本發(fā)明涉及一種測(cè)試平臺(tái)，尤其是一種機(jī)械手測(cè)試平臺(tái)。

背景技術(shù)：

機(jī)械手是半導(dǎo)體設(shè)備上非常關(guān)鍵的部件，它的精度會(huì)決定傳片的重復(fù)性和可靠性。半導(dǎo)體設(shè)備在裝調(diào)時(shí)，經(jīng)常發(fā)現(xiàn)機(jī)械手在運(yùn)行過程中重復(fù)性和可靠性有問題，因此在安裝機(jī)械手之前必須對(duì)機(jī)械手精度進(jìn)行測(cè)試(X、Y、Z方向)，以保證機(jī)械手安裝、運(yùn)行穩(wěn)定，精度可以重復(fù)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種機(jī)械手測(cè)試平臺(tái)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種機(jī)械手測(cè)試平臺(tái)，包括機(jī)械手平臺(tái)(1)、機(jī)械手(2)和移動(dòng)支架(3)。機(jī)械手(2)處于機(jī)械手平臺(tái)(1)上。移動(dòng)支架(3)在機(jī)械手平臺(tái)(1)平面滑動(dòng)。

本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)：結(jié)構(gòu)緊湊合理，當(dāng)需要測(cè)試機(jī)械手時(shí)可以移動(dòng)支架到正確位置，通過測(cè)試裝置進(jìn)行測(cè)試，以滿足使用要求。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

如圖1所示：一種機(jī)械手測(cè)試平臺(tái)，包括機(jī)械手平臺(tái)1、機(jī)械手2和移動(dòng)支架3。機(jī)械手2處于機(jī)械手平臺(tái)1上。移動(dòng)支架3在機(jī)械手平臺(tái)1平面滑動(dòng)。

使用時(shí)，機(jī)械手2安裝在平臺(tái)(1)，測(cè)試裝置安裝移動(dòng)支架3上。當(dāng)需要測(cè)試機(jī)械手時(shí)可以將移動(dòng)支架3移動(dòng)到正確位置，通過測(cè)試裝置進(jìn)行測(cè)試，以滿足使用要求。