紅外吸收光譜法已知用于確定單獨(dú)氣體組分的濃度。最為普及的方法是傅里葉變換紅外光譜儀或非色散的紅外光譜儀。隨著緊湊式、功率強(qiáng)大的半導(dǎo)體激光的發(fā)展，基于激光光譜法的氣體分析設(shè)備越來越多地產(chǎn)生。新型激光類型如量子級(jí)聯(lián)激光使得在中部紅外范圍中的激光光譜法發(fā)生變革。

所有這些分析方法基于的是，在利用紅外光線照射樣品氣體時(shí)特定頻域被吸收。紅外光線在此位于分子鍵的振蕩級(jí)的范圍中，其通過吸收激勵(lì)振蕩。對(duì)此的前提是既有的或在分子中可產(chǎn)生的偶極矩。不同的振蕩狀態(tài)引起了不同光學(xué)頻率的紅外光線的吸收損失。在透射中的光譜因此獲得了單獨(dú)的針對(duì)氣體特有的吸收區(qū)線，因此樣品氣體在具體分子的存在性方面被檢測(cè)并且確定其在樣品氣體中的濃度。

借助量子級(jí)聯(lián)激光尤其在檢測(cè)在內(nèi)燃機(jī)的廢氣中存在的有害物質(zhì)分子、如笑氣、一氧化氮、二氧化氮、二氧化碳、一樣化碳和氨氣以及確定它們的濃度。

常用的激光光譜的系統(tǒng)具有激光作為射線源，射線源的射線通過光學(xué)路徑導(dǎo)入分析室。在該分析中射線通過合適的鏡片配置被多重反射。同時(shí)在分析室中導(dǎo)入樣品氣流，激光的射線穿過樣品氣流并且在那被用于激勵(lì)與光學(xué)頻率對(duì)應(yīng)的分子。通過這種激勵(lì)，各個(gè)頻率的能量被吸收。穿過的射線的強(qiáng)度在光譜的這個(gè)位置上下降。所述吸收自身不能非常清晰地進(jìn)行，而是由于溫度和壓力改變而變得寬泛。通過這種方式在其光譜中改變的射線離開測(cè)量室并且到達(dá)探測(cè)器，通過探測(cè)器評(píng)估改變的頻帶并且推斷出特定物質(zhì)的存在以及其濃度。樣品氣流的輸送通常通過后接的真空泵進(jìn)行。

在確定濃度時(shí)可以評(píng)估或分析光譜中的吸收特性。該特性通常以吸收氣體的譜線方式被示出。長(zhǎng)期以來量子級(jí)聯(lián)激光器僅能在低于0℃的溫度范圍中可靠地工作。在新一代的量子級(jí)聯(lián)激光器中，激光晶體的設(shè)計(jì)被改變，并且其設(shè)計(jì)為高溫量子級(jí)聯(lián)激光器，其雖然能夠在正常的環(huán)境溫度15至40℃中工作，但是已經(jīng)顯示的是，由半導(dǎo)體層構(gòu)成的量子級(jí)聯(lián)激光器產(chǎn)生了很高的損失熱并且因此在測(cè)量過程中受熱。作為用于可靠地冷卻量子級(jí)聯(lián)激光器的最簡(jiǎn)單的方法，設(shè)置了珀耳帖元件，通過其可以嘗試將激光保持在確定的溫度范圍中。若生成的熱不能被排出，則在測(cè)量中激光的運(yùn)行溫度發(fā)生改變，因此這導(dǎo)致了所需的調(diào)諧波長(zhǎng)的改變，并且由此由于載流子隨著溫度升高的移動(dòng)而導(dǎo)致不精確的測(cè)量結(jié)果。由于這種原因量子級(jí)聯(lián)激光器的溫度波動(dòng)理想地被降低至+-5mK。

因此在US2011/0173870A1描述了一種量子級(jí)聯(lián)激光器的構(gòu)造，其安裝在用作散熱器的金屬板上，其對(duì)置側(cè)與珀耳帖冷卻元件的冷側(cè)相連，因此通過金屬板能夠?qū)崃繌募す馄髋懦觥榱苏{(diào)節(jié)，在激光器的加強(qiáng)介質(zhì)上設(shè)置溫度傳感器，通過其測(cè)量和調(diào)節(jié)激光器的溫度。所述調(diào)節(jié)通過改變激光功率或電功率進(jìn)行，所述功率被導(dǎo)入珀耳帖元件中。

