面放大圖比較，顯然，被溶解后的光刻膠條9比溶解前的光刻膠條6收縮5微米到10微米，，也就是說，溶解光刻膠條6至收縮到露出透明電極條7的邊緣5微米到10微米為止；<6>在其上面覆蓋一層無機絕緣層10；所覆蓋的無機絕緣層10是由無機絕緣材料氧化物，或氮化物，或硫化物，或氟化物構(gòu)成。在本實施例中，采用無機絕緣材料SiO2作為絕緣層，絕緣層的厚度為200納米；所述的覆蓋無機絕緣層的方法可以采用真空蒸發(fā)的方法，或者采用高頻濺射的方法，或者采用溶膠凝膠的方法。在本實施例中，采用高頻濺射的方法涂鍍SiO2絕緣層；<7>采用一般的去膠液或用激光去膠的方法把光刻膠和附在它上面的無機絕緣層(SiO2層)一起去掉，留下覆蓋住透明電極條邊緣和透明電極條之間間隔的無機絕緣層11。
由圖2與圖1對比，顯然，圖2本發(fā)明制作有機電致發(fā)光屏前電極的過程比圖1在先技術(shù)制作前電極的過程短，省去了一次加掩膜板和光刻的工藝過程，提高了生產(chǎn)效率和制作精度。
本發(fā)明制作有機電致發(fā)光屏的背電極是采用拉線模具(中國專利200310109330.6提供)和一次蒸鍍的方法制作背電極條。在本實施例中，是采用真空蒸鍍的方法一次蒸鍍成功。這一次成功地蒸鍍背電極條又比在先技術(shù)省去了一次加掩膜板和光刻的工藝過程。所以，綜合本發(fā)明有機電致發(fā)光屏電極的制作方法比在先技術(shù)制作電極的過程省去了二次光刻的工藝過程，不僅縮短了制作過程，而且制作精度也提高了。
權(quán)利要求
1.一種有機電致發(fā)光屏電極的制作方法，分為前電極和背電極的制作過程，其中前電極的制作過程是<1>首先在發(fā)光屏的透明基片上覆蓋一層透明導電膜；<2>在透明導電膜上涂上一層光刻膠層；<3>在上述的光刻膠層上置放上一掩膜板，并用紫外光源進行光刻，將光刻膠層刻制成光刻膠條；<4>對上述覆蓋有光刻膠條的透明導電膜進行蝕刻，經(jīng)蝕刻后留下覆蓋有光刻膠條的透明電極條及透明電極條之間的間隙；其特征在于<5>用溶劑溶解上述覆蓋在透明電極條上的光刻膠條，使光刻膠條的長寬收縮，露出透明電極條的邊緣；<6>在其上面覆蓋一層無機絕緣層；<7>采用一般的去膠液或用激光去膠的方法，將覆蓋在透明電極條上的光刻膠條及覆蓋在它上面的無機絕緣層一起去掉，留下覆蓋住透明電極條邊緣和透明電極條之間間隙的無機絕緣層；所述的背電極的制作過程中，采用拉線模具和一次蒸鍍的方法制作背電極條。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光屏電極的制作方法，其特征在于所述的溶解覆蓋在透明電極條上的光刻膠條的溶劑是低于一般顯影液濃度30％至50％的顯影液。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光屏電極的制作方法，其特征在于所述的溶解覆蓋在透明電極條上的光刻膠條至光刻膠條的長寬收縮到露出透明電極條的邊緣5微米到10微米為止。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光屏電極的制作方法，其特征在于所述的覆蓋的無機絕緣層是由無機絕緣材料氧化物，或氮化物，或硫化物，或氟化物構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機電致發(fā)光屏電極的制作方法，其特征在于所述的覆蓋無機絕緣層的方法可以采用真空蒸發(fā)的方法，或者采用高頻濺射的方法，或者采用溶膠凝膠的方法。
全文摘要
一種有機電致發(fā)光屏電極的制作方法，在制作前電極的過程中，當刻制出透明電極條及其間隙之后，先不去掉覆蓋在透明電極條上的光刻膠條，而是用溶劑溶解光刻膠條，使光刻膠條的長寬收縮，露出透明電極條的邊緣。然后在其上面覆蓋一層無機絕緣層，再將覆蓋在透明電極條上的光刻膠條連同覆蓋在它上面的絕緣層一起去掉，留下是包住透明電極條邊緣和覆蓋透明電極條之間間隙的絕緣層；制作背電極的過程中采用拉線模具和一次蒸鍍制成背電極條的方法。比在先技術(shù)制作前后電極省去了二次光刻的工藝過程，縮短了制作電極的過程，提高了制作精度。
文檔編號H01L21/28GK1828975SQ200610024068
公開日2006年9月6日 申請日期2006年2月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年2月22日
發(fā)明者張志林, 李曉峰, 張積梅 申請人:上海廣電電子股份有限公司, 上海大學