表示調(diào)整用托盤20中的第2列形成有貫穿狹縫26的例子。
[0089]然后，測試用插座攝像部310在插座嵌合單元420嵌合于測試用插座122的狀態(tài)下拍攝測試用插座122及插座嵌合單元420，取得作為插座嵌合單元420相對(duì)于測試用插座122的相對(duì)位置的插座座標(biāo)(S710)。測試用插座攝像部310從插座板120的施熱部210側(cè)開始對(duì)第3、4、6、8、10、12、16列的測試用插座122及嵌合的插座嵌合單元420進(jìn)行拍攝。
[0090]此處，控制部340進(jìn)一步具有連接于測試用插座攝像部310的測試用插座位置檢測部346。測試用插座位置檢測部346在測試用插座122嵌合于插座嵌合單元420的狀態(tài)下檢測插座嵌合單元420相對(duì)于測試用插座122的相對(duì)位置。
[0091]圖9表示本實(shí)施形態(tài)所述測試用插座攝像部310對(duì)嵌合的測試用插座122及插座嵌合單元420進(jìn)行拍攝的結(jié)構(gòu)例。此處，插座嵌合單元420具有針腳插入部422、基準(zhǔn)標(biāo)記424、開口部426。針腳插入部422與插座針腳124相嵌合。即，插座嵌合單元420成為與器件保持器30的至少與插座針腳124嵌合的部分的形狀相同的形狀。
[0092]基準(zhǔn)標(biāo)記424可以為凸部、凹部、色彩或反射率不同的物質(zhì)以及貫穿孔等，在圖9中表示了形成有貫穿孔的例子。開口部426為在與測試用插座122相嵌合的狀態(tài)下能夠從與測試用插座122嵌合的面相對(duì)的側(cè)面對(duì)包含測試用插座122的至少一部分的電極126的區(qū)域進(jìn)行觀察的貫穿孔。
[0093]測試用插座攝像部310在測試用插座122上嵌合有插座嵌合單元420的狀態(tài)下，從插座嵌合單元420側(cè)對(duì)包含插座嵌合單元420的基準(zhǔn)標(biāo)記及測試用插座122的至少一部分的區(qū)域進(jìn)行拍攝。在測試用插座攝像部310拍攝的區(qū)域中包含表示測試用插座122的電極126的位置的信息。在本例中，表不電極126的位置的信息為在開口部426露出的電極126自身的信息。在另一例中，表示電極126的位置的信息可以為測試用插座122上設(shè)置的基準(zhǔn)標(biāo)記等。開口部426可以不是被插座嵌合單元420包括的區(qū)域。測試用插座位置檢測部346基于測試用插座攝像部310中的拍攝結(jié)果分別檢測測試用插座122的電極126與插座嵌合單元420的基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置。即，測試用插座位置檢測部346檢測測試用插座122的電極126相對(duì)于插座嵌合單兀420的基準(zhǔn)標(biāo)記424的相對(duì)位置。對(duì)應(yīng)于測試用插座122的電極126的相對(duì)位置調(diào)整被測器件12的位置，從而能夠準(zhǔn)確地連接測試用插座122和被測器件12。
[0094]然后，運(yùn)送部240為了將插座嵌合單元420依次嵌合于2個(gè)以上的測試用插座122上而運(yùn)送調(diào)整用托盤20。例如,運(yùn)送部240將調(diào)整用托盤20在行方向(X方向)的施熱部210側(cè)僅以相當(dāng)于測試用插座122的I列的距離進(jìn)行運(yùn)送。據(jù)此，第3、4、6、8、10、12、16列的容納部22中容納的插座嵌合單元420能夠從插座板120的施熱部210側(cè)與第2、3、5、7、9、11、13、15列的測試用插座122相嵌合。
[0095]測試用插座攝像部310從插座嵌合單元420側(cè)對(duì)嵌合的測試用插座122及插座嵌合單元420進(jìn)行拍攝。因此，基準(zhǔn)標(biāo)記424在插座嵌合單元420中可觀察地設(shè)置于與測試用插座122的嵌合面相對(duì)的面上。
[0096]另外，插座嵌合單元420也與調(diào)整用插座430嵌合。如后所述，嵌合的插座嵌合單元420及調(diào)整用插座430從調(diào)整用插座430側(cè)進(jìn)行拍攝。因此，插座嵌合單元420的基準(zhǔn)標(biāo)記424被設(shè)置為即使在與調(diào)整用插座430相嵌合的面也能被觀察到。也就是說，基準(zhǔn)標(biāo)記424是在與測試用插座122及調(diào)整用插座430相嵌合的面以及以該面的相對(duì)面二者均能觀察到的標(biāo)記。另外，插座嵌合單元420的基準(zhǔn)標(biāo)記424設(shè)置于以插座嵌合單元420與調(diào)整用插座430相嵌合的狀態(tài)下不被調(diào)整用插座430覆蓋的位置。