但是這種調(diào)節(jié)的缺點(diǎn)在于，不能達(dá)成靜態(tài)狀態(tài)，因?yàn)殓甓鋮s元件的熱側(cè)承受環(huán)境溫度的波動(dòng)，因此需要持續(xù)的再調(diào)節(jié)。這導(dǎo)致了溫度波動(dòng)常常大于所要求的，并且因此在探測(cè)器信號(hào)中存在噪聲。

因此所要解決的技術(shù)問題在于，提供借助紅外吸收光譜法確定樣品氣流中至少一種氣體的濃度的裝置和方法，借助它們可以相對(duì)已知的實(shí)施形式進(jìn)一步改善測(cè)量結(jié)果，方法是使得在量子級(jí)聯(lián)激光器上的溫度波動(dòng)最小化。所述調(diào)節(jié)和測(cè)量子在此應(yīng)該盡可能簡(jiǎn)單和廉價(jià)地制造。

所述技術(shù)問題通過具有獨(dú)立權(quán)利要求1的特征的借助紅外吸收光譜法確定樣品氣流中至少一種氣體的濃度的裝置解決，以及通過按照獨(dú)立權(quán)利要求14的利用這種裝置的方法解決。

通過借助轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)的通風(fēng)機(jī)冷卻所述冷卻體，在珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)上的溫度以及在珀耳帖冷卻元件的冷側(cè)上的溫度在激光器的損失功率恒定時(shí)保持不變，因?yàn)橄鄬?duì)環(huán)境溫度(即珀耳帖冷卻元件的熱量排出時(shí)所具有的溫度)的獨(dú)立性被實(shí)現(xiàn)。通過通風(fēng)機(jī)的冷卻效果因此基本上保持恒定，其方法在于當(dāng)環(huán)境溫度提高時(shí)提高轉(zhuǎn)速。

由此，關(guān)于按照本發(fā)明的方法，珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)借助轉(zhuǎn)速可調(diào)的通風(fēng)機(jī)至少間接地被冷卻。所述冷卻理論上可以直接進(jìn)行，但是通常通過導(dǎo)熱連接的冷卻體實(shí)施。重要的是，通過通風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)可以調(diào)節(jié)熱排放、而無需改變珀耳帖冷卻元件的功率。

在此通風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)優(yōu)選借助脈沖寬度調(diào)制進(jìn)行。通風(fēng)機(jī)的轉(zhuǎn)速相應(yīng)地通過脈沖寬度調(diào)制信號(hào)的改變進(jìn)行。所述調(diào)節(jié)可以簡(jiǎn)單地在控制器中實(shí)施并且減小電流消耗。

在一種有利的實(shí)施形式中，紅外射線源設(shè)置在金屬板上，所述金屬板與珀耳帖冷卻元件的冷側(cè)相連。因此保證了較好的熱傳遞，其中同時(shí)實(shí)現(xiàn)激光器可靠的固定，例如通過螺栓連接在金屬板上。所述板也可以借助相應(yīng)的用于激光器的保持件實(shí)施。此外保證了在珀耳帖冷卻元件上完全地面狀地貼靠，其對(duì)于正確的使用是需要的。

溫度傳感器優(yōu)選測(cè)量基本上與珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)的溫度對(duì)應(yīng)的溫度，其中溫度傳感器與通風(fēng)機(jī)的電子計(jì)算單元電連接。相應(yīng)地根據(jù)珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)的溫度進(jìn)行所述調(diào)節(jié)，所述溫度通過通風(fēng)機(jī)的調(diào)節(jié)被保持恒定。

作為補(bǔ)充，另外的溫度傳感器測(cè)量與珀耳帖冷卻元件的冷側(cè)的溫度對(duì)應(yīng)的溫度，其中，所述溫度傳感器與珀耳帖冷卻元件的電子調(diào)節(jié)單元電連接。通過調(diào)整電流強(qiáng)度可以在激光器芯片上產(chǎn)生恒定的溫度。這種調(diào)節(jié)在非常窄的界限中進(jìn)行，因?yàn)闊醾?cè)借助通風(fēng)機(jī)被保持在恒定的溫度上。通過這種兩級(jí)的調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)很小的溫度偏差。

