本實用新型屬于電機檢測設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種電機軸向緩沖性能的檢測裝置。

背景技術(shù)：

低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵，又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、極限壓力低的真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。

半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的晶圓制造設(shè)備附屬有與之匹配的低溫泵，圖1所示為這種低溫泵同步的電機1，電機1內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖2所示，包括轉(zhuǎn)子11和定子12，轉(zhuǎn)子11穿設(shè)在定子12中，定子12兩端由前端蓋13和后端蓋14蓋住，前端蓋13和后端蓋14內(nèi)側(cè)的中間位置設(shè)有凹槽并分別放置有轉(zhuǎn)子前軸承15和轉(zhuǎn)子后軸承16，轉(zhuǎn)子11具有中心轉(zhuǎn)軸，中心轉(zhuǎn)軸前端由轉(zhuǎn)子前軸承15支撐并穿過前端蓋13，轉(zhuǎn)子11的中心轉(zhuǎn)軸后端由轉(zhuǎn)子后軸承16支撐。轉(zhuǎn)子前軸承15與前端蓋13以及轉(zhuǎn)子后軸承16與后端蓋14小間隙配合，而且轉(zhuǎn)子后軸承16的后端與后端蓋14之間放置有波形彈墊17。轉(zhuǎn)子11與定子12之間存在軸向推力時轉(zhuǎn)子11相對于定子12在軸向具有適當(dāng)?shù)奈灰屏?，提供軸向的緩沖作用，避免工作時電機震動。合格的產(chǎn)品具有一定軸向緩沖性能，通常要求轉(zhuǎn)子11相對于定子12在軸向有1～2mm的位移量，為使電機運轉(zhuǎn)平穩(wěn)，波形彈墊17應(yīng)提供與位移量對應(yīng)的適當(dāng)?shù)妮S向彈力(即軸向推力)，避免轉(zhuǎn)子前軸承15與前端蓋13之間出現(xiàn)軸向間隙，從而避免轉(zhuǎn)子前軸承15與前端蓋13摩擦損耗，保證電機的壽命。因此，在電機的生產(chǎn)或組裝時，需要檢測轉(zhuǎn)子11與定子12軸向推力及位移量對應(yīng)值的檢測裝置。但是現(xiàn)有技術(shù)沒有針對低溫泵同步電機的檢測裝置，因此需要設(shè)計制作出制造成本低、操作簡單方便、計量準(zhǔn)確的檢測裝置來檢測低溫泵同步電機的軸向緩沖性能，以適用于低溫泵同步電機批量化生產(chǎn)和裝配。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

因此，本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)中未有用于檢測低溫泵電機軸向緩沖性能的檢測裝置的技術(shù)問題，目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、使用方便且計量準(zhǔn)確的電機軸向緩沖性能的檢測裝置，該檢測裝置可用于檢測低溫泵電機的軸向緩沖性能。

本實用新型的電機軸向緩沖性能的檢測裝置包括：

一底座；

一用于放置待檢測電機的可升降的升降臺，所述升降臺安裝在所述底座上；

一用于測量所述升降臺豎直方向的位移量的位移測量機構(gòu)，所述位移測量機構(gòu)安裝于所述底座上；

一用于測量所述待檢測電機的轉(zhuǎn)子與定子之間的軸向推力的推力測量機構(gòu)，所述推力測量機構(gòu)包括一供感應(yīng)推力的壓頭，所述壓頭豎直向下且位于所述待檢測電機放置位置中心的正上方。

本實用新型的一較佳實施例中，所述升降臺底部由至少一升降桿支撐，所述底座一側(cè)設(shè)有一與所述升降桿匹對連接的升降手柄。

本實用新型的一較佳實施例中，所述位移測量機構(gòu)為一電子尺，所述電子尺包括一豎直的電子尺主體和一感應(yīng)滑塊，所述電子尺主體底端固定于所述底座一側(cè)，所述感應(yīng)滑塊固定于所述升降臺一角且與所述電子尺主體滑動連接。

本實用新型的一些較佳實施例中，所述推力測量機構(gòu)包括一推拉力計和一支撐桿，所述支撐桿底部固定在所述底座上，所述支撐桿上部豎直穿過所述升降臺，所述推拉力計通過一可調(diào)整高度的固定夾固定在所述支撐桿上，所述壓頭位于所述推拉力計底部。

本實用新型的積極進步效果在于：通過所述位移檢測機構(gòu)和所述推力檢測機構(gòu)相互結(jié)合檢測出電機轉(zhuǎn)子與定子之間的軸向推力以及相對位移量的對應(yīng)值，所述電機軸向緩沖性能的檢測裝置可以用于低溫泵電機的軸向緩沖性能的檢測；而且制造成本低，操作簡單方便，計量準(zhǔn)確，可有效提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。該檢測裝置不僅適合于低溫泵的電機批量生產(chǎn)中檢測使用，也可以用于其它結(jié)構(gòu)類似的電機的軸向緩沖性能的檢測。

附圖說明

圖1為低溫泵同步電機的立體示意圖。

圖2為低溫泵同步電機的剖視圖。

圖3為本實用新型的電機軸向緩沖性能的檢測裝置的立體示意圖。

具體實施方式

以下將結(jié)合具體實施例和附圖對本實用新型作進一步說明。

圖3所示為本實用新型的一較佳實施例的電機軸向緩沖性能的檢測裝置，其中底座2起到支撐固定的作用；底座2中間設(shè)有升降桿3，升降桿頂部固定支撐有升降臺4、升降桿3底端設(shè)于底座2內(nèi)，底座2一側(cè)設(shè)有與升降桿3底端匹對連接的升降手柄5，底座2上還設(shè)有豎直的支撐桿6，支撐桿6底部固定在底座2上，上部穿過升降臺4且通過可調(diào)整高低的固定夾7固定有推拉力計8，推拉力計8的壓頭豎直向下且位于升降臺4中心正上方。底座2一側(cè)設(shè)有電子尺，電子尺包括豎直的電子尺主體9和感應(yīng)滑塊10，電子尺主體9底端固定于底座2一側(cè)，感應(yīng)滑塊10固定于升降臺4一角且與電子尺主體9滑動連接。

工作原理：

如圖3所示，將待檢測電機1放于升降臺4中間位置，使轉(zhuǎn)子11的中心轉(zhuǎn)軸前端朝上并與推拉力計8的壓頭上下對應(yīng)，通過固定夾7調(diào)節(jié)推拉力計8高度，使推拉力計8的壓頭接觸到轉(zhuǎn)子11中心轉(zhuǎn)軸前端，然后分別將推拉力計8和電子尺歸零。通過升降手柄5慢慢向上調(diào)節(jié)升降臺4，觀察推拉力計8和電子尺分別顯示的彈力值和位移值，并記錄，其中推拉力計8顯示的彈力值即為轉(zhuǎn)子11和定子12之間的軸向推力，電子尺顯示的位移值即為轉(zhuǎn)子11相對定子12的軸向位移量。將記錄結(jié)果與標(biāo)準(zhǔn)要求進行對比，對產(chǎn)品的軸向緩沖性能做出判斷。

本實施例的電機軸向緩沖性能的檢測裝置結(jié)構(gòu)簡單制造成本低，檢測電機1的軸向緩沖性能時操作簡單方便，計量準(zhǔn)確，可有效提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，適合低溫泵電機批量化生產(chǎn)裝配使用。