[0097]圖10表示多個(gè)插座嵌合單元420與多個(gè)測試用插座122相嵌合的第二結(jié)構(gòu)例。在如圖10所示狀態(tài)下，測試用插座攝像部310對(duì)插座板120的第2、5、7、9、11、13、15列的測試用插座122以及相嵌合的插座嵌合單兀420進(jìn)行拍攝。在插座板120中，X軸負(fù)方向上的一端的列開始依次為第I列、第2列、…第16列。另外，測試用插座位置檢測部346基于測試用插座攝像部310的拍攝結(jié)果，分別檢測對(duì)象列中測試用插座122的電極126與插座嵌合單元420的基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置。
[0098]同樣地，運(yùn)送部240將調(diào)整用托盤20排成一列地運(yùn)送到行方向的施熱部210偵U。據(jù)此，插座嵌合單元420能夠與插座板120的第1、2、4、6、8、10、12、14列的測試用插座122
相嵌合。
[0099]圖11表示本實(shí)施形態(tài)所述插座嵌合單元420與測試用插座122相嵌合的第三結(jié)構(gòu)例。據(jù)此，測試用插座攝像部310對(duì)插座板120的第I列的測試用插座122及所嵌合的插座嵌合單元420進(jìn)行拍攝。另外，測試用插座位置檢測部346基于測試用插座攝像部310的拍攝結(jié)果分別檢測測試用插座122的電極126與插座嵌合單元420的基準(zhǔn)標(biāo)記的相對(duì)位置，取得全部測試用插座122的插座座標(biāo)。
[0100]然后，分選裝置100將插座嵌合單元420嵌合于調(diào)整用插座430上，取得調(diào)整用插座430及測試用插座122之間的第I關(guān)系(S720)。第I關(guān)系例如包含表不在嵌合于插座嵌合單元420上時(shí)調(diào)整用插座430相對(duì)于插座嵌合單元420的相對(duì)位置及測試用插座122相對(duì)于插座嵌合單兀420的相對(duì)位置的信息。如此，插座嵌合單兀420與測試用插座122及調(diào)整用插座430依次嵌合。另外，運(yùn)送部240為了將調(diào)整用插座430與2個(gè)以上的插座嵌合單元420依次嵌合而運(yùn)送調(diào)整用托盤20。運(yùn)送部240可以運(yùn)送調(diào)整用托盤20，使得調(diào)整用托盤20中容納全部插座嵌合單元420與調(diào)整用插座430相嵌合。
[0101]圖12表示本實(shí)施形態(tài)所述插座嵌合單元420與調(diào)整用插座430相嵌合的結(jié)構(gòu)例。圖12表示調(diào)整用托盤20中的第3列的插座嵌合單元420與調(diào)整用插座430相嵌合的例子?？刂撇?40為使調(diào)整用托盤20中的另一列的插座嵌合單元420與調(diào)整用插座430相嵌合而控制運(yùn)送部240及/或執(zhí)行器單元320使其依次移動(dòng)。
[0102]調(diào)整用插座攝像部322在調(diào)整用插座430上嵌合有插座嵌合單元420的狀態(tài)下對(duì)調(diào)整用插座430及插座嵌合單元420進(jìn)行拍攝。圖13表示本實(shí)施形態(tài)所述調(diào)整用插座攝像部322對(duì)所嵌合的調(diào)整用插座430及插座嵌合單元420進(jìn)行拍攝的結(jié)構(gòu)例。
[0103]此處，調(diào)整用插座430包含插座針腳432、基準(zhǔn)標(biāo)記434、開口部436。插座針腳432與針腳插入部422相嵌合。S卩，調(diào)整用插座430成為與測試用插座122的至少于器件保持器30相嵌合的部分的形狀相同的形狀。
[0104]基準(zhǔn)標(biāo)記434是在調(diào)整用插座430中與器件保持器30及插座嵌合單元420相嵌合的面的相對(duì)側(cè)的面上能夠觀察到的標(biāo)記?；鶞?zhǔn)標(biāo)記434可以為凸部、凹部、色彩或反射率不同的物質(zhì)、及貫穿孔等，在圖13中顯示形成為凹部的例子。開口部436是從與插座嵌合單元420相嵌合的面的相對(duì)側(cè)對(duì)插座嵌合單元420的至少一部分區(qū)域進(jìn)行觀察的貫穿孔。本例中，該一部分區(qū)域中包含基準(zhǔn)標(biāo)記424。而且，調(diào)整用插座430也與器件保持器30相嵌合。開口部436能夠在與器件保持器30相嵌合的狀態(tài)下從相對(duì)側(cè)對(duì)被測器件12的至少一部分電極18進(jìn)行觀察。
[0105]調(diào)整用插座攝像部322在調(diào)整用插座430上嵌合有插座嵌合單元420的狀態(tài)下，從調(diào)整用插座430側(cè)通過貫穿孔324及開口部436對(duì)包含插座嵌合單元420的基準(zhǔn)標(biāo)記424及調(diào)整用插座430的至少一部分的區(qū)域進(jìn)行拍攝。此處，調(diào)整用插座攝像部322可以盡量包含調(diào)整用插座430的基準(zhǔn)標(biāo)記434進(jìn)行拍攝。
