專(zhuān)利名稱(chēng)：真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及真空設(shè)備真空度檢測(cè)領(lǐng)域，具體涉及一種真空管或者真空容器的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，特別適用于站場(chǎng)所有真空管或者真空容器的在線(xiàn)檢測(cè)。
背景技術(shù)：
真空管或真空容器經(jīng)過(guò)生產(chǎn)工藝環(huán)節(jié)對(duì)真空夾層完成抽真空后，在產(chǎn)品保存以及使用過(guò)程中，由于材料本身放氣或則由于加工工藝過(guò)程中除氣不充分、安裝不當(dāng)?shù)葐?wèn)題都會(huì)導(dǎo)致真空層真空度降低。真空層降低后直接影響真空管道的隔熱保溫性能，隔熱保溫性能的降低直接導(dǎo)致真空管道內(nèi)能源消耗，在使用中真空度會(huì)由于材料本身問(wèn)題或者由于加工工藝、安裝工藝等問(wèn)題導(dǎo)致不能長(zhǎng)期的保存，真空度會(huì)逐漸的下降，如果真空度下降到一定程度后就失去了隔熱保溫作用，導(dǎo)致滲漏，就會(huì)引起能源不必要的消耗并帶來(lái)安全隱患。目前真空管或真空容器在使用過(guò)程中不能在線(xiàn)檢測(cè)真空層的真空度變化以及對(duì)真空層的真空度提前預(yù)警、報(bào)警等信息。只能通過(guò)肉眼觀(guān)察經(jīng)驗(yàn)判斷真空層真空度，或則通過(guò)管道表面或儲(chǔ)存罐表面是否結(jié)霜以及掛水等自然現(xiàn)象來(lái)判斷當(dāng)前真空層真空度是否已經(jīng)下降，不能準(zhǔn)確獲取真空層的真空度的值。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中所存在的上述不足，提供一種實(shí)時(shí)自動(dòng)檢測(cè)真空管或真空容器真空度變化情況的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)。為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明提供了以下技術(shù)方案:
一種真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，包括數(shù)據(jù)顯示模塊、數(shù)據(jù)采集終端、真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊、真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞；所述數(shù)據(jù)顯示模塊連接所述數(shù)據(jù)采集終端，所述數(shù)據(jù)采集終端連接至少一個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊，所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊連接真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞；其中，所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞用于獲取真空設(shè)備內(nèi)的真空數(shù)據(jù)；所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊用于對(duì)真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞獲取的真空數(shù)據(jù)進(jìn)行處理得到真空設(shè)備真空層的真空度；所述數(shù)據(jù)采集終端用于獲取至少一個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊送來(lái)的真空度數(shù)據(jù)，并根據(jù)該真空度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)真空度參數(shù)的比較結(jié)果進(jìn)行報(bào)警提示和/或輸出控制真空設(shè)備關(guān)閉信號(hào)，或保存真空度數(shù)據(jù)提供進(jìn)步分析或供今后數(shù)據(jù)對(duì)比分析或匯總統(tǒng)計(jì)；所述數(shù)據(jù)顯示模塊用于對(duì)所述數(shù)據(jù)采集終端收集的一個(gè)或多個(gè)真空設(shè)備的真空度數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示。所述數(shù)據(jù)采集終端還用保存真空度歷史數(shù)據(jù)，對(duì)各不同真空設(shè)備真空度進(jìn)行對(duì)比分析。所述數(shù)據(jù)采集終端包括微處理器，所述微處理器包括開(kāi)關(guān)量輸出端口，所述微處理器連接有DC/DC隔離電源、顯示鍵盤(pán)接口模塊、參數(shù)存儲(chǔ)模塊、報(bào)警指示模塊和通訊模塊。