紅外射線源具有激光器芯片，其有利地借助保持件固定，并且與金屬板導(dǎo)熱地接觸。這簡(jiǎn)化了激光器的裝配。

在此金屬板優(yōu)選是銅板，因?yàn)殂~具有非常好的導(dǎo)熱性能，因此熱能夠很好地從半導(dǎo)體芯片排出。

在一種擴(kuò)展實(shí)施形式中，冷卻體在其背離珀耳帖冷卻元件的底側(cè)上具有肋片，通過它們能夠增大熱交換面積，因此更多的熱通過氣流排出。

在一種特別優(yōu)選的實(shí)施形式中，光學(xué)元件在分析室外部設(shè)置在光學(xué)板上，所述光學(xué)板在冷卻體和珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)之間導(dǎo)熱地布置。相應(yīng)地整個(gè)光路為了減小熱噪聲被保持在盡可能恒定的溫度上。

在這種實(shí)施形式中，溫度傳感器測(cè)量在非?？拷甓鋮s元件的區(qū)域中、在光學(xué)板的上側(cè)的溫度。該溫度基本上對(duì)應(yīng)珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)的溫度(由于直接的導(dǎo)熱連接)。同時(shí)保證的是，光學(xué)板被保持在恒定溫度上，而其不會(huì)影響珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)的溫度的調(diào)節(jié)。該溫度傳感器可以簡(jiǎn)單地安裝在光學(xué)板上。

所述裝置優(yōu)選具有殼體，通風(fēng)機(jī)從該殼體的周圍吸入環(huán)境空氣。在殼體中設(shè)置引導(dǎo)體，它們將空氣流導(dǎo)向冷卻體的下側(cè)。所述冷卻因此借助來自分析器的外側(cè)的環(huán)境空氣實(shí)施。因此不必提供附加的冷卻元件。

為了避免操作人員進(jìn)入旋轉(zhuǎn)的通風(fēng)機(jī)葉輪的區(qū)域中而造成損傷、以及為了改善電磁兼容性，則在殼體上第一側(cè)壁上構(gòu)成進(jìn)氣狹縫并且在對(duì)置的側(cè)壁上構(gòu)成出氣狹縫，其中進(jìn)氣狹縫基本上在通風(fēng)機(jī)的周圍延伸，并且出氣狹縫在殼體的底板和冷卻體的下側(cè)之間延伸。這導(dǎo)致了冷卻氣流沿著整個(gè)光學(xué)板引導(dǎo)。因此在殼體內(nèi)部在光學(xué)板范圍中盡可能避免溫度梯度。

為了在不同構(gòu)件之間保證盡可能好的熱傳導(dǎo)，則兩個(gè)或多個(gè)構(gòu)件如冷卻體、光學(xué)板、珀耳帖冷卻元件、金屬板借助導(dǎo)熱粘結(jié)劑相互連接。這用于使得在縫隙中的導(dǎo)熱盡可能無損地進(jìn)行，因此例如珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)和光學(xué)板具有基本上相同的溫度，也就是從兩個(gè)部件之間排出相同的熱。

紅外射線源優(yōu)選是量子級(jí)聯(lián)激光，其在中部紅外范圍中提供了特別好的測(cè)量結(jié)果。

因此在方法方面有利的是，借助通風(fēng)機(jī)將環(huán)境空氣沿著冷卻體輸送。因此不必采用附加的冷卻措施，因此分析器可以廉價(jià)地制造和運(yùn)行。

特別優(yōu)選的是，冷卻體被調(diào)節(jié)為在30℃至50℃之間的恒定值，尤其是40℃。相比于常見的運(yùn)行溫度提高的運(yùn)行溫度保證了，通過利用環(huán)境空氣運(yùn)行的通風(fēng)機(jī)可以始終排出足夠的熱量，以便產(chǎn)生恒定的運(yùn)行溫度。附加地這種調(diào)節(jié)也可以在環(huán)境溫度改變時(shí)可靠地發(fā)揮功能。