[0106]調(diào)整用插座位置檢測部342基于調(diào)整用插座攝像部322的拍攝結(jié)果對(duì)調(diào)整用插座430與插座嵌合單元420相嵌合的狀態(tài)下的插座嵌合單元420相對(duì)于調(diào)整用插座430的相對(duì)位置進(jìn)行檢測。調(diào)整用插座位置檢測部342作為一例將插座嵌合單元420的基準(zhǔn)標(biāo)記424與調(diào)整用插座430的基準(zhǔn)標(biāo)記434的距離及方向作為相對(duì)位置分別進(jìn)行檢測。
[0107]控制部340基于檢測到的調(diào)整用插座430相對(duì)于插座嵌合單元420的相對(duì)位置、測試用插座122相對(duì)于插座嵌合單元420的相對(duì)位置取得調(diào)整用插座430與測試用插座122之間的第I關(guān)系。例如、調(diào)整用插座位置檢測部342將檢測到的相對(duì)位置提供給測試用插座位置檢測部346。測試用插座位置檢測部346將測試用插座122與插座嵌合單元420的相對(duì)位置以及插座嵌合單元420與調(diào)整用插座430的相對(duì)位置的偏差作為測試用插座122與調(diào)整用插座430之間的錯(cuò)位量進(jìn)行檢測，作為第I關(guān)系。測試用插座位置檢測部346可以將檢測到的第I關(guān)系提供給調(diào)整用插座位置檢測部342。
[0108]然后，分選裝置100將執(zhí)行器嵌合單元410嵌合到調(diào)整用插座430上，取得測試用插座122與執(zhí)行器嵌合單元410之間的第2關(guān)系(S730)。此處，分選裝置100由于取得調(diào)整用插座430與測試用插座122之間的第I關(guān)系，通過對(duì)調(diào)整用插座430與執(zhí)行器嵌合單元410的相對(duì)位置進(jìn)行檢測，能夠取得執(zhí)行器嵌合單元410與測試用插座122之間的關(guān)系。
[0109]圖14表示本實(shí)施形態(tài)所述調(diào)整用插座430與執(zhí)行器嵌合單元410相嵌合的結(jié)構(gòu)例。調(diào)整用插座攝像部322在調(diào)整用插座430與執(zhí)行器嵌合單元410相嵌合的狀態(tài)下，從調(diào)整用插座430側(cè)對(duì)調(diào)整用插座430及執(zhí)行器嵌合單元410進(jìn)行拍攝。此處，調(diào)整用插座攝像部322對(duì)調(diào)整用插座430相嵌合的多個(gè)執(zhí)行器嵌合單元410從調(diào)整用托盤20的表面?zhèn)纫来芜M(jìn)行拍攝。圖15表示本實(shí)施形態(tài)所述調(diào)整用插座攝像部322對(duì)嵌合的調(diào)整用插座430及執(zhí)行器嵌合單元410進(jìn)行拍攝的結(jié)構(gòu)例。
[0110]此處，執(zhí)行器嵌合單元410包括內(nèi)部單元440和外部單元450。內(nèi)部單元440形成為器件保持器30的內(nèi)部單元32與外形形狀大致一致。即，通過取得第2關(guān)系，以取得取得器件保持器30的內(nèi)部單元32與測試用插座122之間的關(guān)系的程度下，內(nèi)部單元440與器件保持器30的內(nèi)部單元32的形狀相一致。
[0111]內(nèi)部單元440具有開口部442和基準(zhǔn)標(biāo)記444。開口部442是對(duì)保持該內(nèi)部單元440的外部單元450的至少一部分區(qū)域從保持該內(nèi)部單元440的面的相對(duì)側(cè)一面進(jìn)行觀察的貫穿孔?；鶞?zhǔn)標(biāo)記444是能夠在與調(diào)整用插座430相嵌合的側(cè)面以及該面的相對(duì)面二者均能夠進(jìn)行觀察的標(biāo)記?；鶞?zhǔn)標(biāo)記424可以為凸部、凹部、色彩或反射率不同的物質(zhì)、及貫穿孔等，在圖15中表示形成貫穿孔的例子。
[0112]外部單元450可移動(dòng)地保持內(nèi)部單元440。外部單元450可以包含針對(duì)是否可移動(dòng)地保護(hù)內(nèi)部單元440進(jìn)行機(jī)械切換的鎖定機(jī)構(gòu)。外部單元450具有針腳插入部452、基準(zhǔn)標(biāo)記454、開口部456。針腳插入部452與插座針腳432相嵌合。即，外部單元450為與器件保持器30的至少與插座針腳124相嵌合的部分的形狀相同的形狀。
[0113]基準(zhǔn)標(biāo)記454是在與調(diào)整用插座430及執(zhí)行器330相嵌合的面以及在該面的相對(duì)面二者均能夠進(jìn)行觀察的標(biāo)記。基準(zhǔn)標(biāo)記454可以為凸部、凹部、色彩或反射率不同的物質(zhì)、及貫穿孔等，在圖15中表示形