所述真空在線(xiàn)檢測(cè)的密封塞包括陶瓷基體，所述陶瓷基體下方連接所述熱電偶規(guī)管，所述熱電偶規(guī)管與內(nèi)嵌于所述陶瓷基體內(nèi)的第一導(dǎo)線(xiàn)連接，所述第一導(dǎo)線(xiàn)兩端伸出于所述陶瓷基體上下兩端；所述第一導(dǎo)線(xiàn)連接所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊。進(jìn)一步的，所述陶瓷基體下方還設(shè)有用于檢測(cè)真空裝置內(nèi)的溫度的溫度傳感器；所述溫度傳感器與內(nèi)嵌于所述陶瓷基體內(nèi)的第二導(dǎo)線(xiàn)連接；所述第二導(dǎo)線(xiàn)連接所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊。優(yōu)選的，所述陶瓷基體為圓柱狀，其外側(cè)表面設(shè)有密封槽。
所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊包括微控制器，所述微控制器連接有通訊電路和電源電路；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞通過(guò)定流電路與所述微控制器連接；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞依次通過(guò)電流采樣電路、第一 A/D轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞還依次通過(guò)差分放大電路、第二 A/D轉(zhuǎn)換電路與微控制器連接。所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊和數(shù)據(jù)采集終端通過(guò)各自?xún)?nèi)部的通訊電路和通訊模塊通信連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果:
本發(fā)明真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)真空管或真空容器的真空度進(jìn)行在線(xiàn)檢測(cè)，可檢測(cè)多個(gè)目標(biāo)，準(zhǔn)確得到檢測(cè)真空管或真空容器的真空度，有效起到安全隱患防范作用，降低真空泄露率及事故發(fā)生率，保障使用安全。


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圖1為本發(fā)明真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)框圖。圖2是圖1中的數(shù)據(jù)采集終端的電路框圖。圖3是圖1中的真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊的電路框圖。圖4是圖1中的真空度在線(xiàn)檢測(cè)真空塞的結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是本發(fā)明中的真空度在線(xiàn)檢測(cè)真空塞的的安裝示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合試驗(yàn)例及具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。但不應(yīng)將此理解為本發(fā)明上述主題的范圍僅限于以下的實(shí)施例，凡基于本發(fā)明內(nèi)容所實(shí)現(xiàn)的技術(shù)均屬于本發(fā)明的范圍。如圖1所示，本發(fā)明的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)顯示模塊、數(shù)據(jù)采集終端、真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊、真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞；所述數(shù)據(jù)顯示模塊連接所述數(shù)據(jù)采集終端，所述數(shù)據(jù)采集終端連接至少一個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊(1-n)，所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊連接真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞；其中，所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞用于獲取真空設(shè)備內(nèi)的真空數(shù)據(jù)；所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊用于對(duì)真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞獲取的真空數(shù)據(jù)進(jìn)行處理得到真空設(shè)備真空層的真空度；所述數(shù)據(jù)采集終端用于獲取至少一個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊送來(lái)的真空度數(shù)據(jù)，并根據(jù)該真空度