本實(shí)用新型屬于腔體工件密封性測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種腔體工件氦測(cè)治具，用于腔體工件氨測(cè)過程中密封面密封，特別是用于半導(dǎo)體零件小型腔體工件的密封面密封性測(cè)試。

背景技術(shù)：

氨測(cè)是檢測(cè)半導(dǎo)體零件小型腔體工件的密封性的工藝，治具設(shè)計(jì)是測(cè)試工藝的重要環(huán)節(jié),尤其是密封面測(cè)試治具是工藝中的重點(diǎn)，現(xiàn)有腔體工件類密封性檢測(cè)裝置通用性差，成本高。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有腔體工件類似件密封性檢測(cè)裝置通用性差，成本高的不足，提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，通用性強(qiáng)的腔體工件氦測(cè)治具，用作腔體工件密封性檢測(cè)的輔助裝置。

本實(shí)用新型通過下述技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)。一種腔體工件氦測(cè)治具，包括若干孔口密封蓋和孔口密封圈，側(cè)面腰槽密封圈和側(cè)面腰槽密封板，主通道孔密封圈和主通道孔密封蓋、斜面密封圈和斜面密封板，基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈、基準(zhǔn)面外圈密封圈和基準(zhǔn)面密封板，正面密封蓋板密封圈和正面密封蓋板，第一孔口密封法蘭，第二孔口密封法蘭；腔體工件設(shè)有貫通腔體工件正面和背面的主通道孔，腔體工件設(shè)有若干副通道孔，腔體工件的一個(gè)側(cè)面作為基準(zhǔn)面，與基準(zhǔn)面相對(duì)的另一個(gè)側(cè)面為斜面，基準(zhǔn)面和斜面均開有槽孔，另外一個(gè)側(cè)面開有腰槽；第一孔口密封法蘭連接其中一個(gè)副通道孔，第二孔口密封法蘭連接其中一個(gè)副通道孔，其余副通道孔通過孔口密封蓋和孔口密封圈密封；主通道孔密封圈和主通道孔密封蓋密封腔體工件背面的主通道孔；

正面密封蓋板密封圈和正面密封蓋板密封腔體工件正面的主通道孔；

基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈、基準(zhǔn)面外圈密封圈和基準(zhǔn)面密封板密封腔體工件基準(zhǔn)面的槽孔；

斜面密封圈和斜面密封板密封腔體工件斜面的槽孔；

側(cè)面腰槽密封圈和側(cè)面腰槽密封板密封腔體工件側(cè)面的腰槽。

作為優(yōu)選技術(shù)方案，副通道孔的數(shù)量為四個(gè)，所述孔口密封蓋包括第一孔口密封蓋和第二孔口密封蓋，所述孔口密封圈包括第一孔口密封圈和第二孔口密封圈；第一孔口密封蓋和第一孔口密封圈密封腔體工件背面的其中一個(gè)副通道孔，第二孔口密封圈和第二孔口密封蓋也密封腔體工件背面的其中一個(gè)副通道孔。

第一孔口密封蓋通過螺釘與腔體工件固定在一起，并且所述螺釘套設(shè)螺絲橡膠墊圈。

所述第二孔口密封蓋通過螺釘與腔體工件固定在一起，并且所述螺釘套設(shè)螺絲橡膠墊圈。

作為優(yōu)選技術(shù)方案，主通道孔密封圈和主通道孔密封蓋自腔體工件的正面放入腔體工件內(nèi)，主通道孔密封蓋通過螺釘緊固在腔體工件背面，主通道孔密封圈槽設(shè)于腔體工件背面的內(nèi)側(cè)，主通道孔密封圈嵌入主通道孔密封圈槽中，主通道孔密封蓋通過螺釘固定有把手。

作為優(yōu)選技術(shù)方案，所述基準(zhǔn)面密封板開設(shè)有基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈槽和基準(zhǔn)面外圈密封圈槽，基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈嵌入基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈槽，基準(zhǔn)面外圈密封圈嵌入準(zhǔn)面外圈密封圈槽，基準(zhǔn)面密封板通過螺釘固定在腔體工件的基準(zhǔn)面上。