在對(duì)此的擴(kuò)展的實(shí)施形式中，珀耳帖冷卻元件的通電是恒定的。因?yàn)榧す馄髟诮油ㄖ筝敵龊愣ǖ臒崃?，并且另一方面通過轉(zhuǎn)速可調(diào)的通風(fēng)機(jī)排出相同的熱量，因此可以對(duì)珀耳帖冷卻元件進(jìn)行恒定的通電，由此調(diào)節(jié)回路可以非常簡(jiǎn)單。

在此珀耳帖冷卻元件的通電優(yōu)選這樣設(shè)置，使得在珀耳帖冷卻元件的板之間產(chǎn)生20至40K的恒定溫度差，這同樣通過總體上恒定的其他的運(yùn)行條件實(shí)現(xiàn)。因此由此獲得簡(jiǎn)單的調(diào)節(jié)，用于使激光器產(chǎn)生恒定的溫度。

因此實(shí)現(xiàn)了借助紅外吸收光譜法確定樣品氣流中至少一種氣體的濃度的裝置和方法，借助其能夠以更高的精度和可再現(xiàn)性確定氣體的濃度和存在性，而盡可能沒有熱噪聲，因?yàn)榭梢詫?shí)現(xiàn)具有溫度波動(dòng)小于+-5mK的保持不變的邊界條件。同時(shí)具有這種調(diào)節(jié)的激光器相比已知的實(shí)施形式可以簡(jiǎn)單和廉價(jià)地制造和裝配。

借助紅外吸收光譜法確定樣品氣流中至少一種氣體的濃度的裝置在附圖中結(jié)合量子級(jí)聯(lián)激光示出，并且以下結(jié)合按照本發(fā)明的方法描述。

圖1以俯視圖示出按照本發(fā)明的用于確定樣品氣流中氣體的濃度的裝置的示意圖。

圖2示出量子級(jí)聯(lián)激光器與連接構(gòu)件的構(gòu)造的側(cè)視圖，

圖3示出按照?qǐng)D1的裝置的立體圖。

按照本發(fā)明的借助紅外吸收光譜法確定樣品氣流中至少一種氣體的濃度的裝置在該實(shí)施例中設(shè)計(jì)為量子級(jí)聯(lián)激光吸收光譜儀(Quantenkaskadenabsorptionsspektrometer)。其由殼體10構(gòu)成，在所述殼體中安置了由半導(dǎo)體層構(gòu)成的量子級(jí)聯(lián)激光器12作為紅外射線源，所述紅外線源要么連續(xù)地要么脈沖式工作并且尤其在發(fā)出中間紅外范圍中的射線。量子級(jí)聯(lián)激光器12通過電流激勵(lì)器14控制。

激光器12的射線通過多個(gè)鏡片18導(dǎo)入分析室16的空間20中或者備選地通過鏡片18直接導(dǎo)向探測(cè)器22，所述探測(cè)器例如是MCT(碲化汞鎘Quecksilber-Cadmium-Tellurid)探測(cè)器，其尤其適用于在中間紅外范圍中的光伏檢測(cè)并且在所述MCT探測(cè)器中將所出現(xiàn)的光子直接轉(zhuǎn)換成可測(cè)量的光電流。在空間20中射線多次地在物鏡或場(chǎng)鏡24上反射并且在此穿過在空間20中輸入的樣品氣體。這在所發(fā)出的光帶的特定頻域中導(dǎo)致射線的吸收，所述吸收表征特定分子的存在性和濃度。在射線多次地在物鏡或場(chǎng)鏡24上反射之后，其又離開分析室16并且重新通過之后的鏡片26輸入探測(cè)器22。

這些鏡片之一設(shè)計(jì)為折疊鏡28(Klappspiegel)，因此根據(jù)折疊鏡的位置，量子級(jí)聯(lián)激光器12的用作參比激光束的激光束要么經(jīng)過參比氣體源或參比氣體皿到達(dá)探測(cè)器22，要么如所述那樣引導(dǎo)經(jīng)過分析室16。

樣品氣體輸送借助真空泵30進(jìn)行，借助真空泵可以將樣品氣體流吸入空間20中。整個(gè)光路借助不包含待測(cè)氣體的分子氣體(通常是氮?dú)?被沖刷，以便避免測(cè)量結(jié)果出錯(cuò)。

在分析室16上構(gòu)成樣品氣體輸入接管34，其通過未示出的軟管與樣品氣體源(例如內(nèi)燃機(jī)的排氣道)相連或者與包含已經(jīng)稀釋的樣品氣體的源頭相連。通過真空泵30將樣品氣體從輸入接管34經(jīng)過樣品氣體通道36和空間20吸入真空泵30。