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)真空度參數(shù)的比較結(jié)果進(jìn)行報(bào)警提示和/或輸出控制真空設(shè)備關(guān)閉信號(hào)，或保存真空度數(shù)據(jù)提供進(jìn)步分析或供今后數(shù)據(jù)對(duì)比分析或匯總統(tǒng)計(jì)；所述數(shù)據(jù)顯示模塊用于對(duì)所述數(shù)據(jù)采集終端收集的一個(gè)或多個(gè)真空設(shè)備的真空度數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)對(duì)真空管或真空容器的真空度進(jìn)行在線(xiàn)檢測(cè)，可檢測(cè)一個(gè)或者多個(gè)目標(biāo)，準(zhǔn)確得到真空管或真空容器的真空度，有效起到安全隱患防范作用。 所述數(shù)據(jù)采集終端還用保存真空度歷史數(shù)據(jù)，對(duì)各不同真空設(shè)備真空度進(jìn)行對(duì)比分析。將所采集目標(biāo)真空度數(shù)據(jù)通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)上傳服務(wù)器，供監(jiān)控中心實(shí)時(shí)查看下屬真空設(shè)備運(yùn)行情況。具體的，參看圖2-圖4，所述數(shù)據(jù)采集終端包括微處理器，所述微處理器包括開(kāi)關(guān)量輸出端口，所述微處理器連接有DC/DC隔離電源、顯示鍵盤(pán)接口模塊、參數(shù)存儲(chǔ)模塊、報(bào)警指示模塊和通訊模塊。其中，所述報(bào)警指示模塊為L(zhǎng)ED燈和蜂鳴器組合。所述通訊模塊為數(shù)據(jù)通訊總線(xiàn)。所述顯示鍵盤(pán)接口模塊連接有鍵盤(pán)。所述真空在線(xiàn)檢測(cè)的密封塞包括陶瓷基體I，所述陶瓷基體I下方連接所述熱電偶規(guī)管4，所述熱電偶規(guī)管4與內(nèi)嵌于所述陶瓷基體I內(nèi)的第一導(dǎo)線(xiàn)連接，所述第一導(dǎo)線(xiàn)兩端伸出于所述陶瓷基體I上下兩端。具體的，所述第一導(dǎo)線(xiàn)共有四根，四根導(dǎo)線(xiàn)2伸出于所述陶瓷基體I下端的部分連接所述熱電偶規(guī)管4。所述陶瓷基體I下方還設(shè)有用于檢測(cè)真空裝置內(nèi)的溫度的溫度傳感器3，本實(shí)施例中溫度傳感器3采用熱敏電阻。所述溫度傳感器3 (熱敏電阻)與內(nèi)嵌于所述陶瓷基體I內(nèi)的第二導(dǎo)線(xiàn)連接。所述第二導(dǎo)線(xiàn)共有兩根，兩根導(dǎo)線(xiàn)2伸出于所述陶瓷基體I下端的部分連接所述溫度傳感器3。優(yōu)選的，所述陶瓷基體I為圓柱狀，其外側(cè)表面設(shè)有密封槽5。所述陶瓷基體I上部設(shè)有圓形凸臺(tái)11，所述第一導(dǎo)線(xiàn)和第二導(dǎo)線(xiàn)位于所述圓形凸臺(tái)11內(nèi)并伸出于該圓形凸臺(tái)U。所述圓形凸臺(tái)11上嵌設(shè)有接線(xiàn)保護(hù)罩(圖未示)。具體的，陶瓷基體I作為真空檢測(cè)的載體，能適應(yīng)高、低溫環(huán)境，且在檢測(cè)數(shù)據(jù)傳輸過(guò)程中是絕緣的，對(duì)數(shù)據(jù)信號(hào)無(wú)干擾。圓形凸臺(tái)11作為真空檢測(cè)的密封塞工作時(shí)安裝、拆卸連接件，內(nèi)嵌的第一導(dǎo)線(xiàn)和第二導(dǎo)線(xiàn)用作檢測(cè)數(shù)據(jù)傳輸?shù)膶?dǎo)體，通過(guò)第一導(dǎo)線(xiàn)將真空裝置內(nèi)部真空數(shù)據(jù)導(dǎo)出，通過(guò)第二導(dǎo)線(xiàn)將真空裝置內(nèi)部溫度數(shù)據(jù)導(dǎo)出，由所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊對(duì)導(dǎo)出數(shù)據(jù)進(jìn)行處理獲得真空值，采集的溫度數(shù)據(jù)可以用來(lái)修正真空值。陶瓷基體I與內(nèi)嵌的第一導(dǎo)線(xiàn)和第二導(dǎo)線(xiàn)采用現(xiàn)有的陶瓷與金屬融合技術(shù)密封處理，使兩材質(zhì)間無(wú)漏氣現(xiàn)象，確保真空塞的氣密性。熱電偶規(guī)管4為檢測(cè)真空值的檢測(cè)元件，處于真空裝置真空層中，用作檢測(cè)真空值，并通過(guò)內(nèi)嵌的第一導(dǎo)線(xiàn)將真空值數(shù)據(jù)導(dǎo)出。溫度傳感器3 (熱敏電阻)為檢測(cè)溫度的檢測(cè)元件，處于真空層中，用作檢測(cè)真空裝置真空層溫度，并通過(guò)內(nèi)嵌的第二導(dǎo)線(xiàn)將檢測(cè)溫度數(shù)據(jù)導(dǎo)出，進(jìn)而獲得真空層溫度數(shù)據(jù)。處于真空層中的熱電偶規(guī)管4和熱敏電阻3上均設(shè)有元件保護(hù)罩(圖未示)。密封塞的主體采用陶瓷材料，以適應(yīng)超低溫、高溫的工作環(huán)境，并對(duì)信號(hào)實(shí)現(xiàn)無(wú)干擾采集和導(dǎo)出。參閱圖5，該密封塞是安裝在預(yù)先焊接到真空裝置10外壁上的真空抽口 9上的。