作為優(yōu)選技術(shù)方案，所述斜面密封板開有斜面密封圈槽，斜面密封圈嵌入斜面密封圈槽，所述斜面密封板螺釘固定在腔體工件的斜面上。

作為優(yōu)選技術(shù)方案，所述側(cè)面腰槽密封板開設(shè)側(cè)面腰槽密封圈槽，側(cè)面腰槽密封圈嵌入側(cè)面腰槽密封圈槽，所述側(cè)面腰槽密封板通過螺釘固定在開設(shè)腰槽的腔體工件側(cè)面上。

作為優(yōu)選技術(shù)方案，腔體工件正面的主通道孔口開設(shè)正面密封蓋板密封圈槽，正面密封蓋板密封圈嵌入正面密封蓋板密封圈槽內(nèi)，所述正面密封蓋板通過螺釘與腔體工件正面緊固，所述螺釘套裝螺絲橡膠墊圈。

作為優(yōu)選技術(shù)方案，第一孔口密封法蘭的連接面設(shè)置密封圈槽并內(nèi)嵌密封圈，第一孔口密封法蘭通過密封卡扣組件連接氦測(cè)裝置的出氣管道，第二孔口密封法蘭的連接面設(shè)置密封圈槽并內(nèi)嵌密封圈，第二孔口密封法蘭連接氦測(cè)裝置的進(jìn)氣管道并在連接處設(shè)法蘭連接墊圈。

本實(shí)用新型采用對(duì)應(yīng)各通道孔的密封蓋、對(duì)應(yīng)各個(gè)面的密封板對(duì)腔體工件的孔和槽密封，并結(jié)合各種密封圈，通過螺絲緊固，使腔體工件形成密閉工件，并選擇兩個(gè)密封法蘭連接腔體工件的兩個(gè)孔口，以此作為氨測(cè)試驗(yàn)的進(jìn)氣口和出氣口，測(cè)量進(jìn)氣口和出氣口的氨氣壓力即可得到腔體工件的密封性數(shù)據(jù),達(dá)到測(cè)試的效果。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的整體圖A；

圖2為本實(shí)用新型的整體圖B；

圖3為本實(shí)用新型的組裝示意圖A；

圖4為本實(shí)用新型的組裝示意圖B。

圖中：1.腔體工件、2.第一孔口密封蓋、3.第一孔口密封圈、4.第二孔口密封圈、5.第二孔口密封蓋、6.側(cè)面腰槽密封圈、7.側(cè)面腰槽密封板、8.主通道孔密封圈、9.主通道孔密封蓋、10.螺絲橡膠墊圈、11.密封卡扣組件、12.把手、13.斜面密封圈、14.斜面密封板、15.基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈、16.基準(zhǔn)面外圈密封圈、17.基準(zhǔn)面密封板、18.正面密封蓋板密封圈、19.正面密封蓋板、20.第一孔口密封法蘭、21.第二孔口密封法蘭、22.法蘭連接墊圈、23.基準(zhǔn)面外圈密封圈槽。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型。

一種腔體工件氦測(cè)治具，如圖1-4所示，包括第一孔口密封蓋2和第一孔口密封圈3，第二孔口密封圈4和第二孔口密封蓋5，側(cè)面腰槽密封圈6和側(cè)面腰槽密封板7，主通道孔密封圈8和主通道孔密封蓋9、斜面密封圈13和斜面密封板14，基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈15、基準(zhǔn)面外圈密封圈16和基準(zhǔn)面密封板17，正面密封蓋板密封圈18和正面密封蓋板19，第一孔口密封法蘭20，第二孔口密封法蘭21；如圖3和圖4所示，所示腔體工件1設(shè)有貫通腔體工件正面和背面的主通道孔，腔體工件1的背面還設(shè)有四個(gè)副通道孔，腔體工件1的一個(gè)側(cè)面作為基準(zhǔn)面，與基準(zhǔn)面相對(duì)的另一個(gè)側(cè)面為斜面，基準(zhǔn)面和斜面均開有槽孔，另外一個(gè)側(cè)面開有腰槽。第一孔口密封蓋2和第一孔口密封圈3密封腔體工件1背面的其中一個(gè)副通道孔孔口，第二孔口密封圈4和第二孔口密封蓋5也密封腔體工件1背面的其中一個(gè)副通道孔孔口，第一孔口密封法蘭20連接其中一個(gè)副通道孔，第二孔口密封法蘭21連接其中一個(gè)副通道孔；主通道孔密封圈8和主通道孔密封蓋9密封腔體工件背面的主通道孔；正面密封蓋板密封圈18和正面密封蓋板19密封腔體工件正面的主通道孔；基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈15、基準(zhǔn)面外圈密封圈16和基準(zhǔn)面密封板17密封腔體工件基準(zhǔn)面的槽孔；斜面密封圈13和斜面密封板14密封腔體工件斜面的槽孔；側(cè)面腰槽密封圈6和側(cè)面腰槽密封板7密封腔體工件側(cè)面的腰槽。