由探測(cè)器22測(cè)得的光學(xué)頻帶由于被吸收的射線具有空缺，空缺的大小和深度是用于吸收該頻域的氣體的濃度的衡量標(biāo)準(zhǔn)。相應(yīng)的計(jì)算以已知方式在計(jì)算單元28中通過朗伯比耳定律進(jìn)行。激光器12的發(fā)射波長(zhǎng)在此這樣調(diào)節(jié)，從而能夠有選擇性地截取氣體組分的特定的吸收區(qū)線的吸收范圍，由此可以避免相對(duì)其他氣體組分的橫向敏感性。當(dāng)存在氨氣時(shí)例如在波長(zhǎng)范圍中的空缺約為10μm。

但是需要注意的是，僅當(dāng)射線的波長(zhǎng)和樣品氣流中待測(cè)量的分子的預(yù)期濃度之間正確協(xié)調(diào)時(shí)測(cè)量才是可靠的，因此要么必須利用未稀釋的要么必須利用稀釋的樣品氣流工作。此外測(cè)量條件必須保持恒定。

尤其需要的是，量子級(jí)聯(lián)激光器12和/或探測(cè)器22以穩(wěn)定的溫度工作，以阻止由于溫度波動(dòng)導(dǎo)致的熱噪聲。

按照本發(fā)明這通過轉(zhuǎn)速可調(diào)的通風(fēng)機(jī)38解決。該通風(fēng)機(jī)38設(shè)置在殼體10的第一側(cè)壁40上并且通過在該側(cè)壁40中的不可見的進(jìn)氣狹縫將環(huán)境空氣吸入通道42中，所述通道通過呈板材壁形式的引導(dǎo)體被限定。通道42在其高度方面變小并且通向冷卻體46下方，為進(jìn)行冷卻而被通風(fēng)機(jī)3吸入的環(huán)境空氣沿著冷卻體的下側(cè)48流動(dòng)。為了提供更大的熱交換面，在冷卻體46的下側(cè)48上構(gòu)成肋片50，它們沿流動(dòng)方向延伸。所述空氣通過出氣狹縫52離開殼體10，它們?cè)谂c第一側(cè)壁40對(duì)置的側(cè)壁54上構(gòu)成，并且從殼體的底板56延伸至冷卻體46的下側(cè)48。

冷卻體46整面地固定在設(shè)置在其上側(cè)58的光學(xué)板60上，因此實(shí)現(xiàn)了從光學(xué)板60朝向冷卻體46的良好的熱排放。所述光學(xué)板60用作光學(xué)元件的支架，其由鏡片18、24、26、28、探測(cè)器22和量子級(jí)聯(lián)激光器12構(gòu)成，它們固定在光學(xué)板60的上側(cè)62上。

激光器殼體64借助螺栓固定在光學(xué)板60上。激光器殼體64的下側(cè)構(gòu)成珀耳帖冷卻元件66，其這樣固定，使得其熱側(cè)68整面地固定在光學(xué)板60上并且其冷側(cè)70整面地固定在銅塊72上。為了優(yōu)化在珀耳帖冷卻元件66、光學(xué)板60和銅塊72之間的導(dǎo)熱，所述固定優(yōu)選借助薄面狀的粘接(利用導(dǎo)熱粘結(jié)劑)進(jìn)行。量子級(jí)聯(lián)激光器12的激光器芯片74通過保持件74固定在銅塊72上。其余的光學(xué)的激光器元件、如準(zhǔn)直透鏡75以已知方式設(shè)置在激光器殼體64中。電接頭從激光器殼體64伸出，通過其為激光器芯片74和珀耳帖冷卻元件66提供電流。所述調(diào)節(jié)以已知方式借助電子調(diào)節(jié)單元68進(jìn)行，其設(shè)置在導(dǎo)體44上。