抽完真空后在真空環(huán)境下利用圓形凸臺(tái)將該密封塞安裝到真空抽口 9上，抽完真空后真空裝置10內(nèi)外形成負(fù)壓差，利用空氣對(duì)密封塞施加的大氣壓力，使密封塞密封安裝于真空抽口 9上。安裝時(shí)通過(guò)在陶瓷基體I上的密封槽5內(nèi)分別安裝密封圈6和密封圈7及在陶瓷基體I法蘭邊下設(shè)置密封圈8進(jìn)行三層加強(qiáng)密封。所述密封圈采用為“O”形硅橡膠密封圈。所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊包括微控制器，所述微控制器連接有通訊電路和電源電路；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞通過(guò)定流電路與所述微控制器連接；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞依次通過(guò)電流采樣電路、第一 A/D轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞還依次通過(guò)差分放大電路、第二 A/D轉(zhuǎn)換電路與微控制器連接。所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊和數(shù)據(jù)采集終端通過(guò)各自?xún)?nèi)部的通訊電路和通訊模塊通信連接(可以為無(wú)線(xiàn)或有線(xiàn)通信方式)。其中，所述電源電路為DC/DC電源，提供5V的工作電壓。所述通訊電路與微控制器之間連接有通訊隔離電路，，提高抗干擾性能。所述通訊電路為數(shù)據(jù)通訊總線(xiàn)，優(yōu)選常用的數(shù)據(jù)工業(yè)通訊總線(xiàn)。所述微控制器還連接有系統(tǒng)指示燈，當(dāng)真空度低于設(shè)定值時(shí)，可以提示報(bào)警。所述定流電路連接有電壓基準(zhǔn)電路，為定流電路提供工作所需的2.5V基準(zhǔn)電壓，保證定流電路工作的穩(wěn)定性可靠性。所述微控制器還連接有報(bào)警開(kāi)關(guān)。其中，所述各個(gè)電路模塊均為現(xiàn)有的成熟電路元件、芯片或集成電路構(gòu)成。具體的，再參看圖2-4，所述真空層在線(xiàn)檢測(cè)模塊直接安裝于密封塞頂端。該密封塞上真空檢測(cè)元件位于真空設(shè)備真空層內(nèi)，真空在線(xiàn)檢測(cè)模塊直接與密封塞進(jìn)行一體式安裝。工作時(shí)，真空層在線(xiàn)檢測(cè)模塊中的微控制器通過(guò)定流電路校準(zhǔn)密封塞中熱偶規(guī)電管4的工作電流。熱偶規(guī)電管4利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象獲取當(dāng)前真空層的熱電勢(shì)，微控制器通過(guò)熱電勢(shì)與真空度之間的正比關(guān)系算法獲取當(dāng)前真空層的真空度。所述定流電路與所述熱偶規(guī)電管4相連的導(dǎo)線(xiàn)連接，所述電流采樣電路通過(guò)第一 A/D采樣轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接，用于實(shí)時(shí)檢測(cè)密封塞加熱電流。所述差分放大電路連接密封塞中的熱電偶規(guī)管檢測(cè)端及溫度傳感器端(通過(guò)導(dǎo)線(xiàn)2分別連接)，差分放大電路通過(guò)第二 A/D采樣轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接，用于檢測(cè)熱電偶規(guī)管所獲取的熱電勢(shì)和真空裝置內(nèi)的溫度值，即通過(guò)密封塞內(nèi)部的熱電偶規(guī)管進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。所述檢測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)差分放大電路放大后由第二A/D轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為微控制器可識(shí)別的數(shù)字信號(hào)，微控制器通過(guò)檢測(cè)數(shù)據(jù)與真空度之間的關(guān)系算法計(jì)算真空度值，采集的溫度數(shù)據(jù)可以用來(lái)修正真空度值。微控制器可將計(jì)算的真空度數(shù)據(jù)直接通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸，便于實(shí)時(shí)檢測(cè)。在真空在線(xiàn)檢測(cè)模塊安裝外殼內(nèi)設(shè)置報(bào)警開(kāi)關(guān)，真空設(shè)備(真空管或真空容器)破裂后將直接觸發(fā)所述報(bào)警開(kāi)關(guān)，真空在線(xiàn)檢測(cè)模塊獲取該報(bào)警狀態(tài)直接進(jìn)行遠(yuǎn)程傳輸，并顯示報(bào)警指示燈。另，該數(shù)據(jù)采集終端的開(kāi)關(guān)量輸出端口與用于管道設(shè)備控制的PLC控制柜連接。