為了保證密封效果，第一孔口密封蓋2通過螺釘與腔體工件1固定在一起，并且所述螺釘套設(shè)螺絲橡膠墊圈10。

為了保證密封效果，所述第二孔口密封蓋5通過螺釘與腔體工件1固定在一起，并且所述螺釘套設(shè)螺絲橡膠墊圈10。

為了保證密封效果，主通道孔密封圈8和主通道孔密封蓋9自腔體工件1的正面放入腔體工件1內(nèi)，主通道孔密封蓋9通過螺釘緊固在腔體工件背面，主通道孔密封圈槽設(shè)于腔體工件背面的內(nèi)側(cè)，主通道孔密封圈8嵌入主通道孔密封圈槽中。主通道孔密封蓋9通過螺釘固定有把手12，方便安裝時(shí)，取放主通道孔密封蓋9。

為了保證密封效果，所述基準(zhǔn)面密封板17開設(shè)有基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈槽和基準(zhǔn)面外圈密封圈槽23，基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈15嵌入基準(zhǔn)面內(nèi)圈密封圈槽，基準(zhǔn)面外圈密封圈16嵌入準(zhǔn)面外圈密封圈槽23，基準(zhǔn)面密封板17通過螺釘固定在腔體工件1的基準(zhǔn)面上。

為了保證密封效果，所述斜面密封板14開有斜面密封圈槽，斜面密封圈13嵌入斜面密封圈槽，所述斜面密封板14螺釘固定在腔體工件1的斜面上。

為了保證密封效果，所述側(cè)面腰槽密封板7開設(shè)側(cè)面腰槽密封圈槽，側(cè)面腰槽密封圈6嵌入側(cè)面腰槽密封圈槽，所述側(cè)面腰槽密封板7通過螺釘固定在開設(shè)腰槽的腔體工件側(cè)面上。

為了保證密封效果，腔體工件正面的主通道孔口開設(shè)正面密封蓋板密封圈槽，正面密封蓋板密封圈18嵌入正面密封蓋板密封圈槽內(nèi)，所述正面密封蓋板19通過螺釘與腔體工件正面緊固，所述螺釘套裝螺絲橡膠墊圈10。

為了保證密封效果，第一孔口密封法蘭20的連接面設(shè)置密封圈槽并內(nèi)嵌密封圈，第一孔口密封法蘭20通過密封卡扣組件11連接氦測(cè)裝置的出氣管道，第二孔口密封法蘭21的連接面設(shè)置密封圈槽并內(nèi)嵌密封圈，第二孔口密封法蘭21連接氦測(cè)裝置的進(jìn)氣管道并在連接處設(shè)法蘭連接墊圈22。氦測(cè)裝置通過測(cè)定第一孔口密封法蘭20處的氨氣出氣壓力和第二孔口密封法蘭21處的氨氣進(jìn)氣壓力來判斷腔體工件1的密封性。本實(shí)用新型采用對(duì)應(yīng)各通道孔的密封蓋、對(duì)應(yīng)各個(gè)面的密封板對(duì)腔體工件的孔和槽密封，并結(jié)合各種密封圈，通過螺絲緊固，使腔體工件形成密閉工件，并選擇兩個(gè)密封法蘭連接腔體工件的兩個(gè)孔口，以此作為氨測(cè)試驗(yàn)的進(jìn)氣口和出氣口，測(cè)量進(jìn)氣口和出氣口的氨氣壓力即可得到腔體工件的密封性數(shù)據(jù)。