在啟動(dòng)時(shí)激光器芯片74首先被供給0mA至約400mA之間的坡形的電流，因此光束沿著確定的頻率譜產(chǎn)生。由此產(chǎn)生的損失功率在邊界條件保持不變時(shí)基本恒定。為了排出產(chǎn)生的熱量，也可以為珀耳帖冷卻元件66供給直流電壓。當(dāng)直流電壓為24V并且電流為0.5A時(shí)，例如在珀耳帖冷卻元件66的熱側(cè)68和冷側(cè)70之間產(chǎn)生約30開耳文的溫度差。所述調(diào)節(jié)這樣進(jìn)行，使得通過溫度傳感器80(該溫度傳感器在激光器芯片74附近安裝在激光器殼體64中)測(cè)定的溫度(該溫度因此基本相當(dāng)于珀耳帖冷卻元件的冷側(cè)70的溫度)利用調(diào)節(jié)單元82通過調(diào)節(jié)珀耳帖冷卻元件66上的電流強(qiáng)度被調(diào)節(jié)為例如11℃。所述溫度傳感器80為此例如由Pt100實(shí)施。

此時(shí)為了盡可能地將激光芯片74上的溫度改變保證在+-5mK的范圍中，僅通過珀耳帖冷卻元件66的電流強(qiáng)度進(jìn)行的調(diào)節(jié)常常是不夠的。出于這種原因在激光器殼體64的非常接近的位置上、在光學(xué)板60上設(shè)置附加的溫度傳感器81，其被測(cè)量的溫度由于良好的導(dǎo)熱連接基本上相當(dāng)于珀耳帖冷卻元件66的熱側(cè)上的溫度。溫度傳感器81的測(cè)量值被提供給電子計(jì)算單元37，利用該電子計(jì)算單元，還能夠通過改變用于控制通風(fēng)機(jī)的調(diào)制的脈沖寬度來調(diào)節(jié)通風(fēng)機(jī)38的轉(zhuǎn)速。

為了保持例如11℃的恒定激光器溫度(該激光器溫度由于在銅塊72上的整面連接及其在珀耳帖冷卻元件66的冷側(cè)70上的導(dǎo)熱連接基本上相當(dāng)于珀耳帖冷卻元件66的冷側(cè)70上的溫度)，則在珀耳帖冷卻元件66的熱側(cè)68上的溫度借助溫度傳感器81例如保持在恒定的40℃。相應(yīng)地通過給珀耳帖冷卻元件66通電，而達(dá)成盡可能恒定的29開耳文的溫度差。由于珀耳帖冷卻元件66的熱側(cè)68在在光學(xué)板60上的整面連接和光學(xué)板在冷卻體46上的導(dǎo)熱連接，至少在珀耳帖冷卻元件66的附近區(qū)域中在冷卻體46和光學(xué)板60上出現(xiàn)40℃的溫度，并且相當(dāng)于在珀耳帖冷卻元件66附近的光學(xué)板60的表面上借助溫度傳感器81測(cè)得的溫度。所述溫度相對(duì)已知的調(diào)節(jié)更高，但是通過所述工作溫度在熱側(cè)68上的提高產(chǎn)生這種可能性，即在該位置上的溫度通過調(diào)節(jié)在冷卻體46上的熱排放僅通過在冷卻體46上的氣流保持恒定，因?yàn)楫a(chǎn)生熱排放的氣流完全通過通風(fēng)機(jī)38的轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)來控制。相應(yīng)可行的是，幾乎靜態(tài)的溫度特性被實(shí)現(xiàn)，其導(dǎo)致了激光器12的溫度僅在+-5mK的范圍中變化。

這意味著，與已知實(shí)施形式相比，由于環(huán)境空氣的生熱和由此導(dǎo)致的珀耳帖冷卻元件的熱側(cè)的生熱而進(jìn)行的珀耳帖冷卻元件的再調(diào)節(jié)僅非常有限地被需要。激光器的溫度調(diào)節(jié)因此變得更穩(wěn)定，由此減少了熱噪聲。這又導(dǎo)致了在測(cè)量吸收的射線時(shí)進(jìn)而在確定氣體濃度時(shí)更高的精度。

應(yīng)該明確的是，本發(fā)明不局限于所述實(shí)施例，而是在獨(dú)立權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種修改。所述裝置以特殊方式適用于量子級(jí)聯(lián)激光器。除了脈沖寬度調(diào)制顯然還可以考慮其他通風(fēng)機(jī)的控制用于調(diào)節(jié)。還可以考慮的是為探測(cè)器使用溫度調(diào)節(jié)。