該數(shù)據(jù)采集終端通過(guò)其通訊模塊與多個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊通訊連接。該系統(tǒng)工作時(shí)，數(shù)據(jù)采集終端內(nèi)的微處理器通過(guò)通訊模塊接收多個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊傳輸?shù)恼婵斩葦?shù)據(jù)并存儲(chǔ)在存儲(chǔ)模塊中，若某一個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊傳輸?shù)恼婵斩鹊陀陬A(yù)警值，可通過(guò)報(bào)警指示模塊報(bào)警，并通過(guò)顯示鍵盤(pán)接口輸出顯示，便于對(duì)有問(wèn)題的真空管進(jìn)行處理，自動(dòng)化程度高。若輸送低溫液體的真空管發(fā)生破裂或者泄漏，密封塞觸發(fā)在線(xiàn)檢測(cè)模塊報(bào)警開(kāi)關(guān)。微處理器接收到在線(xiàn)檢測(cè)模塊送來(lái)的報(bào)警信號(hào)時(shí)，從開(kāi)關(guān)量輸出端口輸出開(kāi)關(guān)量信號(hào)到用于管道設(shè)備控制的PLC控制柜，報(bào)警并關(guān)閉閥門(mén)停止輸送液體，提高低溫液體輸送管道的安全性、可靠性和穩(wěn)定性。其中，數(shù)據(jù)采集終端以輪詢(xún)的方式訪(fǎng)問(wèn)各個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊，實(shí)時(shí)刷新各個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊的真空度數(shù)值，與數(shù)據(jù)采集終端連接的數(shù)據(jù)顯示模塊(LCD顯示器)實(shí)時(shí)顯示真空度數(shù)值等信息。數(shù)據(jù)采集終端將各個(gè)模塊真空度與預(yù)先設(shè)定的真空度下降值進(jìn)行比較，如果滿(mǎn)足要求，則提示報(bào)警。如果檢測(cè)到真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊輸出報(bào)警信號(hào)，這時(shí)數(shù)據(jù)采集終端將輸出開(kāi)關(guān)量信號(hào)到用于管道設(shè)備控制的PLC控制柜，報(bào)警并關(guān)閉閥門(mén)停止輸送液體，數(shù)據(jù)采集終端可通過(guò)外部鍵盤(pán)按鍵實(shí)時(shí)的采樣所有真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊信息或者某個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊的相關(guān)信息。本發(fā)明真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)各種環(huán)境中真空管及真空容器的真空度進(jìn)行在線(xiàn)檢測(cè)，可檢測(cè)一個(gè)或多個(gè)目標(biāo)，準(zhǔn)確、實(shí)時(shí)得到目標(biāo)真空管及真空容器的真空度，有效起到安全隱患防范作用，降低真空容器真空泄露率及事故發(fā)生率，保障使用安全。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括數(shù)據(jù)顯示模塊、數(shù)據(jù)采集終端、真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊、真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞；所述數(shù)據(jù)顯示模塊連接所述數(shù)據(jù)采集終端，所述數(shù)據(jù)采集終端連接至少一個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊，所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊連接真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞；其中，所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞用于獲取真空設(shè)備內(nèi)的真空數(shù)據(jù)；所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊用于對(duì)真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞獲取的真空數(shù)據(jù)進(jìn)行處理得到真空設(shè)備真空層的真空度；所述數(shù)據(jù)采集終端用于獲取至少一個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊送來(lái)的真空度數(shù)據(jù)，并根據(jù)該真空度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)真空度參數(shù)的比較結(jié)果進(jìn)行報(bào)警提示和/或輸出控制真空設(shè)備關(guān)閉信號(hào)，或保存真空度數(shù)據(jù)提供進(jìn)步分析或供今后數(shù)據(jù)對(duì)比分析或匯總統(tǒng)計(jì)；所述數(shù)據(jù)顯示模塊用于對(duì)所述數(shù)據(jù)采集終端收集的一個(gè)或多個(gè)真空設(shè)備的真空度數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)顯/Jn ο
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)采集終端還用保存真空度歷史數(shù)據(jù)，對(duì)各不同真空設(shè)備真空度進(jìn)行對(duì)比分析。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)采集終端包括微處理器，所述微處理器包括開(kāi)關(guān)量輸出端口，所述微處理器連接有DC/DC隔離電源、顯示鍵盤(pán)接口模塊、參數(shù)存儲(chǔ)模塊、報(bào)警指示模塊和通訊模塊。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述真空在線(xiàn)檢測(cè)的密封塞包括陶瓷基體，所述陶瓷基體下方連接所述熱電偶規(guī)管，所述熱電偶規(guī)管與內(nèi)嵌于所述陶瓷基體內(nèi)的第一導(dǎo)線(xiàn)連接，所述第一導(dǎo)線(xiàn)兩端伸出于所述陶瓷基體上下兩端；所述第一導(dǎo)線(xiàn)連接所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述陶瓷基體下方還設(shè)有用于檢測(cè)真空裝置內(nèi)的溫度的溫度傳感器；所述溫度傳感器與內(nèi)嵌于所述陶瓷基體內(nèi)的第二導(dǎo)線(xiàn)連接；所述第二導(dǎo)線(xiàn)連接所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述陶瓷基體為圓柱狀，其外側(cè)表面設(shè)有密封槽。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊包括微控制器，所述微控制器連接有通訊電路和電源電路；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞通過(guò)定流電路與所述微控制器連接；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞依次通過(guò)電流采樣電路、第一A/D轉(zhuǎn)換電路與所述微控制器連接；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞還依次通過(guò)差分放大電路、第二 A/D轉(zhuǎn)換電路與微控制器連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊和數(shù)據(jù)采集終端通過(guò)各自?xún)?nèi)部的通訊電路和通訊模塊通信連接。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)，包括數(shù)據(jù)顯示模塊、數(shù)據(jù)采集終端、真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊、真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞；所述真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞用于獲取真空設(shè)備內(nèi)的真空數(shù)據(jù)；所述真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊用于對(duì)真空在線(xiàn)檢測(cè)密封塞獲取的真空數(shù)據(jù)進(jìn)行處理得到真空設(shè)備真空層的真空度；所述數(shù)據(jù)采集終端用于獲取至少一個(gè)真空度在線(xiàn)檢測(cè)模塊送來(lái)的真空度數(shù)據(jù)，并根據(jù)該真空度數(shù)據(jù)與預(yù)設(shè)真空度參數(shù)的比較結(jié)果進(jìn)行報(bào)警提示和/或輸出控制真空設(shè)備關(guān)閉信號(hào)。本發(fā)明真空度在線(xiàn)檢測(cè)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)真空設(shè)備的真空度進(jìn)行在線(xiàn)檢測(cè)，可檢測(cè)多個(gè)目標(biāo)，有效起到安全隱患防范作用，降低設(shè)備真空泄露率及事故發(fā)生率，保障使用安全。
文檔編號(hào)G01L21/14GK103196628SQ20131007498
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2013年3月8日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月8日
發(fā)明者鄭文宸, 鐘驍, 段宇麟, 明長(zhǎng)友, 羅存益 申請(qǐng)人:成都倍特科技有限責(zé)任公司